CN106353317A - 检测待测目标物的检测装置与方法 - Google Patents

检测待测目标物的检测装置与方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106353317A
CN106353317A CN201510644625.6A CN201510644625A CN106353317A CN 106353317 A CN106353317 A CN 106353317A CN 201510644625 A CN201510644625 A CN 201510644625A CN 106353317 A CN106353317 A CN 106353317A
Authority
CN
China
Prior art keywords
measured
monochrome image
light
image
different
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510644625.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106353317B (zh
Inventor
王湧锋
温光溥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TRI TEST RESEARCH Inc
Original Assignee
TRI TEST RESEARCH Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TRI TEST RESEARCH Inc filed Critical TRI TEST RESEARCH Inc
Publication of CN106353317A publication Critical patent/CN106353317A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106353317B publication Critical patent/CN106353317B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/0002Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004Industrial image inspection
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/56Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof provided with illuminating means
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/70Circuitry for compensating brightness variation in the scene
    • H04N23/74Circuitry for compensating brightness variation in the scene by influencing the scene brightness using illuminating means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N2021/8411Application to online plant, process monitoring
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8845Multiple wavelengths of illumination or detection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06Illumination; Optics
    • G01N2201/061Sources
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108Industrial image inspection
    • G06T2207/30141Printed circuit board [PCB]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Color Television Image Signal Generators (AREA)

Abstract

本发明公开了一种检测待测目标物的检测装置与方法,该检测装置包含:单色影像撷取模块、多个照明模块及控制模块。单色影像撷取模块设置于待测目标物上方,以将光轴对准于待测目标物。多个照明模块各包含具不同的多个颜色的多个发光元件。控制模块控制照明模块依不同的颜色以及不同的照明角度的顺序产生多条照明光线,以进一步控制单色影像撷取模块依序撷取多个单色影像,单色影像各对应于照明光线其中之一的照明。其中控制模块根据单色影像对待测目标物进行检测。借此,本发明的检测待测目标物的检测装置与方法,避免彩色影像在颜色辨识度上的困难度及颜色对不同物质的反射率变化造成的误差,大幅改善检测精确度。

Description

检测待测目标物的检测装置与方法
技术领域
本发明涉及一种检测技术,且特别涉及一种检测待测目标物的检测装置与方法。
背景技术
在电子装置的制造过程中或是制造过程后,对电子装置进行检测是非常重要的步骤。借由检测,可判断电子装置上所形成的电子元件的嵌合状况及/或焊接部位的状况。在传统的技术中广泛地采用影像处理进行检测,其中欲处理的影像是借由照明待测物的光源进行照射后,再由相机撷取。
在这样的系统中,是使用彩色影像撷取模块来撷取影像。然而,彩色影像撷取模块中的彩色滤光器降低了解析度。并且,不同入射角度的不同颜色光线,也会由于电子装置上的不同物质和覆盖物而造成不同的反射率。更进一步的,部分相近的颜色并不容易被区分出来。检测的准确度、解析度及颜色饱和度,将由于上述的原因而受影响。
因此,如何设计一个新的检测装置与方法,以解决上述缺陷,乃为此业界亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种检测待测目标物的检测装置与方法,避免彩色影像在颜色辨识度上的困难度及颜色对不同物质的反射率变化造成的误差,大幅改善检测精确度。
因此,本发明的一实施例是在提供一种检测装置,用以检测待测目标物,检测装置包含:单色(mono-color)影像撷取模块、多个照明模块以及控制模块。单色影像撷取模块设置于待测目标物上方,以将光轴对准于待测目标物。照明模块各包含围绕光轴且具不同的多个颜色的多个发光元件,照明模块具有多个照明角度,各形成于光轴以及其中一个照明模块间,以使各照明角度具有特定角度范围以对应待测目标物上的一个目标区域。控制模块电性连接于照明模块以及单色影像撷取模块,以控制照明模块依不同的颜色以及不同的照明角度的顺序产生多条照明光线,以进一步控制单色影像撷取模块依序撷取多个单色影像,单色影像各对应于照明光线其中之一的照明。其中控制模块根据单色影像对待测目标物进行检测。
本发明的另一实施例是在提供一种检测方法,应用于检测装置中,以检测待测目标物,检测方法包含:将单色影像撷取模块设置于待测目标物上方,以将光轴对准于待测目标物;控制多个照明模块依不同的颜色以及不同的照明角度的顺序产生多条照明光线,其中照明模块各包含围绕光轴且具不同的多个颜色的多个发光元件,照明模块具有多个照明角度,各形成于光轴以及其中一个照明模块间,以使各照明角度具有特定角度范围以对应待测目标物上的一个目标区域;控制单色影像撷取模块依序撷取多个单色影像,单色影像各对应于照明光线其中之一的照明;以及根据单色影像对待测目标物进行检测。
应用本发明的优点在于借由检测装置与方法的设计,避免彩色影像撷取模块在颜色辨识度上的困难度以及不同颜色对不同物质的反射率变化造成的误差,提升影像解析度及颜色饱和度,大幅改善检测精确度,而轻易地达到上述的目的。
附图说明
图1为本发明一实施例中,一种检测装置的方块图;
图2为本发明一实施例中,单色影像撷取模块、多个照明模块以及待测目标物的示意图;
图3为本发明一实施例中,单色影像撷取模块、目标区域以及待测目标物的示意图;
图4为本发明一实施例中,检测方法的流程图;
图5为本发明一实施例中,检测方法详细的流程图;以及
图6为本发明一实施例中,检测方法详细的流程图。
具体实施方式
请同时参照图1及图2。图1为本发明一实施例中,一种检测装置1的方块图。检测装置1包含:单色影像撷取模块10、范例性绘示的一个照明模块12以及控制模块14。
图2为本发明一实施例中,单色影像(mono-color)撷取模块10、多个照明模块12以及待测目标物2的示意图。检测装置1是用以对待测目标物2进行检测。在不同实施例中,待测目标物2可为任何种类的电子装置,例如一个基板,且此基板包含在其上形成的电路。
单色影像撷取模块10设置于待测目标物2上方,以将光轴O对准于待测目标物2。单色影像撷取模块10可撷取单色影像。于一实施例中,单色影像为灰阶影像,仅包含灰阶信息。
检测装置1是如图2所示,包含多个照明模块12,在图1则仅范例性地绘示一个照明模块12。照明模块12可整合在图2所示的照明器18中。在不同的实施例中,照明模块12可借由各种可能的结构设置在待测目标物2上方。
各个照明模块12包含多个发光元件120,已产生不同颜色的照明光线11,例如红色光线(在图1中标示为R)、绿色光线(在图1中标示为G)以及蓝色光线(在图1中标示为B)。
各个照明模块12围绕光轴O,且照明模块12具有照明角度,各形成于光轴O以及其中一个照明模块12间,以使各照明角度具有特定角度范围,例如图1中标示的角度1、角度2…等,以对应待测目标物2上的一个目标区域。需注意的是,在不同的实施例中,发光元件120的数目以及角度范围的数目可为不同,不为上述的数目所限。
控制模块14电性连接于照明模块12。于一实施例中,控制模块14控制照明模块12依不同的颜色的顺序产生照明光线11。举例来说,控制模块14控制照明模块12依序在第一时间产生红色光线,在接下来的第二时间产生绿色光线,并在更后面的第三时间产生蓝色光线,以照明待测目标物2。需注意的是,在不同的实施例中,颜色的顺序可为不同,不为上述的顺序所限。此外,为了增加色彩饱和度,也可增加黄色。并且,针对某些缺陷的检测,可同时以不同颜色光(例如,但不限于由红色光线、绿色光线和蓝色光线同时照射组成的白光)照射,取其灰阶影像,达到更佳的检测效果。
在另一实施例中,控制模块14控制照明模块12依不同的照明角度的顺序产生照明光线11。举例来说,控制模块14控制照明模块12依序在第一时间产生红色光线至第一及第二照明角度,在接下来的第二时间产生绿色及蓝色光线至第三照明角度,并在更后面的第三时间产生蓝色光线至第四及第五照明角度。需注意的是,在不同的实施例中,照明角度的顺序以及对应各个照明角度的光线的颜色可为不同,不为上述的顺序所限。
控制模块14也电性连接于单色影像撷取模块10。控制模块14进一步控制单色影像撷取模块10依序撷取多个单色影像13,且单色影像13各对应于照明光线11其中之一的照明。针对某些缺陷的检测,可同时以不同颜色光(例如,但不限于由红色光线、绿色光线和蓝色光线同时照射组成的白光)照射,取其灰阶影像,达到更佳的检测效果。需注意的是,控制模块14是在对应的照明光线11进行照明时,同步地控制单色影像撷取模块10撷取单色影像13。
控制模块14根据单色影像13对待测目标物2进行检测。
于一实施例中,控制模块14是根据单色影像13取得待测目标物2的轮廓17来对待测目标物2进行检测。其中单色影像13是依不同的照明角度的顺序产生的照明光线11所撷取。于一实施例中,轮廓17是根据单色影像13的信息进行三角量测的计算而取得。于一实施例中,轮廓17相当于待测目标物2上的元件的轮廓线条。
于一实施例中,控制模块14借由叠加对应的颜色至单色影像13并整合上色后的单色影像13为彩色影像19来对待测目标物2进行检测。其中单色影像13是依不同的颜色的顺序产生,并各照明所有目标区域的照明光线11所撷取。举例来说,当依序根据红色、蓝色及绿色光线撷取第一、第二及第三个单色影像13时,红色、蓝色及绿色将对应叠加到第一、第二及第三个单色影像13上,以产生红色、蓝色及绿色影像(未绘示)。接着,红色、蓝色及绿色影像将被整合以产生彩色影像19。
请同时参照图1及图3。图3为本发明一实施例中,单色影像撷取模块10、目标区域A-E以及待测目标物2的示意图。
根据照明模块12的照明角度,将有五个目标区域A-E,分别对应至不同的角度范围。
于一实施例中,控制模块14控制照明模块12以依序产生不同颜色的照明光线11,各照明至少一部份的目标区域A-E。举例来说,控制模块14控制照明模块12以依序产生照明目标区域A以及B的红色光线、照明目标区域C的绿色光线以及照明目标区域D以及E的蓝色光线。控制模块14进一步控制单色影像撷取模块10对应各个照明光线11依序撷取单色影像13。
在这样的状况下,控制模块14可根据不同角度的照明对待测目标物2进行检测。
于一实施例中,控制模块14控制照明模块12以依序产生不同颜色的照明光线11,各照明所有的目标区域A-E。举例来说,控制模块14控制照明模块12以依序产生照明目标区域A-E的红色光线、照明目标区域A-E的绿色光线以及照明目标区域A-E的蓝色光线。控制模块14进一步控制单色影像撷取模块10依序撷取单色影像13。
如前所述,控制模块14借由叠加对应的颜色至单色影像13并整合上色后的单色影像13为彩色影像19来对待测目标物2进行检测。其中单色影像13是依不同的颜色的顺序产生,并各照明所有目标区域的照明光线11所撷取。
在传统的检测技术中,是采用彩色影像撷取模块,在同时以不同颜色和不同角度的光线照射下进行影像的撷取。首先,彩色影像撷取模块包括彩色滤光器,例如但不限于拜尔滤光图样(Bayer filter pattern),以使不同的颜色传送至不同的像素。然而,在这些颜色的光线波长接近时,将难以分辨颜色。
更进一步地,不同颜色光线的不同入射角度,可能会因为待测目标物2上不同的物质和覆盖物而造成不同的反射率。举例来说,由于铜对于蓝色光线的反射率不高,待测目标物2上由铜形成的区段的信息将可能因上述原因而遗失。并且,当使用不同颜色的光线时,待测目标物2在所取得的影像中的元件宽度可能不尽相同,此结果并不理想。
借由使用本发明的检测装置1,因为不再有彩色滤光器的使用和全角度的照明,而避免了彩色影像中,不同颜色间不易辨别的特性,将可得到较高的解析度、优选的颜色饱和度以及较合理的待测目标物2的影像中的元件宽度。待测目标物2的轮廓可更准确地得到,并且待测目标物2的彩色影像的解析度可更佳。
需注意的是,在不同的实施例中,需照明的光线的颜色、照明光线的颜色顺序、目标区域的数目以及不同颜色间的照明强度均可依据待测目标物2的形态而有所不同,不为上述的实施方式所限。
请参照图4。图4为本发明一实施例中,检测方法400的流程图。检测方法400可应用于图1中所绘示的检测装置1中。检测方法400包含下列步骤(应了解到,在本实施方式中所提及的步骤,除特别叙明其顺序者外,均可依实际需要调整其前后顺序,甚至可同时或部分同时执行)。
于步骤401,将单色影像撷取模块10设置于待测目标物2上方,以将光轴O对准于待测目标物2。
于步骤402,控制照明模块12依不同的颜色顺序产生照明光线11。
于步骤403,控制单色影像撷取模块10依序撷取单色影像13,单色影像13各对应于一种颜色的照明光线11。
于步骤404,根据单色影像13对待测目标物2进行检测。
请参照图5。图5为本发明一实施例中,检测方法500详细的流程图。检测方法500是绘示同时对照图3所执行的方法的步骤。检测方法500包含下列步骤(应了解到,在本实施方式中所提及的步骤,除特别叙明其顺序者外,均可依实际需要调整其前后顺序,甚至可同时或部分同时执行)。
于步骤501,将单色影像撷取模块10设置于待测目标物2上方,以将光轴O对准于待测目标物2。
于步骤502,控制照明模块12依不同的入射角度顺序产生照明光线11,例如对应目标区域A-E的入射角度。举例来说,控制模块14控制照明模块12依据产生照明目标区域A及B的红色光线、照明目标区域C的绿色光线及照明目标区域D及E的蓝色光线。
于步骤503,控制单色影像撷取模块10依序撷取单色影像13,单色影像13各对应于至少一个入射角度的照明光线11。需注意的是,单色影像撷取模块10在对应的照明光线11进行照明时,同步地撷取单色影像13。
于步骤504,控制模块14根据单色影像13取得待测目标物2的轮廓17来对待测目标物2进行检测。其中单色影像13是依不同的照明角度的顺序产生的照明光线11所撷取。
请参照图6。图6为本发明一实施例中,检测方法600详细的流程图。检测方法600是绘示同时对照图3所执行的方法的步骤。检测方法600包含下列步骤(应了解到,在本实施方式中所提及的步骤,除特别叙明其顺序者外,均可依实际需要调整其前后顺序,甚至可同时或部分同时执行)。
于步骤601,将单色影像撷取模块10设置于待测目标物2上方,以将光轴O对准于待测目标物2。
于步骤602,控制照明模块12依序产生不同颜色的照明光线11,各照明所有的目标区域A-E。举例来说,控制模块14控制照明模块12以依序产生照明目标区域A-E的红色光线、照明目标区域A-E的绿色光线以及照明目标区域A-E的蓝色光线。
于步骤603,控制单色影像撷取模块10依序撷取单色影像13,单色影像13各对应于一个颜色的照明光线11。需注意的是,单色影像撷取模块10在对应的照明光线11进行照明时,同步地撷取单色影像13。
于步骤604,控制模块14借由叠加对应的颜色至单色影像13并整合上色后的单色影像13为彩色影像19来对待测目标物2进行检测。其中单色影像13是依不同的颜色的顺序产生,并各照明所有目标区域的照明光线11所撷取。
需注意的是,如图5所述借由取得轮廓17来进行检测的方法,以及如图6所述借由取得彩色影像来进行检测的方法,可同时或是依序执行。当图5及图6的方法是依序执行时,图5及图6的任何一种方法可先被执行,而使另一种方法接着在后被执行。
虽然本发明已经以实施方式公开如上,然其并非用以限定本发明,任何本领域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种变动与润饰,因此本发明的保护范围当视权利要求所界定者为准。

Claims (16)

1.一种检测装置,用以检测待测目标物,其特征在于,所述检测装置包含:
单色影像撷取模块,其设置于所述待测目标物上方,以将光轴对准于所述待测目标物;
多个照明模块,其各包含围绕所述光轴且具有不同的多个颜色的多个发光元件,所述照明模块具有多个照明角度,各形成于所述光轴以及其中一个所述照明模块间,以使各所述照明角度具有特定角度范围以对应所述待测目标物上的一个目标区域;以及
控制模块,其电性连接于所述照明模块以及所述单色影像撷取模块,以控制所述照明模块依不同的所述颜色以及不同的所述照明角度的顺序产生多条照明光线,以进一步控制所述单色影像撷取模块依序撷取多个单色影像,所述单色影像各对应于所述照明光线其中之一的照明;
其中所述控制模块根据所述单色影像对所述待测目标物进行检测。
2.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述控制模块控制所述照明模块依不同的所述照明角度的顺序产生所述照明光线,且所述照明角度各照明至少其中一个所述目标区域,以进一步控制所述单色影像撷取模块依序撷取所述单色影像。
3.如权利要求2所述的检测装置,其特征在于,对所述待测目标物进行的所述检测包含根据所述单色影像取得所述待测目标物的轮廓,其中所述单色影像是依不同的所述照明角度的顺序产生的所述照明光线所撷取。
4.如权利要求3所述的检测装置,其特征在于,所述待测目标物的所述轮廓是由所述控制模块根据所述单色影像的信息进行多次三角计算而取得。
5.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述控制模块控制所述照明模块依不同的所述颜色的顺序产生所述照明光线,且所述照明光线各照明所有所述目标区域,以进一步控制所述单色影像撷取模块依序撷取所述单色影像。
6.如权利要求5所述的检测装置,其特征在于,对所述待测目标物进行的所述检测包含借由叠加对应的所述颜色至所述单色影像并整合上色后的所述单色影像为彩色影像,其中所述单色影像是依不同的所述颜色的顺序产生,并各照明所有所述目标区域的所述照明光线所撷取。
7.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述发光元件包含红色发光元件、绿色发光元件以及蓝色发光元件。
8.如权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述单色影像至少包含对应多个红色光线的第一影像、对应多个绿色光线的第二影像以及对应多个蓝色光线的第三影像。
9.一种检测方法,应用于检测装置中,以检测待测目标物,其特征在于,所述检测方法包含:
将单色影像撷取模块设置于所述待测目标物上方,以将光轴对准于所述待测目标物;
控制多个照明模块依不同的所述颜色以及不同的所述照明角度的顺序产生多条照明光线,其中所述照明模块各包含围绕所述光轴且具有不同的多个颜色的多个发光元件,所述照明模块具有多个照明角度,各形成于所述光轴以及其中一个所述照明模块间,以使各所述照明角度具有特定角度范围以对应所述待测目标物上的一个目标区域;
控制所述单色影像撷取模块依序撷取多个单色影像,所述单色影像各对应于所述照明光线其中之一的照明;以及
根据所述单色影像对所述待测目标物进行检测。
10.如权利要求9所述的检测方法,其特征在于,所述检测方法还包含:
控制所述照明模块依不同的所述照明角度的顺序产生所述照明光线,且所述照明角度各照明至少其中一个所述目标区域;以及
控制所述单色影像撷取模块依序撷取所述单色影像。
11.如权利要求10所述的检测方法,其特征在于,对所述待测目标物进行所述检测的步骤还包含根据所述单色影像取得所述待测目标物的轮廓,其中所述单色影像是依不同的所述照明角度的顺序产生的所述照明光线所撷取。
12.如权利要求11所述的检测方法,其特征在于,所述检测方法还包含根据所述单色影像的信息进行多次三角计算以取得所述待测目标物的所述轮廓。
13.如权利要求9所述的检测方法,其特征在于,所述检测方法还包含:
控制所述照明模块依不同的所述颜色的顺序产生所述照明光线,且所述照明光线各照明所有所述目标区域;以及
控制所述单色影像撷取模块依序撷取所述单色影像。
14.如权利要求13所述的检测方法,其特征在于,对所述待测目标物进行所述检测的步骤还包含借由叠加对应的所述颜色至所述单色影像并整合上色后的所述单色影像为彩色影像,其中所述单色影像是依不同的所述颜色的顺序产生,并各照明所有所述目标区域的所述照明光线所撷取。
15.如权利要求9所述的检测方法,其特征在于,所述发光元件包含红色发光元件、绿色发光元件以及蓝色发光元件。
16.如权利要求15所述的检测方法,其特征在于,所述单色影像至少包含对应多个红色光线的第一影像、对应多个绿色光线的第二影像以及对应多个蓝色光线的第三影像。
CN201510644625.6A 2015-07-13 2015-10-08 检测待测目标物的检测装置与方法 Active CN106353317B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/797,188 2015-07-13
US14/797,188 US9838612B2 (en) 2015-07-13 2015-07-13 Inspecting device and method for inspecting inspection target

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106353317A true CN106353317A (zh) 2017-01-25
CN106353317B CN106353317B (zh) 2019-10-11

Family

ID=57776244

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510644625.6A Active CN106353317B (zh) 2015-07-13 2015-10-08 检测待测目标物的检测装置与方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9838612B2 (zh)
CN (1) CN106353317B (zh)
TW (1) TWI620929B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109900705A (zh) * 2019-03-18 2019-06-18 合肥京东方光电科技有限公司 一种基板检测装置和检测方法
CN111175302A (zh) * 2018-11-13 2020-05-19 晶彩科技股份有限公司 复合检测条件的光学影像自动撷取方法

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017067633A (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 キヤノン株式会社 検査装置および物品製造方法
JP2017121041A (ja) * 2015-12-11 2017-07-06 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. 撮像装置
JP6973205B2 (ja) * 2018-03-15 2021-11-24 オムロン株式会社 画像処理システム、画像処理装置、画像処理プログラム
US20220136978A1 (en) * 2019-02-27 2022-05-05 Kyocera Corporation Illuminating system, illuminating device, and illumination control method
IT202000002656A1 (it) * 2020-02-11 2021-08-11 Utpvision S R L Dispositivo per la rilevazione di difetti superficiali in un oggetto

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11269411A (ja) * 1998-03-19 1999-10-05 Nippon Paint Co Ltd コンピュータグラフィックス画像から塗料配合を推定する方法
CN2793722Y (zh) * 2005-05-09 2006-07-05 致茂电子股份有限公司 影像形貌装置
CN102282440A (zh) * 2009-03-03 2011-12-14 韦崔斯股份有限公司 用于光学地测量产品表面的方法和设备
CN102334006A (zh) * 2009-02-25 2012-01-25 立体光子国际有限公司 用于三维计量系统的强度和彩色显示
CN102480582A (zh) * 2010-11-26 2012-05-30 亚洲光学股份有限公司 影像读取装置及其方法
CN103185721A (zh) * 2011-12-31 2013-07-03 致茂电子股份有限公司 光学检测系统
CN103376071A (zh) * 2012-04-20 2013-10-30 德律科技股份有限公司 三维测量系统与三维测量方法
CN104236479A (zh) * 2014-09-22 2014-12-24 电子科技大学 一种线结构光三维测量系统及3d纹理图像构造算法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7356176B2 (en) 2004-02-26 2008-04-08 Omron Corporation Mounting-error inspecting method and substrate inspecting apparatus using the method
EP1612569A3 (en) 2004-06-30 2006-02-08 Omron Corporation Method and apparatus for substrate surface inspection using multi-color light emission system
JP4713279B2 (ja) 2005-08-31 2011-06-29 第一実業ビスウィル株式会社 照明装置及びこれを備えた外観検査装置
TWI345053B (en) 2007-03-16 2011-07-11 Ind Tech Res Inst Image-acquiring system with high-spectrum resolution and method for the same
JP4493048B2 (ja) 2007-08-03 2010-06-30 第一実業ビスウィル株式会社 検査装置
KR101350214B1 (ko) 2012-07-06 2014-01-16 주식회사 미르기술 비접촉식 발광다이오드 검사장치와 이를 이용한 검사방법

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11269411A (ja) * 1998-03-19 1999-10-05 Nippon Paint Co Ltd コンピュータグラフィックス画像から塗料配合を推定する方法
CN2793722Y (zh) * 2005-05-09 2006-07-05 致茂电子股份有限公司 影像形貌装置
CN102334006A (zh) * 2009-02-25 2012-01-25 立体光子国际有限公司 用于三维计量系统的强度和彩色显示
CN102282440A (zh) * 2009-03-03 2011-12-14 韦崔斯股份有限公司 用于光学地测量产品表面的方法和设备
CN102480582A (zh) * 2010-11-26 2012-05-30 亚洲光学股份有限公司 影像读取装置及其方法
CN103185721A (zh) * 2011-12-31 2013-07-03 致茂电子股份有限公司 光学检测系统
CN103376071A (zh) * 2012-04-20 2013-10-30 德律科技股份有限公司 三维测量系统与三维测量方法
CN104236479A (zh) * 2014-09-22 2014-12-24 电子科技大学 一种线结构光三维测量系统及3d纹理图像构造算法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111175302A (zh) * 2018-11-13 2020-05-19 晶彩科技股份有限公司 复合检测条件的光学影像自动撷取方法
CN109900705A (zh) * 2019-03-18 2019-06-18 合肥京东方光电科技有限公司 一种基板检测装置和检测方法
CN109900705B (zh) * 2019-03-18 2022-06-10 合肥京东方光电科技有限公司 一种基板检测装置和检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW201702581A (zh) 2017-01-16
TWI620929B (zh) 2018-04-11
US9838612B2 (en) 2017-12-05
US20170019578A1 (en) 2017-01-19
CN106353317B (zh) 2019-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106353317A (zh) 检测待测目标物的检测装置与方法
TWI451079B (zh) 量測測量目標之方法
CN104335030B (zh) 基板的异物检测方法
TWI590725B (zh) 印刷電路板外觀的檢查裝置及檢查方法
US20040150815A1 (en) Flaw detection in objects and surfaces
ATE135110T1 (de) Substrat-prüfungsvorrichtung
JP2006189421A (ja) 高知能デジタルイメージ検査システム及びその検査方法
KR20120058443A (ko) 다중 모드 이미징
JPH11237210A (ja) 半導体パッケージの検査装置
US8837809B2 (en) Method for detecting a bridge connecting failure
CN107664645A (zh) 照明单元、缺陷检查装置及照明方法
CN109445134A (zh) 一种自动量测液晶显示模组光学数据的系统及方法
CN111781203A (zh) 基于标准工业相机的可组态智能视觉检测系统及方法
CN106226326B (zh) 检测sip模组表面缺陷、露铜表面缺陷的方法及系统
US20020114505A1 (en) Machine vision
WO2009123901A1 (en) Method and apparatus for multiplexed image acquisition and processing
KR101916134B1 (ko) 인쇄회로기판 상의 컨포멀 코팅 검사 장치
CN117368218A (zh) 一种陶瓷基板表面电路检测设备和视觉检测方法
JP2013213836A (ja) 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法
KR101876391B1 (ko) 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치
CN108540795A (zh) 一种检测图像传感器中像素排列方式的方法及装置
KR100605027B1 (ko) 카메라 또는 검사 대상의 이동 중 영상 획득에 의한영상검사방법 및 영상검사장치
JP4386326B2 (ja) プリント基板の検査方法およびこれに用いる装置
TWI583942B (zh) Check the device and check the method
KR102283985B1 (ko) 다색컬러를 갖는 약품의 검사방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant