JPH04236158A - リニアアクチュエータ - Google Patents

リニアアクチュエータ

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Publication number
JPH04236158A
JPH04236158A JP387391A JP387391A JPH04236158A JP H04236158 A JPH04236158 A JP H04236158A JP 387391 A JP387391 A JP 387391A JP 387391 A JP387391 A JP 387391A JP H04236158 A JPH04236158 A JP H04236158A
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JP
Japan
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shaft
ball
motor
rotor
nut
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Application number
JP387391A
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English (en)
Inventor
Tsuyoshi Hidehira
秀平 強
▲くわ▼田 佳典
Yoshinori Kuwata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば産業用ロボット
のアーム等に適用されるリニアアクチュエータに係り、
特にモータ軸上で軸を直線運動、回転運動又はスパイラ
ル運動させることのできるリニアアクチュエータに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、直線・回転運動を行わす重荷重用
リニアアクチュエータの機構として筒状のボールスプラ
インナット及びボールネジナットとこれらナット内に貫
通されたボールネジ・ボールスプライン軸(以下、軸と
いう)とから構成されたボールネジ・スプラインが知ら
れている。このボールネジ・スプラインのスプライン機
構は、軸周面に軸方向に3条或いは6条のボールスプラ
イン溝が設けられる一方、ボールスプラインナットの内
周部軸方向に前記軸のボールスプライン溝に対向してボ
ール溝が形成され、これら両ボール溝によりボールの転
走路が形成されるとともに、ボール溝の両端がボールス
プラインナット内部に設けられたボールチューブで連結
され、該ボールチューブ及び前記ボール溝内に埋設され
たボールがそれぞれころがり運動するようになされてい
る。この構成によりボールネジ・スプラインは、前記ボ
ールスプラインナット内の各ボールが軸のボールスプラ
イン溝に面接触し、かつ、ころがり運動をするので、重
荷重においても軸或いはボールネジ・ボールスプライン
ナットを安定して直線走行させることが可能となってい
る。
【0003】また、上記ボールネジ・スプラインのネジ
機構は、軸の周面に螺旋状にボール溝が穿設される一方
、ボールネジナット内周部に前記ボールネジ軸のボール
溝に対向して螺旋状にボール溝が穿設され、これら両ボ
ール溝によりボール転走路が形成されるとともに、ボー
ル溝の両端がボールネジナット内部に設けられたボール
チューブで連結され、該ボールチューブ及び前記ボール
溝内に埋設されたボールが無限ころがり運動するように
なされている。そして、軸の回転を規制した状態でボー
ルネジナットを回転させると、ボールが軸のボール溝を
押圧して軸を軸方向に直線運動させるので、重荷重にお
いても軸を安定して直線走行させることが可能となって
いる。
【0004】また、ステッピングモータのロータ軸を回
転規制された軸に螺合させ、該ロータの回転力を軸方向
の直進力に変換して伝達することにより該軸をモータ軸
上で直線運動させるようにしたリニアアクチュエータが
知られている。このリニアアクチュエータは、ステッピ
ングモータのロータ軸を中空軸で構成するとともに、該
ロータ軸内周面の一端側に雌ネジ(ナット)を連結し、
周面に雄ネジが形成されたネジ軸を前記ロータ軸のナッ
トに螺合させたものである。ステッピングモータのロー
タが回転することによりナットが一体回転し、これによ
りネジ軸が軸方向に力を受けて直進運動をするようにな
されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記前者のリニアアク
チュエータは、実際にアクチュエータを構成する場合、
別途駆動モータを外部適所に設けなければならず、しか
も該駆動モータの回転力をナット部に伝達するための伝
達機構も必要となる。また、ボールネジナット又はボー
ルプラインナット側を運動させる場合は、例えばボール
ネジナット(又はボールプラインナット)の回転を規制
するとともに、軸方向運動をサポートするための補助軸
を駆動軸に並行して配設する等の回転止機構が必要とな
り、アクチュエータが大型化する欠点がある。
【0006】また、上記後者のリニアアクチュエータは
、ステッピングモータのロータ軸にナットを連結し、該
ステッピングモータの駆動力によりモータ軸上でネジ軸
を直線運動可能にしているので、アクチュエータの小型
化は可能であるが、ロータ軸の一端側に連結されたナッ
トにより回転駆動が直線駆動に変換されているので、重
負荷や衝撃負荷に対する耐久性に問題があるとともに、
ネジ軸が十分にガイドされていないので、直線運動の安
定性にも問題がある。また、ネジ軸の回転を規制する部
材を該ネジ軸の一方端側に配設しなければならず、周辺
構造が複雑となる。
【0007】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、内部にモータを内蔵して小形化を可能にするリ
ニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、周面
軸方向に螺旋状のボールネジ溝と複数条のボールスプラ
イン溝とがクロスして穿設された軸をモータ軸上で相対
的に直線運動させ得るリニアアクチュエータであって、
モータ外装に固定されたステータの内側に回転可能に支
持された円筒状のロータを有するモータ部と、前記ロー
タの内周側に該ロータと一体回転可能に設けられ、前記
ボールネジ溝と螺合して前記ロータの回転力を前記軸の
直進力に変換するボールネジナットと、前記モータ部の
少なくとも一方端側に前記モータ外装に回転不能に連結
され、前記ボールスプライン溝に係合して前記軸をスラ
イド可能に支持するボールスプラインナットとを備えた
ものである。
【0009】また、請求項2の発明は、周面軸方向に螺
旋状のボールネジ溝と複数条のボールスプライン溝とが
クロスして穿設された軸をモータ軸上で相対的に直線、
回転及びスパイラル運動させ得るリニアアクチュエータ
であって、モータ外装に固定されたステータの内側に回
転可能に支持された円筒状のロータを有する第1のモー
タ部と、該第1のモータ部のロータの内周側に該ロータ
と一体回転可能に設けられ、前記ボールネジ溝と螺合し
て前記ロータの回転力を前記軸の直進力に変換するボー
ルネジナットと、前記第1のモータ部の一方端側に並設
され、モータ外装に固定されたステータの内側に回転可
能に支持された円筒状のロータを有する第2のモータ部
と、該第2のモータ部のロータの内周側に該ロータと一
体回転可能に設けられ、前記ボールスプライン溝と螺合
して前記ロータの回転を前記軸に伝達する第1のボール
スプラインナットと、前記第1のモータ部の他方端側で
あって、前記モータ外装に回転可能に連結され、前記ボ
ールスプライン溝に係合して前記軸をスライド可能に支
持する第2のボールスプラインナットとを備えたもので
ある。
【0010】
【作用】請求項1記載の発明では、モータ部のボールネ
ジナットのボールを軸のボールネジ溝に係合させるとと
もに、ボールスプラインナットのボールを軸のボールネ
ジ溝に係合させるようにして軸がモータに取り付けられ
る。モータを駆動すると、円筒状のロータの内周側に設
けられたボールネジナットがロータと一体回転し、該ボ
ールネジナットの回転力がボールを介して軸方向の直進
力に変換されて軸に伝達される。一方、前記軸はモータ
外装に回転不能に連結されたボールスプラインナットに
より回転運動が規制される一方、軸方向にガイドされ、
モータ軸上を相対的に直線運動する。
【0011】また、請求項2記載の発明では、第1のモ
ータ部のボールネジナットのボールを軸のボールネジ溝
に係合させるとともに、第2のモータ部の第1のボール
スプラインナット及び第2のボールスプラインナットの
ボールを軸のボールスプライン溝に係合させるようにし
て軸がモータに取り付けられ、軸は第2のボールスプラ
インナットにより回転可能かつ軸方向にスライド可能に
支持される。
【0012】第1のモータ部を駆動すると、円筒状のロ
ータの内周側に設けられたボールネジナットがロータと
一体回転し、該ボールネジナットの回転力がボールを介
して軸方向の直進力に変換されて軸に伝達され、これに
より軸が軸方向に直線運動する。また、第2のモータ部
を駆動すると、円筒状のロータの内周側に設けられたボ
ールスプラインナットがロータと一体回転し、該ボール
スプラインナットの回転力がボールを介して軸に伝達さ
れ、これにより軸は第2のモータ部のロータに同期して
回転する。そして、前記直線運動と回転運動とを組み合
わせることにより軸のスパイラル運動が可能となる。
【0013】
【実施例】本発明に係るリニアアクチュエータを図を用
いて説明する。図4は、本発明に係るリニアアクチュエ
ータの斜視図である。同図において、1はモータ本体、
2はボールネジ・ボールスプライン軸である。ボールネ
ジ・ボールスプライン軸2は中空の軸であって、空間部
分に制御線等の配線が可能となっている。また、ボール
ネジ・ボールスプライン軸2の外周面には軸方向に3条
のボールスプライン溝2aと螺旋状のボールネジ溝2b
とが相互にクロスして穿設されている。これらボールス
プライン溝2a及びボールネジ溝2bは、後述するボー
ルスプラインナット部及びボールネジナット部に埋設さ
れたボールの径と略同一の半円形状をなし、該ボールの
回転乃至転走路を構成するものである。
【0014】モータ本体1は、モータ部11とその両側
に連結して設けられたボールスプラインナット部12,
13とからなり、該モータ部11の一方端部にはフラン
ジ14が突設されている。また、前記モータ部11は、
後述するようにロータ保持軸にボールネジナットが形成
され、該ボールネジナットと前記ボールスプラインナッ
ト部12,13とは、前記ボールネジ・ボールスプライ
ン軸2の外径と略同一の内径を有している。そして、前
記ボールネジ・ボールスプライン軸2は、これらボール
ネジナット及び前記ボールスプラインナット部12,1
3により形成される孔15を貫通させて取り付けられ、
モータ部11のロータの回転により該モータ本体1の軸
M上を直線運動するようになされている。この駆動機構
については後述する。なお、前記ボールネジ・ボールス
プライン軸2を固定支持すれば、モータ部11の駆動に
よりモータ本体1の直線運動が可能となる。
【0015】図1は、本発明に係るリニアアクチュエー
タの内部構造を示す側断面図である。また、図2は図1
のA−A線断面図を示し、図3は図1のB−B線断面図
を示している。
【0016】モータ部11は、数値制御可能なモータ、
例えばステッピングモータから構成されている。ステッ
ピングモータのステータ17は、モータ外装16に固定
され、ロータは該モータ外装16に軸受21,21′を
介して軸支されたロータ保持軸22の外周部に設けられ
ている。前記ステータ17は、図2に示すように周知の
積層ステータからなる10極構造のステータであって、
各極先端のステータ歯17aは励磁コイル18により磁
化されるようになっている。また、ロータ保持軸22は
、周知の円筒状のボールネジナットからなり、該ボール
ネジナット22の外周部に永久磁石20及び鉄心19a
,19b(図1参照)からなるロータが構成されている
。すなわち、軸方向に磁化された永久磁石20がボール
ネジナット22の外周部に固定され、更にその外周軸方
向に2個の鉄心19a,19bが並設されている。前記
ボールネジナット22の内周部には前記ボールネジ・ボ
ールスプライン軸2のボールネジ溝2bと対向するよう
にボールネジ溝22aが螺旋状に穿設されている。また
、該ボールネジ溝22aの両端部はボールネジナット2
2肉厚内に穿設された不図示のボールチューブにより連
結されてボールの循環路が形成され、この循環路及び前
記ボールネジ溝22a内にはボール23が整列循環可能
に埋設されている。
【0017】ボールスプラインナット部12,13には
、図3に示すようにボール保持部24及び外筒26から
なるボールスプラインナット27が設けられ、該外筒2
6は回転止めキー28によりモータ外装16,16′に
回転不能に固定されている。ボール保持部24の内周部
には前記ボールネジ・ボールスプライン軸2のボールス
プライン溝2bと対向するようにボール転走溝24aが
軸方向に所定長分穿設され、該ボール転走溝24aの両
端部は前記ボール保持部24の肉厚内に設けられたボー
ルチューブ24bにより連結されてボール25の循環転
走路が形成され、更にこの循環転走路内にボール25が
整列循環可能に埋設されている。
【0018】なお、前記ボール25は、その半分以上が
ボール転走溝24a側に埋設されているので、ボールネ
ジ・ボールスプライン軸2がモータ本体1から引き抜か
れてもボール保持部24から脱落しないようになってい
る。
【0019】上記構成において、例えばモータ本体1を
移動不能に支持し、モータ部11をR方向に回転駆動さ
せると、ロータの回転によりボールネジナット22が一
体回転する。ボールネジナット22の回転力は、ボール
23のころがり運動を介して軸方向に変換されてボール
ネジ・ボールスプライン軸2に伝達される。一方、ボー
ルネジ・ボールスプライン軸2は、モータ部11の両側
部に設けられたボールスプラインナット部12,13よ
り回転不能かつ軸方向にスライド可能に支持されている
ので、モータ本体1の軸M上をS方向に直進運動するこ
ととなる。なお、モータ部11をR方向と逆方向に回転
駆動させると、前記と逆の動作によりボールネジ・ボー
ルスプライン軸2は、モータ本体1の軸M上をS方向と
逆方向に直進運動する。
【0020】上記実施例はボールネジ・ボールスプライ
ン軸2又はモータ本体1を軸方向に直線運動させるもの
であるが、2個のモータ部を設けることにより直線運動
、回転運動及びこれらを組み合わせたスパイラル運動を
行わせることができる。
【0021】次に、この第2の実施例のリニアアクチュ
エータについて説明する。図5は、前記第2実施例に係
るリニアアクチュエータの斜視図である。本実施例のモ
ータ本体1′は、第1モータ部30aと第2モータ部3
0bとが並設されたモータ部30と該モータ部30に連
結して設けられたボールスプラインナット部31とから
構成されている。
【0022】図6は第2の実施例に係るリニアアクチュ
エータの内部構造を示す側断面図である。また、図7は
図6のC−C線断面図を示し、図8は図6のD−D線断
面図を示している。
【0023】本実施例のリニアアクチュエータは、図4
のボールスプラインナット部12に代えて第2モータ部
30bを設けるとともに、ボールスプラインナット部1
3に代えて回転可能なボールスプラインナット27を有
するボールスプラインナット部31を設けたものである
【0024】第2モータ部30bは、図7に示すように
図1のロータ保持軸に相当する部分がボール保持部35
及び外筒37からなるボールスプラインナット38で構
成された点を除いて第1モータ部30aと同一の構成で
モータ部30内に設けられている。このボールスプライ
ンナット38の構造は上記ボールスプラインナット部1
2,13のボールスプラインナット27と変わらないの
で説明は省略する。また、ボールスプラインナット部3
1は、図6に示すようにボールスプラインナット27の
外筒26が軸受33,33′を介して回転可能にモータ
外装32′に取り付けられたものである。第1モータ部
30a及びボールスプラインナット部31の内部構造も
第1実施例のものと変わらないので説明を省略する。
【0025】次に、本実施例のリニアアクチュエータに
より可能な動作について動作パターンに分けて説明する
。なお、説明の便宜上、ボールネジ・ボールスプライン
軸2を相対的に駆動させる場合について説明する。
【0026】(1)軸の直線運動 第2モータ部30bのロータが回転しないようにステー
タ17を励磁状態のまま保持し、第1モータ部30aを
、例えばR方向に回転駆動させると、第2モータ部30
bのボールスプラインナット38は回転が抑止され、第
1モータ部30aのボールネジナット22はロータと一
体にR方向に回転する。これにより前記ボールネジナッ
ト22の回転力はボール23のころがり運動により軸方
向に変換されてボールネジ・ボールスプライン軸2に伝
達され、ボールネジ・ボールスプライン軸2はモータ本
体1の軸M上をS方向に直線運動する。
【0027】なお、前記第1モータ部30aをR方向と
逆方向に回転させると、前記と逆の動作によりボールネ
ジ・ボールスプライン軸2は、モータ本体1の軸M上を
S方向と逆方向に直線運動する。
【0028】(2)軸の回転運動 第1及び第2モータ部30a,30bを同一回転数かつ
同一方向、例えばR方向に回転させると、第1モータ部
30aのボールネジナット22及び第2モータ部30b
のボールスプラインナット38は同一方向に同期して回
転する。
【0029】第2モータ部30bのボールスプラインナ
ット38の回転力はボール36及びボールスプライン溝
2aを介してボールネジ・ボールスプライン軸2に伝達
される一方、ボールネジナット22のボール23の転走
方向とボールネジ・ボールスプライン軸2のボールネジ
溝2bの回転方向とは同一方向となり、ボールネジナッ
ト22は空回りをするので、該ボールネジナット22の
回転力はボールネジ・ボールスプライン軸2には伝達さ
れず、ボールネジ・ボールスプライン軸2はR方向の回
転運動のみ行う。また、ボールスプラインナット部31
内のボールスプラインナット27は、モータ本体1に回
動自在に設けられているので、ボールネジ・ボールスプ
ライン軸2と一体に回転運動を行う。
【0030】なお、第1及び第2モータ部30a,30
bを同一回転数でR方向と逆方向に回転させることによ
りボールネジ・ボールスプライン軸2をR方向と逆方向
に回転させることができる。
【0031】(3)スパイラル運動(回転を伴う直線運
動) 第1モータ部30aのロータが回転しないようにステー
タ17を励磁状態のまま保持し、第2モータ部30bを
、例えばR方向に回転させる。第2モータ部30bのボ
ールスプラインナット38はロータと一体にR方向に回
転し、これによりボールスプラインナット38の回転力
はボール36及びボールスプライン溝2aを介してボー
ルネジ・ボールスプライン軸2に伝達され、ボールネジ
・ボールスプライン軸2は回転する。
【0032】一方、第1モータ部30aのボールネジナ
ット22は回転が抑止されているので、前記ボールネジ
・ボールスプライン軸2の回転力はボール23のころが
り運動により軸方向に変換され、これにより該ボールネ
ジ・ボールスプライン軸2は回転しつつモータ本体1の
軸M上をS方向と逆方向に直線運動(スパイラル運動)
を行う。このとき、ボールスプラインナット部31内の
ボールスプラインナット27は、ボールネジ・ボールス
プライン軸2と一体に回転運動を行うとともに、該ボー
ルネジ・ボールスプライン軸2の直線運動をガイドする
【0033】なお、前記第2モータ部30bをR方向と
逆方向に回転させると、上記と逆の動作によりボールネ
ジ・ボールスプライン軸2は、モータ本体1の軸M上を
S方向にスパイラル運動を行う。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明では、モータのロータを円筒状に構成し、該ロータの
内周側にボールネジナットを設けてロータの回転力を軸
の軸方向の直進力に変換するとともに、前記モータ部の
少なくとも一方端側に回転不能にボールスプラインナッ
トを並設し、軸の直線運動をガイドするようにしたので
、荷重下において軸を相対的に直線運動を行わすリニア
アクチュエータの小形化を図ることができる。また、リ
ニアアクチュエータの構造が簡単になるので、その分組
立調整の簡素化及び製造コストの低減等を図ることがで
きる。
【0035】また、請求項2記載の発明では、第1のモ
ータ部のロータを円筒状に構成し、該ロータの内周側に
ボールネジナットを設けてロータの回転力を軸の軸方向
の直進力に変換するとともに、該第1のモータ部の一方
端に並設された第2のモータ部のロータを円筒状に構成
し、該ロータの内周側にボールスプラインナットを設け
てロータの回転力を軸に伝達するようにし、更に前記第
1のモータ部の他方端に回転可能にボールスプラインナ
ットを連結して軸と一体回転しつつ該軸の直進運動をガ
イドするようにしたので、重荷重下において軸を相対的
に直線運動、回転運動及びスパイラル運動を行わすリニ
アアクチュエータの小形化を図ることができる。また、
リニアアクチュエータの構造が簡単になるので、その分
組立調整の簡素化及び製造コストの低減等を図ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るリニアアクチュエータの内部構造
を示す側断面図である。
【図2】図1のA−A線断面図である。
【図3】図1のB−B線断面図である。
【図4】本発明に係るリニアアクチュエータの斜視図で
ある。
【図5】第2の実施例に係るリニアアクチュエータの斜
視図である。
【図6】第2の実施例のモータ部の内部構造を示す側断
面図である。
【図7】図6のC−C線断面図である。
【図8】図6のD−D線断面図である。
【符号の説明】
1,1′  モータ本体 2  ボールネジ・ボールスプライン軸2a  ボール
スプライン溝 2b  ボールネジ溝 11,30  モータ部 12,13,31  ボールスプラインナット部14 
 フランジ 15  孔 16,16′,32,32′  モータ外装17  ス
テータ 18  励磁コイル 19a,19b  鉄心 20  永久磁石 21,21′,33,33′,34,34′  軸受2
2  ロータ保持軸(ボールネジナット)23,25,
36  ボール 24,35  ボール保持部 26,37  外筒 27,38  ボールスプラインナット28  回転止
めキー 30a  第1モータ部 30b  第2モータ部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  周面軸方向に螺旋状のボールネジ溝と
    複数条のボールスプライン溝とがクロスして穿設された
    軸をモータ軸上で相対的に直線運動させ得るリニアアク
    チュエータであって、モータ外装に固定されたステータ
    の内側に回転可能に支持された円筒状のロータを有する
    モータ部と、前記ロータの内周側に該ロータと一体回転
    可能に設けられ、前記ボールネジ溝と螺合して前記ロー
    タの回転力を前記軸の直進力に変換するボールネジナッ
    トと、前記モータ部の少なくとも一方端側に前記モータ
    外装に回転不能に連結され、前記ボールスプライン溝に
    係合して前記軸をスライド可能に支持するボールスプラ
    インナットとを備えたことを特徴とするリニアアクチュ
    エータ。
  2. 【請求項2】  周面軸方向に螺旋状のボールネジ溝と
    複数条のボールスプライン溝とがクロスして穿設された
    軸をモータ軸上で相対的に直線、回転及びスパイラル運
    動させ得るリニアアクチュエータであって、モータ外装
    に固定されたステータの内側に回転可能に支持された円
    筒状のロータを有する第1のモータ部と、該第1のモー
    タ部のロータの内周側に該ロータと一体回転可能に設け
    られ、前記ボールネジ溝と螺合して前記ロータの回転力
    を前記軸の直進力に変換するボールネジナットと、前記
    第1のモータ部の一方端側に並設され、モータ外装に固
    定されたステータの内側に回転可能に支持された円筒状
    のロータを有する第2のモータ部と、該第2のモータ部
    のロータの内周側に該ロータと一体回転可能に設けられ
    、前記ボールスプライン溝と螺合して前記ロータの回転
    を前記軸に伝達する第1のボールスプラインナットと、
    前記第1のモータ部の他方端側であって、前記モータ外
    装に回転可能に連結され、前記ボールスプライン溝に係
    合して前記軸をスライド可能に支持する第2のボールス
    プラインナットとを備えたことを特徴とするリニアアク
    チュエータ。
JP387391A 1991-01-17 1991-01-17 リニアアクチュエータ Pending JPH04236158A (ja)

Priority Applications (1)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0635716U (ja) * 1992-10-12 1994-05-13 株式会社三協精機製作所 モータ付一軸複合動作装置
JP2001214959A (ja) * 2000-01-31 2001-08-10 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 一軸アクチュエータおよびこの一軸アクチュエータを用いた搬送・位置決め装置
JP2010255752A (ja) * 2009-04-24 2010-11-11 Shimizu Corp 回転慣性質量ダンパー
JP2015216737A (ja) * 2014-05-09 2015-12-03 株式会社神戸製鋼所 電動リニアアクチュエータ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0635716U (ja) * 1992-10-12 1994-05-13 株式会社三協精機製作所 モータ付一軸複合動作装置
JP2001214959A (ja) * 2000-01-31 2001-08-10 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 一軸アクチュエータおよびこの一軸アクチュエータを用いた搬送・位置決め装置
JP4571724B2 (ja) * 2000-01-31 2010-10-27 Thk株式会社 一軸アクチュエータおよびこの一軸アクチュエータを用いた搬送・位置決め装置
JP2010255752A (ja) * 2009-04-24 2010-11-11 Shimizu Corp 回転慣性質量ダンパー
JP2015216737A (ja) * 2014-05-09 2015-12-03 株式会社神戸製鋼所 電動リニアアクチュエータ

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