CN109900705A - 一种基板检测装置和检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板检测装置和检测方法，所述基板检测装置包括第一图像采集单元、照明装置和控制器，其中所述第一图像采集单元，能够从不同角度采集被测基板的图像；所述照明装置，在所述第一图像采集单元采集被测基板的图像时照射所述被测基板；所述控制器，将来自第一图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第一全景图像。本发明提供的实施例通过第一全景图像能够准确检测被测基板的显示不良，并解决现有技术中人工检测基板和检测记录的局限性，有效提高显示产品的生产良率。

Description

一种基板检测装置和检测方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种基板检测装置和检测方法。

背景技术

现代显示技术的进步得益于生产技术以及各种智能化检测监控技术的发展，特别是成熟TFT-LCD行业，由于TFT基板的制程复杂，需要多种工艺相互配合，多道工序不间断生产。虽然每道工序都有相应的人工以及智能化检测装置，其中智能化检测装置主要应用于微观不良的检测，可以通过摄像头放大并拍图存证，方便后期调阅，但是针对宏观的显示不良(Mura)类需要依靠人工肉眼观测并且人工记录，而且基板表面不均的不良，特别是潜在的不均需要依靠不同角度不同光照配合才能被观察到，这就造成了人工观察检测的局限性，而且由于工艺的多样性和复杂性，基板表面产生的不均是客观存在并且每批次各有差异的，对后端最终产品的显示画质影响不一。这就产生了一个问题，受困于人工观察以及记录的局限性，后端出现的画质不均的不良无法与当线当批次所生产的基板的表面不均进行匹配，更无法匹配到相应工序，这就给解决问题的实效性和准确性造成了困难。

发明内容

为了解决上述问题至少之一，本发明第一方面提供一种基板检测装置，包括第一图像采集单元、照明装置和控制器，其中

所述第一图像采集单元，能够从不同角度采集被测基板的图像；

所述照明装置，在所述第一图像采集单元采集被测基板的图像时照射所述被测基板；

所述控制器，将来自第一图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第一全景图像。

进一步的，所述照明装置利用不同颜色的光分别照射所述被测基板；

所述第一图像采集单元在每个颜色下从不同角度采集被测基板的图像；

所述控制器将每种颜色下来自不同角度采集的图像合成为对应颜色的第一全景图像。

进一步的，所述控制器将至少两种颜色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加。

进一步的，所述至少两种颜色中的一种为白色。

进一步的，所述基板检测装置还包括

第二图像采集单元，能够从不同于第一图像采集单元采集角度的角度采集被测基板的图像；

所述控制器，将来自第二图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第二全景图像。

进一步的，所述第一图像采集单元和第二图像采集单元在被测基板上的投影相对于所述被测基板的中心点对称，所述第一图像采集单元与所述被测基板形成第一夹角，所述第二图像采集单元与所述被测基板形成第二夹角，所述第一夹角和第二夹角同步变化且差值固定。

进一步的，所述基板检测装置还包括存储器和VR眼镜，其中

所述存储器，用于分别存储不同的第一夹角角度下所述第一全景图像和第二全景图像；

所述VR眼镜，用于在左镜上显示来自所述存储器中存储的第一全景图像以及在右镜上显示来自所述存储器中存储的第二全景图像。

进一步的，所述基板检测装置还包括基台，用于调整所述被测基板的放置角度和位置。

本发明第二方面提供一种利用第一方面所述的基板检测装置进行基板检测的方法，包括：

所述照明装置照射所述被测基板；

所述第一图像采集单元从不同角度采集被测基板的图像；

所述控制器将来自第一图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第一全景图像。

进一步的，所述照明装置照射所述被测基板进一步包括

所述照明装置利用不同颜色的光分别照射所述被测基板；

所述第一图像采集单元从不同角度采集被测基板的图像进一步包括

所述第一图像采集单元在每个颜色下从不同角度采集被测基板的图像；

所述控制器将来自第一图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第一全景图像进一步包括

所述控制器将每种颜色下来自不同角度采集的图像合成为对应颜色的第一全景图像；

所述方法进一步包括：

所述控制器将至少两种颜色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加。

进一步的，所述控制器将至少两种颜色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加进一步包括：

所述控制器根据所述至少两种颜色中的至少一种彩色颜色对应的第一全景图像进行检测并获得所述被测基板的不良点；

所述控制器将所述至少一种彩色颜色和白色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加以定位所述不良点的位置和尺寸。

进一步的，所述基板检测装置还包括第二图像采集单元，所述方法还包括：

所述第二图像采集单元从不同于第一图像采集单元采集角度的角度采集被测基板的图像，所述第一图像采集单元和第二图像采集单元在被测基板上的投影相对于所述被测基板的中心点对称，所述第一图像采集单元与所述被测基板形成第一夹角，所述第二图像采集单元与所述被测基板形成第二夹角，所述第一夹角和第二夹角同步变化且差值固定；

所述控制器，将来自第二图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第二全景图像。

进一步的，所述基板检测装置还包括存储器和VR眼镜；

所述方法包括：

分别在所述存储器中存储不同的第一夹角角度下所述第一全景图像和第二全景图像；

在所述VR眼镜的左镜上显示来自所述存储器中存储的第一全景图像；

在所述VR眼镜的右镜上显示来自所述存储器中存储的第二全景图像。

本发明的有益效果如下：

本发明针对目前现有的问题，制定一种基板检测装置和检测方法，采集不同角度的被测基板的图像并合成为全景图像，通过全景图像检测被测基板的显示不良，实现对被测基板显示不良的准确检测，从而弥补了现有技术中人工检测基板和检测记录的局限性，有效提高基板检测的检测效率，进而提高显示产品的生产良率。

附图说明

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。

图1示出本发明的一个实施例所述基板检测装置的场景示意图；

图2示出本发明的一个实施例所述基板检测装置的结构框图；

图3示出本发明的另一个实施例所述基板检测装置的结构框图；

图4示出本发明的再一个实施例所述基板检测装置的结构框图；

图5示出本发明的又一个实施例所述基板检测装置的结构框图；

图6示出本发明的一个实施例所述基板检测方法的流程图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明，下面结合优选实施例和附图对本发明做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本发明的保护范围。

如图1和图2所示，本发明的一个实施例提供了一种基板检测装置，包括第一图像采集单元1、照明装置3和控制器2，其中所述第一图像采集单元1，能够从不同角度采集被测基板4的图像；所述照明装置3，在所述第一图像采集单元1采集被测基板4的图像时照射所述被测基板4；所述控制器2，将来自第一图像采集单元1从不同角度采集的图像合成为第一全景图像。

在一个具体的示例中，如图1所示，第一图像采集单元1设置在被测基板的上方，所述第一图像采集单元1可以包括1个图像采集装置，该图像采集装置改变角度实现对被测基板各个角度的图像采集；也可以包括多个设置在不同角度的图像采集装置，用于采集被测基板各个角度的图像采集。在本实施例中，所述第一图像采集单元1包括5个第一图像采集装置，分别位于不同的角度，能够从不同角度采集所述被测基板的图像，例如，所述第一图像采集单元1包括分别位于圆心位置、以预设距离为半径的0°、90°、180°和270°位置的5个第一图像采集装置，例如为摄像头、红外摄像头等能够采集图像的装置。进一步的，所述5个第一图像采集装置可以统一控制也可以分别控制：当统一控制时每个第一图像采集装置的角度为同步调整且调整角度一致，即各第一图像采集装置的相对位置固定；当分别控制时每个第一图像采集装置的角度采用单独控制且互不相关，即各第一图像采集装置的相对位置不固定。值得说明的是，本领域技术人员应当根据实际需求设置第一图像采集单元1的控制方式，以满足对被测基板4进行各个角度的采集为设计准则。

所述照明装置用于照明，即当检测被测基板时提供检测光源。所述照明装置可以为一个光源，也可以为多个光源，例如环状光源，本申请对此不做限定。在本实施例中，所述照明装置包括一个光源，能够覆盖被测基板的各个角度，根据所述照明装置提供的光利用所述第一图像采集单元采集被测基板的图像。所述控制器对所述多个被测基板的图像进行图像处理，合成为第一全景图像，例如在本实施例中，在照明装置提供的灯光下，控制器将不同角度采集的5张图像进行图像合成，将5张被测基板的图像合成为1张被测基板的第一全景图像，所述第一全景图像能够从360°角反映所述被测基板的状态，并能够利用所述第一全景图像检测并记录被测基板的显示不良，从而有效改善人工检测和记录的局限性。

考虑到不同颜色的光具有不同的波长，人眼对不同颜色的光的敏感度不同，在一个优选的实施例中，所述照明装置利用不同颜色的光分别照射所述被测基板；所述第一图像采集单元在每个颜色下从不同角度采集被测基板的图像；所述控制器将每种颜色下来自不同角度采集的图像合成为对应颜色的第一全景图像。即所述照明装置能够根据采集需求呈现出不同颜色的光，所述呈现的光为单色光以便于对被测基板的显示不良进行检测，例如彩色光或白光。所述控制器控制照明装置的呈现颜色，使得第一图像采集单元中各第一图像采集装置按照预设置的角度采集被测基板的图像，再对各采集的图像进行图像处理，合成该颜色下的第一全景图像。例如，人眼对绿色光(波长为495nm到530nm)比较敏感，则控制所述照明装置呈现绿色光，在绿色光的照射下控制所述第一图像采集单元采集被测基板的不同角度的5张图像；并将所述5张图像合成为绿色光的第一全景图像。通过对照明装置呈现颜色的控制，实现在单色光下对被测基板的显示不良的检测，有效改善现有技术中人工检测的局限性。

考虑到单色光不能满足对被测基板的显示不良的全面检测，在一个优选的实施例中，所述控制器将至少两种颜色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加。即在上述单色光照射下合成的第一全景图像的基础上，对各颜色的第一全景图像进行透明化处理并叠加，从而实现两个以上单色光的全景图像的叠加，在保留颜色特性的同时能够更加全面的检测被测基板的显示不良。在本实施例中，所述第一图像采集单元处于同一位置，所述控制器依次切换所述光源呈现例如红、橙、黄、绿、青、蓝、紫和白色等颜色。在每种颜色的照射下，所述控制器控制第一图像采集单元在不同角度采集被测基板的图像，合成该颜色对应的第一全景图像并对该图像进行透明化处理，透明度范围为50％-80％。然后从各个颜色对应的第一全景图像中任意叠加两张以上的图像进行检测，例如选择绿色光的第一全景图像和红色光的第一全景图像，进行透明化处理后将该两张图像叠加，既保留了对应颜色下被测基板表现出的不良，又确保颜色叠加不会降低可视度，从而实现对被测基板更全面的检测，有效提高检测的准确性和检出率。

在另一个优选的实施例中，所述至少两种颜色中的一种为白色。在本实施例中，所述两种颜色为绿色和白色，则所述控制器根据绿色光对应的第一全景图像进行检测并获得所述被测基板的不良点，并将该颜色对应的第一全景图像进行透明化处理，与经过透明化处理的白色光对应的第一全景图像进行叠加以确定所述不良点的位置和尺寸。同理，当选择两种以上的颜色时，例如在上述绿色和白色的基础上还包括红色和蓝色，则所述控制器根据绿色光的第一全景图像检测出被测基板的不良点，将绿色光对应的第一全景图像进行透明化处理，再与通过透明化处理后的红色光对应的第一全景图像、蓝色光对应的第一全景图像和白色光对应的第一全景图像进行叠加，在前述绿色光对应的第一全景图像中检测出的不良点的基础上，将四种颜色光对应的透明化处理后的第一全景图像进行叠加，进一步从叠加的图像中准确定位被测基板上不良点的具体位置和大小。

在另一个优选的实施例中，如图3所示，所述基板检测装置还包括第二图像采集单元，能够从不同于第一图像采集单元采集角度的角度采集被测基板的图像；所述控制器，将来自第二图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第二全景图像。所述第二图像采集单元与第一图像采集单元对应设置，不同于所述第一图像采集单元的采集角度，包括多个与所述第一图像采集装置一一对应的第二图像采集装置，所述控制器控制第二图像采集单元的第二图像采集装置从不同角度采集的被测基板的图像合成为第二全景图像。在本实施例中，所述第一图像采集单元包括5个第一图像采集装置，为分布在圆心位置、以预设距离为半径的0°、90°、180°和270°位置的摄像头；则所述第二图像采集单元也包括5个第二图像采集装置，分布位置与5个第一图像采集装置一一对应，并且各所述第二图像采集装置的控制方式与各第一图像采集装置的控制方式一致。换句话说，所述第一图像采集单元采集时，所述第二图像采集单元采集的图像相当于所述第一图像采集单元换个位置再次进行采集，通过不同位置的两组图像采集单元采集的图像检测被测基板的显示不良点，从而实现对被测基板的全方位检测。

考虑到利用第一图像采集单元和第二图像采集单元的位置关系模仿人眼的观测效果，在另一个优选的实施例中，所述第一图像采集单元和第二图像采集单元在被测基板上的投影相对于所述被测基板的中心点对称，所述第一图像采集单元与所述被测基板形成第一夹角，所述第二图像采集单元与所述被测基板形成第二夹角，所述第一夹角和第二夹角同步变化且差值固定。在本实施例中，所述第一图像采集单元中的第一图像采集装置在被测基板上的投影，与所述第二图像采集单元中的与第一图像采集装置对应的第二图像采集装置在被测基板上的投影相对于被测基板的中心点对称，即相当于通过人眼检测被测基板时，所述人眼在被测基板上的关注点相对于被测基板的中心点对称。同时，所述第一图像采集单元与被测基板的第一夹角的范围为5°到85°，则所述第二图像采集单元与被测基板的第二夹角的范围为95°到175°，并且在检测过程中，所述第一夹角与第二夹角同步变化，即所述第一夹角和第二夹角的角度一一对应。例如第一夹角的角度增加则第二夹角的角度也增加、第一夹角的角度减小则第二夹角的角度也减小；并且，所述第一夹角的增加幅度和第二夹角的增加幅度相同，从而通过基板检测装置替代人眼检测，有效提高被测基板检测的准确度。

在另一个优选的实施例中，如图4所示，所述基板检测装置还包括存储器和VR眼镜，其中所述存储器，用于分别存储不同的第一夹角角度下所述第一全景图像和第二全景图像；所述VR眼镜，用于在左镜上显示来自所述存储器中存储的第一全景图像以及在右镜上显示来自所述存储器中存储的第二全景图像。

具体的，考虑到通过所述第一图像采集单元和第二图像采集单元在与被测基板的夹角持续变化的情况下能够更加准确地检测所述被测基板。控制第一夹角和第二夹角持续同步变化，首先分别通过所述第一图像采集单元和第二图像采集单元采集各角度下的第一全景图像和第二全景图像，并分别存储在基板检测装置的存储器中；然后由基板检测装置的VR眼镜读取所述第一全景图像和第二全景图像，即VR眼镜读取第一全景图像并显示在左镜上、读取第二全景图像并显示在右镜上。由于第一全景图像和第二全景图像为同时刻的不同视点的图像，通过一系列角度变化的第一全景图像和第二全景图像，利用三维引擎技术产生立体图像，从而对被测基板产生立体纵深感，能够更加准确捕地捉到被测基板的不良点。值得说明的是，在本实施例中，所述VR眼镜不限于读取全景图像，也可以是经过透明化处理的全景图像，还可以是经过透明化处理的多张全景图像的叠加图像，本领域技术人员应当根据实际应用场景设置适合的图像。

在另一个优选的实施例中，如图5所示，所述基板检测装置还包括基台，用于调整所述被测基板的放置角度和位置。即所述基板检测装置还适用于人工操作，通过调整基台的位置调整被测基板的放置角度和位置。在人工测试中，切换照明装置的呈现颜色，则检测员可以在不同颜色和角度下对被测基板进行检测，使得所述基板检测装置同时适用于人工检测和自动检测。另一方面，也可以在基板检测装置进行自动检测时通过基台调整被测基板的位置以进一步配合第一图像采集单元或第二图像采集单元对所述被测基板进行检测、或者由第一图像采集单元和第二图像采集单元对所述被测基板进行检测，本实施例在此不做限制。

与上述实施例提供的基板检测装置相对应，本申请的一个实施例还提供一种利用上述基板检测装置的基板检测方法，由于本申请实施例提供的基板检测方法与上述几种实施例提供的基板检测装置相对应，因此在前述实施方式也适用于本实施例提供的基板检测方法，在本实施例中不再详细描述。

如图6所示，本申请的一个实施例还提供一种基板检测方法，包括：所述照明装置照射所述被测基板；所述第一图像采集单元从不同角度采集被测基板的图像；所述控制器将来自第一图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第一全景图像。即通过第一全景图像对被测基板进行360°检测，实现对被测基板的显示不良的准确检测。

在一个优选的实施例中，所述照明装置照射所述被测基板进一步包括：所述照明装置利用不同颜色的光分别照射所述被测基板；所述第一图像采集单元从不同角度采集被测基板的图像进一步包括：所述第一图像采集单元在每个颜色下从不同角度采集被测基板的图像；所述控制器将来自第一图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第一全景图像进一步包括：所述控制器将每种颜色下来自不同角度采集的图像合成为对应颜色的第一全景图像；所述方法进一步包括：所述控制器将至少两种颜色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加。即通过透明化处理的至少两种单色光对应的第一全景图像的叠加实现对被测基板的全面检测。

在一个优选的实施例中，所述控制器将至少两种颜色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加进一步包括：所述控制器根据所述至少两种颜色中的至少一种彩色颜色对应的第一全景图像进行检测并获得所述被测基板的不良点；所述控制器将所述至少一种彩色颜色和白色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加以定位所述不良点的位置和尺寸。即进一步利用白色光的特性和彩色光的特性从叠加的图像中准确定位被测基板上不良点的具体位置和大小。

在另一个优选的实施例中，所述基板检测装置还包括第二图像采集单元，所述方法还包括：所述第二图像采集单元从不同于第一图像采集单元采集角度的角度采集被测基板的图像，所述第一图像采集单元和第二图像采集单元在被测基板上的投影相对于所述被测基板的中心点对称，所述第一图像采集单元与所述被测基板形成第一夹角，所述第二图像采集单元与所述被测基板形成第二夹角，所述第一夹角和第二夹角同步变化且差值固定；所述控制器，将来自第二图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第二全景图像。即同时通过两个图像采集单元对被测基板进行检测，有效提高被测基板检测的准确度。

在另一个优选的实施例中，所述基板检测装置还包括存储器和VR眼镜；所述方法还包括：分别在所述存储器中存储不同的第一夹角角度下所述第一全景图像和第二全景图像；在所述VR眼镜的左镜上显示来自所述存储器中存储的第一全景图像；在所述VR眼镜的右镜上显示来自所述存储器中存储的第二全景图像。即通过采集并存储一系列角度变化的第一全景图像和第二全景图像，利用三维引擎技术产生立体图像，从而对被测基板产生立体纵深感，能够更加准确捕地捉到被测基板的不良点。

本发明针对目前现有的问题，制定一种基板检测装置和检测方法，采集不同角度的被测基板的图像并合成为全景图像，通过全景图像检测被测基板的显示不良，实现对被测基板显示不良的准确检测，从而弥补了现有技术中人工检测基板和检测记录的局限性，有效提高基板检测的检测效率，进而提高显示产品的生产良率。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本发明的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。

Claims (13)

1.一种基板检测装置，其特征在于，包括第一图像采集单元、照明装置和控制器，其中

所述第一图像采集单元，能够从不同角度采集被测基板的图像；

所述照明装置，在所述第一图像采集单元采集被测基板的图像时照射所述被测基板；

所述控制器，将来自第一图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第一全景图像。

2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，

所述照明装置利用不同颜色的光分别照射所述被测基板；

所述第一图像采集单元在每个颜色下从不同角度采集被测基板的图像；

所述控制器将每种颜色下来自不同角度采集的图像合成为对应颜色的第一全景图像。

3.根据权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，

所述控制器将至少两种颜色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加。

4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，

所述至少两种颜色中的一种为白色。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括

第二图像采集单元，能够从不同于第一图像采集单元采集角度的角度采集被测基板的图像；

所述控制器，将来自第二图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第二全景图像。

6.根据权利要求5所述的基板检测装置，其特征在于，所述第一图像采集单元和第二图像采集单元在被测基板上的投影相对于所述被测基板的中心点对称，所述第一图像采集单元与所述被测基板形成第一夹角，所述第二图像采集单元与所述被测基板形成第二夹角，所述第一夹角和第二夹角同步变化且差值固定。

7.根据权利要求6所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括存储器和VR眼镜，其中

所述存储器，用于分别存储不同的第一夹角角度下所述第一全景图像和第二全景图像；

所述VR眼镜，用于在左镜上显示来自所述存储器中存储的第一全景图像以及在右镜上显示来自所述存储器中存储的第二全景图像。

8.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括基台，用于调整所述被测基板的放置角度和位置。

9.一种利用权利要求1所述的基板检测装置进行基板检测的方法，其特征在于，包括：

所述照明装置照射所述被测基板；

所述第一图像采集单元从不同角度采集被测基板的图像；

所述控制器将来自第一图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第一全景图像。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，

所述照明装置照射所述被测基板进一步包括

所述照明装置利用不同颜色的光分别照射所述被测基板；

所述第一图像采集单元从不同角度采集被测基板的图像进一步包括

所述第一图像采集单元在每个颜色下从不同角度采集被测基板的图像；

所述控制器将来自第一图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第一全景图像进一步包括

所述控制器将每种颜色下来自不同角度采集的图像合成为对应颜色的第一全景图像；

所述方法进一步包括：

所述控制器将至少两种颜色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，

所述控制器将至少两种颜色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加进一步包括：

所述控制器根据所述至少两种颜色中的至少一种彩色颜色对应的第一全景图像进行检测并获得所述被测基板的不良点；

所述控制器将所述至少一种彩色颜色和白色对应的第一全景图像进行透明化处理并叠加以定位所述不良点的位置和尺寸。

12.根据权利要求9-11中任一项所述的方法，其特征在于，所述基板检测装置还包括第二图像采集单元，所述方法还包括：

所述第二图像采集单元从不同于第一图像采集单元采集角度的角度采集被测基板的图像，所述第一图像采集单元和第二图像采集单元在被测基板上的投影相对于所述被测基板的中心点对称，所述第一图像采集单元与所述被测基板形成第一夹角，所述第二图像采集单元与所述被测基板形成第二夹角，所述第一夹角和第二夹角同步变化且差值固定；

所述控制器，将来自第二图像采集单元从不同角度采集的图像合成为第二全景图像。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述基板检测装置还包括存储器和VR眼镜；

所述方法还包括：

分别在所述存储器中存储不同的第一夹角角度下所述第一全景图像和第二全景图像；

在所述VR眼镜的左镜上显示来自所述存储器中存储的第一全景图像；

在所述VR眼镜的右镜上显示来自所述存储器中存储的第二全景图像。