JP3012282B2 - オゾン発生装置及びオゾン発生器内圧力バランス方法 - Google Patents
オゾン発生装置及びオゾン発生器内圧力バランス方法Info
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- JP3012282B2 JP3012282B2 JP2128726A JP12872690A JP3012282B2 JP 3012282 B2 JP3012282 B2 JP 3012282B2 JP 2128726 A JP2128726 A JP 2128726A JP 12872690 A JP12872690 A JP 12872690A JP 3012282 B2 JP3012282 B2 JP 3012282B2
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Description
図において、(1)は、オゾン生成のための原料酸素を
供給する酸素ボンベであり、(2)は、オゾンを生成す
るために必要な高電圧に昇圧する変圧器、(3)は、該
変圧器によって昇圧された高電圧によって、該酸素から
オゾンを生成するオゾン発生器、(4)は、該オゾン発
生器によって生成したオゾンを外部に出力する回路であ
る。(5)は、該オゾン発生装置の出力回路(4)に接
続されたオゾンの供給を受ける装置(以下、被オゾン供
給装置と記す。)である。
ので、該装置(5)が、真空槽の場合には、オゾン発生
器内の圧力をバランスさせるために、オゾン発生装置の
出力回路に後付けでバイパス回路を装着する必要がある
等の問題があった。
されたものでオゾンの供給を受ける装置が真空槽の場合
にも、オゾンを供給することのできるオゾン発生装置を
得ることを目的とする。
って昇圧された高電圧によって原料気体からオゾンを生
成するオゾン発生器があり、このオゾン発生器からオゾ
ンを出力するための回路(すなわち、オゾン出力回路)
より分岐したバイパス回路を設け、このバイパス回路
に、オゾン分解器を接続し、該オゾン分解器の出力を大
気へ排出するオゾン分解器の出力回路を設けたことを特
徴とする。
器よりオゾンを出力するための回路(すなわち、オゾン
出力回路)から分岐したバイパス回路を設け、このバイ
パス回路にオゾン分解器を接続し、該オゾン分解器の出
力を大気へ開放したオゾン分解器の出力回路を設けたこ
とにより、被オゾン供給装置が、真空槽の場合において
も、オゾンを供給することができるよう改善する。
1図において、(1)は、オゾン生成のための原料酸素
を供給する酸素ボンベであり、(2)は、オゾンを生成
するために必要な高電圧に昇圧する変圧器、(3)は、
該変圧器によって昇圧された高電圧によって該酸素から
オゾンを生成するオゾン発生器、(4)は、該オゾン発
生器によって生成したオゾンを外部に出力する回路であ
る。(5)は、該オゾン発生装置の出力回路(4)に接
続された被オゾン供給装置である。(6)は、該オゾン
の出力回路(4)から分岐するバイパス回路(8)に接
続されたオゾン分解器、(7)は該オゾン分解器の出力
を大気へ排出するための回路である。
が、生成したオゾンに対し、該被オゾン供給装置(5)
が、必要としないオゾンは、バイパス回路(8)を介し
てオゾン分解器(6)によって分解後、酸素として、大
気へ排出される。
よりオゾンを出力する回路(すなわち、オゾン出力回
路)から分岐するバイパス回路を設け、このバイパス回
路に、オゾン分解器を接続し、該オゾン分解器の出力を
大気へ排出する回路を設けたことにより被オゾン供給装
置が、真空槽の場合においても、オゾン発生器内の圧力
をバランスさせることができ、システム全体を簡略化で
きる効果がある。
図は、従来装置のフロー図である。 図において、(1)は酸素ボンベ、(2)は変圧器、
(3)はオゾン発生器、(4)はオゾン出力回路、
(5)は被オゾン供給装置、(6)はオゾン分解器、
(7)はオゾン分解器の出力回路である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (2)
- 【請求項1】オゾン発生器と、 該オゾン発生器よりオゾンを被オゾン供給装置へ出力す
るためのオゾン出力回路と、 該オゾン出力回路より分岐したバイパス回路と、 該バイパス回路に接続されたオゾン分解器と、 該オゾン分解器の出力を大気に排出する回路と、 を含むことを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項2】オゾン発生器、及び該オゾン発生器からオ
ゾンが供給される被オゾン供給装置を備えたシステムに
おいて、 前記オゾン発生器から前記被オゾン供給装置へのオゾン
供給系路にオゾン分解器を設け、このオゾン分解器のオ
ゾン分解出力を排出することにより前記オゾン発生器内
圧力をバランスさせることを特徴とするオゾン発生器内
圧力バランス方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2128726A JP3012282B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | オゾン発生装置及びオゾン発生器内圧力バランス方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2128726A JP3012282B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | オゾン発生装置及びオゾン発生器内圧力バランス方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0426504A JPH0426504A (ja) | 1992-01-29 |
JP3012282B2 true JP3012282B2 (ja) | 2000-02-21 |
Family
ID=14991924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2128726A Expired - Lifetime JP3012282B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | オゾン発生装置及びオゾン発生器内圧力バランス方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3012282B2 (ja) |
-
1990
- 1990-05-18 JP JP2128726A patent/JP3012282B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0426504A (ja) | 1992-01-29 |
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