JPH04249674A - 真空容器 - Google Patents
真空容器Info
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- JPH04249674A JPH04249674A JP41540090A JP41540090A JPH04249674A JP H04249674 A JPH04249674 A JP H04249674A JP 41540090 A JP41540090 A JP 41540090A JP 41540090 A JP41540090 A JP 41540090A JP H04249674 A JPH04249674 A JP H04249674A
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- Japan
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- vacuum
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- vacuum container
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- Pending
Links
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、大気と隔絶して容器中
を減圧させる真空容器に関するものである。
を減圧させる真空容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の真空容器は、鉄、ステン
レス、アルミなどによって製作されている。
レス、アルミなどによって製作されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガラス
製真空容器は破損し易く危険なため真空容器としての使
用に難がある。鉄製真空容器は酸化の問題があるため真
空容器としての使用に難がある。
製真空容器は破損し易く危険なため真空容器としての使
用に難がある。鉄製真空容器は酸化の問題があるため真
空容器としての使用に難がある。
【０００４】ステンレスは耐蝕性や加工性などが良好で
あるから、真空容器の製作が有利となる反面、比重が大
きく真空容器が重くなる。又、放射線の半減期が比較的
長く、プラズマ等の熱による相転移の結果、磁化する等
が重要な問題になることがある。
あるから、真空容器の製作が有利となる反面、比重が大
きく真空容器が重くなる。又、放射線の半減期が比較的
長く、プラズマ等の熱による相転移の結果、磁化する等
が重要な問題になることがある。
【０００５】アルミ軽合金の場合は、一般に軽量で工作
容易な点が特徴であり、真空容器の製作が有利と考えら
れるが、軟質材料のため、製品化するには、表面に強化
被膜をつける必要があるという不具合があった。
容易な点が特徴であり、真空容器の製作が有利と考えら
れるが、軟質材料のため、製品化するには、表面に強化
被膜をつける必要があるという不具合があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するために軽量で強度が大きく、放射線の半減期が
比較的短く、磁化しない真空容器を提供することを目的
として開発したもので、具体的手段として、大気と隔絶
して容器中を減圧する蓋部、本体及び他の容器や真空ポ
ンプ・真空バルブ等の真空コンポーネントと接続するた
めのポートを備えた真空容器であって、上記真空容器に
軽量性、強度性、耐不触性等を付与する等のために、上
記真空容器を、金属チタンにより形成し、表面を不動態
膜化処理することを特徴とする真空容器を構成した。
解決するために軽量で強度が大きく、放射線の半減期が
比較的短く、磁化しない真空容器を提供することを目的
として開発したもので、具体的手段として、大気と隔絶
して容器中を減圧する蓋部、本体及び他の容器や真空ポ
ンプ・真空バルブ等の真空コンポーネントと接続するた
めのポートを備えた真空容器であって、上記真空容器に
軽量性、強度性、耐不触性等を付与する等のために、上
記真空容器を、金属チタンにより形成し、表面を不動態
膜化処理することを特徴とする真空容器を構成した。
【０００７】真空容器の製品化にあたっては、軽量化、
強度性、耐不触性等の点で優れた性質を保有しているこ
とが要求される。
強度性、耐不触性等の点で優れた性質を保有しているこ
とが要求される。
【０００８】本発明は、特許請求の範囲に記載したよう
に、真空容器の製作形成材料として、金属チタンを用い
ている点に特徴を有する。
に、真空容器の製作形成材料として、金属チタンを用い
ている点に特徴を有する。
【０００９】チタンの比重はアルミ合金の約１．６倍で
あるが、ステンレス鋼に比較すると６％足らずの軽量で
あり、引張強さはステンレス鋼に匹敵する高い値を有し
、比強度が極めて大きい。
あるが、ステンレス鋼に比較すると６％足らずの軽量で
あり、引張強さはステンレス鋼に匹敵する高い値を有し
、比強度が極めて大きい。
【００１０】本発明の真空容器の製作方法としては、各
種の方法が考えられるが、所定の品質、性能のものを工
業的に製作するには、金属チタンを真空容器形体に溶接
し、表面を不動態膜化処理することで、真空容器を製作
することができる。
種の方法が考えられるが、所定の品質、性能のものを工
業的に製作するには、金属チタンを真空容器形体に溶接
し、表面を不動態膜化処理することで、真空容器を製作
することができる。
【００１１】なお、金属チタンの融接方法としては、主
としてイナートガスアーク溶接法及び、高周波ロー付法
等が用いられる。
としてイナートガスアーク溶接法及び、高周波ロー付法
等が用いられる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明による真空容器の典型的な構造
説明図であり、図中１は真空容器全体、２は真空容器の
蓋体、３は真空容器の本体、４は他の容器や真空コンポ
ーネントを接続するためのポートを示し、上記真空容器
全体１を形成する材料は、金属チタンである。
説明図であり、図中１は真空容器全体、２は真空容器の
蓋体、３は真空容器の本体、４は他の容器や真空コンポ
ーネントを接続するためのポートを示し、上記真空容器
全体１を形成する材料は、金属チタンである。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、真空容器
の成形、製作にあたって、金属チタンを使用したから、
真空容器にチタンの特性を付加することが可能になった
。すなわち軽量である、強度性が高い、耐蝕性がある、
放射線の半減期が短い、熱等により磁化しない等の効果
を併有する真空容器を得ることができると共に、従来材
料の真空容器に匹敵する高精度で、しかも真空容器の目
的に適合した高品質の真空容器を供給することが可能と
なった。
の成形、製作にあたって、金属チタンを使用したから、
真空容器にチタンの特性を付加することが可能になった
。すなわち軽量である、強度性が高い、耐蝕性がある、
放射線の半減期が短い、熱等により磁化しない等の効果
を併有する真空容器を得ることができると共に、従来材
料の真空容器に匹敵する高精度で、しかも真空容器の目
的に適合した高品質の真空容器を供給することが可能と
なった。
【図１】本発明の真空容器の典型的な構造図である。
１ 真空容器全体
２ 真空容器の蓋体
３ 真空容器の本体
４ 他の容器や真空コンポーネントと接続するための
真空容器のポート
真空容器のポート
Claims (1)
- 【請求項１】 大気と隔絶して容器を減圧する蓋部、
本体及び他の容器や真空ポンプ・真空バルブ等の真空コ
ンポーネントと接続するためのポートを備えた真空容器
であって、上記真空容器は、金属チタンを溶接加工し、
表面処理されたものであることを特徴とする真空容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41540090A JPH04249674A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 真空容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41540090A JPH04249674A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 真空容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249674A true JPH04249674A (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=18523763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP41540090A Pending JPH04249674A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 真空容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04249674A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07251058A (ja) * | 1994-03-14 | 1995-10-03 | Tokyo Electron Ltd | 多角形耐圧容器及びその製造方法 |
| WO2002083286A1 (fr) * | 2001-03-26 | 2002-10-24 | Hiroki Kurisu | Recipient a vide en alliage au titane et element a vide |
| JP2016519741A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-07-07 | ハダル， インコーポレイテッド | 圧力容器を製造するためのシステムおよび方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6121471A (ja) * | 1984-07-06 | 1986-01-30 | Mitsubishi Electric Corp | 繊維強化プラスチツク製真空容器 |
| JPS6426065A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-27 | Nippon Steel Corp | Manufacture of pressure vessel made of titanium alloy |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP41540090A patent/JPH04249674A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6121471A (ja) * | 1984-07-06 | 1986-01-30 | Mitsubishi Electric Corp | 繊維強化プラスチツク製真空容器 |
| JPS6426065A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-27 | Nippon Steel Corp | Manufacture of pressure vessel made of titanium alloy |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07251058A (ja) * | 1994-03-14 | 1995-10-03 | Tokyo Electron Ltd | 多角形耐圧容器及びその製造方法 |
| WO2002083286A1 (fr) * | 2001-03-26 | 2002-10-24 | Hiroki Kurisu | Recipient a vide en alliage au titane et element a vide |
| US6841265B2 (en) | 2001-03-26 | 2005-01-11 | Yamaguchi Technology Licensing Organization, Ltd. | Titanium alloy vacuum and vacuum part |
| JP2016519741A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-07-07 | ハダル， インコーポレイテッド | 圧力容器を製造するためのシステムおよび方法 |
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