JPH04245659A - 光半導体の保持具 - Google Patents

光半導体の保持具

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JPH04245659A
JPH04245659A JP2915591A JP2915591A JPH04245659A JP H04245659 A JPH04245659 A JP H04245659A JP 2915591 A JP2915591 A JP 2915591A JP 2915591 A JP2915591 A JP 2915591A JP H04245659 A JPH04245659 A JP H04245659A
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optical semiconductor
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circuit
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JP2915591A
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Hidetoshi Miyao
英俊 宮尾
Yutaka Nishida
豊 西田
Junkichi Kino
順吉 城野
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Anritsu Corp
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Anritsu Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、LD(レーザダイオー
ド)、LED(発光ダイオード)、PD(フォトダイオ
ード)等の複数の光半導体を順次交換して各種特性を測
定する際に用いられる光半導体の保持具に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】例えば光半導体には発光素子としてLD
,LEDが、また、受光素子としてPDがある。そして
、これらの素子は半田付け等により装置に組込まれる前
に、素子自身の性能を評価する意味で特性試験が実行さ
れる。ところで、順次交換される素子に電源を供給して
特性を試験するにあたって、従来の光半導体試験装置で
は光半導体の静特性を測定することを目的としていた。 すなわち、光半導体が発光素子であれば、図3(a)に
示す回路構成に従い素子を接続して発光スペクトラム、
IーL特性等を測定し、また、光半導体が受光素子であ
れば、図3(b)に示す回路構成に従い素子を接続して
暗電流、受光感度、容量等を測定していた。
【0003】そして、この場合、回路のインピーダンス
の不整合は性能にほとんど影響を及ぼさないため、光半
導体のリードと試験装置との接続は、接点としての接続
状態が保たれていればよいことから図4あるいは図5に
示すような金属のバネ性を利用した簡単な構造による保
持具が用いられていた。すなわち、図4の保持具はソケ
ット本体21に光半導体Wのリード22を保持するピン
ソケット23が設けられ、リード22をピンソケット2
3に押込むと、ピンソケット23の絞り込み部分23a
におけるバネ圧によって接触導通が図れる。また、図5
の保持具はソケット本体21に光半導体Wのリード22
を案内する切欠き溝24が形成され、この切欠き溝24
上には板バネ25が設けられており、リード22を切欠
き溝24に沿って押込むと、板バネ25のバネ圧によっ
て接触導通が図れる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような保持具では
、接点としての接触状態については十分に保持すること
ができるので、光半導体の静特性を測定することができ
る。しかしながら、光半導体の動特性を測定する場合は
、図3(c),(d)に示すように光半導体に交流信号
を与えるための回路部品が光半導体のすぐそばに必要と
なるが、図5の構造によると何れの保持具もソケット本
体21の先に回路部品を配置しなければならず、リード
22と回路間の距離が長くなるため、回路のインピーダ
ンスが大きくずれてインピーダンスに不整合が生じ、高
周波特性が悪く光半導体の動特性の測定を正確に行なう
ことが不可能であった。
【0005】ところで、金属のバネ性を利用した保持具
として図6および図7に示すものも開示されている(実
開昭61−133989号公報)。この保持具は中央が
貫通して開口された本体をなすホルダ26と、上面に接
点板27を有しホルダ26の下面開口を塞ぐようにスタ
ッド28およびスぺーサ29を介してホルダ26の開口
26a内に固設された接点台30と、接点板27上にボ
ス31を介して立設された4本の接触ばね片32と、接
触ばね片32に対応してガイド孔33を有するピン受3
4と、各接触ばね片32を半導体素子Wのピン(リード
に相当)に押付ける押圧ピン35とを備えて概略構成さ
れ、この保持具を使用する際には、ピン受34のガイド
孔33に半導体素子Wのピンを挿し込んで取付け、ホル
ダ26に図示しないカバーキャップを被着する。これに
より、押圧ピン35がカバーキャップの内壁に押されて
押圧ピン35の先端が接触ばね片32を付勢し、半導体
素子Wのピンと接触ばね片32との電気接続がなされる
。この保持具によれば、前述した各保持具よりもさらに
接点保持を向上させることはできるが、前述した各保持
具と同様に回路のインピーダンスに不整合が生じるため
、高周波特性が悪く光半導体の動特性の測定を正確に行
なうことが不可能であった。
【0006】従って、光半導体の動特性を測定する場合
には、その回路のインピーダンスを整合させ、かつ抵抗
等の回路部品と光半導体のリードとの距離を最短にする
必要があった。そこで、図8に示すように回路のインピ
ーダンスを整合させるべく、例えば回路のインピーダン
スが50Ωの場合、半導体素子Wのリード36をインピ
ーダンス50Ωのラインであるセミリジットケーブル3
7に直接半田付けする方法が考えられる。しかしながら
、この方法では光半導体素子Wを半田付けにより固定し
ているので、光半導体素子Wを自由に交換することがで
きず、試験装置として光半導体の特性試験を効率的に行
なうのに適さなかった。
【0007】そこで、本発明は上述した問題点に鑑みて
なされたものであって、光半導体を順次交換して取付け
、回路のインピーダンスを整合させて静特性および動特
性の両方の特性測定を正確に行なうことができる光半導
体の保持具を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明による半導体の保持具は、複数の光半導体を順次
交換してその特性を測定するための光半導体の保持具に
おいて、被測定光半導体のインピーダンスが測定系のイ
ンピーダンスと整合するように形成され、前記光半導体
の各リードに対応する位置に電極を有して配設された基
板と、前記リードと前記電極とが接触するように前記基
板あるいは前記リードの少なくとも一方を押圧する押圧
手段とを備えたことを特徴としている。
【0009】
【作用】回路のインピーダンスが測定系のインピーダン
スと整合するように形成された基板あるいは光半導体の
リードの少なくとも一方が押圧手段により押圧されると
、上の電極に対し、光半導体の各リードは対応する電極
と接触して電気的に接続される。そして、整合のとれた
基板を介して光半導体に信号が供給され、光半導体の特
性測定が行なわれる。
【0010】
【実施例】図1(a)は本発明による半導体の保持具の
一実施例を示す平断面図、図1(b)は同保持具の側断
面図、図2は光半導体の保持構造を示す斜視図である。 図1(a)において、箱型形状をなす本体1の上面には
貫通穴2が形成されている。この貫通穴2は光半導体W
のリード3の数に対応して形成されるもので、実施例で
は2つの貫通穴が形成されている。この貫通穴2には絶
縁体でできたパイプ状のガイド4が埋設されており、各
ガイド4の下半部は縦割りされて支持手段をなす切欠き
部5を形成している。この切欠き部5は後述する押え部
材13により基板9が押圧された時に各リードを受止め
て支持し、リードの曲がりを防止している。各ガイド4
には測定される光半導体Wのリード3が挿通され、リー
ド3の先端部分はガイド4の下端部より表出している。 また、本体1の側面には信号供給用のコネクタ6が取付
けられており、このコネクタ6には回路との整合がとら
れたセミリジットケーブル7が本体1内に向けて固設さ
れている。
【0011】本体1内には光半導体Wの各リード3と対
応した位置に電極8を有する基板9が配設されている。 この基板9には回路のインピーダンスが測定系のインピ
ーダンスと整合するようにパターン10が形成されてお
り、光半導体Wにバイアスを加えるのに必要な回路部品
11がパターン10上に搭載されている。なお、セミリ
ジットケーブル7の先端7a,7bはパターン10の終
端10a,10bに半田付けされている。さらに、本体
1の背面上部で、電極8と対応する位置には貫通穴12
が形成されており、この貫通穴12には押圧手段として
の押え部材13が設けられている。この押え部材13は
基板9の裏面を押圧しガイド4の切欠き部5にリード3
を押付けてリード3と電極8を接触させる頭部14を有
している。また、頭部14と本体1内壁面との間の軸1
5にはバネ16が嵌挿されており、頭部14は常に基板
9を押圧する方向(図1矢印A方向)に付勢されている
。さらに、本体1の外側に突出した軸15の端部にはつ
ば部17を介してつまみ部18が設けられている。この
つまみ部18は基板9から離脱する方向(図1矢印B方
向)に移動させることでリード3と電極8との接触を解
除している。
【0012】以上説明した構成において、光半導体の特
性を試験する場合には、押え部材13のつまみ部18を
把持して図1の矢印B方向、つまり基板9から離脱する
方向に移動させる。この状態で、測定する光半導体Wの
各リード3をガイド4に挿し込んで取付ける。そして、
光半導体Wのリード3の挿し込みが完了した状態でつま
み部18を離す。これにより、押え部材13の頭部14
はバネ16の力によって基板9を押圧する方向(図1矢
印A方向)に付勢され、各リード3は基板9とガイド4
の切欠き部5によって挾持され、各リードと電極8とが
接触して電気接続される。この状態でコネクタ6、セミ
リジットケーブル7および基板9を介して光半導体Wに
信号が供給され、光半導体Wの各種動特性試験が行なわ
れる。そして、光半導体Wを交換する場合には再び押え
部材13のつまみ部18を把持して図1の矢印B方向に
移動させて測定が完了した光半導体Wを抜き出して次に
測定する光半導体Wの各リード3をガイド4に挿し込む
【0013】従って、上述した実施例では、光半導体W
の各リード3との接点をなす電極8を基板9上に設けた
ので、従来の保持具において測定が不可能であった動特
性測定用の回路を基板9上に作れ、また、パターン10
により光半導体Wのリード3まで回路のインピーダンス
を整合させることができるので、光半導体の静特性のみ
ならず動特性も正確に測定することができる。また、押
え部材13の摺動操作によって光半導体Wの各リード3
と電極8とを接離することができるので、測定に際して
簡単に光半導体の着脱交換を行なうことができる。
【0014】ところで、上述した実施例では、押え部材
13により光半導体Wの各リード3と電極8の接触を行
なう構成について説明したが、基板9そのものにバネ性
を持たせて電極8を各リード3に押付ける構成としても
よい。また、押え部材13は基板9を押圧する構成であ
るが、リード3のみを基板9の電極8に押圧する構成ま
たは基板およびリード3の両方を互いに接触する方向に
押圧する構成としてもよい。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように本発明による半導体
の保持具は、光半導体のリードとの接点を基板上に設け
た構成なので、動特性測定用の回路を基板上に作れ、パ
ターンにより回路のインピーダンスを整合させることが
でき、光半導体の動特性を正確に測定することができる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)本発明による半導体の保持具の一実施例
を示す平断面図 (b)同保持具の側断面図
【図2】光半導体のリードのガイド構造を示す斜視図

図3】(a)光半導体として発光素子の静特性を試験す
る場合の回路構成図 (b)光半導体として受光素子の静特性を試験する場合
の回路構成図 (c)光半導体として発光素子の動特性を試験する場合
の回路構成図 (d)光半導体として受光素子の動特性を試験する場合
の回路構成図
【図4】従来のソケット構造による光半導体の保持具の
構成を示す斜視図
【図5】従来のソケット構造による光半導体の保持具の
構成を示す斜視図
【図6】従来のソケット構造による光半導体の保持具の
構成を示す斜視図
【図7】(a)図6の保持具の斜視図 (b)図6の保持具におけるピン受と接触ばね片との分
離斜視図
【図8】セミリジットケーブルに直接素子を固定した状
態を示す図
【符号の説明】

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  複数の光半導体を順次交換してその特
    性を測定するための光半導体の保持具において、被測定
    光半導体のインピーダンスが測定系のインピーダンスと
    整合するように形成され、前記光半導体の各リードに対
    応する位置に電極を有して配設された基板と、前記リー
    ドと前記電極とが接触するように前記基板あるいは前記
    リードの少なくとも一方を押圧する押圧手段とを備えた
    ことを特徴とする光半導体の保持具。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006506618A (ja) * 2002-11-13 2006-02-23 カスケード マイクロテック インコーポレイテッド 組合せ信号用プローブ
JP2006126138A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 Anritsu Corp テストフィクスチャ
JP2007165536A (ja) * 2005-12-13 2007-06-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 同軸型光モジュールの製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006506618A (ja) * 2002-11-13 2006-02-23 カスケード マイクロテック インコーポレイテッド 組合せ信号用プローブ
JP2006126138A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 Anritsu Corp テストフィクスチャ
JP2007165536A (ja) * 2005-12-13 2007-06-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 同軸型光モジュールの製造方法
JP4702029B2 (ja) * 2005-12-13 2011-06-15 住友電気工業株式会社 同軸型光モジュールの製造方法

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