JPH0426504A - オゾン発生装置及びオゾン発生器内圧力バランス方法 - Google Patents
オゾン発生装置及びオゾン発生器内圧力バランス方法Info
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- JPH0426504A JPH0426504A JP12872690A JP12872690A JPH0426504A JP H0426504 A JPH0426504 A JP H0426504A JP 12872690 A JP12872690 A JP 12872690A JP 12872690 A JP12872690 A JP 12872690A JP H0426504 A JPH0426504 A JP H0426504A
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- ozone
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 5
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 67
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 12
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 12
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 abstract 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、オゾン発生装置に関するものである。
［従来の技術］
第２図は、従来のオゾン発生装置のフロー図であり、図
において、（１）は、オゾン生成のための原料酸素を供
給する酸素ボンベであり、（２）は、オゾンを生成する
ために必要な高電圧に昇圧する変圧器、（３）は、該変
圧器によって昇圧された高電圧によって、該酸素からオ
ゾンを生成するオゾン発生器、（４）は、該オゾン発生
器によって生成したオゾンを外部に出力する回路である
。
において、（１）は、オゾン生成のための原料酸素を供
給する酸素ボンベであり、（２）は、オゾンを生成する
ために必要な高電圧に昇圧する変圧器、（３）は、該変
圧器によって昇圧された高電圧によって、該酸素からオ
ゾンを生成するオゾン発生器、（４）は、該オゾン発生
器によって生成したオゾンを外部に出力する回路である
。
（５）は、該オゾン発生装置の出力回路（４）に接続さ
れたオゾンの供給を受ける装置（以下、被オゾン供給装
置と記す。）である。
れたオゾンの供給を受ける装置（以下、被オゾン供給装
置と記す。）である。
［発明が解決しようとする課題］
従来のオゾン発生装置は以上のように構成されているの
で、該装置（５）が、真空槽の場合には、オゾン発生器
内の圧力をバランスさせるために、オゾン発生装置の出
力回路にバイパス回路が必要である等の問題点があった
。
で、該装置（５）が、真空槽の場合には、オゾン発生器
内の圧力をバランスさせるために、オゾン発生装置の出
力回路にバイパス回路が必要である等の問題点があった
。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたものでオゾンの供給を受ける装置が真空槽の場合に
も、オゾンを供給することのできるオゾン発生装置を得
ることを目的とする。
れたものでオゾンの供給を受ける装置が真空槽の場合に
も、オゾンを供給することのできるオゾン発生装置を得
ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
この発明に係るオゾン発生装置は、高電圧変圧器によっ
て昇圧された高電圧によって原料気体からオゾンを生成
するオゾン発生器があり、このオゾン発生器からオゾン
を出力するための回路に、オゾン分解器を接続し、該オ
ゾン分解器の出力を大気へ排出する回路を設けたことを
特徴とする。
て昇圧された高電圧によって原料気体からオゾンを生成
するオゾン発生器があり、このオゾン発生器からオゾン
を出力するための回路に、オゾン分解器を接続し、該オ
ゾン分解器の出力を大気へ排出する回路を設けたことを
特徴とする。
［作用コ
この発明におけるオゾン発生装置は、このオゾン発生器
よりオゾンを出力するための回路に、オゾン分解器を接
続し、該オゾン分解器の出力を大気へ開放した回路を設
けたことにより被オゾン供給装置が、真空槽の場合にお
いても、オゾンを供給することができるよう改善する。
よりオゾンを出力するための回路に、オゾン分解器を接
続し、該オゾン分解器の出力を大気へ開放した回路を設
けたことにより被オゾン供給装置が、真空槽の場合にお
いても、オゾンを供給することができるよう改善する。
［実施例］
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）は、オゾン生成のための原料酸素を
供給する酸素ボンベであり、（２）は、オゾンを生成す
るために必要な高電圧に昇圧する変圧器、（３）は、該
変圧器によって昇圧された高電圧によって該酸素からオ
ゾンを生成するオゾン発生器、（４）は、該オゾン発生
器によって生成したオゾンを外部に出力する回路である
。
図において、（１）は、オゾン生成のための原料酸素を
供給する酸素ボンベであり、（２）は、オゾンを生成す
るために必要な高電圧に昇圧する変圧器、（３）は、該
変圧器によって昇圧された高電圧によって該酸素からオ
ゾンを生成するオゾン発生器、（４）は、該オゾン発生
器によって生成したオゾンを外部に出力する回路である
。
（５）は、該オゾン発生装置の出力回路（４）に接続さ
れた被オゾン供給装置である。（６）は、該オゾンの出
力回路（５）に、接続されたオゾン分解器、（７）は該
オゾン分解器の出力を大気へ排出するための回路である
。
れた被オゾン供給装置である。（６）は、該オゾンの出
力回路（５）に、接続されたオゾン分解器、（７）は該
オゾン分解器の出力を大気へ排出するための回路である
。
次に、動作について説明する。オゾン発生器（３）が、
生成したオゾンに対し、該被オゾン供給装置（５）が、
必要としないオゾンは、オゾン分解器（６）によって酸
素によって、大気へ排出される。
生成したオゾンに対し、該被オゾン供給装置（５）が、
必要としないオゾンは、オゾン分解器（６）によって酸
素によって、大気へ排出される。
［発明の効果］
以上のように、この発明によれば、このオゾン発生器よ
りオゾンを出力する回路に、オゾン分解器を接続し、該
オゾン分解器の出力を大気へ排出する回路を設けたこと
により被オゾン供給装置が、真空槽の場合においても、
オゾン発生器内の圧力をバランスさせるために必要であ
ったバイパス回路を省略することができ、システム全体
を簡略化できる効果がある。
りオゾンを出力する回路に、オゾン分解器を接続し、該
オゾン分解器の出力を大気へ排出する回路を設けたこと
により被オゾン供給装置が、真空槽の場合においても、
オゾン発生器内の圧力をバランスさせるために必要であ
ったバイパス回路を省略することができ、システム全体
を簡略化できる効果がある。
第１図は、本発明装置の一実施例を示すフロー図、第２
図は、従来装置のフロー図である。 図において、（１）は酸素ボンベ、（２）は変圧器、（
３）はオゾン発生器、（４）はオゾン出力回路、（５）
は被オゾン供給装置、（６）はオゾン分解器、（７）は
オゾン分解器の出力回路である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
図は、従来装置のフロー図である。 図において、（１）は酸素ボンベ、（２）は変圧器、（
３）はオゾン発生器、（４）はオゾン出力回路、（５）
は被オゾン供給装置、（６）はオゾン分解器、（７）は
オゾン分解器の出力回路である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 変圧器によって昇圧された電圧によって、原料気体か
らオゾンを生成するオゾン発生器と、該オゾン発生器よ
りオゾンを出力させるための回路と、 該オゾン出力回路に接続されたオゾン分解器と、該オゾ
ン分解器の出力を大気へ排出する回路と、を含むことを
特徴とするオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2128726A JP3012282B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | オゾン発生装置及びオゾン発生器内圧力バランス方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2128726A JP3012282B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | オゾン発生装置及びオゾン発生器内圧力バランス方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0426504A true JPH0426504A (ja) | 1992-01-29 |
| JP3012282B2 JP3012282B2 (ja) | 2000-02-21 |
Family
ID=14991924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2128726A Expired - Lifetime JP3012282B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | オゾン発生装置及びオゾン発生器内圧力バランス方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3012282B2 (ja) |
-
1990
- 1990-05-18 JP JP2128726A patent/JP3012282B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3012282B2 (ja) | 2000-02-21 |
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