JPH04259368A - 金属間化合物シートの製造方法 - Google Patents
金属間化合物シートの製造方法Info
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- JPH04259368A JPH04259368A JP3895591A JP3895591A JPH04259368A JP H04259368 A JPH04259368 A JP H04259368A JP 3895591 A JP3895591 A JP 3895591A JP 3895591 A JP3895591 A JP 3895591A JP H04259368 A JPH04259368 A JP H04259368A
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Landscapes
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属間化合物シートの製
造方法に関する。
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に金属間化合物は脆性で成形性に劣
るため、ホットロール法では十分な薄肉化が非常に困難
であるため、ホットロールにてある肉厚（例えば２ｍｍ
）までロールし、その後ケミカル・ミリングにより所定
の肉厚まで減肉している。
るため、ホットロール法では十分な薄肉化が非常に困難
であるため、ホットロールにてある肉厚（例えば２ｍｍ
）までロールし、その後ケミカル・ミリングにより所定
の肉厚まで減肉している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＴｉＡｌ等金属間化合
物は一般に脆く加工性に乏しいため従来の圧延では薄肉
化が非常に困難である。また、融点が比較的高く、溶融
状態では活性で反応しやすいため、圧延のための素材で
あるスラブ自体を得ることさえ極めて難しい。従って、
金属間化合物のシート材はコストが高く、また、その肉
厚には薄さに限界があった。例えば、ＴｉＡｌの場合、
圧延（ホットロール）では１〜２ｍｍ（ロール幅１５０
ｍｍ）が高い目標値と考えられている。サブ・ミリオー
ダーの薄肉材が必要ならばどうしても、ケミカル・ミリ
ングにならざるを得なかった。このことは当然コスト高
を意味する。
物は一般に脆く加工性に乏しいため従来の圧延では薄肉
化が非常に困難である。また、融点が比較的高く、溶融
状態では活性で反応しやすいため、圧延のための素材で
あるスラブ自体を得ることさえ極めて難しい。従って、
金属間化合物のシート材はコストが高く、また、その肉
厚には薄さに限界があった。例えば、ＴｉＡｌの場合、
圧延（ホットロール）では１〜２ｍｍ（ロール幅１５０
ｍｍ）が高い目標値と考えられている。サブ・ミリオー
ダーの薄肉材が必要ならばどうしても、ケミカル・ミリ
ングにならざるを得なかった。このことは当然コスト高
を意味する。
【０００４】本発明は上記技術水準に鑑み、塑性加工に
よる厚肉材から薄肉材（シート材）を得る方法ではなく
、塑性加工を必要としないシート材の製造法を提供しよ
うとするものである。
よる厚肉材から薄肉材（シート材）を得る方法ではなく
、塑性加工を必要としないシート材の製造法を提供しよ
うとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は雰囲気制御され
たプラズマ溶射法により、金属間化合物粉末を該粉末と
は物性の異なる基板上に溶射して該基板上に金属間化合
物の溶射皮膜を形成させ、その後基板を物理的又は化学
的に除去することを特徴とする金属間化合物シートの製
造方法である。
たプラズマ溶射法により、金属間化合物粉末を該粉末と
は物性の異なる基板上に溶射して該基板上に金属間化合
物の溶射皮膜を形成させ、その後基板を物理的又は化学
的に除去することを特徴とする金属間化合物シートの製
造方法である。
【０００６】本発明で対象とする金属間化合物としては
Ｔｉ−Ａｌ（ＴｉＡｌ、Ｔｉ３ Ａｌ等）、Ｎｉ−Ａｌ
（Ｎｉ３ Ａｌ、ＮｉＡｌ、Ｎｉ２ Ａｌ３ 等）、Ｎ
ｂ−Ａｌ（Ｎｂ３ Ａｌ、ＮｂＡｌ３ 等）、Ｆｅ−Ａ
ｌ（ＦｅＡｌ、Ｆｅ３ Ａｌ等）、Ｍｏ−Ｓｉ（Ｍｏ３
Ｓｉ、Ｍｏ３ Ｓｉ２ 、ＭｏＳｉ３ 等）があげら
れる。
Ｔｉ−Ａｌ（ＴｉＡｌ、Ｔｉ３ Ａｌ等）、Ｎｉ−Ａｌ
（Ｎｉ３ Ａｌ、ＮｉＡｌ、Ｎｉ２ Ａｌ３ 等）、Ｎ
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ｌ（ＦｅＡｌ、Ｆｅ３ Ａｌ等）、Ｍｏ−Ｓｉ（Ｍｏ３
Ｓｉ、Ｍｏ３ Ｓｉ２ 、ＭｏＳｉ３ 等）があげら
れる。
【０００７】基板は得ようとする金属間化合物とは特性
が異なることが必要であり、酸溶解または加熱溶融等に
より、金属間化合物溶射皮膜と溶射後分離が可能なもの
を使用しなければならない。前者の例としてはＡｌが最
適であり、後者の例としてはＰｂがあげられる。
が異なることが必要であり、酸溶解または加熱溶融等に
より、金属間化合物溶射皮膜と溶射後分離が可能なもの
を使用しなければならない。前者の例としてはＡｌが最
適であり、後者の例としてはＰｂがあげられる。
【０００８】雰囲気制御されたプラズマ溶射法とは、溶
射時に金属間化合物が雰囲気ガスと反応すると脆化等の
材質劣化を生じるため、雰囲気を該金属化合物に対して
不活性に制御したチャンバー内で行うプラズマ溶射のこ
とをいう。一般的にはＡｒガス雰囲気が用いられる。
射時に金属間化合物が雰囲気ガスと反応すると脆化等の
材質劣化を生じるため、雰囲気を該金属化合物に対して
不活性に制御したチャンバー内で行うプラズマ溶射のこ
とをいう。一般的にはＡｒガス雰囲気が用いられる。
【０００９】
【作用】塑性加工の困難な金属間化合物のシート材（代
表的肉厚数十μｍ ）が塑性加工を基本とする従来のホ
ットロール（もしくはホットロールとそれに続くケミカ
ル・ミーリング）法に比べ、本発明では、塑性加工を必
要としないため、より容易に製造できる。
表的肉厚数十μｍ ）が塑性加工を基本とする従来のホ
ットロール（もしくはホットロールとそれに続くケミカ
ル・ミーリング）法に比べ、本発明では、塑性加工を必
要としないため、より容易に製造できる。
【００１０】また、シート材のサイズは溶射チャンバー
サイズ、溶射ガン動作範囲等により制約されるものの、
比較的幅広（例えば５００ｍｍ幅） のシート材が製造
できる。
サイズ、溶射ガン動作範囲等により制約されるものの、
比較的幅広（例えば５００ｍｍ幅） のシート材が製造
できる。
【００１１】なお、シート材にする前の金属間化合物の
形態として従来法ではロール用のスラブが必要であるが
、本発明では粉末でよく、一般に高融点、活性な金属間
化合物ではスラブ材は製造が困難である。
形態として従来法ではロール用のスラブが必要であるが
、本発明では粉末でよく、一般に高融点、活性な金属間
化合物ではスラブ材は製造が困難である。
【００１２】
【実施例】本発明の実施例を図面を参照しながら説明す
る。Ａｌ板１００ｍｍ×５０ｍｍ×２ｍｍを基板とし、
その上に金属間化合物ＴｉＡｌ粉末（粒径約２００μｍ
）を雰囲気制御プラズマ装置を用い溶射する。溶射条
件を表１にまとめた。
る。Ａｌ板１００ｍｍ×５０ｍｍ×２ｍｍを基板とし、
その上に金属間化合物ＴｉＡｌ粉末（粒径約２００μｍ
）を雰囲気制御プラズマ装置を用い溶射する。溶射条
件を表１にまとめた。
【００１３】なお、プラズマの高エネルギー化のため、
プラズマガスにＡｌ＋Ｈ２ を用いた。この場合ＴｉＡ
ｌ溶射皮膜への水素吸蔵が危惧されるが、溶射前のＴｉ
Ａｌ粉末の水素濃度は３ｐｐｍで溶射皮膜（溶射後）の
水素濃度は２３ｐｐｍと極く微量の増加であり、問題は
なかった。
プラズマガスにＡｌ＋Ｈ２ を用いた。この場合ＴｉＡ
ｌ溶射皮膜への水素吸蔵が危惧されるが、溶射前のＴｉ
Ａｌ粉末の水素濃度は３ｐｐｍで溶射皮膜（溶射後）の
水素濃度は２３ｐｐｍと極く微量の増加であり、問題は
なかった。
【表１】
【００１４】次いで、金属間化合物ＴｉＡｌを溶射した
状態のＡｌ基板をＮａＯＨ水溶液（１０ｗｔ％）に１０
時間浸漬し、基板のＡｌのみを溶解して、金属間化合物
皮膜（金属間化合物シート材）を得た。その断面ミクロ
を図１に示す。図１は光学顕微鏡写真（１００倍）であ
り、白い部分がＴｉＡｌ溶射皮膜シート、黒い部分は樹
脂材である。
状態のＡｌ基板をＮａＯＨ水溶液（１０ｗｔ％）に１０
時間浸漬し、基板のＡｌのみを溶解して、金属間化合物
皮膜（金属間化合物シート材）を得た。その断面ミクロ
を図１に示す。図１は光学顕微鏡写真（１００倍）であ
り、白い部分がＴｉＡｌ溶射皮膜シート、黒い部分は樹
脂材である。
【００１５】
【発明の効果】肉厚が５０〜１００μｍ 程度の難塑性
加工材である金属間化合物シートが得られ、このシート
材はＳｉＣ／ＴｉＡｌ等の金属間化合物基複合材料のマ
トリックスとして使用することができる。つまり、この
シートとＳｉＣ繊維とを交互に積層し、熱間加圧成形す
れば、ＳｉＣ／ＴｉＡｌの複合材料を得ることができる
。 また、このシートは溶射したまゝの状態では空孔が多い
が、さらに溶射条件を最適化することにより、より緻密
なシート材とすることができ、またこのシート材をホッ
トロールすることより真密度にまで品質向上を図れる。
加工材である金属間化合物シートが得られ、このシート
材はＳｉＣ／ＴｉＡｌ等の金属間化合物基複合材料のマ
トリックスとして使用することができる。つまり、この
シートとＳｉＣ繊維とを交互に積層し、熱間加圧成形す
れば、ＳｉＣ／ＴｉＡｌの複合材料を得ることができる
。 また、このシートは溶射したまゝの状態では空孔が多い
が、さらに溶射条件を最適化することにより、より緻密
なシート材とすることができ、またこのシート材をホッ
トロールすることより真密度にまで品質向上を図れる。
【図１】本発明の一実施例で製造したＴｉＡｌシートの
断面の金属組織を示す光学顕微鏡写真である。
断面の金属組織を示す光学顕微鏡写真である。
Claims (1)
- 【請求項１】 雰囲気制御されたプラズマ溶射法によ
り、金属間化合物粉末を該粉末とは物性の異なる基板上
に溶射して該基板上に金属間化合物の溶射皮膜を形成さ
せ、その後基板を物理的又は化学的に除去することを特
徴とする金属間化合物シートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3895591A JPH04259368A (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 金属間化合物シートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3895591A JPH04259368A (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 金属間化合物シートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04259368A true JPH04259368A (ja) | 1992-09-14 |
Family
ID=12539615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3895591A Pending JPH04259368A (ja) | 1991-02-12 | 1991-02-12 | 金属間化合物シートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04259368A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012167372A (ja) * | 2012-02-29 | 2012-09-06 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 希土類酸化物含有溶射基板の製造方法及び積層板の製造方法 |
| DE102015114403A1 (de) | 2014-09-05 | 2016-03-10 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Annäherungsobjekterfassungsvorrichtung für ein Fahrzeug und Annäherungsobjekterfassungsverfahren dafür |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5347416A (en) * | 1976-10-13 | 1978-04-27 | Sumitomo Chemical Co | Manufacture of betaaalumina thin films |
| JPS6081317A (ja) * | 1983-10-05 | 1985-05-09 | Kuraray Co Ltd | 繊維およびシ−ト状材料の製造方法 |
| JPS60159162A (ja) * | 1984-01-11 | 1985-08-20 | ナシヨナル・リサーチ・デイベロツプメント・コーポレイシヨン | 金属の噴霧沈着法 |
| JPH0288755A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-28 | General Electric Co <Ge> | 箔状チタン合金の製造方法 |
| JPH0288703A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-28 | General Electric Co <Ge> | プラズマ溶射チタン合金箔の表面仕上げ方法 |
| JPH02259028A (ja) * | 1988-12-30 | 1990-10-19 | Westinghouse Electric Corp <We> | 種々の組成の電子化合物の成形物製造方法 |
-
1991
- 1991-02-12 JP JP3895591A patent/JPH04259368A/ja active Pending
Patent Citations (6)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19971104 |