JPH04236311A - 三次元形状測定装置 - Google Patents
三次元形状測定装置Info
- Publication number
- JPH04236311A JPH04236311A JP3004886A JP488691A JPH04236311A JP H04236311 A JPH04236311 A JP H04236311A JP 3004886 A JP3004886 A JP 3004886A JP 488691 A JP488691 A JP 488691A JP H04236311 A JPH04236311 A JP H04236311A
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は三次元形状測定装置に関
し、特にＩＣのリード形状を測定する三次元形状測定装
置に関する。
し、特にＩＣのリード形状を測定する三次元形状測定装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子機器における実装は高密度化
する傾向にあり、ＩＣの外形も挿入型のＤＩＰタイプの
ものから表面実装用のフラットパッケージタイプのもの
が増えてきており、リードピッチも次第に細かくなって
きている。このように高密度実装においては、部品の搭
載精度やはんだ付けなどの加工精度が重要であるばかり
でなく、部品の形状、特にＩＣのリード形状を厳しく管
理する必要がある。このとき、ＩＣのリード形状として
重要なのは、リードのピッチとＩＣを基板に置いたとき
のリードの浮き量でありリードの三次元的形状を測定す
る必要がある。
する傾向にあり、ＩＣの外形も挿入型のＤＩＰタイプの
ものから表面実装用のフラットパッケージタイプのもの
が増えてきており、リードピッチも次第に細かくなって
きている。このように高密度実装においては、部品の搭
載精度やはんだ付けなどの加工精度が重要であるばかり
でなく、部品の形状、特にＩＣのリード形状を厳しく管
理する必要がある。このとき、ＩＣのリード形状として
重要なのは、リードのピッチとＩＣを基板に置いたとき
のリードの浮き量でありリードの三次元的形状を測定す
る必要がある。
【０００３】従来のＩＣリード形状検査装置は、図４に
示すようにＩＣ７の上方から観察しリード８のピッチを
測定するＴＶカメラ９と、ＩＣの側面から観察しリード
８の浮き量を測定するＴＶカメラ１０と、ＴＶカメラ９
、１０からの信号からリード８のピッチと浮き量を計算
する画像処理装置１１を含んで構成される。ＴＶカメラ
９はリード８を平面的に観察することにより、リード８
のピッチを測定する。ＴＶカメラ１０はリード８先端の
端面を観察することによりリード８の浮き量を測定する
。
示すようにＩＣ７の上方から観察しリード８のピッチを
測定するＴＶカメラ９と、ＩＣの側面から観察しリード
８の浮き量を測定するＴＶカメラ１０と、ＴＶカメラ９
、１０からの信号からリード８のピッチと浮き量を計算
する画像処理装置１１を含んで構成される。ＴＶカメラ
９はリード８を平面的に観察することにより、リード８
のピッチを測定する。ＴＶカメラ１０はリード８先端の
端面を観察することによりリード８の浮き量を測定する
。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のＩＣリ
ード形状検査装置はリードピッチとリードの浮き量をそ
れぞれ別のＴＶカメラで測定するため、最低２台のＴＶ
カメラが必要となり、装置が複雑になり高価になるとい
う欠点があった。また、リードの浮き量を測定するには
リードの端面だけを観察しなくてはならないが、従来の
光学系ではリードの端面以外のぼやけた像も観察されて
しまうので、測定精度を上げるのが困難であるという欠
点があった。
ード形状検査装置はリードピッチとリードの浮き量をそ
れぞれ別のＴＶカメラで測定するため、最低２台のＴＶ
カメラが必要となり、装置が複雑になり高価になるとい
う欠点があった。また、リードの浮き量を測定するには
リードの端面だけを観察しなくてはならないが、従来の
光学系ではリードの端面以外のぼやけた像も観察されて
しまうので、測定精度を上げるのが困難であるという欠
点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の三次元形状測定
装置は、被測定物を搭載する基準平面と、前記基準平面
の鉛直線に対し斜め方向から前記被測定物を観察する共
焦点型顕微鏡と、前記共焦点型顕微鏡によって拡大され
た像をビデオ信号に変換する信号発生器と、前記信号発
生器によって出力される画像データ中の合焦点の部分の
位置から前記被測定物の形状を計算する画像処理装置を
含んで構成される。
装置は、被測定物を搭載する基準平面と、前記基準平面
の鉛直線に対し斜め方向から前記被測定物を観察する共
焦点型顕微鏡と、前記共焦点型顕微鏡によって拡大され
た像をビデオ信号に変換する信号発生器と、前記信号発
生器によって出力される画像データ中の合焦点の部分の
位置から前記被測定物の形状を計算する画像処理装置を
含んで構成される。
【０００６】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を用いて詳
細に説明する。
細に説明する。
【０００７】図１は本発明の一実施例を示す側面図であ
る。
る。
【０００８】図１に示す三次元形状測定装置は、被測定
物１を搭載する基準平面２と、基準平面２の鉛直線に対
し斜め方向から被測定物１を観察する共焦点型顕微鏡で
あるレーザ走査顕微鏡３と、レーザ走査顕微鏡３によっ
て拡大された像をビデオ信号に変換するビデオ信号発生
器４と、ビデオ信号発生器４によって出力される画像デ
ータの中から合焦点となっている部分の画面上での位置
を検出することにより被測定物１の形状を測定する画像
処理装置５と、ビデオ信号発生器４によって出力される
画像をモニタするＴＶモニタ６とを含んで構成される。
物１を搭載する基準平面２と、基準平面２の鉛直線に対
し斜め方向から被測定物１を観察する共焦点型顕微鏡で
あるレーザ走査顕微鏡３と、レーザ走査顕微鏡３によっ
て拡大された像をビデオ信号に変換するビデオ信号発生
器４と、ビデオ信号発生器４によって出力される画像デ
ータの中から合焦点となっている部分の画面上での位置
を検出することにより被測定物１の形状を測定する画像
処理装置５と、ビデオ信号発生器４によって出力される
画像をモニタするＴＶモニタ６とを含んで構成される。
【０００９】レーザ走査顕微鏡３は共焦点型の顕微鏡な
ので合焦点位置にあるものからの光しか検出しないため
、レーザ走査顕微鏡３によって観察された像を見ると、
焦点が合っているところだけが明るく見えることになる
。本発明の三次元形状測定装置は、この焦点が合った明
るく見えるところの画面上での位置を検出することによ
り、被測定物１の三次元形状を測定するものである。
ので合焦点位置にあるものからの光しか検出しないため
、レーザ走査顕微鏡３によって観察された像を見ると、
焦点が合っているところだけが明るく見えることになる
。本発明の三次元形状測定装置は、この焦点が合った明
るく見えるところの画面上での位置を検出することによ
り、被測定物１の三次元形状を測定するものである。
【００１０】図２は被測定物１であるＩＣのリード形状
を示す側面図と各々の状態においてレーザ走査顕微鏡３
で観察される画像イメージを示す説明図である。図２（
ａ），（ｂ）は基準平面２からリードが浮いていない状
態、図２（ｃ），（ｄ）は基準平面２からリードが浮い
ている状態を示している。基準平面２と被測定物１の表
面は高さが異なるため、レーザ走査顕微鏡３によって斜
めから観察すると各々の合焦点位置は異なってみえる。 その各々の合焦点位置の距離ｄは、基準平面２と被測定
物１の表面の距離ｈと基準平面２の鉛直線に対するレー
ザ走査顕微鏡３の光軸Ａの角度θによって、ｄ＝ｈ／ｃ
ｏｓθ …（１） によって表される。したがって、ビデオ信号発生器４か
ら出力される画像データから基準平面２と被測定物１の
合焦点位置の距離ｄを求めることにより、基準平面２に
対する被測定物１の位置ｈ、すなわちＩＣリードの浮き
量を測定することができる。
を示す側面図と各々の状態においてレーザ走査顕微鏡３
で観察される画像イメージを示す説明図である。図２（
ａ），（ｂ）は基準平面２からリードが浮いていない状
態、図２（ｃ），（ｄ）は基準平面２からリードが浮い
ている状態を示している。基準平面２と被測定物１の表
面は高さが異なるため、レーザ走査顕微鏡３によって斜
めから観察すると各々の合焦点位置は異なってみえる。 その各々の合焦点位置の距離ｄは、基準平面２と被測定
物１の表面の距離ｈと基準平面２の鉛直線に対するレー
ザ走査顕微鏡３の光軸Ａの角度θによって、ｄ＝ｈ／ｃ
ｏｓθ …（１） によって表される。したがって、ビデオ信号発生器４か
ら出力される画像データから基準平面２と被測定物１の
合焦点位置の距離ｄを求めることにより、基準平面２に
対する被測定物１の位置ｈ、すなわちＩＣリードの浮き
量を測定することができる。
【００１１】上述の方法で取り込んだ画像データから、
リードのピッチを測定することも可能である。図３（ａ
），（ｂ）は複数のリードを含む領域を示す平面図とそ
れをレーザ走査顕微鏡３で観察したときの画像イメージ
を示す説明図である。複数のリードを含む領域の画像デ
ータから、各々のリード部の距離ｐを求めることにより
、リードピッチを測定することができる。
リードのピッチを測定することも可能である。図３（ａ
），（ｂ）は複数のリードを含む領域を示す平面図とそ
れをレーザ走査顕微鏡３で観察したときの画像イメージ
を示す説明図である。複数のリードを含む領域の画像デ
ータから、各々のリード部の距離ｐを求めることにより
、リードピッチを測定することができる。
【００１２】
【発明の効果】本発明の三次元形状測定装置は、１台の
共焦点型顕微鏡とＴＶカメラで三次元形状を測定するた
め、装置が簡単になり安価になるという効果がある。ま
た、合焦点位置の像しか観察されないので、高精度な測
定ができるという効果がある。
共焦点型顕微鏡とＴＶカメラで三次元形状を測定するた
め、装置が簡単になり安価になるという効果がある。ま
た、合焦点位置の像しか観察されないので、高精度な測
定ができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す側面図である。
【図２】被測定物であるＩＣのリード形状を示す側面図
と各々の状態においてレーザ走査顕微鏡で観察される画
像イメージを示す説明図である。
と各々の状態においてレーザ走査顕微鏡で観察される画
像イメージを示す説明図である。
【図３】複数のリードを含む領域を示す平面図とそれを
レーザ走査顕微鏡で観察したときの画像イメージを示す
説明図である。
レーザ走査顕微鏡で観察したときの画像イメージを示す
説明図である。
【図４】従来のＩＣリード形状検査装置を示す斜視図で
ある。
ある。
１ 被測定物
２ 基準平面
３ レーザ走査顕微鏡
４ ビデオ信号発生器
５ 画像処理装置。
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物を搭載する基準平面と、前記
基準平面の鉛直線に対し斜め方向から前記被測定物を観
察する共焦点型顕微鏡と、前記共焦点型顕微鏡によって
拡大された像をビデオ信号に変換する信号発生器と、前
記信号発生器によって出力される画像データ中の合焦点
の部分の位置から前記被測定物の形状を計算する画像処
理装置を含むことを特徴とする三次元形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004886A JPH04236311A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | 三次元形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004886A JPH04236311A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | 三次元形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236311A true JPH04236311A (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=11596167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3004886A Pending JPH04236311A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | 三次元形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04236311A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006030664A1 (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Kyoto University | 歯車の歯やねじのピッチの非接触測定法 |
-
1991
- 1991-01-21 JP JP3004886A patent/JPH04236311A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006030664A1 (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Kyoto University | 歯車の歯やねじのピッチの非接触測定法 |
| US7755771B2 (en) | 2004-09-13 | 2010-07-13 | Kyoto University | Noncontact method for measuring pitch of gear teeth and screw |
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