JPS63228941A - 複合モ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発明は、二つのモータが遊星回転装置と複合一体化さ
れていて差動により極めて大きな減速が得られ、高速超
精密位置決め用または大負荷駆動用として好適な複合モ
ータに関する。

〈従来技術〉 従来の複合モータには、親子モータと複合サーボモータ
とがある。親子モータは、例えば軸方向ギャップＡＣブ
レーキモータを２台用い、出力の小さいギャードモータ
を子モータとして、出力の大きい親モータの後に電磁ク
ラッチを介して連結したものであり、親モータで長い距
離を高速送りし、至近距離になったら子モータで低速送
りして位置決めを行う。

他方、複合サーボモータは、子側にＤＣサーボモータを
用いた親子モータの一種であり、例えば親モータに軸方
向ギャップＡＣブレーキモータを、また子側にディスク
形プリントモータを用いて直結しである。

また、複合モータの中にはボールチェンジモータもある
。

しかしながら、従来のこれらの複合モータは、とても高
精密位置決めを行えるものではなかった。

精密位置決めは、はとんどの場合、サーボモータやパル
スモータやステップモータで行われており、中でも高精
密位置決めさらには超高精密位置決めはダイレクトドラ
イブ方式が採用されている。インバータ制御のモータは
、高精密位置決めや超高精密位置決めには採用されてい
ない。

最近、バックラッシがない遊星歯車減速機であるハーモ
ニックドライブを一体化したモータが高精密位置決め用
に提供されてきているが、これは、高速送りができない
こと、ロストモーションが避けられないこと、高負荷用
には不適であること、位置決め停Ｗ時のイナーシャによ
るモータが受けるショックが比較的大きいことが欠点で
ある。

リニアモータも位置決め精度に限界があり、高価であり
、工作機械等負荷の大きい駆動手段には採用できない。

精密制御用のパルスモータやステップモータでダイレク
トドライブする一般的な精密位置決めテーブルの位置決
め精度は、±２０〜３０ミクロン（１ミクロン＝　１／
１，０００　ミリ）である。サーボモータによる位置決
めの現在の最高精度は、±３ミクロンである。

ダイレクトドライブシステムにおいて、位置決め精度が
２〜３ミクロンの高精密位置決めとするには、モータの
最小微小回転角（以下、モータの分解能という。）を高
精細にしなければならない。減速機を使用すれば、モー
タの分解能が粗くても微小な回転や送りが得られるが、
この場合には高精密位置決め精度を保障するために、減
速機の振動やバックラッシもしくはロストモーションを
除去してやることが条件となる。しかし、バックラッシ
もしくはロストモーションを完全に除去する方法はない
。また、減速機を使用すると、高速送りができない。

超精密位置決めの入口精度であるサブミクロン（１／１
０．０００ミリ）の位置決めは、ダイレクトドライブと
するとともに、モータの分解能を超高精細にすることに
より実現されている。

モータがどの程度の分解能を必要とするか具体的に説明
すると、今、ピッチ１ｍｍのポールネジをパルスモータ
でダイレクトドライブし、該ポールネジと螺合したナツ
トを固定したテーブルをサブミクロン送りする場合、モ
ータは１０，０００パルス／３６０°という超高分解能
を有していなくてはならない。ミクロンの位置決めをす
るには、モータは１．０００パルス／回転という分解能
を有すれば足りる。

そこで、１０，０００パルス／３６０°というような超
高分解能を有する超高精度モータは非常に高価であると
ともに、トルク出力が極めて小さいので負荷を大きくす
ることができず、空気軸受や磁気軸受が必要とされ、装
置全体が複雑であり大型であり高価であるので、１，０
００パルス／３６０°、の分解能を有するモータで超高
精度送りができろ装置が多く開発されており、それらの
いくつか・を図面を参照して説明する。

第１２図は、差動ポールネジを使用したテーブル装置で
ある。モータ１を回転させると、差動ポールネジの左ね
じ部分２とブロック３に固定されたナツト４との螺合に
より、該差動ポールネジが移動するとともに、差動ポー
ルネジの右ねじ部分５とテーブル６に固定されたナツト
７との螺合により、該テーブル６が差動ポールとは反対
方向に移動するので、１回転当り微小な送り、例えば０
．１ｍｍ送りが得られる。従って、分解能が１，０００
パルス／３６０°である高精密モータを使用すれば、サ
ブミクロン送りができる。この装置、空気案内装置や空
気軸受あるいは磁気軸受等を採用しなくても実現されて
いる。しかし、この装置はストロークが小さいことと、
高速送りができない欠点がある。

第１３図は、高速送りができるテーブル装置であり、ポ
ールネジとナラ］・を別々のモータで駆動する。モータ
８が回転すると、歯車列９を介してナラ）１０が回転し
、これによってポールネジ１１が移動する。またモータ
１２が回転すると、歯車列１３を介してナツト１４がポ
ールネジ１１と同方向または反対方向に回転する。この
ため、テーブル１５がポールネジ１１と同方向に移動す
るときは高速送りとなる。また、テーブル１５がポール
ネジ１１と反対方向に移動するときは、移動量に差があ
るときにテーブル１５が低速送りとなる。かかる移動量
に差を生じさせるには、モータ８と１２の回転数を僅か
に相違させるようにするか、歯車列９と１３における回
転伝達に僅かな相違を持たせるようにする。なお、いず
れかのモータを駆動するときは、中速送りができる。

しかしながら、この装置は、ストロークが小さいこと、
歯車列９と１３による振動とバックラッシの影響が免か
れず、第１２図の装置に比べて位置決め精度がはるかに
劣る欠点がある。

第１４図は、歯車列を使用せず位置決め精度が高く、か
つポールネジとナツトを別々のモータで駆動して高速送
りもできるテーブル装置である。

第１５図は、該テーブル装置の原理を示す立面図である
。モータ１６はポールネジ１７をダイレクトドライブす
るようになっており、またモータ１８はポールネジ１７
の自由端側を被包するバイブ状のカップリング１９を介
してテーブル２０に回転自在に支持されるナツト２１を
ダイレクトドライブするようになっている。従って、モ
ータ１６と１８が回転数に僅かな差があって同方向に回
転するときは微小送りが行われ、モータ１６と１８が反
対方向に回転するときは高速送りが行われ、モータ１６
と１８のいずれかが回転するときは、中速送りが行われ
る。この装置は上述した第１２図のテーブル装置の欠点
を解消しているとともに、第１２図のテーブル装置の欠
点を解消しており、優れた高精密送りが実現できる。例
えば、ポールネジ１７のピッチを４ｍｍ、分解能が１，
０００パルス／３６０°である高精度モータ１６と、分
解能が８００パルス／３６０°である高精度モータ１８
を使用すれば、モータ１６と１８を同方向にそれぞれパ
ルス送りすれば、分解能が４，０００パルス／３６０°
である高精度モータを使用した場合と同じになり、ミク
ロン送りが実現できる。この装置も、空気案内装置や空
気軸受あるいは磁気軸受等を採用することなく実現され
ている。油圧モータにより実現している装置は、±０．
５　ミクロンの位置決め精度が得られている。

しかしながら、この装置は、やはりストロークが半分し
かとれず長尺な送り手段として採用できないこと、ナツ
トをテーブルに対して回転自在に取付ける必要がありポ
ールネジの径を大きくできず、従って負荷も大きくでき
ないことが欠点である。

第１６図は、ポールネジをダイレクトドライブするとと
もに、ナツトをポールネジと平行するボールスプライン
により駆動するテーブル装置である。ポールネジ２２が
油圧モータ２３に直結回転されるようになっているとと
もに、ナツト歯車２４が歯車２５と２６、ボールスプラ
イン２７、リニアモーション歯車２８を介してポールネ
ジ２２と同方向に回転されるようになっている。

ナツト歯車２４とリニアモーション歯車２８の歯数は同
一であり、歯車２５と２６の歯数は一または二枚の少数
差とされることにより、ナツト歯車２４が僅かに減速さ
れ、もって回転数を僅かに相違してポールネジ２２とナ
ツト歯車２４が同方向回転するために大きな減速が得ら
れ、±０．５　ミクロンの位置決め精度が実現されてい
る。なお、油圧モータ２３を反対回転するときは、互い
に逆に作用するように取付けたワンウェイクラッチ２９
．３０により、ナツト歯車２４が回転停止され、油圧モ
ータ２３の一回転当り、−ピッチ送りが実現される。

しかしながら、この装置の欠点は、二軸ドライブである
ため構造が複雑となり高価となること、歯車伝達を用い
ているので、振動とバックラッシが避けられないので高
速送りができないことである。

なお、ナノメートル（１／１００，０００　ミリ）の位
置決め精度は圧電アクチュエータ（電歪素子）の使用に
より実現可能である。

他方、ダイレクトドライブはギャードモータドライブの
ようなトルク増大が図れることがないので、各種の大型
機械や揚重装置の駆動源として採用することができない
でいた。

〈発明の目的〉 本発明の主たる目的は、高回転出力と中回転出力と低回
転出力の三種類の回転出力が得られ、高精密位置決め用
あるいは大負荷駆動用に好適な複合モータを提供するこ
とにある。

本発明の副次的な目的は、振動やバックラッシやロスト
モーションの問題が生ずることがない複合モータを提供
することを目的としている。

本発明の副次的な目的は、大きな減速が得られトルクが
大きく精密位置決めを必要とする各種の大型機械や揚重
装置の小型駆動源として好適な複合モータを提供するこ
とにある。

〈発明の構成〉 本発明の複合モータは、 中心輪と、外輪と、中心輪と外輪に挟まれた円周方向に
等配置の少くとも二個の遊星輪と、遊星輪を支持する旋
回腕とからなる遊星回転装置を備え、第一モータの回転
軸が、中心輪と外輪と旋回腕のいずれかに直結され、第
二モータの回転軸が、中心輪と外輪と旋回腕の中、第一
モータが直結されているものと異なるものに直結され、
ケーシング外に突出する出力軸が、中心輪と外輪と旋回
腕の中、第一モータまたは第二モータが直結されていな
い残りの一つに直結され、これらが、ケーシング内にオ
ールインワンに収容されていることを特徴とする複合モ
ータである。

従って、第一モータと第二モータのいずれの回転数も遊
星回転装置を経由して出力軸に取出すことができる。

本発明の複合モータによれば、二つのモータの回転軸が
、遊星回転装置に対してどのように直結されているかに
よって、出力軸の回転数及び回転方向が異なってくる。

第一モータの回転軸が外輪に直結され、第二モータの回
転軸が中心輪に直結されている場合には、第一モータを
駆動すると増速回転が出力され、第二モータを駆動する
と増速回転が出力され、第一モータと第二モータを反対
方向回転すると、低回転が出力される。

第一モータの回転軸が外輪に直結され、第二モータの回
転軸が旋回腕に直結されている場合には、第一モータま
たは第二モータを択一駆動すると増速回転が出力され、
第一モータと第二モータを同方向または反対方向回転す
ると、低回転が出力される。

第一モータの回転軸が旋回腕に直結され、第二モータの
回転軸が中心輪に直結され、出力軸が外輪に直結されて
いる場合には、第一モータを駆動すると増速回転が出力
され、第二モータを駆動すると減速回転が出力され、第
一モータと第二モータを同方向に回転すると、低回転が
出力される。

本発明の複合モータについて、遊星回転装置と二つのモ
ータの配置を見ると、 遊♀回転装Ｍに隣接して第一モータが配され、第一モー
タに隣接して第二モータが配され、出力軸がモータと反
対側にあり、第一モータの回転軸が中空に形成され、該
中空な第一モータの回転軸の内側に第一モータの回転軸
が通されている実施態様と、第一モータと第二モータが
遊星回転装Ｍを挟んで位置され、旋回腕もしくは中心輪
に直結された出力軸が、いずれが一方のモータの回転軸
が中空に形成されたその内側に通されている実施態様と
がある。

本発明の複合モータを高精密位置決め用に採用する場合
、遊星回転装置は、歯車でなく摩擦伝達車を採用する。

そうすると、振動やバックラッシの問題は生じない。摩
擦伝達車はすべりが生ずると、計測誤差またはロストモ
ーションが生じるのではないかという問題については、
摩擦伝達車のすべりをゼロにできることが、無段減速機
において実証されているので全く問題ない。そうして、
出力軸に直結する高精密ポールネジやインデックスの回
転軸に高精密なロータリーエンコーダを付けて計測がで
きるから高精密な計測が可能である。また、使用後、長
期間経過すると摩擦伝達車が摩耗してすべりが大きく発
生するのではないかという問題については、摩擦伝達車
である中心輪、外輪及び遊星輪をベアリング鋼を使用す
ることにより、モータ寿命まで十分な耐久性を持たせる
ことができる。また、最近において、光洋精工株式会社
によって自動車のトラクションドライブ（摩擦伝達によ
る牽引駆動）用に、寿命がベアリング鋼の１０倍以上も
ある強靭な鋼が開発されたので、それに使用するかセラ
ミックを使用することにより全く問題ない。

なお、本発明の複合モータは、遊星回転装置を遊星歯車
装置とした場合を除外するものではない。

以下、本発明の複合モータを図面とともに示す実施例を
参照して説明する。

く第一実施例〉 第１図は本発明の複合モータの第一実施例を示す断面図
である。

モータケーシング３１は、ヘッド力／＜−３１ａと、筒
フレーム３１ｂと、中プレート３１ｃと、ボックスフレ
ーム３１ｄと３１ｅとがボルト締めされてなる。筒フレ
ーム３１ｂの中に遊星回転装置３２と第一モータ３３が
収容され、ボックスフレーム３１ｄの中に第二モータ３
４が収容され、ボックスフレーム３１ｅの中に第二モー
タ３４の電磁ブレーキ３５が収容されている。第二モー
タ３３の電・磁ブレーキ３６は、筒フレーム３１ｂの外
面に取付けられていて、遊星回転装置３２の外輪３２ｃ
の外面を制動するようになっている。遊星回転装置３２
は、中心輪３２ａと、外輪３２ｂと、中心輪３２ａと外
輪３２ｂに挟まれた少くとも二個の遊星輪３２ｃ、３２
ｃと、遊星輪３２ｃを支持する旋回腕３２ｄとからなる
。中心輪３２ａと外輪３２ｂと遊星輪３２ｃは、焼去め
されている。遊星輪３２ｃは、ベアリングメーカーより
販売されているカムフォロアが採用されている。中心輪
３２ａと外輪３２ｂと遊星輪３２ｃは、ベアリング鋼製
またはセラミックス製とされている。第一モータ３３は
単相コイルモータまたは三相コイルモータが採用されて
おり、モータ回転軸はいずれも中空な内軸３３ａと外軸
３３ｂの二重軸構造とされ、内軸３３ａが遊星回転装置
３２の外輪３２ｂと一体形成され、キー３３ｃとロック
ナツト３３ｄにより内側に通された内軸３３ａと固定さ
れている外軸３３ｂに、回転子３３ｅが被嵌されている
。しかして、一体化されている外輪３２ｂとモータ回転
軸は、外輪３２ｂがベアリング３７により筒フレーム３
１ｂに支持され、またモータ回転軸がベアリング３８に
より中プレー）３１ｃに支持されている。第二モータ３
４は、第一モータ３３と同じ単相コイルモータまたは三
相コイルモータが採用されており、モータ回転軸は、第
一モータ３３の内軸３３ａの内側に通されている長尺な
内袖３４ａと、回転子３４ｃが被嵌されている外軸３４
ｂの二重軸構造とされ、外軸３４ｂがベアリング３９．
４０により中プレート３１ｃとボックスフレーム３１ｄ
に支持されている。内袖３４ａは遊星回転装置３２の中
心輪３２ａと一体形成されている。内袖３４ａと外軸３
４ｂは、キー３４ｄとロックナツト３４ｅにより固定さ
れている。外軸３４ｂには冷却ファン４４が設けられ、
ボックスフレーム３１ｅのスリットより外部へ放熱が行
われる。電磁ブレーキ３５は、摩擦クラッチ板３５ａを
備える回転板３５ｂが内軸３４ａに固定されているとと
もに、制動板３５ｃが、固定ガイド軸３５ｄにより軸方
向にスライド自在にかつキー３５ｅにより回転不能に支
持されさらに調整ネジ３５ｇによりブレーキ力を調整さ
れるバネ３５ｆにより付勢されて摩擦クラッチ板３５ａ
に接触し回転するようになっている。そして、制動板３
５ｃには固定側ブレーキコイル３５ｈが設けられ、該コ
イル３５ｈがボックスフレーム３１ｅより設けられた固
定側ブレーキコイル３５ｉによって引き付けられると、
回転板３５ｂと摩擦クラッチ板３５ａと制動板３５ｃと
の間に作用するブレーキが解除されるようになっている
。従って、電磁ブレーキ３５は、内軸３４ａと一体の中
心輪３２ａにブレーキをかけられるようになっている。

出力軸４１は旋回腕３２ｄと一体に形成されていてベア
リング４２により支持されている。

要するに、この実施例の複合モータは、中心輪３２ａと
、外輪３２ｂと、中心輪と外輪に挟まれた少くとも二個
の遊星輪３２ｃ　、３２ｃと、遊星輪を支持する旋回腕
３２ｄとからなる遊星回転装置３２を備え、遊星回転装
置３２に隣接して第一モータ３３が配され、第一モータ
３３に隣接して第二モータ３４が配され、出力軸４１が
モータ３３．３４と反対側にあり、第一モータ３３の回
転軸が中空に形成され、該中空な第一モータ３３の回転
軸の内側に第二モータ３４の回転軸が通されている第一
モータ３３の回転軸が、外輪３２ｂに直結され、第二モ
ータ３４の回転軸が中心輪３２ａに直結され、ケーシン
グ３１の外に突出する出力軸４１が旋回腕３２ｄに直結
されていて、遊星回転装置３２と第一モータ３３と第二
モータ３４がケーシング内にオールインワンに収容され
ている構成である。

外輪３２ｂの直径をＤＩ、中心輪３２ａの直径をＤ２．
遊星輪３２ｃの直径をＤ３とする。ＤｌとＤ２の比は、
例えば、二対−あるいは三対−となる。これに対し、モ
ータ３３，３４は、この実施例では、単相コイルモータ
または三相コイルモータを採用しているので、極数を変
えることにより回転数Ｎ１とＮ２を異ならせることがで
きる。

従って、この実施例において、Ｎ１とＮ２が異なる場合
には新型のポールチェンジモータということができる。

次に作用を説明する。

■第一モータ３３のみをＮ１回転する場合、第二モータ
３４に通電せずかつ電磁ブレーキ３５に通電して中心輪
３２ａをブレーキ停止してから、第一モータ３３をＮ１
回転する。

先ず、外輪３２ｂがＮ１回転する。

遊星輪３２ｃは、外輪３２ｂから回転伝達され、Ｎ１　
・Ｄｉ　／Ｄ３の自転を生じる。

旋回腕３２ｄは、Ｎｌ　拳ＤＩ／Ｄ２の回転を生じ、出
力軸４１より出力する。

ＤＩ　／Ｄ２は増速比であり、逆数比のトルクの割合だ
け多く必要とするので、モータ出力の計算式に入れる必
要がある。

■第二モータ３４のみをＮ２回転する場合、第一モータ
３３に通電せずかつ電磁ブレーキ３６に通電して外輪３
２ｂをブレーキ停止してから、第二モータ３４を回転す
る。

先ず、中心輪３２ａがＮ２回転する。

遊星輪３２ｃは、中心輪３２ａから回転伝達され、−Ｎ
２　・Ｄ２　／Ｄ３の自転を生じる。

マイナスの符号はモータの回転と反対の回転であること
を示す。

旋回腕３２ｄはＮ２・Ｄ２／ＤＩの回転を生じる。

出力軸４１はＮ２・Ｄ２／Ｄ１回転する。

Ｄ２　／ＤＩは減速比であり、トルクがこれに反比例し
て増大するから、第二モータ３４は小出力で足りる。

■第一　モータ３３をＮ１回転、第二モータ３４をＮ２
回転する場合（同方向回転）、 電磁ブレーキ３５．３６をオフにしてから、モータ３３
．３４を回転する。

先ず、外輪３２ｂがＮ１回転、中心輪３２ａがＮ２回転
する。

遊星輪３２ｃは、外輪３２ｂと中心輪３２ａの両方から
回転伝達されて自転と公転を所要に生じ、旋回腕３２ｄ
が回転し、出力軸４１より出力する。

そこで、遊星輪３２ｃの自転は、 Ｎｌ　＞Ｎ２であれば、 （Ｎｌ　−Ｎ２　）　ＤＩ　／Ｄ３ Ｎｌ　＜Ｎ２であれば、 −（Ｎ２−Ｎｌ　）　Ｄ２　／Ｄ３ Ｎ１＝Ｎ２であればゼロである。

また、旋回腕３２ｄの回転は、 Ｎｌ　＞Ｎ２であれば、 Ｎ２　＋　（Ｎｌ　−Ｎ２　）　ＤＩ　／Ｄ２Ｎｌ　＜
Ｎ２であれば、 Ｎｌ　＋　（Ｎ２−Ｎｌ　）　Ｄ２　／ＤｉＮ１＝Ｎ２
であればＮ１である。

■第一モータ３３をＮ１回転、第二モータ３４を−Ｎ２
回転する場合（反対方向回転）、電磁ブレーキ３５．３
６をオフにしてから、モータ３３．３４を回転する。

先ず、外輪３２ｂがＮ１回転、中心輪３２ａが−Ｎ２回
転する。

遊星輪３２０は、外輪３２ｂと中心輪３２ａの両方から
回転伝達され自転と公転を所要に生じ、旋回腕３２ｄが
回転し、出力軸４１より出力する。そこで、遊星輪３２
ｃの自転は、 Ｎｌ　＞Ｎ２　　・ＤＩ　／Ｄ２のとき、Ｎ２　＋（Ｎ
ｔ　−Ｎ２−Ｄｉ　／Ｄ２　）　ＤＩ　／Ｄ３Ｎｌ　＜
Ｎ２　　・Ｄｉ　／Ｄ２のとき、Ｎｌ　＋　（Ｎ２　・
Ｄｉ　／Ｄ２−Ｎｌ　）　Ｄ２　／Ｄ３Ｎｌ　＝Ｎ２　
・ＤＩ　／Ｄ２のとき 自転は生じない。

また、旋回腕３２ｄの回転は、 Ｎｌ　＞Ｎ２　　・Ｄｉ／Ｄ２のとき、（Ｎｌ　−Ｎ２
−　Ｄｉ　／Ｄ２　）　ＤＩ　／Ｄ２Ｎｌ　＜Ｎ２　　
争ＤＩ　／Ｄ２のとき、−（Ｎｌ　　−Ｎ２　−　　Ｄ
ｉ　　／Ｄ２　　）　　Ｄ２　　／Ｄｉこの式のマイナ
スの符号は第二モータの回転方向に出力することを示す
。

Ｎｌ　＝Ｎ２　−　ＤＩ　／Ｄ２　（７）ときゼロテあ
る。

しかして、この第一実施例で出力回転がゼロになるには
、 ■の旋回腕３２ｄの回転数の式から、 Ｎｌ　＝Ｎ２　・ＤＩ／Ｄ２の式が成立するときとなる
。

従って、高精密位置決めに利用するために、出力回転が
ゼロに近い値が得られるようにするにはＮｌ　／Ｎ２と
ＤＩ　／Ｄ２を近似させれば良い。

ル生皇」 Ｎｌ　　＝１．００Ｏｒｐｍ　、　　Ｎ２　＝５０Ｏｒ
ｐｍ　とし、Ｄ１対Ｄ２を１００ｍｍ対４８ｍｍに決め
る。

すると、出力軸４１の回転数は、・・Ｑ■のとき　Ｎ　
１　　拳Ｄ　Ｉ　／　Ｄ２　＝　２０８３．３　ｒｐｍ
、■のとき　Ｎ２　−　Ｄ２　／ＤＩ　＝２４Ｏｒｐｍ
、■のとき　Ｎ２　＋　（Ｎｌ　−Ｎ２　）　ＤＩ’　
／Ｄ２＝　　１５４１．８　　ｒｐｍ、 ■のとき　−（Ｎ２　・Ｄｉ　／Ｄ２−Ｎｌ　）・　Ｄ
２　／Ｄ１　＝−２０ｒｐｆｆｌこの２Ｏｒｐｍは、第
二モータ３４と回転方向が同じである。

・・・となる。

従って、■または■により高速送り、■により中速送り
、及び■により低速送りを行うことができる。このよう
に、二つのモータの両方または一方を回転して、四通り
の回転数が得られるので、モータコントロールが容易で
ある。

特に、■のときに得られる２Ｏｒｐｍという高減速回転
は極めて安定して得られかつ極めて大きなトルクが得ら
れるので、大型の機械装置の高精密位置決め用の駆動源
に好適である。

なお、２Ｏｒｐｍの出力回転において、二つのモータの
停＋）が高精密位置決めにとって問題になるが、これは
、出力軸４１とポールネジ等の間に電磁クラッチ・ブレ
ーキを入れることで解消できる。

そして、モータ３３、モータ３４に単相コイルモータま
たは三相コイルモータを採用しているので、出力が大き
な複合モータを構成できるから、大型の機械装置の高精
密駆動源にも好適に採用可能である。

本発明において、高精密位置決めのためのモータコント
ロールが容易であることは、■により大きなトルクでか
つ安定した低速回転が出力できるからというだけでなく
、出力軸４１に直結する高精密ボールネジやインデック
ステーブルの回転軸に高精密なロータリーエンコーダを
付けて内部計測（オープンループ計測）ができるという
ことも関連している。

例えば、ロータリーエンコーダの信号をモータコントロ
ーラに入力してテーブル等の被位置決め物体の現在位置
を逐次検出するとともに、目標位置との差を演算するよ
うにして、現在位置と目標位置の差に応じて、高速送り
から小さい減速送りさらに高減速送りへ切換えるように
、二っモータに対して電流及びモータ回転方向の切換を
行うようにすれば良い。すなわち、目標位置から至近距
離になるまでは高速送りし、至近距離になったら小さい
減速送りを行い、目標位置に例えば５Ｉｌ１ｍ位に近づ
いたら高減速送りを行うようにすれば、高精密なサーボ
モータやパルスモータ、またはステップモータを使用し
なくても高精密なロータリーエンコーダを使用すること
によりロストモーションを生ずることなく高精密な位置
決めが容易に実現できる。

これに対し、従来例の第１３図、第１４図に示すテーブ
ル装置では、ポールネジとナツトをダブルダイレクトド
ライブするものであるので、ロータリーエンコーダを使
用できず、クローズドフィードバック制御が必要なリニ
アスケールを使用しなければ、目標位置と現実位置との
差を検出できすロストモーションの発生を避けられない
。

なお、この実施例を用いて変形例を説明する。

［ＩＩ　　第二モータ３４にインダクションモータを採
用してインバータにより無段変速回転さぜるようにして
、モータ３３を駆動して高速送りをするとともに、モー
タ３４を反対回転するように駆動してかつゼロ回転出力
から高回転出力に変化させていけば、それは、常時、上
記の■の駆動を行っていることになり、それでありなが
ら、出力軸４１にモータ３３の出力回転を増速した高回
転から出力回転がゼロとなりさらに反対回転となって回
転数を上げることができる無段階変速が行える。

［ＩＩ　］　　第一モータ３３と第二モータ３４に軸方
向ギャップブレーキモータを採用すると一層コンパクト
になる。

く第二実施例〉 第２図は本発明の複合モータの第二実施例を示す断面図
である。

この実施例の複合モータの第１図の実施例に対して相違
する点は、遊星回転装置３２の中心輪３２ａと遊星輪３
２ｃの配置が入れ変っていることのみである。そうして
、中心輪３２ａは出力軸４１と一体形成され、旋回腕３
２ｄは第二モータ３４の内軸３４ａと一体形成されてい
る。

その他の発明構成要素については、第１図と同一の符号
を付け、説明は省く。

この実施例では、外輪３２ｂの直径をＤｌ、遊星輪３２
ｃの直径をＤ２．中心輪３２ａの直径をＤ３とする。

次に、作用を説明すると、 ■第一モータ３３のみをＮ１回転する場合、第二モータ
３４に通電せずかつ電磁ブレーキ３５に通電して旋回腕
３２ｄをブレーキ停止にしてから、第一モータ３３をＮ
１回転する。

先ず、外輪３２ｂがＮ１回転する。

遊星輪３２ｃは、中間輪となり外輪３２ｂの回転を中心
輪３２ａに伝達する。

従って、中心輪３２ａは、−Ｎｌ　−ＤＩ　／Ｄ３　（
７）自転を生じ、出力軸４１がモータ３３と反対方向に
出力回転する。

Ｄｉ　／Ｄ３は増速比であり、逆数比のトルクの割合だ
け多く必要とするので、モータ出力の計算式に入れる必
要がある。

■第二モータ３４のみをＮ２回転する場合、第−モータ
３３に通電せずかつ電磁ブレーキ３６に通電して外輪３
２ｂをブレーキ停［Ｌしてから、第二モータ３４を回転
する。

先ず、旋回腕３２ｄがＮ２回転する。

遊星輪３２ｃは、回転しない外輪３２ｂに対して転動し
、Ｎ２の公転と−Ｎ２・ＤＩ　／Ｄ２の自転を生じる。

中心輪３２ａはＮ２−　ＤＩ　／Ｄ２　＋Ｎ２の回転を
生じ、出力軸４１から出力する。

（Ｄｉ　＋Ｄ２　）　／Ｄ２　を士増速比であり、逆数
比のトルクの割合だけ多く必要とするので、モータ出力
の計算式に入れる必要がある。

■第一モータ３３をＮ１回転、第二モータ３４をＮ２回
転する場合（同方向回転）、 電磁ブレーキ３５．３６をオフにしてから。

モータ３３．３４を回転する。

先ず、外輪３２ｂがＮ１回転、旋回腕３２ｄがＮ２回転
する。

遊星輪３２ｃは、外輪３２ｂと旋回腕３２ｄの両方から
回転伝達され、Ｎ２の公転を行いつつ、（Ｎｌ　−Ｎ２
　）ＤＩ　／Ｄ２の自転を生じる。

そこで、中心輪３２ａは、 Ｎ２　＋　（Ｎｌ　−Ｎ２　）ＤＩ　／Ｄ２の回転を生
じる。この回転数が出力軸４１より出力する。

■第一モータ３３をＮ１回転、第二モータ３４を−Ｎ２
回転する場合（反対方向回転）、電磁ブレーキ３５．３
６をオフにしてから、モータ３３，３４を回転する。

先ず、外輪３２ｂがＮ１回転、旋回腕３２ｄが−Ｎ２回
転する。

遊星輪３２ｃは、外輪３２ｂと旋回腕３２ｄの両方から
回転伝達され、−Ｎ２の公転を行いつつ、Ｎ１　・Ｄｉ
　／Ｄ２の自転を生じる。

そこで、中心輪３２ａは、 Ｎ１　・ＤＩ　／Ｄ２−Ｎ２の回転を生じる。この回転
数が出力軸４１より出力する。

しかして、この第二実施例で出力回転がゼロになるには
、 ■の中心輪３２ａの回転数の式から、 Ｎｌ　／Ｎ２　＝　（ＤＩ　−Ｄ２　）／ＤＩの式が成
立するか、 ■の中心輪３２ａの回転数の式から、 Ｎ１　・ＤＩ　／Ｄ２　＝Ｎ２の式が成立するかどちら
かのときとなる。

従って、高精密位置決めに利用するために、出力回転が
ゼロに近い値が得られるようにするには、 ■により、Ｎｌ　／Ｎ２　と、（ＤＩ　−Ｄ２　）　／
ＤＩを近似させるか、 または■により、Ｎｌ　−ＤＩ　／Ｄ２とＮ２を近似さ
せるように、Ｎ１．Ｎ２．Ｄｌ、Ｄ２を決めれば良く、
そのようにする。

具」（例」ユ Ｎｌ　／Ｎ２と、（Ｄｉ　−Ｄ２　）／ＤＩを近似させ
るため、 例えば、Ｎ　Ｌ　＝　Ｔｏｏ　ｒｐｍ　、　Ｎ２　＝　
１．００Ｏｒｐｍとし、Ｄｌを１００ｍｍ　、　Ｄ２を
３１ｍｍ、Ｄ３を３８ｍｍに決める。

すると、出力軸４１の回転数は、ｍｅ・■のどさ　−Ｎ
Ｉ　ＩＩＤＩ　／Ｄ３　＝−１，８４２，１ｒｐｍマイ
ナス符号は、第一モータ３３と反対方向の回転である。

■のどき　Ｎ２−　Ｄ　Ｉ　／Ｄ２　＋Ｎ２　＝７，４
５１．６ｒｐｍ■のとき　Ｎ２　＋　（Ｎｌ　−Ｎ２　
）　ＤＩ　／Ｄ２＝　３２．２　ｒｐｍ ■のとき　Ｎ　１　・Ｄ　１　／Ｄ２−　Ｎ２　＝８１
２．Ｅｌ　ｒｐｍΦ・・となる。

従って、■により高速送り、■または■により中速送り
、及び■により低速送りを行うことができる。ただし、
■の中速送りはモータを−Ｎ１回転させる。

几生負」 Ｎｌ　　争ＤＩ　／Ｄ２とＮ２を近似させるため、例え
ば、Ｎ　１　＝　５０Ｏｒｐｍ　、　Ｎ２　＝　１．５
０Ｏｒｐｍとし、Ｄ１対Ｄ２を８４ｍｍ対３０ｍｍに決
める。

すると、Ｄ３は３４ｍｍとなる。

すると、出力軸４１の回転数は、・・・■のどさ　−Ｎ
ｌ　−ＤＩ　／Ｄ３　＝−１，３８２，３ｒｐｍこの回
転は、第一モータ３３と反対方向の回転である。

■のとき　Ｎ２　・ＤＩ　／Ｄ２　＋Ｎ２　＝８．２０
Ｏｒｐｍ■のとき　Ｎ２　＋　（Ｎｌ　−Ｎ２　）　Ｄ
Ｉ　／Ｄ２＝　　−１ｆ３３３．３　　ｒｐｍ、 この回転は、モータ３３．３４と反対方向の回転である
。

■のとき　Ｎｌ　・Ｄｉ　／Ｄ２−Ｎ２　＝Ｈ，Ｅｉ　
ｒｐｍ争・・となる。

従って、■により高速送り、■または■により中速送り
、及び■により低速送りを行うことができる。ただし、
■、■の中速送りはモータを−Ｎｌ　、−Ｎ２回転させ
る。

く第三実施例〉 第３図は未発明の複合モータの第三実施例を示す断面図
である。

この実施例の複合モータが第１図と相違する点は、遊星
回転装置３２に対して、第一モータ３３の内軸３３ａと
第二モータ３４の内軸３４ａと出力軸４１の三つの軸の
接続の仕方にある。第一モータ３３の内軸３３ａは旋回
腕３２ｄと一体形成され、第二モータ３４の内軸３４ａ
は中心輪３２ａと一体形成され、出力軸４１は外輪３２
ｂと一体形成されている。ブレーキ３６は旋回腕３２ｄ
の周面に当接して制動をかけるようになっている。ベア
リング３７は外輪３２ｂを支持している。

その他の発明構成要素については、第１図と同一の符号
を付け、説明は省く。

なお、図示しないが構造を若干変更し、筒フレーム３１
ｂより遊星回転装置３２と第一モータ３３の間に仕切壁
を設けて、この仕切壁に第一モータ３３の外軸３３ｂを
支持するようにベアリングを設けると良い。

次に、作用を説明する。

■第一モータ３３のみをＮ１回転する場合、第二モータ
３４に通電せずかつ電磁ブレーキ３５に通電して旋回腕
３２ｄをブレーキ停止上してから、第一モータ３３をＮ
１回転する。

先ず、旋回腕３２ｄがＮ１回転する。

遊星輪３２ｃは、Ｎ１の公転を行いつつ。

Ｎ１　・Ｄ２　／ＤＩの自転をする。

従って、外輪３２ｂは、Ｎｌ　＋Ｎ１　・Ｄ２／Ｄｉの
回転を生じ、この回転が出力軸４１より出力する。

このとき、（ＤＩ　＋Ｄ２　）／Ｄｉは増速比であり、
逆数比のトルクの割合だけ多く必要とするので、モータ
出力の計算式に入れる必要がある。

■第二モータ３４のみをＮ２回転する場合、第一モータ
３３に通電せずかつ電磁ブレーキ３６に通電して旋回輪
３２ｄをブレーキ停止ｈ　してから、第二モータ３４を
回転する。

先ず、中心輪３２ａがＮ２回転する。

遊星輪３２ｃは、中間輪となって外輪３２ｂの回転を伝
達する。このとき回転方向を変える。

そこで、外輪３２ｂは、−Ｎ２・Ｄ２　／Ｄ３の回転を
生じ、この反対方向の回転が出力軸４１から出力する。

Ｄ２　／Ｄ３は減速比であり、トルクがこれに反比例し
て増大するから、第二モータ３４は小出力で足りる。

■第一モータ３３をＮ１回転、第二モータ３４をＮ２回
転する場合（同方向回転）、 電磁ブレーキ３５．３６をオフにしてから、モータ３３
，３４を回転する。

先ず、旋回腕３２ｄがＮ１回転、中心輪３２ａがＮ２回
転する。

遊星輪３２ｃは、旋回腕３２ｄと中心輪３２ａの両方か
ら回転伝達され、Ｎ１の公転を行いつつ、（Ｎｌ　−Ｎ
２　）Ｄ２　／ＤＩの自転を生じる。

そこで、外輪３２ｂは、Ｎｌ　＋　（Ｎｌ　−Ｎ２　）
Ｄ２　／Ｄ３の回転を生じ、この回転が出力軸４１から
出力する。

このときの増速比の逆数比のトルクの割合だけ多く必要
とするので、モータ出力の計算式に入れる必要がある。

■第一モータ３３をＮ１回転、第二モータ３４を−Ｎ２
回転する場合（反対方向回転）、電磁ブレーキ３５．３
６をオフにしてから、モータ３３．３４を回転する。

先ず、旋回腕３２ｄがＮ１回転、中心輪３２ａが−Ｎ２
回転する。

＊ｉ輪３２ｃは、旋回腕３２ｄと中心輪３２ａの両方か
ら回転伝達され、Ｎ１の公転を行いつつ、（Ｎｌ　＋Ｎ
２　）Ｄ２　／ＤＩの自転を生じる。

そこで、外輪３２ｂは、（Ｎｌ　＋Ｎ２　）　Ｄ２　／
Ｄ３の回転を生じる。この回転数が出力軸４１より出力
する。

しかして、この第三実施例で出力回転がゼロになるには
、 ■の外輪３２ｂの回転数の式 ％式％ であれば良い。

従って、 Ｎｌ　／Ｎ２　＝０２　／　（Ｄ２　＋Ｄ３　）の式が
成立するときとなる。

従って、高精密位置決めに利用するために、出力回転が
ゼロに近い値が得られるようにするにはＮｌ　／Ｎ２と
Ｄ２　／　（Ｄ２　＋Ｄ３　）を近似させれば良い。

１１口」」 Ｎｌ　＝３０Ｏｒｐｍ　、　　Ｎ２　＝１．３０Ｏｒｐ
ｍとし、Ｄ１を２０ｍｍ　、　Ｄ２を３１ｍｍ　、Ｄ３
を１０１ｍｍに決める。

すると、出力軸４１の回転数は、・・・■のとき　Ｎｌ
　＋Ｎ１　・Ｄ２　／ＤＩ　＝７８５　ｒｐｍ■のとさ
　−Ｎ２−　Ｄ２　／Ｄ３　＝−３Ｈｒｐｍ■のとき　
Ｎｌ　＋　（Ｎｌ　−Ｎ２　）　Ｄ２　／Ｄ３＝　−８
，９ｒｐｍ ■のとさ　（Ｎｌ　＋　Ｎ２　）　Ｄ２　／Ｄ３　＝４
９１　ｒｐｍ従って、■により高速送り、■または■に
より中速送り、及び■により低速送りを行うことができ
る。ただし、■の中速送りはモータ３４を逆回転させる
。

く第四実施例〉 第４図は本発明の複合モータの第四実施例を示す断面図
である。

この実施例の複合モータが第１図と相違する点は、遊星
回転装置３２が第一モータ３３と第二モータ３４の間に
収容されている。第一モータ３３の内軸３３ａが外輪３
２ｂと一体形成されている。内軸３３ａは中空に形成さ
れ外軸３３ｂの内側に嵌挿固定され、かつ自身の内側に
出力軸４１を通している。出力軸４１は中心輪３２ａと
一体形成されている。ヘッドブレー）３１ａは外軸３３
ｂをベアリング３８を介して支持している。

ヘッドプレー）３１ａには、軸受フランジ３１ｆが固定
されるでおり、該軸受フランジ３１ｆ（７）取伺けの前
にロックナツト３３ｄの締付けができるようになってい
る。出力軸４１は、内軸３３ａの内端に設けたベアリン
グ４３と、軸受フランジ３１ｆに設けられたベアリング
４２により支持されている。

その他の発明構成要素については、第１図と同一の符号
を付け、説明は省く。

遊星回転装置３２の中心輪３２ａと外輪３２ｂと旋回腕
３２ｄに対して、第一モータ３３の内軸３３ａと第二モ
ータ３４の内軸３４ａと出力軸４１の三つの軸の接続の
仕方を見ると、第１図の場合と同一である。従って、第
一実施例の作用と同一となるので、説明は省く。

なお、この実施例を用いて変形例を説明する。

旋回腕３２ｄが第一モータ３３の側にくるように外輪３
２ｂの奥に位置され、遊星輪３２ｃと中心輪３２ａが第
二モータ３４の側に設けられ、出力軸４１が旋回腕３２
ｄと直結され、第二モータ３４の内軸３４ａが中心輪３
２ａに直結される構成も考えられる。この場合の作用は
、第二実施例の作用と同一となる。

く第五実施例〉 第５図は未発明の複合モータの第五実施例を示す断面図
である。

この実施例の複合モータは、遊星回転装置３２に隣接し
て第一モータ３３が配され、第一モータ３３に隣接して
第二モータ３４が配され、出力軸４１がモータ３３．３
４と反対側にあり、第一モータ３３の回転軸が中空に形
成され、該中空な第一モータ３３の回転軸の内側に第二
モータ３４の回転軸が通されている第一モータ３３の回
転軸が、外輪３２ｂに直結され、第二モータ３４の回転
軸が中心輪３２ａに直結され、ケーシング３１の外に突
出する出力軸４１が旋回腕３２ｄに直結されていて、遊
星回転装置３２と第一モータ３３と第二モータ３４がケ
ーシング３１の内部にオールインワンに収容されている
構成である。

この実施例の複合モータの第１図の実施例に対する相違
は、第一モータ３３にコアレス巻線形で内側磁石形のＤ
Ｃサーボモータが採用され、第二モータ３４にコアレス
巻線形で外側磁石形のＤＣサーボモータが採用されてい
る点にある。

第一モータ３３は、外側継鉄（静止鉄心）３３ｆとカッ
プ状電機子コイル３３ｇと内側永久磁石（界磁）３３ｈ
と整流子３３ｉとブラシ３３ｊを有している。また、第
二モータ３４は、外側永久磁石（界磁）３４ｆとカップ
状電機子コイル３４ｇと内側継鉄（静１Ｆ鉄心）３４ｈ
と整流子３４ｉとブラシ３４ｊを有している。

第一モータ３３は、内袖３３ａと外軸３３ｂの二重軸構
造である。内袖３３ａは筒状であり外輪３２ｂと一体形
成されており、外軸３３ｂはカップ状電機子コイル３３
ｇを支持している。内軸出力軸４１の回転数は Ｎｌ　＞Ｎ２　−ＤＩ　／Ｄ２のとき、（Ｎｌ　−Ｎ２
　・Ｄｉ　／Ｄ２　）　ＤＩ　／Ｄ２Ｎｌ　＜Ｎ２　　
争Ｄｉ　／Ｄ２のとき、−（Ｎｌ　−Ｎ２　ΦＤｉ　／
Ｄ２　）　Ｄ２　／Ｄｉこの式のマイナスの符号は第二
モータの回転方向に出力することを示す。

Ｎ１＝Ｎ２　　・Ｄｉ　／Ｄ２のときゼロである。

この実施例から分かるように、第一モータ３３と第二モ
ータ３４にパルスモータやステップモータを用いても良
い。

パルスモータを採用した場合、第一モータ３３と第二モ
ータ３４を反対方向に回転するようにそれぞれ１パルス
送り与えると、差動により、出力軸４１に微小な回転を
得る具体例を挙げる。

具体的には、第一実施例のときと同様に、出力回転がゼ
ロに近い値が得られるようにするにはＮｌ　／Ｎ２　と
ＤＩ／Ｄ２を近似させるが、Ｎｌ　／Ｎ２はパルスモー
タの場合１分解能の逆数比となる。

そこで、第一・実施例のル体進」に合わせて、第一モー
タ３３に５００パルス／３８０°の分解能を有するサー
ボモータを使用し、第二モータ３４に１．０００パルス
／３６０°の分解能を有するサーボモータを使用し、Ｄ
１対Ｄ２を１００ｍ＋＋１対４８ｍｍに決め、第一モー
タ３３と第二モータ３４を反対方向に回転するようにそ
れぞれ１パルス送り与えるすると、出力軸４１の回転数
は、・会・■のとき、 ＝　　（Ｎ　２　　拳　Ｄｉ　　／Ｄ２　　−Ｎｌ　　
）　　Ｄ２　　／ＤＩ　　’＝−３θ０°Ｘ　Ｃ１／Ｉ
、０００　Ｘ　　１００／４８−　１／　５００）ｘ　
ａｓ／　１００　＝　−０，１４３１１゜になる。

く第六実施例〉 第６図は本発明の複合モータの第六実施例を示す断面図
である。

この実施例の複合モータの第５図との相違は、第一モー
タ３３と第二モータ３４がともに、コアレス巻線形で内
側磁石形のＤＣサーボモータが採用されていること、第
一モータ３３の回転軸３３には外輪３２ｃと一体形成さ
れており、カップ状電機子コイル３３ｇを支持している
。出力軸４１は、二つのベアリング４２．４２で支持さ
れている。

その他の発明構成要素については、第１図と同一の符号
を付け、説明は省く。

く第七実施例〉 第７図は本発明の複合モータの第七実施例を示す断面図
である。

この実施例の複合モータは、第５図と同様に、第一モー
タ３３にコアレス巻線形で内側磁石形のＤＣサーボモー
タが採用され、第二モータ３４にコアレス巻線形で外側
磁石形のＤＣサーボモータが採用されている。第二モー
タ３４の回転軸は単軸であるので、図示よりも外径を小
さくできる。

第６図との相違は、支持壁３１ｇを設け、ベアリング３
８．４２で第一モータ３３の回転軸３３ｋを両端支持し
ていること、第一モータ３３の回転軸３３にと外輪３２
ｂはスプライン結合とされており、また、第二モータ３
４の回転軸３４にと中心輪３２ａもスプライン結合とさ
れている。第１図と同じ作用となる。

その他の発明構成要素については、第１図と同一の符号
を付け、説明は省く。

く第八実施例〉 第８図は本発明の複合モータの第八実施例を示す断面図
である。

この実施例の複合モータは、第５図と同様に、第一・モ
ータ３３にコアレス巻線形で内側磁石形のＤＣサーボモ
ータが採用され、第二モータ３４にコアレス巻線形で外
側磁石形のＤＣサーボモータが採用されている。遊星回
転装置３２は第３図に対応している。従って、第３図と
同じ作用となる。

その他の発明構成要素については、第１図と同一の符号
を付け、説明は省く。

く第九実施例〉 第９図は本発明の複合モータの第九実施例を示す断面図
である。

この実施例の複合モータは、第４図と同様に、遊星回転
装置３２が第一モータ３３と第二モータ３４の間に収容
されている。第４図との相違は、第一モータ３３にコア
レス巻線形で内側磁石形のＤＣサーボモータが採用され
、第二モータ３４にコアレス巻線形で外側磁石形のＤＣ
サーボモータが採用されている点である。第一モータ３
３の内軸３３ａが外輪３２ｂと一体形成されている。内
軸３３ａは中空に形成され外軸３３ｂの内側に嵌挿固定
され、かつ自身の内側に出力軸４１を通している。出力
軸４１は中心輪３２ａと一体形成されている。従って、
第２図と同じ作用となる。

その他の発明構成要素については、第１図と同一の符号
を付け、説明は省く。

く弟子実施例〉 第１０図は本発明の複合モータの弟子実施例を示す断面
図である。

第一モータ３３はコアレス巻線形で内側磁石形のＤＣサ
ーボモータであり、第二モータ３４にコアレス巻線形で
外側磁石形のＤＣサーボモータである。

第一モータ３３の内軸３３ａは外輪３２ｂと一体形成さ
れている。第二モータ３４の内軸３４ａは中心輪３２ａ
と一体形成されている。出力軸４１は旋回腕３２ｄと一
体形成されている。従って、第１図と同じ作用となる。

その他の構成は第９図と相違するところがない。

その他の発明構成要素については、第１図と同一の符号
を付け、説明は省く。

く弟子−実施例〉 第１１図は本発明の複合モータの弟子−実施例を示す断
面図である。

この実施例の複合モータは、ケーシング３１内に、遊星
的転装Ｒ３２と第一モータ３３と第二モータ３４がオー
ルインワンに収容されている。

第一モータ３３と第二モータ３４は、直流制御用のコア
レスマイクロモータが採用されている。

第一モータ３３と第二モータ３４は、筒フレーム３１ｂ
に設けられた支持壁３１ｇで遊星回転装置３２と隔てら
れている。

第一モータ３３の回転軸３３ｋが中空に形成され、該中
空な回転軸３３にの内側に第二モータ３４の回転軸３４
ｋが通されている。回転軸３３には外輪３２ｂとスプラ
イン結合され、回転軸３４には中心輪３４にとスプライ
ン結合されている。

出力軸４１は旋回腕３２ｄと一体形成されている。従っ
て、第１図と同じ作用となる。

永久磁石３３ｈ、３４ｈはボックスフレーム３１ｈに収
容して固定される内部フレーム３１ｆに支持されている
。回転軸３３にはベアリング３８．４２により両端支持
され、また回転軸３４にはベアリング３９．４０により
両端支持されている。

その他の発明構成要素については、第１図と同一の符号
を付け、説明は省く。

〈発明の効果〉 以上の説明から分かるように、本発明の複合モータは、 二つのモータと遊星回転装置とを極めてコンパクトに複
合一体化して二つのモータの回転数の和または差を遊星
回転装置において増大または減少することができ、もっ
て、高速と中速と低速の三種類の送り速度が実現できる
。そして、遊星回転装置を摩擦伝達車で構成した場合に
は振動やバックラッシやロストモーションの問題が生ず
ることがなく、従って、特に各種の高精密位置決めを必
要とする機械に好適に採用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図から第１１図までは本発明の複合モータに係り、 第１図は第一実施例、第２図は第二実施例、第３図は第
三実施例、第４図は第四実施例、第５図は第五実施例、
第６図は第六実施例、第７図は第七実施例、第８図は第
八実施例、第９図は第九実施例、第１０図は弟子実施例
、第１１図は弟子−実施例をそれぞれ示す断面図である
。 第１２図、第１３図、第１４図及び第１６図はそれぞれ
異なる従来技術にかかる精密テーブル装置の立面図であ
る。第１５図は、第１４図の精密テーブル装着の平面図
である。 １・拳モータ、 ２・・差動ポールネジの左ねじ部分、 ３目ブロツク、 ４目ナツト、 ５・・差動ポールネジの右ねじ部分、 ６−・テーブル、 ７・争す・ント、 ８・・モータ、 ９・拳歯車列、 １０・争す・ント、 １１・・ポールネジ、 １２・・モータ、 １３・会歯車列、 １４−−ナツト、 １５・・テーブル、 １６・拳モータ、 １７・・ポールネジ、 １８・・モータ、 １９拳Φ力・ンプリング、 ２０・・テーブル、 ２１−　・ナツト、 ２２・・ポールネジ、 ２３・・油圧モータ、 ２４−−ナツト歯車、 ２５・自歯車、 ２７・・ボールスプライン、 ２８・Ｏリニアモーション歯車、 ２９．３０・・ワンウェイクラッチ、 ３１＠争モータケーシング、 ３１ａＩＩ・ヘッドカバー、 ３１ｂ・・筒フレーム、 ３１ｃ争・中プレート、 ３１ｄ、３１ｅ＊ｅボツクスフレーム、３′１ｆ串・軸
受フランジ、 ３１ｇφ・仕切壁、 ３１ｈ・・ボックスフレーム、 ３１１目内部フレーム、 ３２・・遊星回転装置、 ３２ａ・・中心輪。 ３２ｂ・・外輪、 ３２ｃ會Φ遊星輪、 ３２ｄ・・旋回腕、 ３３・・第一モータ、 ３３ａ・・内軸、 ３３ｂ・・外軸、 ３３ｃ＊＋＋キー、 ３３ｄ・・ロックナツト、 ３３ｅ・・回転子、 ３３ｆ・・外側継鉄（静１Ｆ鉄心）、 ３３ｇ・・カップ状電機子コイル、 ３３ｈ・・内側永久磁石（界磁）、 ３３ｉ・・整流子、 ３３ｊ・Ｏブラシ、 ３３に・・回転軸、 ３４・・第二モータ、 ３４ａ・・内軸、 ３４ｂ・・外軸、 ３４ａ目回転子、 ３４ｄ・・キー、 ３４ｅ　ａ・ロックナツト。 ３４ｆ・・外側永久磁石（界′ｍ）、 ３４ｇ−Φカップ状電機子コイル、 ３４ｈ・や内側継鉄（静１１−．鉄心）、３４ｉ−−整
流子、 ３４ｊ・・ブラシ、 ３４に・・回転軸、 ３５−・電磁ブレーキ、 ３５ａ會参摩擦クラ・ソチ板、 ３５ｂ−−回転板、 ３５ｃφ・制動板、 ３５ｄ・・固定ガイド軸、 ３５ｅ・・キー、 ３５ｇ−・調整ネジ、 ３５ｆ目バネ、 ３５ｈ・・固定側ブレーキコイル、 ３５ｉ　・争固定側ブレーキコイル、 ３６・番電磁ブレーキ、 ３７．３８，３９，４０，４２．４３−−ベアリング、 ４４・・冷却ファン、 ５ン 第１４図 ｑ２１ 第１６図 ２日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）中心輪と、外輪と、中心輪と外輪に挟まれた円周方
   向に等配置の少くとも二個の遊星輪と、遊星輪を支持す
   る旋回腕とからなる遊星回転装置を備え、 第一モータの回転軸が、中心輪と外輪と旋回腕のいずれ
   かに直結され、第二モータの回転軸が、中心輪と外輪と
   旋回腕の中、第一モータが直結されているものと異なる
   ものに直結され、ケーシング外に突出する出力軸が、中
   心輪と外輪と旋回腕の中、第一モータまたは第二モータ
   が直結されていない残りの一つに直結され、これらが、
   ケーシング内にオールインワンに収容されていることを
   特徴とする複合モータ。 ２）第一モータの回転軸が外輪に直結され、第二モータ
   の回転軸が旋回腕もしくは中心輪に直結されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第一項記載の複合モータ。 ３）第一モータの回転軸が旋回腕に直結され、第二モー
   タの回転軸が中心輪に直結され、出力軸が外輪に直結さ
   れていることを特徴とする特許請求の範囲第一項記載の
   複合モータ。 ４）遊星回転装置に隣接して第一モータが配され、第一
   モータに隣接して第二モータが配され、出力軸がモータ
   と反対側にあり、第一モータの回転軸が中空に形成され
   、該中空な第一モータの回転軸の内側に第二モータの回
   転軸が通されていることを特徴とする特許請求の範囲第
   一項ないし第三項記載の複合モータ。 ５）第一モータと第二モータが遊星回転装置を挟んで位
   置され、旋回腕もしくは中心輪に直結された出力軸が、
   いずれか一方のモータの回転軸が中空に形成されたその
   内側に通されていることを特徴とする特許請求の範囲第
   一項ないし第二項記載の複合モータ。 ６）遊星回転装置は、摩擦伝達車よりなることを特徴と
   する特許請求の範囲第一項記載の複合モータ。 ７）遊星回転装置は、歯車よりなることを特徴とする特
   許請求の範囲第一項記載の複合モータ。