JPH04256520A - 放電加工方法 - Google Patents
放電加工方法Info
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- JPH04256520A JPH04256520A JP3031688A JP3168891A JPH04256520A JP H04256520 A JPH04256520 A JP H04256520A JP 3031688 A JP3031688 A JP 3031688A JP 3168891 A JP3168891 A JP 3168891A JP H04256520 A JPH04256520 A JP H04256520A
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Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H1/00—Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H9/00—Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＭｎ−Ｚｎフェライトな
どの抵抗性材料を絶縁性液体中での放電により放電加工
する方法に関するものである。
どの抵抗性材料を絶縁性液体中での放電により放電加工
する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来ステンレス、鉄、アルミニウム等の
金属材料からなる微小形状に被加工物を放電加工する場
合、タングステンや超硬合金等からなる放電加工電極と
被加工物の間に絶縁性液体を介し、放電加工電極を負極
にし被加工物を正極にして放電加工が行われていた。こ
のような従来の放電加工方法では、Ｍｎ−Ｚｎフェライ
トなどの抵抗性材料からなる被加工物を放電加工するこ
とは非常に困難であった。また、セラミックなどの非導
電性材料を電気的に加工する方法としては、例えば、土
屋八郎「機械技術」３２−１２（１９８４）Ｐ７７に述
べられている電解放電加工と呼ばれる方法が知られてい
る。しかし電解放電加工法は通常ＮａＯＨ等の強アルカ
リ液を電解液として使用するので取り扱い難いなどの問
題がある。また、これらの欠点を改良した方法として、
ＮａＮＯ３、ＮａＣｌ等の中性塩電解液中のアーク放電
を用いた方法が特開昭６３−２２９２２５号公報に示さ
れているが、この方法は工具電極の消耗が激しく、加工
精度が低いため、実用的な加工方法とは言い難い。
金属材料からなる微小形状に被加工物を放電加工する場
合、タングステンや超硬合金等からなる放電加工電極と
被加工物の間に絶縁性液体を介し、放電加工電極を負極
にし被加工物を正極にして放電加工が行われていた。こ
のような従来の放電加工方法では、Ｍｎ−Ｚｎフェライ
トなどの抵抗性材料からなる被加工物を放電加工するこ
とは非常に困難であった。また、セラミックなどの非導
電性材料を電気的に加工する方法としては、例えば、土
屋八郎「機械技術」３２−１２（１９８４）Ｐ７７に述
べられている電解放電加工と呼ばれる方法が知られてい
る。しかし電解放電加工法は通常ＮａＯＨ等の強アルカ
リ液を電解液として使用するので取り扱い難いなどの問
題がある。また、これらの欠点を改良した方法として、
ＮａＮＯ３、ＮａＣｌ等の中性塩電解液中のアーク放電
を用いた方法が特開昭６３−２２９２２５号公報に示さ
れているが、この方法は工具電極の消耗が激しく、加工
精度が低いため、実用的な加工方法とは言い難い。
【０００３】また、硬脆材料であるＭｎ−Ｚｎフェライ
トを加工する方法としては、研削加工方法が使用可能で
あるが、平板状、丸棒状加工などの単純形状の加工に限
られる。また、同材料の脆い性質を利用して砥粒を用い
た超音波加工方法が使用可能であるが、加工工具との接
触によりクラックが発生し易く、板厚が０．５ｍｍ以下
の立体形状の加工は困難であった。さらに、Ｍｎ−Ｚｎ
フェライトの固有抵抗は５〜１０Ωｃｍ程度であり、従
来の放電加工方法ではほとんど放電加工が進行せず、放
電加工ができても熱衝撃によりクラックが発生し易く、
実用的な加工はほとんどできなかった。
トを加工する方法としては、研削加工方法が使用可能で
あるが、平板状、丸棒状加工などの単純形状の加工に限
られる。また、同材料の脆い性質を利用して砥粒を用い
た超音波加工方法が使用可能であるが、加工工具との接
触によりクラックが発生し易く、板厚が０．５ｍｍ以下
の立体形状の加工は困難であった。さらに、Ｍｎ−Ｚｎ
フェライトの固有抵抗は５〜１０Ωｃｍ程度であり、従
来の放電加工方法ではほとんど放電加工が進行せず、放
電加工ができても熱衝撃によりクラックが発生し易く、
実用的な加工はほとんどできなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、電気抵抗
性材料を加工することができる取り扱いの容易な放電加
工方法を提供するものである。また、特に従来放電加工
がほとんどできなかったＭｎ−Ｚｎフェライト材料に対
して放電加工ができ、放電加工の特長である複雑で微細
な加工を可能とするものである。ここで微細な加工とは
、例えば放電電極として直径１〜２ｍｍ程度以下の放電
電極を用いて放電加工する場合のことである。
性材料を加工することができる取り扱いの容易な放電加
工方法を提供するものである。また、特に従来放電加工
がほとんどできなかったＭｎ−Ｚｎフェライト材料に対
して放電加工ができ、放電加工の特長である複雑で微細
な加工を可能とするものである。ここで微細な加工とは
、例えば放電電極として直径１〜２ｍｍ程度以下の放電
電極を用いて放電加工する場合のことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に本発明は、電気伝導性加工電極と被加工物の間に絶縁
性液を介して放電を起こし、前記被加工物を加工する放
電加工方法において、前記被加工物を電気抵抗性材料か
らなる被加工物とし、前記電気伝導性加工電極の極性を
正極とし前記電気抵抗性材料からなる被加工物を負極と
して前記電気抵抗性材料からなる被加工物を放電加工す
ることを特徴とする。特に被加工物がＭｎ−Ｚｎフェラ
イトの場合に適しており、電気伝導性加工電極と被加工
物の間に絶縁性液を介して放電を起こし、前記被加工物
を加工する放電加工方法において、前記被加工物をＭｎ
−Ｚｎフェライトからなる被加工物とし、前記電気伝導
性加工電極の極性を正極とし前記Ｍｎ−Ｚｎフェライト
からなる被加工物を負極として前記Ｍｎ−Ｚｎフェライ
トからなる被加工物を放電加工することを特徴とする。
に本発明は、電気伝導性加工電極と被加工物の間に絶縁
性液を介して放電を起こし、前記被加工物を加工する放
電加工方法において、前記被加工物を電気抵抗性材料か
らなる被加工物とし、前記電気伝導性加工電極の極性を
正極とし前記電気抵抗性材料からなる被加工物を負極と
して前記電気抵抗性材料からなる被加工物を放電加工す
ることを特徴とする。特に被加工物がＭｎ−Ｚｎフェラ
イトの場合に適しており、電気伝導性加工電極と被加工
物の間に絶縁性液を介して放電を起こし、前記被加工物
を加工する放電加工方法において、前記被加工物をＭｎ
−Ｚｎフェライトからなる被加工物とし、前記電気伝導
性加工電極の極性を正極とし前記Ｍｎ−Ｚｎフェライト
からなる被加工物を負極として前記Ｍｎ−Ｚｎフェライ
トからなる被加工物を放電加工することを特徴とする。
【０００６】ここで、電気抵抗性材料からなる被加工物
とは、被加工物の固有抵抗が１Ωｃｍ程度以上の材料か
らなる被加工物である。また、電気伝導性加工電極とし
ては、タングステン（Ｗ）または超硬合金等の電気伝導
性材料からなる放電加工電極が使用できる。
とは、被加工物の固有抵抗が１Ωｃｍ程度以上の材料か
らなる被加工物である。また、電気伝導性加工電極とし
ては、タングステン（Ｗ）または超硬合金等の電気伝導
性材料からなる放電加工電極が使用できる。
【０００７】
【作用】本発明は、放電加工時の加工速度が、被加工物
の体積固有抵抗に応じて変化するとともに、放電加工電
極と被加工物に印加する放電電圧の極性を変えることに
より被加工物の加工速度が異なるという事実に基づく。 すなわち、電気抵抗性材料からなる被加工物を放電加工
するには、放電加工電極を正極にし、電気抵抗性材料か
らなる被加工物を負極にすることにより、電気抵抗性材
料からなる被加工物の加工効率が大きくなり、放電加工
電極の消耗がすくなくなる。
の体積固有抵抗に応じて変化するとともに、放電加工電
極と被加工物に印加する放電電圧の極性を変えることに
より被加工物の加工速度が異なるという事実に基づく。 すなわち、電気抵抗性材料からなる被加工物を放電加工
するには、放電加工電極を正極にし、電気抵抗性材料か
らなる被加工物を負極にすることにより、電気抵抗性材
料からなる被加工物の加工効率が大きくなり、放電加工
電極の消耗がすくなくなる。
【０００８】
【実施例】図１に本発明の概略の構成を示す。電気伝導
性の放電加工電極１と電気抵抗性被加工物２を、加工槽
４内の絶縁性加工液３に浸した状態で、放電加工電極１
を放電加工電源５の正極に接続し、被加工物を負極に接
続して、放電加工電極１と被加工物２の間に絶縁性加工
液体３を介して放電を起こすことにより電気抵抗性被加
工物２が放電加工される。絶縁性加工液としては、ケロ
シンまたは純水等が使用できる。放電加工電源５として
は蓄勢式放電加工電源が使用できる。
性の放電加工電極１と電気抵抗性被加工物２を、加工槽
４内の絶縁性加工液３に浸した状態で、放電加工電極１
を放電加工電源５の正極に接続し、被加工物を負極に接
続して、放電加工電極１と被加工物２の間に絶縁性加工
液体３を介して放電を起こすことにより電気抵抗性被加
工物２が放電加工される。絶縁性加工液としては、ケロ
シンまたは純水等が使用できる。放電加工電源５として
は蓄勢式放電加工電源が使用できる。
【０００９】蓄勢式とは、放電のエネルギーを電源回路
中に電荷としてコンデンサに蓄積し、これを放電エネル
ギーとして放出し、再びコンデンサに蓄積し、放電させ
るというサイクルを高速に繰り返すものである。このよ
うなコンデンサを用いた放電電源回路は、例えば使用す
るコンデンサ容量を数１００ｐＦと小さくする事により
、トランジスタを用いた回路に比較して容易に１μＪ程
度の極めて小さい放電エネルギーを得る事が出来る。
中に電荷としてコンデンサに蓄積し、これを放電エネル
ギーとして放出し、再びコンデンサに蓄積し、放電させ
るというサイクルを高速に繰り返すものである。このよ
うなコンデンサを用いた放電電源回路は、例えば使用す
るコンデンサ容量を数１００ｐＦと小さくする事により
、トランジスタを用いた回路に比較して容易に１μＪ程
度の極めて小さい放電エネルギーを得る事が出来る。
【００１０】特に５〜１０Ωｃｍ程度の体積固有抵抗を
持つＭｎ−Ｚｎフェライトに対しては、１〜１００μＪ
程度の放電エネルギー領域において放電加工を可能にす
るものである。例えば、例えば電圧１００Ｖ，コンデン
サ容量５０００ｐＦの場合、約２５μＪ放電エネルギー
以下の領域において、放電加工を可能とするものである
。このような電源の正極に電気伝導性加工電極１を接続
し、負極に電気抵抗性材料あるいはＭｎ−Ｚｎフェライ
トからなる被加工物２を接続し、絶縁性加工液３を介し
て放電を起こし、前記Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる被
加工物２を放電加工する。
持つＭｎ−Ｚｎフェライトに対しては、１〜１００μＪ
程度の放電エネルギー領域において放電加工を可能にす
るものである。例えば、例えば電圧１００Ｖ，コンデン
サ容量５０００ｐＦの場合、約２５μＪ放電エネルギー
以下の領域において、放電加工を可能とするものである
。このような電源の正極に電気伝導性加工電極１を接続
し、負極に電気抵抗性材料あるいはＭｎ−Ｚｎフェライ
トからなる被加工物２を接続し、絶縁性加工液３を介し
て放電を起こし、前記Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる被
加工物２を放電加工する。
【００１１】
【実施例１】超硬合金からなる直径０．２ｍｍの円筒形
の放電加工電極１、蓄勢式放電加工電源５および絶縁性
加工液３としてケロシンを用いて，体積固有抵抗が１０
ΩｃｍのＭｎ−Ｚｎフェライトからなる平板状の被加工
物２に放電加工を行った。この円筒形超硬合金の放電加
工電極１を正極とし、Ｍｎ−Ｚｎ−フェライトからなる
平板状の被加工物２を負極とし、蓄勢式放電加工電源５
の放電加工電圧を１１０Ｖ，コンデンサ容量を３３００
ｐＦとし，放電加工電極１の回転速度を３５００ｒｐｍ
とした場合、放電加工速度２μｍ／ｓｅｃでＭｎ−Ｚｎ
フェライトからなる平板状の被加工物２に穴が形成され
た。形成された穴の加工面は極めてなめらかで、クラッ
クは観察されなかった。この際、放電加工電極はほとん
ど消耗せず、連続的に精度の高い加工が可能であった。
の放電加工電極１、蓄勢式放電加工電源５および絶縁性
加工液３としてケロシンを用いて，体積固有抵抗が１０
ΩｃｍのＭｎ−Ｚｎフェライトからなる平板状の被加工
物２に放電加工を行った。この円筒形超硬合金の放電加
工電極１を正極とし、Ｍｎ−Ｚｎ−フェライトからなる
平板状の被加工物２を負極とし、蓄勢式放電加工電源５
の放電加工電圧を１１０Ｖ，コンデンサ容量を３３００
ｐＦとし，放電加工電極１の回転速度を３５００ｒｐｍ
とした場合、放電加工速度２μｍ／ｓｅｃでＭｎ−Ｚｎ
フェライトからなる平板状の被加工物２に穴が形成され
た。形成された穴の加工面は極めてなめらかで、クラッ
クは観察されなかった。この際、放電加工電極はほとん
ど消耗せず、連続的に精度の高い加工が可能であった。
【００１２】同様な条件で加工電圧の極性のみを逆にし
て比較した。すなわち、放電加工電極を負極とし、Ｍｎ
−Ｚｎフェライトからなる被加工物を正極とした場合は
、被加工物はほとんど放電加工されなかった。
て比較した。すなわち、放電加工電極を負極とし、Ｍｎ
−Ｚｎフェライトからなる被加工物を正極とした場合は
、被加工物はほとんど放電加工されなかった。
【００１３】
【実施例２】実施例１と同じ放電加工装置を用い、被加
工物２として体積固有抵抗が約１Ωｃｍのシリコンの単
結晶からなる平板状の被加工物に放電加工を行った。放
電加工電極１を正極とし、シリコンの単結晶からなる平
板状の被加工物を負極性とし、蓄勢式放電加工電源５の
加工電圧を１１０Ｖ，コンデンサ容量を３３００ｐＦと
し，加工電極１の回転速度を３５００ｒｐｍとした場合
、放電加工速度１．８μｍ／ｓｅｃ程度でシリコンの単
結晶からなる平板状の被加工物に穴が形成された。ただ
し、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの場合と異なり、放電加工電
極は、被加工物の加工量に対して約０．５体積パーセン
ト程度の消耗が認められた。
工物２として体積固有抵抗が約１Ωｃｍのシリコンの単
結晶からなる平板状の被加工物に放電加工を行った。放
電加工電極１を正極とし、シリコンの単結晶からなる平
板状の被加工物を負極性とし、蓄勢式放電加工電源５の
加工電圧を１１０Ｖ，コンデンサ容量を３３００ｐＦと
し，加工電極１の回転速度を３５００ｒｐｍとした場合
、放電加工速度１．８μｍ／ｓｅｃ程度でシリコンの単
結晶からなる平板状の被加工物に穴が形成された。ただ
し、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの場合と異なり、放電加工電
極は、被加工物の加工量に対して約０．５体積パーセン
ト程度の消耗が認められた。
【００１４】同様な条件で加工電圧の極性のみを逆にし
て比較した。すなわち、放電加工電極を負極とし、シリ
コンの単結晶からなる被加工物を正極とした場合は、被
加工物を負極とした場合に比べ、放電加工速度が２５パ
ーセント程度低下した。また放電加工電極は、被加工物
の加工量に対して約５体積パーセント程度消耗し、被加
工物を負極とした場合に比べ放電加工電極の消耗が約１
０倍に増加した。従って、放電加工電極を正極とし、被
加工物を負極にする場合の方が放電加工効率が良好であ
る事がわかった。
て比較した。すなわち、放電加工電極を負極とし、シリ
コンの単結晶からなる被加工物を正極とした場合は、被
加工物を負極とした場合に比べ、放電加工速度が２５パ
ーセント程度低下した。また放電加工電極は、被加工物
の加工量に対して約５体積パーセント程度消耗し、被加
工物を負極とした場合に比べ放電加工電極の消耗が約１
０倍に増加した。従って、放電加工電極を正極とし、被
加工物を負極にする場合の方が放電加工効率が良好であ
る事がわかった。
【００１５】
【比較例１】実施例１と同じ放電加工装置を用い、被加
工物２として体積固有抵抗が約２．８×１０−２Ωｃｍ
のＳｉＣセラミックスからなる平板状の被加工物に放電
加工を行った。放電加工電極１を正極とし、ＳｉＣセラ
ミックスからなる平板状の被加工物を負極とし、蓄勢式
放電加工電源５の加工電圧を１１０Ｖ，コンデンサ容量
を３３００ｐＦとし，放電加工電極１の回転速度を３５
００ｒｐｍとした場合、放電加工速度０．９μｍ／ｓｅ
ｃ程度でＳｉＣセラミックスからなる平板状の被加工物
に穴が形成された。この時の放電加工電極の消耗は３０
体積パーセント程度であった。
工物２として体積固有抵抗が約２．８×１０−２Ωｃｍ
のＳｉＣセラミックスからなる平板状の被加工物に放電
加工を行った。放電加工電極１を正極とし、ＳｉＣセラ
ミックスからなる平板状の被加工物を負極とし、蓄勢式
放電加工電源５の加工電圧を１１０Ｖ，コンデンサ容量
を３３００ｐＦとし，放電加工電極１の回転速度を３５
００ｒｐｍとした場合、放電加工速度０．９μｍ／ｓｅ
ｃ程度でＳｉＣセラミックスからなる平板状の被加工物
に穴が形成された。この時の放電加工電極の消耗は３０
体積パーセント程度であった。
【００１６】同様な条件で放電加工電圧の極性のみを逆
にして比較した。すなわち、放電加工電極を負極とし、
ＳｉＣセラミックスからなる被加工物を正極とした場合
は、被加工物を負極とした場合に比べ、放電加工速度が
１０パーセント程度大きくなった。また放電加工電極は
被加工物の加工量に対して約８体積パーセント程度消耗
し、被加工物を負極とした場合に比べ放電加工電極の消
耗が約１／４程度に低下した。従って、顕著な違いは無
いとはいえ、放電加工電極を負極とし、被加工物を正極
とする場合の方がわずかながら放電加工効率が良好であ
った。
にして比較した。すなわち、放電加工電極を負極とし、
ＳｉＣセラミックスからなる被加工物を正極とした場合
は、被加工物を負極とした場合に比べ、放電加工速度が
１０パーセント程度大きくなった。また放電加工電極は
被加工物の加工量に対して約８体積パーセント程度消耗
し、被加工物を負極とした場合に比べ放電加工電極の消
耗が約１／４程度に低下した。従って、顕著な違いは無
いとはいえ、放電加工電極を負極とし、被加工物を正極
とする場合の方がわずかながら放電加工効率が良好であ
った。
【００１７】
【比較例２】実施例１と同じ放電加工装置を用い、被加
工物２として体積固有抵抗が約３．４×１０−５Ωｃｍ
のＴｉＣＮセラミックスからなる平板状の被加工物に放
電加工を行った。放電加工電極側１を正極とし、ＴｉＣ
Ｎセラミックスからなる平板状の被加工物を負極性とし
、蓄勢式放電加工電源５の加工電圧を１１０Ｖ，コンデ
ンサ容量を３３００ｐＦとし，放電加工電極１の回転速
度を３５００ｒｐｍ、とした場合、放電加工速度０．７
μｍ／ｓｅｃ程度でＴｉＣＮセラミックスからなる平板
状の被加工物に穴が形成された。この時の放電加工電極
の消耗は被加工物の加工量に対して約１５０体積パーセ
ントであった。
工物２として体積固有抵抗が約３．４×１０−５Ωｃｍ
のＴｉＣＮセラミックスからなる平板状の被加工物に放
電加工を行った。放電加工電極側１を正極とし、ＴｉＣ
Ｎセラミックスからなる平板状の被加工物を負極性とし
、蓄勢式放電加工電源５の加工電圧を１１０Ｖ，コンデ
ンサ容量を３３００ｐＦとし，放電加工電極１の回転速
度を３５００ｒｐｍ、とした場合、放電加工速度０．７
μｍ／ｓｅｃ程度でＴｉＣＮセラミックスからなる平板
状の被加工物に穴が形成された。この時の放電加工電極
の消耗は被加工物の加工量に対して約１５０体積パーセ
ントであった。
【００１８】同様な条件で放電加工電圧の極性のみを逆
にして比較した。すなわち、放電加工電極を負極とし、
ＴｉＣＮセラミックスからなる被加工物を正極とした場
合は、被加工物を負極とした場合に比べ、放電加工速度
が５０パーセント程度大きくなった。また放電加工電極
は被加工物の加工量に対して約１０体積パーセント程度
消耗し、被加工物を負極とした場合に比べ放電加工電極
の消耗が約１／１５に低下した。従って、放電加工電極
を負極とし、被加工物を正極とする場合の方放電加工効
率が良好であった。
にして比較した。すなわち、放電加工電極を負極とし、
ＴｉＣＮセラミックスからなる被加工物を正極とした場
合は、被加工物を負極とした場合に比べ、放電加工速度
が５０パーセント程度大きくなった。また放電加工電極
は被加工物の加工量に対して約１０体積パーセント程度
消耗し、被加工物を負極とした場合に比べ放電加工電極
の消耗が約１／１５に低下した。従って、放電加工電極
を負極とし、被加工物を正極とする場合の方放電加工効
率が良好であった。
【００１９】以上の実施例１から比較例２までの関係を
図２に示す。縦軸は、各材料における放電電圧極性によ
る加工速度の比の対数である。すなわち、縦軸は、被加
工物が正極の場合の加工速度に対する被加工物が負極の
場合の加工速度の比の対数であり、次式で表される値で
ある。ｌｏｇ（被加工物が正極時の加工速度／被加工物
が負極時の加工速度）横軸には被加工物材料の体積固有
抵抗を対数で表している。図２によれば、体積固有抵抗
が１００Ωｃｍ以上の電気抵抗性材料においては、放電
加工極性が電気伝導性被加工物の場合と逆になることを
示している。図２には、体積固有抵抗が５ΩｃｍのＭｎ
−Ｚｎフェライトおよび体積固有抵抗が約１．０×１０
−４Ωｃｍのステンレス（ＳＵＳ３０４）の場合の結果
も示している。使用した装置は実施例１と同様であり、
詳細な説明は省略した。
図２に示す。縦軸は、各材料における放電電圧極性によ
る加工速度の比の対数である。すなわち、縦軸は、被加
工物が正極の場合の加工速度に対する被加工物が負極の
場合の加工速度の比の対数であり、次式で表される値で
ある。ｌｏｇ（被加工物が正極時の加工速度／被加工物
が負極時の加工速度）横軸には被加工物材料の体積固有
抵抗を対数で表している。図２によれば、体積固有抵抗
が１００Ωｃｍ以上の電気抵抗性材料においては、放電
加工極性が電気伝導性被加工物の場合と逆になることを
示している。図２には、体積固有抵抗が５ΩｃｍのＭｎ
−Ｚｎフェライトおよび体積固有抵抗が約１．０×１０
−４Ωｃｍのステンレス（ＳＵＳ３０４）の場合の結果
も示している。使用した装置は実施例１と同様であり、
詳細な説明は省略した。
【００２０】さらに被加工物がＭｎ−Ｚｎフェライトで
体積固有抵抗が５〜１０Ωｃｍ程度の場合でも、被加工
物を負極にすることにより放電加工が可能となることが
わかった。
体積固有抵抗が５〜１０Ωｃｍ程度の場合でも、被加工
物を負極にすることにより放電加工が可能となることが
わかった。
【００２１】
【発明の効果】本発明によって、被加工物が抵抗性材料
の場合でも、放電電極の消耗が少なく高精度な微細加工
が可能になる。さらに本発明によって、従来の放電加工
方法では加工がほとんどできなかったＭｎ−Ｚｎフェラ
イト材料に対しても高精度な微細加工が可能になる。
の場合でも、放電電極の消耗が少なく高精度な微細加工
が可能になる。さらに本発明によって、従来の放電加工
方法では加工がほとんどできなかったＭｎ−Ｚｎフェラ
イト材料に対しても高精度な微細加工が可能になる。
【００２２】
【図１】図１は、本発明の概略構成図である。
【図２】図２は、本発明の放電加工方法による加工性を
示すデータである。
示すデータである。
Claims (2)
- 【請求項１】電気伝導性加工電極と被加工物の間に絶縁
性液を介して放電を起こさせ、前記被加工物を加工する
放電加工方法において、前記被加工物を電気抵抗性材料
からなる被加工物とし、前記電気伝導性加工電極の極性
を正極とし前記電気抵抗性材料からなる被加工物を負極
として前記電気抵抗性材料からなる被加工物を放電加工
する放電加工方法。 - 【請求項２】電気伝導性加工電極と被加工物の間に絶縁
性液を介して放電を起こさせ、前記被加工物を加工する
放電加工方法において、前記被加工物をＭｎ−Ｚｎフェ
ライトからなる被加工物とし、前記電気伝導性加工電極
の極性を正極とし前記Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる被
加工物を負極として前記Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる
被加工物を放電加工する放電加工方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3031688A JPH04256520A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 放電加工方法 |
| US08/218,845 US5498848A (en) | 1991-01-31 | 1994-03-28 | Method and apparatus for electric discharge machining |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3031688A JPH04256520A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 放電加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04256520A true JPH04256520A (ja) | 1992-09-11 |
Family
ID=12338024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3031688A Pending JPH04256520A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 放電加工方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5498848A (ja) |
| JP (1) | JPH04256520A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8168913B2 (en) * | 2009-05-28 | 2012-05-01 | General Electric Company | Electric discharge machining die sinking device |
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| US20070284339A1 (en) * | 2006-06-09 | 2007-12-13 | Moore David O | Plasma etching chamber parts made with EDM |
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| EP2524834A1 (de) | 2011-05-18 | 2012-11-21 | Brusa Elektronik AG | Vorrichtung zum induktiven Laden zumindest eines elektrischen Energiespeichers eines Elektrofahrzeuges |
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| US3558843A (en) * | 1967-04-17 | 1971-01-26 | Oconnor Thomas John | Means for and method of electrical machining with a heated electrode |
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1991
- 1991-01-31 JP JP3031688A patent/JPH04256520A/ja active Pending
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1994
- 1994-03-28 US US08/218,845 patent/US5498848A/en not_active Expired - Lifetime
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| US8963041B2 (en) | 2009-05-28 | 2015-02-24 | General Electric Company | Electric discharge machining die sinking device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5498848A (en) | 1996-03-12 |
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