JPH04263492A - レーザ接合装置 - Google Patents

レーザ接合装置

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Publication number
JPH04263492A
JPH04263492A JP3024442A JP2444291A JPH04263492A JP H04263492 A JPH04263492 A JP H04263492A JP 3024442 A JP3024442 A JP 3024442A JP 2444291 A JP2444291 A JP 2444291A JP H04263492 A JPH04263492 A JP H04263492A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
pulse motor
laser beam
pulse
heads
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3024442A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeo Tsukuda
佃 猛郎
Kazuto Nishida
一人 西田
Makoto Kawai
河井 誠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP3024442A priority Critical patent/JPH04263492A/ja
Publication of JPH04263492A publication Critical patent/JPH04263492A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、IC部品を印刷配線板
に実装する機能を有するレーザ接合装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、IC部品の生産量の増大、多品種
対応,多リード化,狭ピッチ化が進展するにつれ、IC
部品を印刷配線板に実装する信頼性の高いレーザ接合装
置に開発の要求が強くなっている。
【0003】以下に従来のレーザ接合装置について説明
する。図4に示すように、ACサーボモータ1はボール
ねじ3を通して真空のピンセット2を上下させるもので
ある。真空ピンセット2で吸着されたキャリアフィルム
に一体的に形成されたIC部品4は金型で打ち抜かれた
後ACサーボモータ1により基板5のボンディング位置
に位置決めされる。ACサーボモータ1のドライバ6で
制御装置7から位置及び移動速度を受け取りACサーボ
モータ1を駆動制御する。パルスモータ8は左右ボール
ねじ9を通してレーザ出射ヘッド10,11を左右に互
に逆方向(矢印a,bで示す方向)に移動させる。パル
スモータ12は左右ボールねじ13を通してレーザ出射
ベッド10,11を前後に互に逆方向(矢印c,dで示
す方向)に移動させる。パルスモータドライバ14で制
御装置7からパルス指令を受け取り、パルスモータ8,
12を駆動制御する。レーザ光を発振させるレーザ発振
器15のシャッタ16,17でレーザ出射ヘッド10,
11から出射されるレーザのコントロールを行う。
【0004】以上のように構成されたレーザ接合位置に
ついて、以下その動作を説明する。真空ピンセット2で
吸着されたIC部分4は金型で打ち抜かれた後、ACサ
ーボモータ1により基板5のボンディング位置に位置決
めされた後、パルスモータ8,12のLX軸,LY軸に
より左右ボールねじ9,13を通してレーザ出射ヘッド
10,11を位置決めして移動させ、ある所定時間後に
シャッタ16,17を開いてレーザ光を照射させる。こ
れにより予め基板5上のリードに塗布された半田をレー
ザ熱で溶かしIC部分4のボンディングを行うものであ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、LX軸とLY軸を移動させ、所定時間後
にレーザ発振器のシャッタを開くので、LY軸の加速度
及び最初のLX軸,LY軸の位置決め位置の違いにより
接合の前半に半田が解けにくい現象又は基板が焦げる現
象がおこり、信頼性の高いレーザ接合ができないという
問題点を有していた。
【0006】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、適確なレーザ光の出射により、半田が溶けにくい現
象又は基板が焦げる現象が生じない信頼性の高いレーザ
接合装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明のレーザ接合装置は、レーザ光を出射するレー
ザ出射ヘッドと、レーザ出射ヘッドをスキャンさせるパ
ルスモータと、パルスモータを駆動させるパルスモータ
ドバイバと、パルスモータドライバとレーザ発振器にデ
ータを与える制御装置と、レーザ出射ヘッドのスキャン
スピードにより、レーザ出射開始位置,終了位置,シャ
ッタ開時間及びシャッタ閉時間を計算し、そのデータを
制御装置に入力する演算手段を備えた構成を有している
【0008】
【作用】この構成によって、レーザを出射するときのパ
ルスモータの加速度とシャッタ開閉のタイミングとが同
期することとなる。
【0009】
【実施例】以下本発明の一実施例について図面を参照し
ながら説明する。
【0010】本発明の一実施例を示す図1では、従来例
と同一部品に同一番号を付して説明は省略する。18は
演算手段でレーザ出射ヘッド10,11のスキャンスピ
ードによりレーザの出射開始位置,終了位置及び、立上
り時間を計算するものである。
【0011】以上のように構成されたレーザ接合装置に
ついて、図2および図3を用いてレーザ出射ヘッド10
,11をスキャンさせシャッタ16,17を開き、レー
ザ出射を行う工程を説明する。
【0012】レーザ出射ヘッド10,11をIC部品4
のリードの近傍に位置決めする前に、予め設定された最
高速v、加速度α、最初のリード位置ls、最終のリー
ド位置leによりレーザ出射開始位置、終了位置、シャ
ッタ開時間及び、シャッタ閉時間を計算した後、レーザ
出射開始位置へレーザ出射ヘッド10,11の位置決め
を行い移動する。移動後レーザ出射終了位置への位置決
めと同時に内部タイマを起動し、シャッタ開時間後シャ
ッタを開く。次いでシャッタ閉時間後シャッタを閉じレ
ーザ出射ヘッド10,11の位置決めが終了する。
【0013】次に具体的な演算手段について説明する。 予め設定された最高速v、加速度αによりIC部品の最
初のリードの位置でパルスモータの台形加速の最初がく
るまでの移動量lは、図3(C)の三角形A,B,Cの
面積から(数1)で求められる。
【0014】
【数1】
【0015】従ってレーザ出射開始位置l1は予め設定
された最初のリード位置lsより(数2)で求められる
【0016】
【数2】
【0017】またレーザ出射終了位置l2は予め設定さ
れた最終リード位置leより(数3)で求められる。
【0018】
【数3】
【0019】またシャッタ開時間T1は予め設定された
シャッタ開タイマt1より(数4)で求められ、
【00
20】
【数4】
【0021】でシャッタ閉時間T2は予め設定されたシ
ャッタ閉タイマt2より(数5)で求めることができる
【0022】
【数5】
【0023】
【発明の効果】以上の実施例の説明からも明らかなよう
に本発明は、レーザを出射するときのパルスモータの最
高速、加速度によりレーザ出射開始位置、終了位置及び
、シャッタ開始時間を計算し、パルスモータの台形加速
の任意の位置で適確にレーザを出射して、半田が溶けに
くい現象又は基板が焦げる現象が生じない信頼性の高い
レーザ接合を行うことができる優れたレーザ接合装置を
実現できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のレーザ接合装置の構成の概
念を示した斜面略図
【図2】同レーザ接合装置のレーザ出射工程のフローチ
ャート
【図3】(a)は同演算装置のレーザ出射開始位置とレ
ーザ出射終了位置のIC部品との位置関係図(b)は同
演算装置のシャッタ開時間とシャッタ閉時間の説明図 (c)同演算装置のレーザ出射ヘッドのスキャンスピー
ドと時間のグラフ
【図4】従来のレーザ接合装置の構成の概念を示した斜
面略図
【符号の説明】
7    制御装置 8,12  パルスモータ 10,11  レーザ出射ヘッド 14  パルスモータドライバ 15  レーザ発振器 18  演算手段

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  IC部品を吸着する真空ピンセットを
    上下させるACサーボモータと、レーザ光を発振させる
    レーザ発振器と、発振したレーザ光を出射するレーザヘ
    ッドと、前記レーザヘッドをスキャンさせるパルスモー
    タと、前記パルスモータを駆動させるパルスモータドラ
    イバと、前記パルスモータドライバと前記レーザ発振器
    にデータを与える制御装置を備え、前記レーザヘッドの
    スキャンスピードによりレーザ光の出射開始装置,終了
    位置,シャッタ開時間及びシャッタ閉時間を計算し、そ
    のデータを前記制御装置に入力する演算手段を備えたレ
    ーザ接合装置。
JP3024442A 1991-02-19 1991-02-19 レーザ接合装置 Pending JPH04263492A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10200137A (ja) * 1997-01-10 1998-07-31 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd 集積型薄膜光電変換装置とその製造方法
CN107378248A (zh) * 2017-09-11 2017-11-24 西安交通大学 基于波形调制的钼及钼合金对接接头的脉冲激光焊接方法

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JPH10200137A (ja) * 1997-01-10 1998-07-31 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd 集積型薄膜光電変換装置とその製造方法
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