JPH0425334A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
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- JPH0425334A JPH0425334A JP2125379A JP12537990A JPH0425334A JP H0425334 A JPH0425334 A JP H0425334A JP 2125379 A JP2125379 A JP 2125379A JP 12537990 A JP12537990 A JP 12537990A JP H0425334 A JPH0425334 A JP H0425334A
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- driven body
- positioning device
- stage
- damper
- plane
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- 238000013016 damping Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
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- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は各種測定機又は半導体リソグラフィ工程で用い
る露光焼付装置において高速、高精度で物体の位置決め
をする位置決め装置に関するものである。
る露光焼付装置において高速、高精度で物体の位置決め
をする位置決め装置に関するものである。
[従来の技術]
従来、被駆動体を目標とする平面に対して上下方向およ
び傾斜方向に位置決めする装置の構成としては被駆動体
の案内方式としてころがり又は、すべりを用い、駆動源
としてパルスモータ等を用いたものがあった。またより
高精度な位置決めを目的として、案内方式として板ばね
等による弾性支持方式を用い、駆動源として圧電素子等
を用いたものがあった。
び傾斜方向に位置決めする装置の構成としては被駆動体
の案内方式としてころがり又は、すべりを用い、駆動源
としてパルスモータ等を用いたものがあった。またより
高精度な位置決めを目的として、案内方式として板ばね
等による弾性支持方式を用い、駆動源として圧電素子等
を用いたものがあった。
[発明が解決しようとするn題]
しかしながら、上記従来例では、その装置が水平方向又
は回転方向の位置決め手段である例えばX−Yステージ
等に搭載されて使用されるとき、X−Yステージの起動
、停止時の加速度により励起される被駆動体の振動によ
り位置決め時間が長くなるという欠点があった。また、
X−Yステージの姿勢精度の影響で、位置決め精度が劣
化するという欠点があった。
は回転方向の位置決め手段である例えばX−Yステージ
等に搭載されて使用されるとき、X−Yステージの起動
、停止時の加速度により励起される被駆動体の振動によ
り位置決め時間が長くなるという欠点があった。また、
X−Yステージの姿勢精度の影響で、位置決め精度が劣
化するという欠点があった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたものであり
て、被駆動体への振動の影響を軽減した位置決め装置の
提供を目的とする。
て、被駆動体への振動の影響を軽減した位置決め装置の
提供を目的とする。
[課題を解決するための手段及び作用]本発明によれば
、上下および傾斜方向の位置決め装置における被駆動体
とこの装置が搭載される面との間で被駆動体を駆動する
複数のアクチュエータの配置と位相をずらした位置にダ
ンパを設けることにより、被駆動体の振動を効果的に減
衰させる。
、上下および傾斜方向の位置決め装置における被駆動体
とこの装置が搭載される面との間で被駆動体を駆動する
複数のアクチュエータの配置と位相をずらした位置にダ
ンパを設けることにより、被駆動体の振動を効果的に減
衰させる。
[実施例]
第1図は本発明の一実施例の平面図、第2図は第1図の
A−A断面図を示す、1は被駆動体、2はアクチュエー
タであるところの圧電素子、3は固定部材、4は弾性ヒ
ンジ部材である。圧電素子2は固定部材3、弾性ヒンジ
部材4に接着等の手段で固定される0弾性ヒンジ部材4
はボルト締結等の手段で被駆動体1に固定され固定部材
3はボルト締結等の手段でX−Yステージ9に固定され
、図に示すように、略3等分の位置に配置される。5は
被駆動体1に固定されたセンサホルダ、6は例えば渦電
流式、又は静電容量式等の非接触変位計で定盤10のX
−Yステージ9が搭載される基準面10aに適当なすき
間を持って対向するように固定され、また図に示すよう
に略3等分の位置に配置される。7はX−Yステージ9
に固定された支持部材、8は板ばねで板ばね8の一端は
支持部材7に固定され、他端は被駆動体1に固定され図
に示すように略3等分の位置に配置され被駆動体1を弾
性支持する。11は被駆動体1に固定された腕部材、1
2はダンパ用部材であるところの例えば制振ゴムで、腕
部材11に接着等の手段により固定されX−Yステージ
9に対して適当なつぶし代を持って図に示すようにアク
チュエータである圧電素子2の位置と位相をずらした位
置に配置される。被駆動体1にはX−Yステージ9の位
置計測用のレーザ測長用参照ミラー(図示しない)が設
けられている。
A−A断面図を示す、1は被駆動体、2はアクチュエー
タであるところの圧電素子、3は固定部材、4は弾性ヒ
ンジ部材である。圧電素子2は固定部材3、弾性ヒンジ
部材4に接着等の手段で固定される0弾性ヒンジ部材4
はボルト締結等の手段で被駆動体1に固定され固定部材
3はボルト締結等の手段でX−Yステージ9に固定され
、図に示すように、略3等分の位置に配置される。5は
被駆動体1に固定されたセンサホルダ、6は例えば渦電
流式、又は静電容量式等の非接触変位計で定盤10のX
−Yステージ9が搭載される基準面10aに適当なすき
間を持って対向するように固定され、また図に示すよう
に略3等分の位置に配置される。7はX−Yステージ9
に固定された支持部材、8は板ばねで板ばね8の一端は
支持部材7に固定され、他端は被駆動体1に固定され図
に示すように略3等分の位置に配置され被駆動体1を弾
性支持する。11は被駆動体1に固定された腕部材、1
2はダンパ用部材であるところの例えば制振ゴムで、腕
部材11に接着等の手段により固定されX−Yステージ
9に対して適当なつぶし代を持って図に示すようにアク
チュエータである圧電素子2の位置と位相をずらした位
置に配置される。被駆動体1にはX−Yステージ9の位
置計測用のレーザ測長用参照ミラー(図示しない)が設
けられている。
上記構成において、圧電素子2に外部のコントローラか
ら指令電圧が印加されると、被駆動体1は上下方向およ
び傾斜方向に位置決めされる。また、被駆動体1はX−
Yステージ9によりx−y平面内の任意の位置に位置決
めされる。ここで、被駆動体1の上下方向および傾斜方
向の変位量は非接触変位計6により計測され、その出力
によって外部のコントローラからフィードバック制御さ
れるが、非接触変位計6は基準面10aに対向するよう
に配置されているため、X−Yステージ9の姿勢変化を
含めて被駆動体1の変位量が計測することができ、目標
とする平面に対して高精度な位置決めが可能となる。ま
たダンパ用部材である制振ゴム12がX−Yステージ9
に対して適当なつぶし代を持って図のように配置されて
いるため、X−Yステージ9の起動、停止時の加速度に
より励起される、Wx、Wy方向およびこれらの連成し
た方向の振動、また圧電素子2によって駆動したときの
残留振動や外乱による振動を効果的に減衰することかで
籾高精度でかつ高速な位置決めが可能となる。
ら指令電圧が印加されると、被駆動体1は上下方向およ
び傾斜方向に位置決めされる。また、被駆動体1はX−
Yステージ9によりx−y平面内の任意の位置に位置決
めされる。ここで、被駆動体1の上下方向および傾斜方
向の変位量は非接触変位計6により計測され、その出力
によって外部のコントローラからフィードバック制御さ
れるが、非接触変位計6は基準面10aに対向するよう
に配置されているため、X−Yステージ9の姿勢変化を
含めて被駆動体1の変位量が計測することができ、目標
とする平面に対して高精度な位置決めが可能となる。ま
たダンパ用部材である制振ゴム12がX−Yステージ9
に対して適当なつぶし代を持って図のように配置されて
いるため、X−Yステージ9の起動、停止時の加速度に
より励起される、Wx、Wy方向およびこれらの連成し
た方向の振動、また圧電素子2によって駆動したときの
残留振動や外乱による振動を効果的に減衰することかで
籾高精度でかつ高速な位置決めが可能となる。
被駆動体1を駆動するアクチュエータとして圧電素子に
限らず例えばモータと送りねじ等を用いてもよくまたテ
コやクサビを介して駆動してもよい。
限らず例えばモータと送りねじ等を用いてもよくまたテ
コやクサビを介して駆動してもよい。
板ばね8は被駆動体1に一体的に形成した弾性ヒンジで
もよい。
もよい。
ダンパ用部材としては制振ゴムに限らず例えばシリコン
オイル等の粘性抵抗による方式でもよい。
オイル等の粘性抵抗による方式でもよい。
X−Yステージは、−軸のテーブルまたは回転テーブル
でもよい。
でもよい。
[発明の効果]
以上説明したように、被駆動体を駆動するアクチュエー
タの配置と位相をずらした位置にダンパを配置すること
で、X−Yステージの起動、停止時の加速度により励起
される振動、アクチュエータによって駆動したときの残
留振動、外乱による振動を効果的に減衰することがで籾
高精度でかつ高速な位置決めができる。
タの配置と位相をずらした位置にダンパを配置すること
で、X−Yステージの起動、停止時の加速度により励起
される振動、アクチュエータによって駆動したときの残
留振動、外乱による振動を効果的に減衰することがで籾
高精度でかつ高速な位置決めができる。
第1図は本発明の一実施例の平面図、
第2図は第1図のA−A断面図である。
1:被駆動体、
2:圧電素子、
9 : X−Yステージ、
12:制振ゴム。
特許
出
願人
Claims (5)
- (1)基準面に対する被駆動体の垂直方向の位置および
傾斜角度位置を制御する位置決め装置であって、該装置
設置面と前記被駆動体との間に制振用ダンパ手段を介装
したことを特徴とする位置決め装置。 - (2)前記被駆動体の中心から放射状の複数箇所の位置
に該被駆動体を前記垂直方向に駆動するアクチュエータ
を備え、該アクチュエータの位置と位相をずらせた放射
状の複数箇所の位置に前記ダンパ手段を設けたことを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の位置決め装置。 - (3)前記ダンパ手段は制振ゴムからなることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の位置決め装置。 - (4)前記ダンパ手段は流体の粘性抵抗を利用した構成
からなることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
位置決め装置。 - (5)基準面と平行な平面内を移動可能なテーブル上に
設置されたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の位置決め装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12537990A JP3027165B2 (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 | 位置決め装置 |
US08/029,956 US5280677A (en) | 1990-05-17 | 1993-03-09 | Positioning mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12537990A JP3027165B2 (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 | 位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0425334A true JPH0425334A (ja) | 1992-01-29 |
JP3027165B2 JP3027165B2 (ja) | 2000-03-27 |
Family
ID=14908680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12537990A Expired - Fee Related JP3027165B2 (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3027165B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002530880A (ja) * | 1998-11-20 | 2002-09-17 | ライカ マイクロシステムス リトグラフィー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 基板支持装置 |
JP2006339263A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Z軸調整機構及び微動ステージ装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62266490A (ja) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | 株式会社東芝 | 精密位置決め装置 |
JPH01193133A (ja) * | 1988-01-28 | 1989-08-03 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 微動ステージ |
-
1990
- 1990-05-17 JP JP12537990A patent/JP3027165B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62266490A (ja) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | 株式会社東芝 | 精密位置決め装置 |
JPH01193133A (ja) * | 1988-01-28 | 1989-08-03 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 微動ステージ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002530880A (ja) * | 1998-11-20 | 2002-09-17 | ライカ マイクロシステムス リトグラフィー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 基板支持装置 |
JP2006339263A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Z軸調整機構及び微動ステージ装置 |
JP4489639B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2010-06-23 | 住友重機械工業株式会社 | Z軸調整機構及び微動ステージ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3027165B2 (ja) | 2000-03-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |