JPH04248511A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
- Publication number
- JPH04248511A JPH04248511A JP1330191A JP1330191A JPH04248511A JP H04248511 A JPH04248511 A JP H04248511A JP 1330191 A JP1330191 A JP 1330191A JP 1330191 A JP1330191 A JP 1330191A JP H04248511 A JPH04248511 A JP H04248511A
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- JP
- Japan
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- reflecting mirror
- scanning
- light
- scanned surface
- length
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 25
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光を応用して三次元物
体のある一点を測長し、光を走査することにより測定点
を移動させ再び測長することにより三次元物体の測長を
行う装置における光走査装置に関する。
体のある一点を測長し、光を走査することにより測定点
を移動させ再び測長することにより三次元物体の測長を
行う装置における光走査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】以下に従来の光走査装置について説明す
る。
る。
【０００３】図３に示すようにレーザー光源から発せら
れた矢印ａで示す方向に入射する測定光を縦方向に走査
するポリゴンミラー８と、ポリゴンミラー８を回転させ
る矢印ｂで示す方向に回転するモータ９と、ポリゴンミ
ラー８からの走査光を横方向に走査するポリゴンミラー
１０と、ポリゴンミラー１０を回転させる矢印ｃで示す
方向に回転するモータ１１で構成されている。但し、前
記の縦方向並びに横方向とは、走査面７における縦方向
並びに横方向のことを言う。
れた矢印ａで示す方向に入射する測定光を縦方向に走査
するポリゴンミラー８と、ポリゴンミラー８を回転させ
る矢印ｂで示す方向に回転するモータ９と、ポリゴンミ
ラー８からの走査光を横方向に走査するポリゴンミラー
１０と、ポリゴンミラー１０を回転させる矢印ｃで示す
方向に回転するモータ１１で構成されている。但し、前
記の縦方向並びに横方向とは、走査面７における縦方向
並びに横方向のことを言う。
【０００４】以上のように構成された光走査装置につい
て、以下その動作について説明する。
て、以下その動作について説明する。
【０００５】まず、レーザー光源から発せられた測定光
をポリゴンミラー８にあて、ポリゴンミラー８をモータ
９によって回転させて、縦方向に走査させる。次に、ポ
リゴンミラー８からの走査光をポリゴンミラー１０にあ
て、そのポリゴンミラー１０をモータ１１によって回転
させて、横方向に走査させる。
をポリゴンミラー８にあて、ポリゴンミラー８をモータ
９によって回転させて、縦方向に走査させる。次に、ポ
リゴンミラー８からの走査光をポリゴンミラー１０にあ
て、そのポリゴンミラー１０をモータ１１によって回転
させて、横方向に走査させる。
【０００６】このようにしてレーザー光源から発せられ
た測定光を、走査面７において縦方向並びに横方向に走
査させることができる。
た測定光を、走査面７において縦方向並びに横方向に走
査させることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、測定点により光路長が一定でないので、
結像法によって測長することができないという問題点を
有していた。
来の構成では、測定点により光路長が一定でないので、
結像法によって測長することができないという問題点を
有していた。
【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、走査される測定点の位置にかかわらず同等の光路長
で走査して三次元物体を結像法によって測長できる装置
を提供することを目的とする。
で、走査される測定点の位置にかかわらず同等の光路長
で走査して三次元物体を結像法によって測長できる装置
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の光走査装置は、測定光を走査面に垂直にかつ
走査面の反対方向に反射する第１の反射鏡と、第１の反
射鏡の反射光を、走査面に対して所定の角度をもって反
射するように配設した第２の反射鏡と、第２の反射鏡の
反射光を走査面に垂直にかつ走査面に向けて反射するよ
うに配設した第３の反射鏡を備え、第２の反射鏡と第３
の反射鏡を固着し走査面に平行な面上で移動させる手段
を有する移動台を備えた構成を有している。
に本発明の光走査装置は、測定光を走査面に垂直にかつ
走査面の反対方向に反射する第１の反射鏡と、第１の反
射鏡の反射光を、走査面に対して所定の角度をもって反
射するように配設した第２の反射鏡と、第２の反射鏡の
反射光を走査面に垂直にかつ走査面に向けて反射するよ
うに配設した第３の反射鏡を備え、第２の反射鏡と第３
の反射鏡を固着し走査面に平行な面上で移動させる手段
を有する移動台を備えた構成を有している。
【００１０】
【作用】この構成によって、第１の反射光から走査面ま
での全光路長を一定とすることとなる。
での全光路長を一定とすることとなる。
【００１１】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１２】図１に示すように、レーザー光源から発せ
られて矢印ｄで示す方向に入射する測定光を走査面６に
対して垂直にかつ走査面６とは反対方向に向けて反射す
る第１の反射鏡１と、第１の反射鏡１で反射された光を
走査面６に対して平行に反射するように走査面６に対し
て４５度の角度を持って配設した第２の反射鏡２と、第
２の反射鏡２の反射光を走査面６に垂直にかつ走査面６
に向けて反射するように、反射面が第２の反射鏡２の反
射面と垂直にかつ向き合って第３の反射鏡３を配設する
。第２の反射鏡２と第３の反射鏡３とを固着した移動台
４は、移動手段５によって走査面６に平行な平面上で任
意の位置へ移動される。
られて矢印ｄで示す方向に入射する測定光を走査面６に
対して垂直にかつ走査面６とは反対方向に向けて反射す
る第１の反射鏡１と、第１の反射鏡１で反射された光を
走査面６に対して平行に反射するように走査面６に対し
て４５度の角度を持って配設した第２の反射鏡２と、第
２の反射鏡２の反射光を走査面６に垂直にかつ走査面６
に向けて反射するように、反射面が第２の反射鏡２の反
射面と垂直にかつ向き合って第３の反射鏡３を配設する
。第２の反射鏡２と第３の反射鏡３とを固着した移動台
４は、移動手段５によって走査面６に平行な平面上で任
意の位置へ移動される。
【００１３】以上のように、構成された光走査装置につ
いて、図２を用いてその動作を説明する。
いて、図２を用いてその動作を説明する。
【００１４】図２（ａ）に示すように、第１の反射鏡１
により反射された測定光は走査面６に対して４５度の角
度を持って配置された第２の反射鏡２によって、走査面
６に平行に第３の反射鏡３に向かって反射される。
により反射された測定光は走査面６に対して４５度の角
度を持って配置された第２の反射鏡２によって、走査面
６に平行に第３の反射鏡３に向かって反射される。
【００１５】この時の第１の反射鏡１から第２の反射鏡
２までの光路長をＤ１とする。同様に第２の反射鏡２か
ら第３の反射鏡３までの光路長をＤ２とする。
２までの光路長をＤ１とする。同様に第２の反射鏡２か
ら第３の反射鏡３までの光路長をＤ２とする。
【００１６】第２の反射鏡２からの光を、反射面が第２
の反射鏡２の反射面と垂直に配置された第３の反射鏡３
によって走査面６に垂直に反射させ、走査面６において
光点が形成される。
の反射鏡２の反射面と垂直に配置された第３の反射鏡３
によって走査面６に垂直に反射させ、走査面６において
光点が形成される。
【００１７】この時の第３の反射鏡３から走査面６まで
の光路長をＤ３とする。すなわち、光源からの測定光が
反射される第１の反射鏡１から走査面６までの光路長の
総和はＤ１＋Ｄ２＋Ｄ３となる。
の光路長をＤ３とする。すなわち、光源からの測定光が
反射される第１の反射鏡１から走査面６までの光路長の
総和はＤ１＋Ｄ２＋Ｄ３となる。
【００１８】図２（ｂ）に示すように、走査面６に平行
な平面上で移動台４を距離ｌだけ移動させると走査面６
上の光点の位置は、距離２ｌ移動することとなる。
な平面上で移動台４を距離ｌだけ移動させると走査面６
上の光点の位置は、距離２ｌ移動することとなる。
【００１９】また、この時の第１の反射鏡１から走査面
６までのそれぞれの光路長を移動前の光路長Ｄ１，Ｄ２
およびＤ３に対応してそれぞれＤ１Ａ，Ｄ２ＡおよびＤ
３Ａとすると、Ｄ１ＡはＤ１＋ｌ、Ｄ２ＡはＤ２−２ｌ
およびＤ３ＡはＤ３＋ｌとなり、その総和はＤ１＋ｌ＋
Ｄ２−２ｌ＋Ｄ３＋ｌ＝Ｄ１＋Ｄ２＋Ｄ３となる。従っ
て、第１の反射鏡１から走査面６までの光路長の総和は
移動台４の移動を行ってもＤ１＋Ｄ２＋Ｄ３となり常に
一定値となる。
６までのそれぞれの光路長を移動前の光路長Ｄ１，Ｄ２
およびＤ３に対応してそれぞれＤ１Ａ，Ｄ２ＡおよびＤ
３Ａとすると、Ｄ１ＡはＤ１＋ｌ、Ｄ２ＡはＤ２−２ｌ
およびＤ３ＡはＤ３＋ｌとなり、その総和はＤ１＋ｌ＋
Ｄ２−２ｌ＋Ｄ３＋ｌ＝Ｄ１＋Ｄ２＋Ｄ３となる。従っ
て、第１の反射鏡１から走査面６までの光路長の総和は
移動台４の移動を行ってもＤ１＋Ｄ２＋Ｄ３となり常に
一定値となる。
【００２０】移動台４の移動を繰り返すことにより、走
査面６の光点の走査を行うことができる。また、この時
の第１の反射鏡１から走査面６までの光路長の総和は、
常にＤ１＋Ｄ２＋Ｄ３となり一定である。
査面６の光点の走査を行うことができる。また、この時
の第１の反射鏡１から走査面６までの光路長の総和は、
常にＤ１＋Ｄ２＋Ｄ３となり一定である。
【００２１】以上のように本実施例によれば、第１の反
射鏡１から走査面６までの光路長の総和を一定に保ちな
がら、光を任意の位置に走査することができ、結像法に
よって測長することができる。
射鏡１から走査面６までの光路長の総和を一定に保ちな
がら、光を任意の位置に走査することができ、結像法に
よって測長することができる。
【００２２】
【発明の効果】以上の実施例の説明からも明らかなよう
に本発明は、測定光を走査面に垂直にかつ走査面の反対
方向に反射する第１の反射鏡と、第１の反射鏡の反射光
を走査面に対して所定の角度をもって反射するように配
設した第２の反射鏡と、第２の反射鏡の反射光を走査面
に垂直にかつ走査面に向けて反射するように配設した第
３の反射鏡を備え、第２の反射鏡と第３の反射鏡を固着
し走査面に平行な面上で移動させる手段を有する移動台
を備えた構成により、測定光の走査面に対して同等の光
路長で走査して三次元物体を結像法によって測長するこ
とができる優れた光走査装置を実現できるものである。
に本発明は、測定光を走査面に垂直にかつ走査面の反対
方向に反射する第１の反射鏡と、第１の反射鏡の反射光
を走査面に対して所定の角度をもって反射するように配
設した第２の反射鏡と、第２の反射鏡の反射光を走査面
に垂直にかつ走査面に向けて反射するように配設した第
３の反射鏡を備え、第２の反射鏡と第３の反射鏡を固着
し走査面に平行な面上で移動させる手段を有する移動台
を備えた構成により、測定光の走査面に対して同等の光
路長で走査して三次元物体を結像法によって測長するこ
とができる優れた光走査装置を実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例の光走査装置の構成の概念を
示す斜面路図
示す斜面路図
【図２】（ａ）は同測定光の走路状態の概念を示す断面
略図 （ｂ）は同移動台の移動後の測定光の走路状態を示す断
面路図
略図 （ｂ）は同移動台の移動後の測定光の走路状態を示す断
面路図
【図３】従来の光走査装置の構成の概念を示す斜面略図
１ 第１の反射鏡
２ 第２の反射鏡
３ 第３の反射鏡
４ 移動台
６ 走査面
Claims (1)
- 【請求項１】測定光を走査面に垂直にかつ走査面の反対
方向に反射する第１の反射鏡と、前記第１の反射鏡の反
射光を走査面に対して所定の角度をもって反射するよう
に配設した第２の反射鏡と、前記第２の反射鏡の反射光
を走査面に垂直にかつ走査面に向けて反射するように配
設した第３の反射鏡を備え、前記第２の反射鏡と前記第
３の反射鏡３を固着し走査面に平行な面上で移動させる
手段を有する移動台を備えた光走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1330191A JPH04248511A (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1330191A JPH04248511A (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | 光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04248511A true JPH04248511A (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=11829363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1330191A Pending JPH04248511A (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | 光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04248511A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108414085A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-08-17 | 三明学院 | 一种大视场扫描系统 |
-
1991
- 1991-02-04 JP JP1330191A patent/JPH04248511A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108414085A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-08-17 | 三明学院 | 一种大视场扫描系统 |
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