JPH04272170A - 真空蒸着用黒鉛ルツボ - Google Patents
真空蒸着用黒鉛ルツボInfo
- Publication number
- JPH04272170A JPH04272170A JP5406791A JP5406791A JPH04272170A JP H04272170 A JPH04272170 A JP H04272170A JP 5406791 A JP5406791 A JP 5406791A JP 5406791 A JP5406791 A JP 5406791A JP H04272170 A JPH04272170 A JP H04272170A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- graphite
- graphite crucible
- film
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 44
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 43
- 239000010439 graphite Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 22
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 14
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 23
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007770 graphite material Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属を真空蒸着処理す
る場合に溶融金属の容器として用いられる黒鉛製のルツ
ボに関する。
る場合に溶融金属の容器として用いられる黒鉛製のルツ
ボに関する。
【０００２】
【従来の技術】アルミニウムや銀などの金属溶湯を真空
下に蒸発させてプラスチックまたは紙のようなフイルム
状物の表面に金属薄膜層として蒸着形成する真空蒸着法
においては、金属融解用に黒鉛ルツボが有用されている
。
下に蒸発させてプラスチックまたは紙のようなフイルム
状物の表面に金属薄膜層として蒸着形成する真空蒸着法
においては、金属融解用に黒鉛ルツボが有用されている
。
【０００３】操業時、黒鉛ルツボは連続的に走行するフ
イルム状物の下部に設置され、誘導加熱によって高温に
保持されるが、蒸着はフイルム状物の全体に均質におこ
なわれねばならない。このため、従来はフイルム状物の
幅に対して十分な金属蒸発面を確保する目的から、図２
に示すように走行するフイルム状物１の下部に底付円筒
状を呈する丸型形状（典型的なサイズは内径１００ｍｍ
、外径１２０ｍｍ 、高さ９０〜１００ｍｍ）の黒鉛
ルツボ２を走行方向と直角に且つフイルム幅長に相当す
る個数を並べて設置する方式が採られている。この場合
、均一な蒸着膜を得るためには個々の黒鉛ルツボからの
金属蒸発量が均等になるように制御する必要があり、各
黒鉛ルツボについて投入電気量の調整がおこなわれる。
イルム状物の下部に設置され、誘導加熱によって高温に
保持されるが、蒸着はフイルム状物の全体に均質におこ
なわれねばならない。このため、従来はフイルム状物の
幅に対して十分な金属蒸発面を確保する目的から、図２
に示すように走行するフイルム状物１の下部に底付円筒
状を呈する丸型形状（典型的なサイズは内径１００ｍｍ
、外径１２０ｍｍ 、高さ９０〜１００ｍｍ）の黒鉛
ルツボ２を走行方向と直角に且つフイルム幅長に相当す
る個数を並べて設置する方式が採られている。この場合
、均一な蒸着膜を得るためには個々の黒鉛ルツボからの
金属蒸発量が均等になるように制御する必要があり、各
黒鉛ルツボについて投入電気量の調整がおこなわれる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記の処理方
式においては、蒸着対象となるフイルム状物の幅広のケ
ースでは２０個程度の丸型黒鉛ルツボを整列させて使用
することになる関係で、投入電気量の調整操作が煩雑化
すると共に、各黒鉛ルツボ間に不可避的な間隔が介在す
るためもあって金属蒸発量に位置的なムラが生じ、結果
的に均質な蒸着層の形成化が阻害される難点がある。そ
のうえ、一個の黒鉛ルツボにおいて溶融金属が蒸発し切
った際には、その時点で処理を終了するバッチ操業とな
らざるを得ないため、最近、開発された連続式アルミニ
ウム蒸着装置 （フイルム巻出・巻取り装置を真空系外
に設置する設備）には適用できない問題点もある。
式においては、蒸着対象となるフイルム状物の幅広のケ
ースでは２０個程度の丸型黒鉛ルツボを整列させて使用
することになる関係で、投入電気量の調整操作が煩雑化
すると共に、各黒鉛ルツボ間に不可避的な間隔が介在す
るためもあって金属蒸発量に位置的なムラが生じ、結果
的に均質な蒸着層の形成化が阻害される難点がある。そ
のうえ、一個の黒鉛ルツボにおいて溶融金属が蒸発し切
った際には、その時点で処理を終了するバッチ操業とな
らざるを得ないため、最近、開発された連続式アルミニ
ウム蒸着装置 （フイルム巻出・巻取り装置を真空系外
に設置する設備）には適用できない問題点もある。
【０００５】本発明は上記従来技術の問題点を解消する
ために開発されたもので、容易に投入電気量の調整がで
き、フイルム状物の幅に係わらず常に蒸着ムラのない均
一な金属膜を連続的に形成することができる真空蒸着用
黒鉛ルツボの提供を目的としている。
ために開発されたもので、容易に投入電気量の調整がで
き、フイルム状物の幅に係わらず常に蒸着ムラのない均
一な金属膜を連続的に形成することができる真空蒸着用
黒鉛ルツボの提供を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明による真空蒸着用黒鉛ルツボは、連続走行す
るフイルム状物の下部に設置し、真空下の誘導加熱によ
り溶融金属を前記フイルム状物に蒸着させるためのルツ
ボであって、少なくともフイルム状物の幅と同等以上の
長さをもつ長尺ボート形状を備えることを構成上の特徴
とする。
めの本発明による真空蒸着用黒鉛ルツボは、連続走行す
るフイルム状物の下部に設置し、真空下の誘導加熱によ
り溶融金属を前記フイルム状物に蒸着させるためのルツ
ボであって、少なくともフイルム状物の幅と同等以上の
長さをもつ長尺ボート形状を備えることを構成上の特徴
とする。
【０００７】最も好適な長尺ボート形状は、真空蒸着用
黒鉛ルツボを走行するフイルム状物の下部に直角に設置
したときにフイルム状物の幅の左右にルツボの両端部が
出る程度の長さを有し、長さ方向の溝幅がフイルム状物
の幅長範囲において実質的に平行となるように設計する
ことである。この形態を模式的に示すと図１のようにな
り、フイルム状物１の幅全体が長尺ボート形状の黒鉛ル
ツボ３における長さ範囲内の上面を走行する。
黒鉛ルツボを走行するフイルム状物の下部に直角に設置
したときにフイルム状物の幅の左右にルツボの両端部が
出る程度の長さを有し、長さ方向の溝幅がフイルム状物
の幅長範囲において実質的に平行となるように設計する
ことである。この形態を模式的に示すと図１のようにな
り、フイルム状物１の幅全体が長尺ボート形状の黒鉛ル
ツボ３における長さ範囲内の上面を走行する。
【０００８】本発明の真空蒸着用黒鉛ルツボの材質は等
方性黒鉛とすることが好ましく、とくに電気比抵抗が
７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキ
が５％以内に収まり、かつ平均気孔径１μｍ 以下、気
体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ 以下の等方性黒鉛を
基材として構成することが望ましい。電気比抵抗が ７
００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが
５％以内の特性は、誘導加熱時、ルツボ全体に均一な温
度分布を付与するために必要で、この設定要件を満たさ
ないと温度分布の変動が大きくなって蒸着ムラの原因と
なる。また、平均気孔径が１μｍ を越え、気体透過度
が０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ を上廻ると黒鉛材組織の緻
密度が低下してルツボの耐久寿命が短くなる。
方性黒鉛とすることが好ましく、とくに電気比抵抗が
７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキ
が５％以内に収まり、かつ平均気孔径１μｍ 以下、気
体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ 以下の等方性黒鉛を
基材として構成することが望ましい。電気比抵抗が ７
００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが
５％以内の特性は、誘導加熱時、ルツボ全体に均一な温
度分布を付与するために必要で、この設定要件を満たさ
ないと温度分布の変動が大きくなって蒸着ムラの原因と
なる。また、平均気孔径が１μｍ を越え、気体透過度
が０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ を上廻ると黒鉛材組織の緻
密度が低下してルツボの耐久寿命が短くなる。
【０００９】上記の真空蒸着用黒鉛ルツボを、アルミナ
、シリカ等のセラミックス材料で処理すると耐久寿命が
一層改善される。とくにアルミナ処理を施して黒鉛組織
の微細孔にアルミナを充填して材料改質をおこなうと、
組織内部への溶融金属の侵入が防止され、材質組織を脆
弱化する金属炭化物の生成を効果的に抑制することがで
きる。アルミナ処理は、例えばアルミナゾルを黒鉛ルツ
ボに含浸したのち乾燥する方法でおこなうことができる
。
、シリカ等のセラミックス材料で処理すると耐久寿命が
一層改善される。とくにアルミナ処理を施して黒鉛組織
の微細孔にアルミナを充填して材料改質をおこなうと、
組織内部への溶融金属の侵入が防止され、材質組織を脆
弱化する金属炭化物の生成を効果的に抑制することがで
きる。アルミナ処理は、例えばアルミナゾルを黒鉛ルツ
ボに含浸したのち乾燥する方法でおこなうことができる
。
【００１０】
【作用】本発明に係る真空蒸着用黒鉛ルツボは少なくと
もフイルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボート
形状として形成されているから、、従来数個から数十個
単位の丸型黒鉛ルツボを整列させて使用していた方式を
１個のルツボ設置で賄うことができる。このため、誘導
加熱時の投入電力量のコントロールが簡単になり、また
処理すべきフイルム状物の幅方向における位置ムラのな
い極めて均等な金属蒸発が発現する。
もフイルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボート
形状として形成されているから、、従来数個から数十個
単位の丸型黒鉛ルツボを整列させて使用していた方式を
１個のルツボ設置で賄うことができる。このため、誘導
加熱時の投入電力量のコントロールが簡単になり、また
処理すべきフイルム状物の幅方向における位置ムラのな
い極めて均等な金属蒸発が発現する。
【００１１】とくにるつぼ材質が電気比抵抗 ７００〜
１０００μΩｃｍでその分布のバラツキが５％以内にあ
る等方性黒鉛である場合には、ルツボ全体として均一な
温度分布が得られる。したがって、上記の作用と併せて
常に均質は金属蒸着被膜の形成が可能となる。ルツボ材
質として平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃ
ｍ２／ｓｅｃ 以下の等方性黒鉛を適用すると耐久寿命
が向上し、更にアルミナ処理を施すと一層の長期安定性
が確保される。なお、本発明の真空蒸着用黒鉛ルツボを
使用すれば、溶融金属が減少した段階でルツボ端部から
蒸着金属を小塊、フレーク粉末、線材、溶湯など種々の
性状形態で補充することができるから、その都度処理を
停止することなく連続的に操業を継続することが可能と
なる。したがって、処理効率が大幅に改善される。
１０００μΩｃｍでその分布のバラツキが５％以内にあ
る等方性黒鉛である場合には、ルツボ全体として均一な
温度分布が得られる。したがって、上記の作用と併せて
常に均質は金属蒸着被膜の形成が可能となる。ルツボ材
質として平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃ
ｍ２／ｓｅｃ 以下の等方性黒鉛を適用すると耐久寿命
が向上し、更にアルミナ処理を施すと一層の長期安定性
が確保される。なお、本発明の真空蒸着用黒鉛ルツボを
使用すれば、溶融金属が減少した段階でルツボ端部から
蒸着金属を小塊、フレーク粉末、線材、溶湯など種々の
性状形態で補充することができるから、その都度処理を
停止することなく連続的に操業を継続することが可能と
なる。したがって、処理効率が大幅に改善される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
実施例１
嵩比重１．９０ｇ／ｃｃ、電気比抵抗 ９００μΩｃｍ
、電気比抵抗分布のバラツキ５％、曲げ強さ５９０ｋｇ
ｆ／ｃｍ２、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ 、熱
膨張係数（ＲＴ 〜１０００℃）５．０×１０−６／
℃、気孔率１０．０ ｖｏｌ％、平均気孔径１．０ μ
ｍ の特性をもつ等方性黒鉛材を加工して幅１４０ｍｍ
、高さ１６０ｍｍ 、長さ１９００ｍｍの長尺ボート
形状の真空蒸着用黒鉛ルツボを作製した。この真空蒸着
用ルツボを、周辺を取り巻くように形成された誘導加熱
コイル中にセットし、約１ＫＨｚ の高周波電流によっ
て１５００℃に加熱した際の温度分布を測定したところ
、２０℃未満であることが確認された。
、電気比抵抗分布のバラツキ５％、曲げ強さ５９０ｋｇ
ｆ／ｃｍ２、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ 、熱
膨張係数（ＲＴ 〜１０００℃）５．０×１０−６／
℃、気孔率１０．０ ｖｏｌ％、平均気孔径１．０ μ
ｍ の特性をもつ等方性黒鉛材を加工して幅１４０ｍｍ
、高さ１６０ｍｍ 、長さ１９００ｍｍの長尺ボート
形状の真空蒸着用黒鉛ルツボを作製した。この真空蒸着
用ルツボを、周辺を取り巻くように形成された誘導加熱
コイル中にセットし、約１ＫＨｚ の高周波電流によっ
て１５００℃に加熱した際の温度分布を測定したところ
、２０℃未満であることが確認された。
【００１３】上記の真空蒸着用黒鉛ルツボにより、蒸着
金属にアルミニウム、被覆対象に膜厚４０μｍ 、幅７
４０ｍｍ のポリ塩化ビニルを用い、真空度５×１０−
４Ｔｏｒｒ、温度１３６０℃の条件でアルミニウム蒸着
膜厚が ４００オングストロームになるまで真空蒸着処
理をおこなった。得られた蒸着膜厚のバラツキは、平均
値に対し±５％以内で優れた均質性を備えていることが
認められた。
金属にアルミニウム、被覆対象に膜厚４０μｍ 、幅７
４０ｍｍ のポリ塩化ビニルを用い、真空度５×１０−
４Ｔｏｒｒ、温度１３６０℃の条件でアルミニウム蒸着
膜厚が ４００オングストロームになるまで真空蒸着処
理をおこなった。得られた蒸着膜厚のバラツキは、平均
値に対し±５％以内で優れた均質性を備えていることが
認められた。
【００１４】これに対し、電気比抵抗分布のバラツキが
１５％のほかは上記と同等特性の等方性黒鉛材から作製
した真空蒸着用黒鉛ルツボでは、温度分布が６０℃と大
きくなり、形成されたアルミニウム蒸着膜のバラツキも
若干拡大する傾向を示した。
１５％のほかは上記と同等特性の等方性黒鉛材から作製
した真空蒸着用黒鉛ルツボでは、温度分布が６０℃と大
きくなり、形成されたアルミニウム蒸着膜のバラツキも
若干拡大する傾向を示した。
【００１５】実施例２
平均気孔径および気体透過度が異なる等方性黒鉛を基材
として実施例１と同一の長尺ボート形状の真空蒸着用ル
ツボに加工形成し、これをアルミナゾルに浸漬して含浸
処理を施したのち乾燥した。このようにしてアルミナ処
理を施した各真空蒸着用ルツボにつき、実施例１と同一
の条件でアルミニウムの真空蒸着をおこなって耐久寿命
を試験した。耐久寿命の終点は、ルツボ上端面の一部に
クラックが発生したときの時間とした。各耐久時間をル
ツボ材料の平均気孔径および気体透過度と対比して表１
に示した。
として実施例１と同一の長尺ボート形状の真空蒸着用ル
ツボに加工形成し、これをアルミナゾルに浸漬して含浸
処理を施したのち乾燥した。このようにしてアルミナ処
理を施した各真空蒸着用ルツボにつき、実施例１と同一
の条件でアルミニウムの真空蒸着をおこなって耐久寿命
を試験した。耐久寿命の終点は、ルツボ上端面の一部に
クラックが発生したときの時間とした。各耐久時間をル
ツボ材料の平均気孔径および気体透過度と対比して表１
に示した。
【００１６】
【００１７】表１の結果から、平均気孔径が１μｍ を
越え、また気体透過度が０．０２ｃｍ２／ｓｅｃを上廻
ると耐久性が低下することが認められた。
越え、また気体透過度が０．０２ｃｍ２／ｓｅｃを上廻
ると耐久性が低下することが認められた。
【００１８】
【発明の効果】以上のとおり、本発明により提供される
真空蒸着用黒鉛ルツボは従来の丸型黒鉛ルツボと異なる
長尺ボート形状の一体化構造を呈するから、被覆対象と
なるフイルム状物の幅に係わりなく連続操業として常に
均質な金属蒸着膜を形成することができる。とくにルツ
ボ材質を特定の等方性黒鉛材とし、またアルミナ処理を
施した場合には形成される蒸着膜のバラツキは一層軽減
され、同時に耐久寿命の改善を図ることが可能となるか
ら、実用性能を極めて増大する。
真空蒸着用黒鉛ルツボは従来の丸型黒鉛ルツボと異なる
長尺ボート形状の一体化構造を呈するから、被覆対象と
なるフイルム状物の幅に係わりなく連続操業として常に
均質な金属蒸着膜を形成することができる。とくにルツ
ボ材質を特定の等方性黒鉛材とし、またアルミナ処理を
施した場合には形成される蒸着膜のバラツキは一層軽減
され、同時に耐久寿命の改善を図ることが可能となるか
ら、実用性能を極めて増大する。
【図１】従来の丸型黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着
方式を模式的に示した斜視図である。
方式を模式的に示した斜視図である。
【図２】本発明の長尺ボート形状黒鉛ルツボを用いた場
合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。
合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。
１ フイルム状物
２ 丸型形状の黒鉛ルツボ
３ 長尺ボート形状の黒鉛ルツボ
Claims (3)
- 【請求項１】 連続走行するフイルム状物の下部に設
置し、真空下の誘導加熱により溶融金属を前記フイルム
状物に蒸着させるためのルツボであって、少なくともフ
イルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボート形状
を備えることを特徴とする真空蒸着用黒鉛ルツボ。 - 【請求項２】 電気比抵抗が ７００〜１０００μΩ
ｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まり、
かつ平均気孔径１μｍ 以下、気体透過度０．０２ｃｍ
２／ｓｅｃ 以下の等方性黒鉛からなる請求項１記載の
真空蒸着用黒鉛ルツボ。 - 【請求項３】 アルミナ処理が施されている請求項１
又は２記載の真空蒸着用黒鉛ルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03054067A JP3125279B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 真空蒸着用黒鉛ルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03054067A JP3125279B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 真空蒸着用黒鉛ルツボ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04272170A true JPH04272170A (ja) | 1992-09-28 |
| JP3125279B2 JP3125279B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=12960277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03054067A Expired - Fee Related JP3125279B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 真空蒸着用黒鉛ルツボ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3125279B2 (ja) |
Cited By (65)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002053795A1 (fr) * | 2000-12-27 | 2002-07-11 | Advantest Corporation | Procede et dispositif d'application, dispositif d'exposition a un faisceau electronique, dispositif deflecteur et procede de production du dispositif deflecteur |
| US8137466B2 (en) | 2009-08-24 | 2012-03-20 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| KR101233482B1 (ko) * | 2011-05-08 | 2013-02-18 | 주식회사 야스 | 물질분사 각도를 제한한 선형 소스 |
| US8486737B2 (en) | 2009-08-25 | 2013-07-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8536057B2 (en) | 2009-06-25 | 2013-09-17 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light emitting device by using the same |
| JP2013253323A (ja) * | 1999-12-27 | 2013-12-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 成膜装置 |
| US8696815B2 (en) | 2009-09-01 | 2014-04-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US8709161B2 (en) | 2009-08-05 | 2014-04-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8707889B2 (en) | 2011-05-25 | 2014-04-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
| US8802200B2 (en) | 2009-06-09 | 2014-08-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Method and apparatus for cleaning organic deposition materials |
| US8833294B2 (en) | 2010-07-30 | 2014-09-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus including patterning slit sheet and method of manufacturing organic light-emitting display device with the same |
| US8846547B2 (en) | 2010-09-16 | 2014-09-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the thin film deposition apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8852687B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
| US8859325B2 (en) | 2010-01-14 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8859043B2 (en) | 2011-05-25 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8865252B2 (en) | 2010-04-06 | 2014-10-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8871542B2 (en) | 2010-10-22 | 2014-10-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method |
| US8876975B2 (en) | 2009-10-19 | 2014-11-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US8882556B2 (en) | 2010-02-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8882920B2 (en) | 2009-06-05 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US8882921B2 (en) | 2009-06-08 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US8882922B2 (en) | 2010-11-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
| US8894458B2 (en) | 2010-04-28 | 2014-11-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8906731B2 (en) | 2011-05-27 | 2014-12-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
| US8907326B2 (en) | 2009-06-24 | 2014-12-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display device and thin film deposition apparatus for manufacturing the same |
| US8916237B2 (en) | 2009-05-22 | 2014-12-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film |
| US8921831B2 (en) | 2009-08-24 | 2014-12-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8945974B2 (en) | 2012-09-20 | 2015-02-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display device using an organic layer deposition apparatus |
| US8945979B2 (en) | 2012-11-09 | 2015-02-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method |
| US8951610B2 (en) | 2011-07-04 | 2015-02-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
| US8951349B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-02-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8956697B2 (en) | 2012-07-10 | 2015-02-17 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus and organic light-emitting display apparatus manufactured by using the method |
| US8962360B2 (en) | 2013-06-17 | 2015-02-24 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the organic layer deposition apparatus |
| US8968829B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-03-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8973525B2 (en) | 2010-03-11 | 2015-03-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US8993360B2 (en) | 2013-03-29 | 2015-03-31 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus |
| US9012258B2 (en) | 2012-09-24 | 2015-04-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing an organic light-emitting display apparatus using at least two deposition units |
| US9018647B2 (en) | 2010-09-16 | 2015-04-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US9040330B2 (en) | 2013-04-18 | 2015-05-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus |
| US9051636B2 (en) | 2011-12-16 | 2015-06-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus |
| US9121095B2 (en) | 2009-05-22 | 2015-09-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US9136476B2 (en) | 2013-03-20 | 2015-09-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method |
| US9150952B2 (en) | 2011-07-19 | 2015-10-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition source and deposition apparatus including the same |
| US9174250B2 (en) | 2009-06-09 | 2015-11-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Method and apparatus for cleaning organic deposition materials |
| US9206501B2 (en) | 2011-08-02 | 2015-12-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using an organic layer deposition apparatus having stacked deposition sources |
| US9234270B2 (en) | 2011-05-11 | 2016-01-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Electrostatic chuck, thin film deposition apparatus including the electrostatic chuck, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus by using the thin film deposition apparatus |
| US9249493B2 (en) | 2011-05-25 | 2016-02-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same |
| US9257649B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-02-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic layer on a substrate while fixed to electrostatic chuck and charging carrier using contactless power supply module |
| US9260778B2 (en) | 2012-06-22 | 2016-02-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method |
| US9279177B2 (en) | 2010-07-07 | 2016-03-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US9306191B2 (en) | 2012-10-22 | 2016-04-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same |
| US9347886B2 (en) | 2013-06-24 | 2016-05-24 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for monitoring deposition rate, apparatus provided with the same for depositing organic layer, method of monitoring deposition rate, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the same |
| US9388488B2 (en) | 2010-10-22 | 2016-07-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US9450140B2 (en) | 2009-08-27 | 2016-09-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same |
| US9461277B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-10-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting display apparatus |
| US9466647B2 (en) | 2012-07-16 | 2016-10-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Flat panel display device and method of manufacturing the same |
| US9496524B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-11-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method |
| US9496317B2 (en) | 2013-12-23 | 2016-11-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light emitting display apparatus |
| US9512515B2 (en) | 2011-07-04 | 2016-12-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US9534288B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-01-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by using deposition apparatus |
| US9593408B2 (en) | 2009-08-10 | 2017-03-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus including deposition blade |
| US9748483B2 (en) | 2011-01-12 | 2017-08-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same |
| US10246769B2 (en) | 2010-01-11 | 2019-04-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| CN112051452A (zh) * | 2020-07-27 | 2020-12-08 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种高精度的石墨坩埚电阻率测试装置及方法 |
| CN115449759A (zh) * | 2022-10-11 | 2022-12-09 | 上海交通大学 | 电子束蒸镀铝膜用坩埚及其使用方法 |
-
1991
- 1991-02-25 JP JP03054067A patent/JP3125279B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (86)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013253323A (ja) * | 1999-12-27 | 2013-12-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 成膜装置 |
| JP2017045728A (ja) * | 1999-12-27 | 2017-03-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 成膜方法および発光装置の作製方法 |
| US9559302B2 (en) | 1999-12-27 | 2017-01-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing a display device |
| JP2016000859A (ja) * | 1999-12-27 | 2016-01-07 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 成膜方法および発光装置の作製方法 |
| JP2018066066A (ja) * | 1999-12-27 | 2018-04-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 成膜方法 |
| JP4684414B2 (ja) * | 2000-12-27 | 2011-05-18 | 株式会社アドバンテスト | 蒸着装置、蒸着方法、電子ビーム露光装置、偏向装置及び偏向装置の製造方法 |
| WO2002053795A1 (fr) * | 2000-12-27 | 2002-07-11 | Advantest Corporation | Procede et dispositif d'application, dispositif d'exposition a un faisceau electronique, dispositif deflecteur et procede de production du dispositif deflecteur |
| US8916237B2 (en) | 2009-05-22 | 2014-12-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film |
| US9873937B2 (en) | 2009-05-22 | 2018-01-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US11920233B2 (en) | 2009-05-22 | 2024-03-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US11624107B2 (en) | 2009-05-22 | 2023-04-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US9121095B2 (en) | 2009-05-22 | 2015-09-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US10689746B2 (en) | 2009-05-22 | 2020-06-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US8882920B2 (en) | 2009-06-05 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US8882921B2 (en) | 2009-06-08 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US9174250B2 (en) | 2009-06-09 | 2015-11-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Method and apparatus for cleaning organic deposition materials |
| US8802200B2 (en) | 2009-06-09 | 2014-08-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Method and apparatus for cleaning organic deposition materials |
| US8907326B2 (en) | 2009-06-24 | 2014-12-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display device and thin film deposition apparatus for manufacturing the same |
| US8536057B2 (en) | 2009-06-25 | 2013-09-17 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light emitting device by using the same |
| US8709161B2 (en) | 2009-08-05 | 2014-04-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US9593408B2 (en) | 2009-08-10 | 2017-03-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus including deposition blade |
| US8921831B2 (en) | 2009-08-24 | 2014-12-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8193011B2 (en) | 2009-08-24 | 2012-06-05 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8137466B2 (en) | 2009-08-24 | 2012-03-20 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8968829B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-03-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8486737B2 (en) | 2009-08-25 | 2013-07-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US9450140B2 (en) | 2009-08-27 | 2016-09-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same |
| US9624580B2 (en) | 2009-09-01 | 2017-04-18 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US8696815B2 (en) | 2009-09-01 | 2014-04-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US9224591B2 (en) | 2009-10-19 | 2015-12-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of depositing a thin film |
| US8876975B2 (en) | 2009-10-19 | 2014-11-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US9660191B2 (en) | 2009-11-20 | 2017-05-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8951349B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-02-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US10287671B2 (en) | 2010-01-11 | 2019-05-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US10246769B2 (en) | 2010-01-11 | 2019-04-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US8859325B2 (en) | 2010-01-14 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8882556B2 (en) | 2010-02-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8973525B2 (en) | 2010-03-11 | 2015-03-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US9453282B2 (en) | 2010-03-11 | 2016-09-27 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
| US8865252B2 (en) | 2010-04-06 | 2014-10-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8894458B2 (en) | 2010-04-28 | 2014-11-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US9136310B2 (en) | 2010-04-28 | 2015-09-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US9279177B2 (en) | 2010-07-07 | 2016-03-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8833294B2 (en) | 2010-07-30 | 2014-09-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus including patterning slit sheet and method of manufacturing organic light-emitting display device with the same |
| US9018647B2 (en) | 2010-09-16 | 2015-04-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8846547B2 (en) | 2010-09-16 | 2014-09-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the thin film deposition apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
| US8871542B2 (en) | 2010-10-22 | 2014-10-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method |
| US9388488B2 (en) | 2010-10-22 | 2016-07-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US8882922B2 (en) | 2010-11-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
| US8852687B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
| US9748483B2 (en) | 2011-01-12 | 2017-08-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same |
| KR101233482B1 (ko) * | 2011-05-08 | 2013-02-18 | 주식회사 야스 | 물질분사 각도를 제한한 선형 소스 |
| US9234270B2 (en) | 2011-05-11 | 2016-01-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Electrostatic chuck, thin film deposition apparatus including the electrostatic chuck, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus by using the thin film deposition apparatus |
| US9076982B2 (en) | 2011-05-25 | 2015-07-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
| US8707889B2 (en) | 2011-05-25 | 2014-04-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
| US8859043B2 (en) | 2011-05-25 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US9249493B2 (en) | 2011-05-25 | 2016-02-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same |
| US8906731B2 (en) | 2011-05-27 | 2014-12-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
| US8951610B2 (en) | 2011-07-04 | 2015-02-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
| US9777364B2 (en) | 2011-07-04 | 2017-10-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US9512515B2 (en) | 2011-07-04 | 2016-12-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
| US9150952B2 (en) | 2011-07-19 | 2015-10-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition source and deposition apparatus including the same |
| US9206501B2 (en) | 2011-08-02 | 2015-12-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using an organic layer deposition apparatus having stacked deposition sources |
| US9051636B2 (en) | 2011-12-16 | 2015-06-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus |
| US9260778B2 (en) | 2012-06-22 | 2016-02-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method |
| US9496524B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-11-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method |
| US10431779B2 (en) | 2012-07-10 | 2019-10-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method |
| US9461277B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-10-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting display apparatus |
| US9257649B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-02-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic layer on a substrate while fixed to electrostatic chuck and charging carrier using contactless power supply module |
| US8956697B2 (en) | 2012-07-10 | 2015-02-17 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus and organic light-emitting display apparatus manufactured by using the method |
| US9466647B2 (en) | 2012-07-16 | 2016-10-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Flat panel display device and method of manufacturing the same |
| US8945974B2 (en) | 2012-09-20 | 2015-02-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display device using an organic layer deposition apparatus |
| US9012258B2 (en) | 2012-09-24 | 2015-04-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing an organic light-emitting display apparatus using at least two deposition units |
| US9306191B2 (en) | 2012-10-22 | 2016-04-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same |
| US8945979B2 (en) | 2012-11-09 | 2015-02-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method |
| US9136476B2 (en) | 2013-03-20 | 2015-09-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method |
| US8993360B2 (en) | 2013-03-29 | 2015-03-31 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus |
| US9040330B2 (en) | 2013-04-18 | 2015-05-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus |
| US9534288B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-01-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by using deposition apparatus |
| US8962360B2 (en) | 2013-06-17 | 2015-02-24 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the organic layer deposition apparatus |
| US9347886B2 (en) | 2013-06-24 | 2016-05-24 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for monitoring deposition rate, apparatus provided with the same for depositing organic layer, method of monitoring deposition rate, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the same |
| US9496317B2 (en) | 2013-12-23 | 2016-11-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light emitting display apparatus |
| CN112051452A (zh) * | 2020-07-27 | 2020-12-08 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种高精度的石墨坩埚电阻率测试装置及方法 |
| CN112051452B (zh) * | 2020-07-27 | 2023-04-28 | 山东天岳先进科技股份有限公司 | 一种高精度的石墨坩埚电阻率测试装置及方法 |
| CN115449759A (zh) * | 2022-10-11 | 2022-12-09 | 上海交通大学 | 电子束蒸镀铝膜用坩埚及其使用方法 |
| CN115449759B (zh) * | 2022-10-11 | 2023-10-31 | 上海交通大学 | 电子束蒸镀铝膜用坩埚及其使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3125279B2 (ja) | 2001-01-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04272170A (ja) | 真空蒸着用黒鉛ルツボ | |
| US3227431A (en) | Crucible externally lined with filamentary carbon | |
| EP0592239B1 (en) | Method and apparatus for densification of porous billets | |
| US4825049A (en) | Carbon film coated refractory fiber cloth | |
| JP2003513169A (ja) | 真空で基板を被覆するための方法及び装置 | |
| US2665225A (en) | Apparatus and process for coating by vapor deposition | |
| US3723706A (en) | Wick type evaporator | |
| EP1354979A1 (en) | Method and device for producing organic el elements | |
| US2822301A (en) | Vacuum metallizing and apparatus therefor | |
| US5643684A (en) | Unwoven metal fabric | |
| CN1636077A (zh) | 衬底镀膜的方法和设备 | |
| US3515852A (en) | Metal-evaporating source | |
| US2860075A (en) | Method of making a heater for vacuum deposition | |
| CA1264613A (en) | Process and apparatus for metallising foils in a vacuum roll coating machine | |
| US2879739A (en) | Vaporized metal coating apparatus | |
| JPH0616459U (ja) | 連続式真空蒸着装置用黒鉛ルツボ | |
| US3765939A (en) | Method of coating cathode heaters | |
| JP5853804B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0229745B2 (ja) | ||
| EP0686718B1 (en) | Unwoven metal fabric and method of manufacturing the same | |
| JP6020704B2 (ja) | 真空蒸着装置を用いる蒸着フィルムの製造方法 | |
| US3928659A (en) | Methods of and means for vacuum deposition | |
| KR0160067B1 (ko) | 진공증착강판제조용 저항가열 증발원 | |
| CN212247189U (zh) | 一种线性蒸发源 | |
| CN212247186U (zh) | 一种加热板式蒸发源 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20001010 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071102 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102 Year of fee payment: 8 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102 Year of fee payment: 8 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |