KR940003394Y1 - 다각추형 미러에 의한 스캐닝 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

다각추형 미러에 의한 스캐닝 장치

제1a도는 파티클 체크장비의 스캐닝 구조도, (b)는 (a)의 실험상태도.

제2a도는 캐논 스테퍼의 다각형의 미러, (b)는 (a)의 실험상태도.

제3도는 본 고안의 다각추형 미러의 구조도로서 (a)는 정면도, (b)는 a-a'선 단면도, (c)는 b-b'선 단면도.

제4도는 제3도의 동작 설명도로서, (a)는 정면도, (b)는 작동도, (c)는 행적 그래프.

제5도는 본 고안의 다각추형 미러에 의한 스캐닝 방법도로서, 5a도는 보정미러에 의한 방법도, (a)는 원리도, (b)는 정면도, (c)는 단면도, 5b도는 다각추형 변형에 의한 방법도, (a)는 원리도, (b)는 정면도, (c)는 단면도, 5c도는 행적 그래프(a,b,c).

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 레이저 광원 7 : 다각추형 미러

8 : 보정미러 10 : 곡면의 다각추형 미러

본 고안은 스캐닝(Scaning)장치에 관한 것으로, 특히 일정한 스캐닝 속도를 얻기에 용이하도록 한 다각추형 미러(Mirror)의한 스캐닝 장치에 관한 것이다.

종래의 스캐닝(Scaning)장치에는 첨부도면 제1도에 도시한 바와 같이 파티클 체크장비에 의해 스캐닝 하는것과 도면 제2도에서와 같이 다각의 미러를 사용한 스캐닝장치가 사용되었는데, 먼저 파티클 체크장비에 의한 스캐닝장치는 레이저광원(1)과 스캐닝미러(2) 및 웨이퍼(3)로 구성되어 동작시 스케닝미러(2)가 화살표 방향으로 떨림에 따라 레이저광원(1)에서 조사되어 나온 빛이 반사되어 스캐닝 되었고, 다각의 미러 사용에 의한 스캐닝장치는 레이저광원(1)과 16면의 반사면을 갖는 다각의 미러(4)로 구성되어 16각의 다각의 미러(4)가 회전함에 따라 레이저광원(1)에서 조사되어 나온빛이 반사되어 스캐닝 되었다.

그러나 파티클 체크장비의 스캐닝장치는 첨부도면 제1b도에서 보듯이 스캐닝 폭이 일정하게 평행이 되지 않아 문제점이 있었고, 다각의 미러 사용에 의한 스캐닝장치는 첨부도면 제2b도에 도시한 바와같이 편방향으로 스캐닝되어 폭이 일정하기는 하나 스캐닝이 좌에서 우로 이동하면서 편방향으로만 스캐닝되어 좌에서 우방향으로 진해되는 만큼(되돌아도는 시간동안)의 스캐닝속도가 떨어지게되는 문제점이 있었다.

따라서 상기의 문제점을 해결하기 위해 본 고안에서는 첨부도면 제3도와 제4도에 도시한 바와 같이 스캐닝 미러를 다각추형으로 형성하였는데 그 구성은 레이저광원(1)과 다각추형 밀(7)(여기서는 사각추를 예로들어 기술함), 그리고 다각추형 미러를 구도시키기 위한 축(5)과 모터(6)로 형성되어 첨부도면 제4도에 도시한 바와 같이 모터(6)작동시 다각추형 미러(7)가 회전함에 따라 레이저광원(1)은 화살표 방향으로 즉 행적 그래프의 점선과 같은 형태로 측정면에 스캐닝 된다.(제4도에 표시한 A,B,C는 각각 동일위치 또는 해당위치에 반사된 레이저광이 측정면에 닿는 점을 의미한다.)

그러나 본 고안의 다각추형 미러에 의한 장치는 도면 제4b도에서와 같이 스캐닝되는 각속도는 일정하나 변화폭(d)을 갖게되어 문제시 된다. 따라서 본 고안의 문제점인 변화폭(d)을 해결하기 위해 안출한 것으로 첨부 도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제5도(가)와, (나)에 도시된 바와 같이 먼저(가)는 변화폭(d)을 갖는 다각추형 미러(7)아래 반달형상의 보정미러(8)를 설치하여 작동시 레이저광원(1)의 빛이 다각추형미러(7)에 부딪혀 반사될때 다각추형이 갖는 외형구조에 의해 발생되는 변화폭(d)을 발달 형상의 보정미러(8)에서 받아 한점으로 측정면(9)에 재반사시켜 스캐닝하는 방식이고, 제5도(나)는 다각추형 미러에 전체 또는 일부분을 곡선으로 형성하여 곡선의 다각추형 미러(10)를 구성하여 레이저광원의 빛이 곡선의 다각추형 미러(10)에 부딪혀 반사될 경우 측정면(9)에서 한점으로 만나 스캐닝하는 것이다.

즉, 제5도 (다)의 (a)도는 보정미러(8)에 의한 광원의 행적을 표시한 것으로, A,C점의 행적이 B점의 행적과 같은 점에 도달하기 때문에 변화량(d)을 개선토록 한 것이며, 또한(다)의 (b)도는 다각추형 미러를 곡면으로 구성할 경우 처음부터 변화량(d)이 않도록 도시한 것으로서, d-d', f-f', e-e'의 행적을 나타낸다. 이는 제5도의 (나)의 (A),(B),(C)에서 보는 바와 같이 d-d',f-f'의 행적은 곡면에 의하여 e-e'점으로 이동하게 되어 변화량(d)을 발생하지 않도록하는 의미를 갖는다.

이상의 두가지 장치는 변화폭(d)을 없애 일정한 스캐닝 속도를 쉽게 얻을 수 있고 편방향으로의 스캐닝이므로 일정한 폭의 스캐닝을 얻을 수 있으며 렌즈 사용시 발생되는 색수차에 의한 오차를 없애는 효과를 가진것이다.

Claims (1)

1. 다각추형 미러에 의한 스캐닝에 있어서, 레이저광원(1)의 빛을 받아 반사시키는 다각추형 미러(7)와 아래에 보정미러(8)을 형성하여, 다각추형 미러(7)에 의해 생기는 빛의 반사 변화폭(d)을 받아서 측정면(9)에 한점으로 제반사하여 스캐닝 하도록 한 것을 특징으로 하는 다각추형 미러에 의한 스캐닝 장치.