JPH04256333A - ウェーハカセット歪み検査装置 - Google Patents
ウェーハカセット歪み検査装置Info
- Publication number
- JPH04256333A JPH04256333A JP3017258A JP1725891A JPH04256333A JP H04256333 A JPH04256333 A JP H04256333A JP 3017258 A JP3017258 A JP 3017258A JP 1725891 A JP1725891 A JP 1725891A JP H04256333 A JPH04256333 A JP H04256333A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cassette
- wafer
- grooves
- gauge plate
- pusher
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子製造工程に
おけるウェーハを複数枚収納するウェーハカセットの形
状精度の良否を判定するウェーハカセット歪み検査装置
に関する。
おけるウェーハを複数枚収納するウェーハカセットの形
状精度の良否を判定するウェーハカセット歪み検査装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体素子製造工程では、数種
の工程があり、同じ工程でも何回にわたり、ウェーハを
流すことがある。従って、ウェーハは工程間で運搬・移
載の作業が繰返して行われる。通常、これら工程間での
ウェーハの運搬・載置に際しては、ウェーハカセットと
呼ばれるケースが用いられている。このウェーハカセッ
トは、プラスチック材で形成される棚状のケースであり
、複数枚のウェーハが一緒に収納されるようになってい
る。
の工程があり、同じ工程でも何回にわたり、ウェーハを
流すことがある。従って、ウェーハは工程間で運搬・移
載の作業が繰返して行われる。通常、これら工程間での
ウェーハの運搬・載置に際しては、ウェーハカセットと
呼ばれるケースが用いられている。このウェーハカセッ
トは、プラスチック材で形成される棚状のケースであり
、複数枚のウェーハが一緒に収納されるようになってい
る。
【０００３】これらウェーハカセットは、装置によって
は、加熱されたり、あるいは冷却されたり、種々のスト
レスが与えられ、しばしば変形することがある。このよ
うな変形を早期に見つけないと、自動化された装置に移
載するときに、ウェーハを取外すことが出来なくなった
りする問題を生ずる。このため、定期的あるいは必要に
応じてカセットの溝の歪みあるいは外形の変形度を汎用
の測定器で測定したり、あるいは目視でチェックを行い
、使用可・不可の検査を行っていた。
は、加熱されたり、あるいは冷却されたり、種々のスト
レスが与えられ、しばしば変形することがある。このよ
うな変形を早期に見つけないと、自動化された装置に移
載するときに、ウェーハを取外すことが出来なくなった
りする問題を生ずる。このため、定期的あるいは必要に
応じてカセットの溝の歪みあるいは外形の変形度を汎用
の測定器で測定したり、あるいは目視でチェックを行い
、使用可・不可の検査を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ウェー
ハカセットの変形歪みを測定するのに、ノギス、マイク
ロメータあるいは光学投影機などを使い分けて検査する
ので、検査工数が多大に必要となるばかりでなく、煩わ
しいという欠点がある。
ハカセットの変形歪みを測定するのに、ノギス、マイク
ロメータあるいは光学投影機などを使い分けて検査する
ので、検査工数が多大に必要となるばかりでなく、煩わ
しいという欠点がある。
【０００５】本発明の目的はかかる欠点を解消すべく、
より簡単に判別出来るウェーハカセット歪み検査装置を
提供することである。
より簡単に判別出来るウェーハカセット歪み検査装置を
提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のウェーハカセッ
ト歪み検査装置は、ウェーハの外形基準寸法をもちかつ
許容平坦度内のケージプレートの複数枚が取付けられる
プッシャーと、ウェーハが収納される溝と平行にウェー
ハカセットを乗せる載置面を有する試料台と、この試料
台の一端側に前記ウェーハカセットに対向して配置され
る近接度検知用の検知器と、前記プッシャーを前記試料
台に移動させる移動機構とを備えている。
ト歪み検査装置は、ウェーハの外形基準寸法をもちかつ
許容平坦度内のケージプレートの複数枚が取付けられる
プッシャーと、ウェーハが収納される溝と平行にウェー
ハカセットを乗せる載置面を有する試料台と、この試料
台の一端側に前記ウェーハカセットに対向して配置され
る近接度検知用の検知器と、前記プッシャーを前記試料
台に移動させる移動機構とを備えている。
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。
。
【０００７】図１（ａ）及び（ｂ）は本発明のウェーハ
カセット歪み検査装置の平面図及び側面図である。この
ウェーハカセット歪み検査装置は、同図に示すように、
基準のウェーハ寸法と許容寸法内の平坦度を有するゲー
ジプレート１が上下及び中段の三枚程度平行に取付けら
れるプッシャー５と、ウェーハカセット６を溝４と載置
面と平行にして乗せる試料台２と、試料台２の端にウェ
ーハカセット６に対向して配置される光学式の検知器３
と、試料台２に対してプッシャー５を往復移動させる駆
動機構とを有している。
カセット歪み検査装置の平面図及び側面図である。この
ウェーハカセット歪み検査装置は、同図に示すように、
基準のウェーハ寸法と許容寸法内の平坦度を有するゲー
ジプレート１が上下及び中段の三枚程度平行に取付けら
れるプッシャー５と、ウェーハカセット６を溝４と載置
面と平行にして乗せる試料台２と、試料台２の端にウェ
ーハカセット６に対向して配置される光学式の検知器３
と、試料台２に対してプッシャー５を往復移動させる駆
動機構とを有している。
【０００８】また、試料台２の積載面は、ウェーハとウ
ェーハカセットの摩擦係数と同程度の材質で形成されて
いる。さらに、ゲージプレート１の位置は、ウェーハカ
セット６の溝４の中心の位置になるように取付けられて
いる。一方、検知器は、光学式のもので、投射される光
が反射し、その反射光の強度で、ウェーハカセット６が
検知器３に近接したか否かを判定する。
ェーハカセットの摩擦係数と同程度の材質で形成されて
いる。さらに、ゲージプレート１の位置は、ウェーハカ
セット６の溝４の中心の位置になるように取付けられて
いる。一方、検知器は、光学式のもので、投射される光
が反射し、その反射光の強度で、ウェーハカセット６が
検知器３に近接したか否かを判定する。
【０００９】次に、このウェーハカセット歪み検査装置
の動作を説明する。まず、ウェーハカセット６を試料台
２の所定の位置に載置する。次に、駆動機構を駆動させ
、プッシャー５を移動させる。この動作により、ゲージ
プレート１が徐々に溝４内に挿入し始める。もし、この
とき、ウェーハカセット６の溝４が変形したり、歪みが
あると、ゲージプレート１は溝４に挿入されず、ゲージ
プレート１は溝４の変形部に当り、ウェーハカセット６
は試料台２の上をすべる。このことにより、ウェーハカ
セット６は検知器３に近づき、検知器３は不可と判定す
る。また、ウェーハカセット６の溝４に変形や歪みが少
ないとき、プッシャー５が移動しても、ゲージプレート
１は溝４に収納され、所定の位置で停止し、再びプッシ
ャー５は原位置に戻る。
の動作を説明する。まず、ウェーハカセット６を試料台
２の所定の位置に載置する。次に、駆動機構を駆動させ
、プッシャー５を移動させる。この動作により、ゲージ
プレート１が徐々に溝４内に挿入し始める。もし、この
とき、ウェーハカセット６の溝４が変形したり、歪みが
あると、ゲージプレート１は溝４に挿入されず、ゲージ
プレート１は溝４の変形部に当り、ウェーハカセット６
は試料台２の上をすべる。このことにより、ウェーハカ
セット６は検知器３に近づき、検知器３は不可と判定す
る。また、ウェーハカセット６の溝４に変形や歪みが少
ないとき、プッシャー５が移動しても、ゲージプレート
１は溝４に収納され、所定の位置で停止し、再びプッシ
ャー５は原位置に戻る。
【００１０】このようなウェーハカセット歪み検査装置
を用いれば、一つのウェーハカセットの歪み検査で数十
秒程度で判定出来る。また、検査の難易度を調節するに
は、試料台の載置面の摩擦係数を変えるだけで容易に変
更出来る。
を用いれば、一つのウェーハカセットの歪み検査で数十
秒程度で判定出来る。また、検査の難易度を調節するに
は、試料台の載置面の摩擦係数を変えるだけで容易に変
更出来る。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ウェーハ
の基準寸法をもちかつ許容平坦度内のゲージプレートを
取付けるプッシャーと、ウェーハの収納溝と平行な載置
面をも試料台と、試料台に取付けられるとともにウェー
ハカセットに対向して配置される近接検出器とを設け、
ウェーハカセットの歪みの有無をゲージプレートがウェ
ーハカセットの溝内に収納されるか否かで判定出来るこ
とによって、極めて簡単に短時間で検査出来るウェーハ
カセット歪み検査装置が得られるという効果がある。
の基準寸法をもちかつ許容平坦度内のゲージプレートを
取付けるプッシャーと、ウェーハの収納溝と平行な載置
面をも試料台と、試料台に取付けられるとともにウェー
ハカセットに対向して配置される近接検出器とを設け、
ウェーハカセットの歪みの有無をゲージプレートがウェ
ーハカセットの溝内に収納されるか否かで判定出来るこ
とによって、極めて簡単に短時間で検査出来るウェーハ
カセット歪み検査装置が得られるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すウェーハカセット歪み
検査装置の平面図及び側面図である。
検査装置の平面図及び側面図である。
１ ゲージプレート
２ 試料台
３ 検知器
４ 溝
５ プッシャー
６ ウェーハカセット
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハの外形基準寸法をもちかつ許
容平坦度内のケージプレートの複数枚取付けられるプッ
シャーと、ウェーハが収納される溝と平行にウェーハカ
セットを乗せる載置面を有する試料台と、この試料台の
一端側に前記ウェーハカセットに対向して配置される近
接度検知用の検知器と、前記プッシャーを前記試料台に
移動させる移動機構とを備えることを特徴とするウェー
ハカセット歪み検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3017258A JPH04256333A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | ウェーハカセット歪み検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3017258A JPH04256333A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | ウェーハカセット歪み検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04256333A true JPH04256333A (ja) | 1992-09-11 |
Family
ID=11938939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3017258A Pending JPH04256333A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | ウェーハカセット歪み検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04256333A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2744799A1 (fr) * | 1996-02-08 | 1997-08-14 | Sgs Thomson Microelectronics | Appareil de controle de cassettes de transport de plaquettes de semiconducteur |
-
1991
- 1991-02-08 JP JP3017258A patent/JPH04256333A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2744799A1 (fr) * | 1996-02-08 | 1997-08-14 | Sgs Thomson Microelectronics | Appareil de controle de cassettes de transport de plaquettes de semiconducteur |
| US5929766A (en) * | 1996-02-08 | 1999-07-27 | Stmicroelectronics, S.A. | Device for controlling semiconductor wafer transport cassettes |
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