JPH04235516A

JPH04235516A - リレーレンズ

Info

Publication number: JPH04235516A
Application number: JP3138835A
Authority: JP
Inventors: Rama N Singh; ラマ・ナンド・シンフ; Janusz S Wilczynski; ジュナズ・スタニスロウ・ウィルコジンスキ
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1990-07-11
Filing date: 1991-06-11
Publication date: 1992-08-24
Anticipated expiration: 2011-05-29
Also published as: EP0465882A3; US5089913A; JP2501254B2; EP0465882A2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】（関連出願の引照）Ａ．　　Ｅ．　　Ｒｏ
ｓｅｎｂｌｕｔｈによる「像形成レンズ機構に使用され
る薄膜ビーム分割光学要素（Ｔｈｉｎ　　Ｆｉｌｍ　　
Ｂｅａｍ　　Ｓｐｌｉｔｔｅｒ　　Ｏｐｔｉｃａｌ　　
Ｅｌｅｍｅｎｔ　　Ｆｏｒ　　Ｕｓｅ　　ＩｎＡｎ　　
Ｉｍａｇｅ−Ｆｏｒｍｉｎｇ　　Ｌｅｎｓ　　Ｓｙｓｔ
ｅｍ）」と題された米国特願第０７／１８５，１８７号
（１９８８年４月２２日出願）にはビーム分割光学要素
が記載されており、これは三角形状基板としてのプリズ
ムを含み、このプリズムは該プリズムの斜面に対応する
平面を有し、該平面には各光ビームを反射部分と透過部
分とに分割できる物質で厚みを有する薄膜構造のコーテ
ィングがなされているために、該ビームはその薄膜構造
中での多重の反射の結果として正味の収差を受けること
がなく、更にはこのビーム分割光学要素は第２の三角形
状基板としてのプリズムを含み、前記第１のプリズムの
斜辺に設けられた薄膜構造に光学的に結着された斜辺と
しての平面を有する。

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は反射屈折リレーレンズに
関し、特にビーム分割面と湾曲反射面とを備える高分解
能縮小用の反射屈折リレーレンズであり、更には紫外線
波長域でサブミクロン単位の分解能を有する４×及び５
×の縮小用反射屈折リレーレンズに関する。

【０００３】

【従来の技術】マイクロエレクトロニクス部品（電子部
品）、例えば、半導体チップや半導体チップ実装基板の
製造において、機能の増大は、一般に、チップ上の電子
装置の像サイズの縮小や、半導体チップ及び半導体チッ
プ実装基板の配線平面における電気的導体の幅及び間隔
等の縮小によって達成されている。像サイズ及び間隔の
縮小化はより高い分解能像を投影する改善された光学シ
ステムによって達成することができる。

【０００４】一般に、電子部品製造のための光学システ
ムは、その入力部を介して予め選択された周波数の光を
通過させている当該光学システムの入力部に、パターン
を有するマスクを設けている。この光学システムは典型
的には、レンズ部品を有し、該レンズは電子部品の表面
上に縮小像として投影されるマスク・パターンのサイズ
を縮小することになる。マスクのパターンの幅や間隔を
縮小するために縮小機構が使用されている。こうした像
は、一般に、前記電子部品表面上のレジスト材上に投影
される。レジスト材上に投影された光はそこにおいて化
学変化を生じさせて、そのレジストの露光領域を未露光
領域に対して、可溶性にするか不溶性にする。可溶性領
域は溶剤に曝されることによって除去され、縮小サイズ
のマスクのポジティブ像或はネガティブ像としてのパタ
ーンを残すことになる。

【０００５】前記縮小機構はこうしたマスク上のパター
ンのサイズを縮小したり、その構造における欠陥を縮小
している。縮小マスク像を作り出すために光学システム
を使用すると、こうした機構の光学部品に内在する収差
と称する歪みを導入することになる。

【０００６】ステッパー（Ｓｔｅｐｐｅｒ）として知ら
れる装置に用いられる先行技術に係る縮小機構では一連
のレンズ群を使用して、マスク像を縮小したり、光学シ
ステムにおいて一般に知られている種々の収差を修正し
ている。然しながら本出願人は、光学システムの縮小能
力の卓越した部分を提供するために湾曲ミラーを使用す
ることによって、その内在する複数の収差がより効率的
に且つより少ない光学部品で修正され得ることを発見し
た。

【０００７】より好ましい湾曲面は凹球状ミラーである
。マスク像を縮小するためにレンズの代わりに球状ミラ
ーを用いることで生じるの問題は、マスクの投影像がそ
のミラーからマスクへ向かって反射されることである。このような像は容易に使用することができないのは、そ
の像が投影されることになる基板はその球面上に入射す
る光ビームの通路内に置かなければならないからである
。これは有効像のミラーの全幅又は全視野を使用して形
成することを実効的に妨げることになる。よって、この
ような機構では、一般的に、複数の反射面を使用して、
ミラーの視野を分割又はスプリットして、物体が焦点合
わせ（ピント合わせ）させられるための視野と物体の像
のピントが合わせられる基板のための視野とにしている
。このような機構においては、物体及び像だけで焦点合
わせ（ピント合わせ）用ミラーの全視野の１／２を占め
ることができるので、物体が結像されることになる基板
のサイズ又は大きさが制約を受けることなる。この焦点合わせミラーの視野は、ミラーが光学システム
の残りと共に適正に像を形成することになる物体又は像
の視野の領域である。

【０００８】本出願人は、適切なビーム分割面を使用す
ることによって、出力ビームが入力ビームから遠ざかる
ように指向され得て、その出力ビームが１つの基板上に
像を投影すべく使用され得ることを発見した。

【０００９】ビーム分割面に関して透過及び反射を経た
ビームは、そのビーム分割面を透過するか又は反射する
ことの結果として、歪み、収差及びアポダイゼーション
から略々解放されるはずである。本発明の光学システム
に適切なビーム分割面は、Ａ．Ｅ．　　Ｒｏｓｅｎｂｌ
ｕｔｈによる「像形成レンズ機構に使用される薄膜ビー
ム分割光学要素（Ｔｈｉｎ　　Ｆｉｌｍ　　Ｂｅａｍ　
　Ｓｐｌｉｔｔｅｒ　　Ｏｐｔｉｃａｌ　　Ｅｌｅｍｅ
ｎｔ　　Ｆｏｒ　　Ｕｓｅ　　Ｉｎ　　Ａｎ　　Ｉｍａ
ｇｅ−Ｆｏｒｍｉｎｇ　　Ｌｅｎｓ　　Ｓｙｓｔｅｍ）
」と題された米国特願第０７／１８５，１８７号（１９
８８年４月２２日出願）に記載されており、その教示は
ここにおいて参照用として組み入れられている。

【００１０】Ｍｉｎｏｔｔの米国特許第４，４４４，４
６４号には、２つの対称的に整合させられた軸逸脱型の
シュミット光学対物レンズを有する反射屈折型光学シス
テムが記載されている。入射光はその入射光の軸を逸脱
した２つの一次球状ミラーから反射することになる。各
ミラーからの光は光を複数のスペクトル帯に分割又は分
離するビームスプリッタから反射させられることになる
。

【００１１】米国特許第４，６９４，１５１号には、ミ
ラーなしのオートフォーカス機構が記載されており、レ
ンズ機構の前方レンズ群と後方レンズ群との間に挿入さ
れた半ミラープリズムとこれと組み合わされて光を検出
することができるセンサとを備える。

【００１２】米国特許第４，３１１，３６６号には、複
写カメラ用である湾曲ミラーなしの像焦点合わせ機構が
記載されており、入力ビームを折り畳む平坦ミラー又は
プリズム又はルーフプリズムを有する。入出力ビームは
レンズ組み合わせを通過して焦点及び収差の修正がなさ
れる。

【００１３】米国特許第４，２６５，５２９号には、カ
メラ用のファイダーが記載されており、入力レンズ、平
坦反射ミラー、ルーフ型五角形ミラー、及び接眼レンズ
を備えている。

【００１４】米国特許第３，５３６，３８０号には、半
導体チップのフォトリソグラフィ技術適用方面用の４×
の反射屈折型投影機構が記載されている。光はレンズを
介して指向され、マスクを通って半銀めっきミラーに向
かい、そこをからレンズを介して凹状ミラーに反射し、
そこからターゲット基板上に反射することになる。

【００１５】米国特許第４，３８７，９６９号には、対
物レンズ群と光を直角に偏向しレンズを通してフィルム
上に像を結ばせるビーム分割プリズムとを有する光学シ
ステムが記載されている。

【００１６】米国特許第２，１６６，１０２号には、対
物レンズを有する望遠鏡が記載されており、プリズム又
は平坦ミラーを用いて光を凹状ミラー方向へ反射させて
いる。

【００１７】米国特許第３，００１，４４８号には、浅
いドームによって生じる非点収差を回転プリズムを用い
ることによる正の無非点収差を導入することによって修
正するビーム分割器を使用した機構が記載されている。

【００１８】米国特許第４，７４２，３７６号には、Ｄ
ｙｓｏｎ−Ｗｙｎｎｅの反射屈折型投影機構を用いてい
るステップ及びリピート型機構が記載されている。

【００１９】米国特許第４，７４３，１０３号には、プ
リンターレンズにおいて必要とされる反転を実行するこ
となく、像を９０°回転させる写真プリンター用のレン
ズ機構が記載されている。

【００２０】本発明の目的は、大きな基板エリア上にサ
ブミクロン大の幾何学模様を忠実に再生することになる
拡張された視野を有する光学的投影機構を提供すること
である。

【００２１】本発明の他の目的は、紫外線の帯域幅、最
も好ましくはエキシマーレーザの帯域幅に亙って回折制
限された能力を有する、実質的に遠中心的な縮小用反射
屈折型リレーレンズを提供することである。

【００２２】本発明の他の目的は、許容可能で有用な像
を形成するためにビーム分割技術を採用する結果として
光学システムの正味の透過率を犠牲にすることによって
、超小型電子工学的な集積回路用として、非常に高感度
な深紫外線レジストと光学的なマイクロリソグラフィ技
術のための非常に強烈なエキシマーレーザビームとを利
用することである。

【００２３】本発明の更なる目的は、光学的なマイクロ
リソグラフィ技術の限界をクォータミクロン程度の分解
能にまで拡張することであり、これは高い開口数に加え
てマスクの部分的なコヒーレント照射を伴わせて採用す
ることによって達成されており、開口数０．６で収差無
しの焦点合わせさせられたレンズの場合の非コヒーレン
ト照射の４８％の限界を越えて高められたコントラスト
の結果によって像の記録能力を改善することになる。

【００２４】上記及びその他の目的、特徴、及び長所は
、以下の好適実施例のより特殊な説明や添付図によって
明白となるであろう。

【００２５】

【課題を解決するための手段】最も広い意味において、
本発明は反射屈折リレーレンズ機構に関連する。本発明
のより特殊な局面として、このレンズ機構は縮小機構で
あることである。

【００２６】本発明の他のより特殊な局面としては、輻
射線から成る像形成ビームの伝播を維持することができ
る物質から形成された光学要素を含む光学システムにあ
る。この光学要素は少なくとも１つの略々平坦面を有す
る。複数の薄い塗膜がこの略々平坦面上に設けられてお
り、該面から反射又は該面を透過して、該面に関する反
射及び透過により収差、歪み及びアポダイゼーションが
ないビームを提供している。この機構は更に凹状反射面
を備え、前記略々平坦面に関して反射されるか透過され
たビームを受けている。また、この機構は入力及び出力
レンズ群を備え、前記凹状反射面での反射から生じる収
差を略々修正している。

【００２７】本発明の他のより特殊な局面において、入
力ビームは前記略々平坦面で反射され凹状反射面に向か
い、そこから反射されて前記略々平坦面を通過して前記
出力側でターゲット上に結像される。

【００２８】本発明の他のより特殊な局面において、前
記入力ビームは略々平坦面を通過して凹状反射面上に向
かい、そこで略々平坦面に向かって反射され、そしてそ
こで入力ビームの軸を逸れて反射されて出力側でターゲ
ット上に結像される。

【００２９】本発明の他のより特殊な局面において、前
記光学システムはＮ×の縮小機構であり、Ｎは１よりも
大きい。

【００３０】本発明の他のより特殊な局面において、前
記光学システムはマスク投影機構であり、該マスクの所
定パターンをターゲット基板上に投影縮小している。

【００３１】本発明の他のより特殊な局面において、光
学システムは紫外線の全帯域幅、特にエキシマーレーザ
の紫外線帯域幅に亙ってサブミクロンの分解能を有する
。

【００３２】本発明の他のより特殊な局面において、前
記複数の薄い塗膜は前記略々平坦面に亙って略々均一な
厚みを有する物質から構成されており、略々平坦面から
反射されたビーム中と略々平坦面を透過したビーム中に
おける位相分布の自己補償と振幅分布の自己補償とをな
すことになり、その結果としての反射ビーム及び透過ビ
ームの位相分布及び振幅分布はそれで歪み、収差及びア
ポダイゼーションから略々解放されることになる。

【００３３】こうした事柄、他の目的、特徴及び長所は
次の好適実施例のより詳細な説明及び添付図面から明ら
かになるであろう。

【００３４】

【実施例】図１は本発明に係る光学システムの概略図で
ある。

【００３５】図１の装置は相互には線形的ではない入力
軸２及び出力軸４を有しており、この好適実施例では両
軸２及び４は直交している。輻射線は入力軸２に沿って
ターゲット８に結像されることになる物体６に指向させ
られている。輻射線は好ましくは紫外線光であり、最も
好ましいくは２４８ｎｍの波長で作動するＫｒＦエキシ
マーレーザ出力である。本発明の好適実施例において、
結像される物体６は入力軸２に沿っての輻射線の入射に
対して透明な領域と不透明で且つ予め決定されたパター
ン状となった領域とを有する。物体６を通過した輻射線
１０は略々平坦な面１２上に入射することになり、この
平坦面１２はその入射光を部分的に透過させると共に、
その入射光をこの光学システムの開口絞り（アパーチャ
）となる凹状反射面１６に向けて１４で示すように部分
的に反射する。ビーム１４は面１６で出力軸４に沿う輻
射線１８として反射してターゲット８上にピントが合わ
されることなる。この好適実施例のターゲット８は電子
部品、例えばレジスト材がその上に設けられた半導体チ
ップ或は半導体チップ実装基板である。マスク６の像は
ターゲット８のレジスト材上にピントが合わされてこの
レジスト材中に露出パターン又は露光パターンを形成す
る。このレジスト材がポジティブレジストかネガティブ
レジストかに依存して、露光領域が未露光領域に対して
溶解性になるか不溶解性になる。この好適実施例での露
光領域又はマスクの像はミクロン以下の分解能、好まし
くは半ミクロン以下の範囲内、最も好ましくは０．２５
ミクロン程度内の分解能を有する。このような微細分解
能を投影像中において達成するために、面１２から反射
されたビーム１４中並びに面１２を透過したビーム１８
中に導入された歪み、収差、アポダイゼーションを実質
的に削除しなければないらない。これは面１２上に設け
られた薄い塗膜２０を用いることによって可能である。薄い塗膜が設けられた面が本発明を実施するに有効であ
ることは、Ｒｏｓｅｎｂｌｕｔｈの米国特願第０７／１
８５，１８７号に記載されており、その教示内容をここ
で参照用として取り入れる。Ｒｏｓｅｎｂｌｕｔｈが提
供する薄膜構造は、入射ビームをその薄膜構造から反射
されるビームと透過されるビームに分割して、像視野に
収差、アポダイゼーション又は照度不均一性を導入する
ことがない。この好適実施例におけるビームスプリッタ
面１２はビーム分割キューブ２２内に含まれて、入力軸
２はキューブ２２の面２４に略々直交し且つ出力軸４は
キューブ２２の面２６に略々直交することになる。実際的適用には、２４８ｎｍ又はそれ以下の短い波長で
作動するリソグラフィ技術レンズが必要である。しかし
、３００ｎｍ以下の波長で、唯一の要素が通常透明レン
ズであるリソグラフィ技術的な結像機構を設計するこは
材料面の制約が起因してより困難になる。

【００３６】ビーム分割光学要素２２はプリズム２６を
含んでおり、その斜辺面３０には通常の方法によって薄
膜構造がコーティングされており、その薄膜構造は上記
に参照用として挙げたＲｏｓｅｎｂｌｕｔｈの米国出願
に開示されている手段によって決定された厚みの材料を
有しており、これは１０で示すような各光ビームの所望
の分割、即ち反射部分１４及び透過部分１８と云う所望
の分割に影響して、ビームはその薄膜構造中における多
重反射の結果として正味の収差を被ることがない。第２
の基板、即ちプリズム２８の斜辺に対応する面３２はプ
リズム２６の斜辺上に設けられた薄膜構造に通常の手段
を介して結着されて、ビーム分割光学要素２２を形成し
ている。

【００３７】殆どの分割膜は、薄膜の光学的特性である
固有の角度的な依存性によって、１０で示すようなビー
ムの角度的な分散に接触して相当な変動を導入すること
になる。この角度的な依存性は膜がビームの中心軸２に
対して回転された際に最も顕著である。ビーム１０は物
体６からプリズム面３２に投影される。そして、ビーム
１０の反射部分はミラー面１６に伝播される。この通路
で反射されたビームの小部分は第１通路ビーム分割能力
と称される。

【００３８】焦点合わせさせられた後、ビーム１０はま
たプリズム面３２上の薄い塗膜で第２の通路に入射する
。そして、この第２通路中を伝達される入射ビーム１０
の部分は基板８上の像３４としてピントが合わせられる
。この通路の能力は透過部分と同等である。基板８は、
先行技術の装置における反射ミラー系の視野の半分と云
うよりも、反射面１６の視野を全体占める程に十分に大
きい。

【００３９】ビーム分割面を形成している薄膜構造２０
は入力軸２からの入射ビーム１０を出力軸４に沿って逸
らすように傾斜させなければならない。然しながら、ビ
ーム分割要素２２の入口面２４又は出口面２６における
如何なる傾斜も結像ビーム中に収差を導入することにな
る。こうして、この好適実施例においては、面２４と面
２６とは結像される物体６とその像が投影される基板８
とにそれぞれ平行しているので、このビーム分割要素２
２は、この好適実施例では、１つの立方体形状としての
統一構造を形成している。

【００４０】図１に概略的に示された装置の入力側は物
体平面から湾曲反射面１６である。一方、この装置の出
力側は、上記面１６から像平面８である。図１の長方形
７は光学要素、即ち複数レンズ等を表しており、入力側
のどこにでも配置してよく、長方形９も光学要素を表し
ており、出力側のどこにでも配置してよい。７及び９で
表される此等光学要素は他の光学要素、湾曲面１６及び
ビーム分割要素２２によって導入された収差の修正をな
す。

【００４１】図２は５Ｘの光学的縮小用の反射屈折リレ
ーレンズの光学系の特殊な実施例を示し、エキシマーレ
ーザの全紫外線帯域幅に亙ってミクロン以下（サブミク
ロン）の分解能（解像能）を有している。ミラー部にお
いて絞りを有する球状一次ミラーは略々所望の縮小率と
略々所望の高分解能を提供するに十分な高開口数とで作
動すべく使用されている。適切なコーティングを有する
溶融シリカから成るビーム分割キューブはマスクを表す
物体の使用し易い像を形成しており、像面に配置される
ウェハーにパターンを形成することになる。ミラーへの
スロー（低速）入射ビームの通路中とミラーからのファ
ースト（高速）反射ビームの通路中との屈折修正器はミ
ラーによって形成される像の収差を整えるように設計さ
れている。

【００４２】凹球状ミラー５０は５×の所望の縮小率を
実質的に与える共役部に使用され、物体平面５２及び像
平面５４の付近に置かされる分離した屈折修正器によっ
て提供される視野平坦化を伴う。レンズ５６，５８，６
０，６２及び６４はミラー５０の長い共役部側６８にお
ける空間屈折グループ６６を形成している。空間屈折グ
ループ６６はミラー５０の短い共役部側７２のコンパク
トな組み合わせ視野修正器グループ７０によって補足さ
れる。視野修正器グループ７０はレンズ７４及び７６か
ら構成されている。入力軸における組み合わせレンズ群
６６と出力軸における組み合わせレンズ群７０はミラー
５０の視野湾曲又はまがりを修正する。ミラー５０にお
ける反射で生じる球面収差は入力軸６８及び出力軸７２
における相互に分離した複合修正器７８及び８０によっ
て修正されている。修正器７８はレンズ８２及び８４か
ら構成されている。修正器８０はレンズ８６及び８８か
ら構成されている。

【００４３】絞りとしても用いられているミラー５０に
関しての入力軸６８側の修正器６６，７８と出力軸７２
側の修正器７０，８０の略々対称的配置はこの光学シス
テムにおいて優れたコマ修正をなしている。この光学シ
ステムはビーム分割キューブを伴って設計されており、
このビーム分割キューブはその通路内において光の像形
成ビームにミラーへ入射するビームを解放すること許容
しており、これによってビーム分割キューブのガラス中
の光路に２つの通過使用を要求している。この構成なく
しては、シリコンウェハー上への不均一な露光線量に至
ることになる視野に伴う障害物の大きさの変化を主に考
慮した場合、マイクロリソグラフィ技術において使用さ
れることが推奨されない瞳中における障害物が常に現れ
ることになる。

【００４４】図２の構成は約０．６の高い開口数を有す
る。これはクォータミクロンの分解能に至る高解像能を
可能にしている。しかし、物体５２が覆う視野はビーム
分割キューブ９０とビーム分割面９２上の薄層コーティ
ングとが首尾よく製作され得る規模に依存している。

【００４５】表１は図２の実施例の好適な構造的パラメ
ータを列挙しており、この実施例は５Ｘの反射屈折リレ
ーレンズ用であり、出力側での０．６の開口数と１平方
センチメートルの面積をカバーするに十分な１４．４ミ
リメートル径の像側５２の円形視界とを有する。表１は
図２に示される各種の面、即ち各面の曲率半径をミリメ
ートル単位で列挙している。此等の面間での１つの面か
ら次の面までの厚さ又は隔たり（間隔）と屈折率を表し
、例えば面１００と面１０１の間の間隔は２．６９３６
ｍｍ（ミリメートル）であり、面１０１と面１０２の屈
折率は１．５０８８０７である。表１は各屈折面の径の
２分の１を列挙している。

【００４６】　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　表１　　　　　　　　　　　　　　
面　　　　　　　　曲率半径　　　　　　厚さ（間隔）
　　屈折率　　　　面の１／２径　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　（ｍｍ）　　　　　　　
　（ｍｍ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（ｍｍ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　ｎ　＝　１．５０８５５０７　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　ａ　＝　１．０
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　マス
ク　　　　　　　　１００　　　　　　　　　　　　　
　　　　　２．６９３６　　　　　　　　　　ａ　　　
　　　　　３６．０　　　　　　　　　　　　　　１０
１　　　　４１６．１９０７　　　　　　１５．６　　
　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　３６．８　　
　　　　　　　　　　　　１０２　　　　−３５２．６
０９５　　　　　０．１　　　　　　　　　　　　　ａ
　　　　　　　　３７．９　　　　　　　　　　　　　
　１０３　　　　２１６．３５０７　　　　　　９．９
９９６　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　３８．
４　　　　　　　　　　　　　　１０４　　　　−９１
４３　　　　　　　　　１００　　　　　　　　　　　
　　ａ　　　　　　　　３８．４　　　　　　　　　　
　　　　１０５　　　　１６５．０７７５　　　　　　
６．０　　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　
３７．５　　　　　　　　　　　　　　１０６　　　　
−１４１．８０９５　　　　　６．４３３９　　　　　
　　　　　ａ　　　　　　　　３７．８　　　　　　　
　　　　　　　１０７　　　　−５４４．５０８７　　
　　　９．０　　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　
　　　３７．５　　　　　　　　　　　　　　１０８　
　　　２７６．６３４２　　　　　　１５８．９９９１
　　　　　　　　ａ　　　　　　　　３７．５　　　　
　　　　　　　　　　１０９　　　　−１０６．１７３
１　　　　　５．０　　　　　　　　　　　　　ｎ　　
　　　　　　４８．２　　　　　　　　　　　　　　１
１０　　　　−２２１．０３０８　　　　　９５．９９
８２　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　５０．５　
　　　　　　　　　　　　　１１１　　　　７１７７．
４８２　　　　　　１５．０　　　　　　　　　　　　
ｎ　　　　　　　　７１．４　　　　　　　　　　　　
　　１１２　　　　−２３５．２７９６　　　　　３．
０　　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　７１
．９　　　　　　　　　　　　　　１１３　　　　−２
５３．３０４１　　　　　１５．０　　　　　　　　　
　　　ｎ　　　　　　　　７２．０　　　　　　　　　
　　　　　１１４　　　　−３６７．２　　　　　　　
　１８．０　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　
　７４．０キューブ面　　　　１１５　　　　　　　　
　　　　　　　　　　７５．０　　　　　　　　　　　
　ｎ　　　　　　　　　　　　キューブ斜面　　１１６
　　　　　　　　　　　　　　　　　　７５．０　　　
　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　　　　　キュー
ブ面　　　　１１７　　　　　　　　　　　　　　　　
　　２４．０　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　
　　　　　　ミラー　　　　　　　　１１８　　　　３
２２．０７０３　　　　　　２４．０　　　　　　　　
　　　　ａ　　　　　　　　８８．０キューブ面　　　
　１１７　　　　　　　　　　　　　　　　　　７５．
０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　　　　
　キューブ斜面　　１１６　　　　　　　　　　　　　
　　　　　７５．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　
　　　　　　　　　キューブ面　　　　１１９　　　　
　　　　　　　　　　　　　　９．００　　　　　　　
　　　　　ａ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　１２０　　　　−２６７．７９０９　　
　　　１５．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　
　　　４４．１　　　　　　　　　　　　　　１２１　
　　　−３１３．６６４　　　　　　１．０　　　　　
　　　　　　　　ａ　　　　　　　　４１．１　　　　
　　　　　　　　　　１２２　　　　８０．２３２９　
　　　　　　１６．４９８１　　　　　　　　　ｎ　　
　　　　　　３６．６　　　　　　　　　　　　　　１
２３　　　　３２８．６８７７　　　　　　５．８６２
７　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　３２．７　
　　　　　　　　　　　　　１２４　　　　１１０．６
６５６　　　　　　１８．０　　　　　　　　　　　　
ｎ　　　　　　　　２７．９　　　　　　　　　　　　
　　１２５　　　　５６．８９９４　　　　　　　４．
８２２４　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　１９
．３　　　　　　　　　　　　　　１２６　　　　６５
．４２４３　　　　　　　１８．０　　　　　　　　　
　　　ｎ　　　　　　　　１７．３　　　　　　　　　
　　　　　１２７　　　　−４２５．５０２　　　　　
　１．５　　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　
　１０．３　　　　　　　　　　　　　　１２８　　　
　−２１２．３７５３　　　　　３．０　　　　　　　
　　　　　　ｎ　　　　　　　　９．２　　　　　　　
　　　　　　　　１２９　　　　−７５６．９１７９　
　　　　０．７０４３　　　　　　　　　　ａ　　　　
　　　　７．８　ターゲット　　　　１３０　　本発明に従う光学システムのレンズ製造に使用され
るガラスの種類は殆ど制限がない。特殊な適用方面のた
めの望ましい波長の光を単に良好に伝達しなければなら
ないだけである。図２の構成及び表１は２４８ｎｍの波
長用であり、全てのレンズは溶融シリカで製造されてい
る。然しながら、視野修正及び球面収差修正レンズ群に
分散を異ならせるガラスを付加する通常の方法によるか
、そのようなガラスの選択がなさる適用法に従って、レ
ンズを色消し構成とすることも可能である。

【００４７】図２及び表１の実施例で達成可能な視野の
大きさは、ステッパーとして知られる光学的なマイクロ
リソグラフィ技術における装置に主に使用することが可
能であるが、リング型視野又はスロット型視野のスキャ
ナー類に適応されることを妨げることがなく、実際には
非常の大きなサイズのウェハーを印刷するためにステッ
ピングとスキャニングとを組み合わせた装置において非
常に大事なものとなる。

【００４８】図２及び表１の実施例のために、図３は光
学システムの３つの領域における子午的特徴（ｔａｎｇ
ｅｎｔｉａｌ　　ｆｅａｔｕｒｅ）及び球欠的特徴（ｓ
ａｇｉｔｔａｌ　　ｆｅａｔｕｒｅ）の両方のための空
間周波数の関数としての変調伝達関数を与えている。即
ち、一方が入力軸６８が物体面１００と交差する点１３
２であり、他方が入力軸６８が物体面１００と交差する
と共に点１３２から遠ざかる最大視野の０．７の点であ
り、第３としては入力軸６８が物体面１００と交差する
点から遠ざかる最大視野の点である。図３から明らかな
ように、此等３点における子午的及び球欠的特徴の変調
伝達関数は殆ど同一である。

【００４９】図４においては、図３に示された変調伝達
関数に対応して、此等３つの視野点における子午的及び
球欠的特徴のための焦点媒介ＭＴＦ（変調伝達関数）が
、２，０００サイクル／ｍｍのＭＦＴ周波数の場合とし
て示されている。図５には、周波数１，０００サイクル
／ｍｍの場合においての同様条件のための焦点媒介ＭＴ
Ｆが示されている。図４及び図５から明らかな如く、此
等３点における子午的及び球欠的特徴のための焦点媒介
ＭＴＦには殆ど差がない。　図６及び表２は５×の縮小
用反射屈折リレーレンズの光学的設計の他の実施例を示
しており、ＫｒＦレーザ等の線細深ＵＶエキシマーレー
ザの全帯域幅に亙ってサブミクロンの分解能を有してい
る。この実施例は、凹状ミラーと、マスク等の物体の利
用し易い像を生成するために適切なコーティングがなさ
れたビーム分割キューブと、ミラーへの低速入射ビーム
並びにミラーから反射された高速像形成ビームの両方に
関連した曲率に関して所定のより好ましい特徴を有する
屈折修正器と、から構成され、此等の全てが共同して、
拡張された視野に亙ってのサブミクロンの特性を伴って
、高度な修正がなされた像を作り出すことになる。図６及び表２の構造的なパラメータとしては、３０．０
ｍｍ径の円形視野に対して０．６の開口数が挙げられ、
２０平方ｍｍの像をカバーするに十分なものである。図
７は図６の実施例における周波数の関数としての焦点媒
介ＭＴＦの特性グラフである。図８は図６の実施例にお
ける１，５００サイクル／ｍｍの周波数の関数としての
焦点媒介ＭＴＦの特性グラフである。図９は図６の実施
例における２，０００サイクル／ｍｍの周波数の関数と
しての焦点媒介ＭＴＦの特性グラフである。図７、図８
及び図９は、入力軸１４２が物体平面と交叉している軸
上２０１の点と、点２０１から遠ざかる視野半分の最大
限の０．７の点と、１５ｍｍの視野半分の最大限の軸上
の点のにおける子午的及び球欠的特徴のためのＭＴＦを
プロットしている。軸逸脱値が子午的及び球欠的特徴用
ラインとして与えられているので、図７、図８及び図９
のグラフの各々に５つの曲線となって現れる。図７にお
いて、此等５つの曲線は本質的には区別することができ
ない。図８において、曲線３００が軸上の子午的及び球
欠特徴に対応しており、曲線３０２が視野最大限の０．
７における球欠的特徴に対応しており、曲線３０４が視
野最大限の０．７における子午的特徴に対応しており、
曲線３０６が視野最大限における子午的特徴に対応して
おり、曲線３０８が視野最大限における球欠的特徴に対
応している。図９において、曲線３１０が軸上子午的及
び球欠的特徴に対応しており、曲線３１２が視野最大限
の０．７における球欠的特徴に対応しており、曲線３１
４が視野最大限の０．７における子午的特徴に対応して
おり、曲線３１６が視野最大限における子午的特徴に対
応しており、曲線３１８が視野最大限における球欠的特
徴に対応している。

【００５０】　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　表２　　　　　　　　　　　　面　
　　　　　曲率半径　　　　厚さ（間隔）　　　　屈折
率　　　　　　面の１／２径　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　（ｍｍ）　　　　　　　　（ｍｍ）　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（ｍｍ）　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ｎ　＝　１．
５０８５５０７　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　ａ　＝　１．０　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　マスク　　　　　　２００　　　　
　　　　　　　　　　　　　　１１４．６４９４　　　
　　　　　ａ　　　　　　　　７５．１　　　　　　　
　　　　　２０１　　　　１７９２．５２２３　　　　
　１９．００１９　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　
　８１．９　　　　　　　　　　　　２０２　　　　−
８６６．１０５７　　　　　０．００５０　　　　　　
　　　　ａ　　　　　　　　８２．３　　　　　　　　
　　　　２０３　　　　３２２．７９８３　　　　　　
２４．９９５２　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　
８２．１　　　　　　　　　　　　２０４　　　　６１
２．９１０３　　　　　　９４．９２９７　　　　　　
　　　ａ　　　　　　　　８０．１　　　　　　　　　
　　　２０５　　　　−３６５．５１７２　　　　　２
０．９９８４　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　７
３．７　　　　　　　　　　　　２０６　　　　２７２
．００２　　　　　　　２６．１４７７　　　　　　　
　　ａ　　　　　　　　７４．４　　　　　　　　　　
　　２０７　　　　１８０．１７７３　　　　　　２０
．９９４３　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　８０
．８　　　　　　　　　　　　２０８　　　　１６２．
６３２９　　　　　　２６．７９３９　　　　　　　　
　ａ　　　　　　　　７９．４　　　　　　　　　　　
　２０９　　　　２２２．２８０９　　　　　　３５．
００１４　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　８４．
３　　　　　　　　　　　　２１０　　　　−３８２．
３８９５　　　　　０．００３４　　　　　　　　　　
ａ　　　　　　　　８４．３　　　　　　　　　　　　
２１１　　　　６２８．８８１５　　　　　　１９．０
０１１　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　８２．４
　　　　　　　　　　　　２１２　　　　１７６．４５
３４　　　　　　９７．４０８３　　　　　　　　　ａ
　　　　　　　　７８．３　　　　　　　　　　　　２
１３　　　　１１８０．４５２１　　　　　１９．００
３９　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　８３．０　
　　　　　　　　　　　２１４　　　　−１４６６．０
０　　　　　　０．５０１２　　　　　　　　　　ａ　
　　　　　　　８３．２　　　　　　　　　　　　２１
５　　　　１６５．２１０４　　　　　　１９．８９４
３　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　８３．０　　
　　　　　　　　　　２１６　　　　１４４．１９３７
　　　　　　８７．６４０３　　　　　　　　　ａ　　
　　　　　　７８．９キューブ面　　２１７　　　　　
　　　　　　　　　　　　　８５．００　　　　　　　
　　　　ｎ　　　　　　　　　　　　キューブ斜面２１
８　　　　　　　　　　　　　　　　　　８５．００　
　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　　　　　キュ
ーブ面　　２１９　　　　　　　　　　　　　　　　　
　０．００　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　２２０　　　　　
　　　　　　　　　　　　　２０．０　　　　　　　　
　　　　ｎ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　２２１　　　　７２７．５３７５　　　　　　
７．４９９５　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　
８５．０ミラー　　　　　　２２２　　　　３５４．６
３６４　　　　　　７．４９９５　　　　　　　　　　
ａ　　　　　　　　８３．９　　　　　　　　　　　　
２２１　　　　７２７．５３７５　　　　　　２０．０
　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　８５．０
　　　　　　　　　　　　２２０　　　　　　　　　　
　　　　　　　　０．００　　　　　　　　　　　　ａ
　　　　　　　　　　　　キューブ面　　２１９　　　
　　　　　　　　　　　　　　　８５．００　　　　　
　　　　　　ｎ　　　　　　　　　　　　キューブ斜面
２１８　　　　　　　　　　　　　　　　　　８５．０
０　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　　　　　
キューブ面　　２２３　　　　　　　　　　　　　　　
　　　１．００　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　
　　　３７．４　　　　　　　　　　　　２２４　　　
　６０．０９０３　　　　　　　９．５８４２　　　　
　　　　　　ｎ　　　　　　　　３３．２　　　　　　
　　　　　　２２５　　　　１１２．４９９８　　　　
　　０．１　　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　
　　３１．４　　　　　　　　　　　　２２６　　　　
５９．７９０６　　　　　　　４．９０１７　　　　　
　　　　　ｎ　　　　　　　　２９．４　　　　　　　
　　　　　２２７　　　　４７．６８７５　　　　　　
　５．６０４４　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　
　２６．５　　　　　　　　　　　　２２８　　　　１
０２．４５３５　　　　　　７．５１１　　　　　　　
　　　　ｎ　　　　　　　　２６．０　　　　　　　　
　　　　２２９　　　　−６０２．３９４１　　　　　
１．０００　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　
２４．５　　　　　　　　　　　　２３０　　　　−３
８８．６７０５　　　　　１９．６１３２　　　　　　
　　　ｎ　　　　　　　　２３．９　　　　　　　　　
　　　２３１　　　　−５７８．１０６８　　　　　０
．５　　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　１
５．５ターゲット　　２３２　　図６の実施例の構成に使用されるガラスの種類はそ
れらが特定な適用方面で望まれる波長に関して良好に伝
達できるのであれば殆ど制限を受けない。この実施例の
構成は２４８ｎｍの波長用として示されており、全ての
レンズは表２において溶融シリカから製造されている。しかし、それらは通常の方法に従って、即ちガラスがそ
のように選択された適用方面において視野修正・球面収
差修正レンズにガラスを異なる分散度で加えることによ
って、色消しとすることもできる。そのような使用は本
発明を実施している構成で達成可能な機能に好ましく影
響することが予想される。

【００５１】図１０及び表３は図１の光学システムの他
の実施例を示す。図１０及び表３は４×の縮小用反射屈
折リレーレンズを示し、例えばＫｒＦレーザ等のエキシ
マーレーザの全ＵＶ帯域幅に亙ってサブミクロンの分解
能を有している。図１０及び表２の実施例の構造及びパ
ラメータとしては、２．０平方ｍｍの像視野をカバーす
るに十分な３０ｍｍ径の円形視野のための０．６の開口
数を含む。図１０のための周波数媒介及び焦点媒介ＭＴ
Ｆは図２及び図６の実施例に示したものと同様である。

【００５２】　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　表３　　　　　　　　　　　　面　
　　　　　　　曲率半径　　　　　　厚さ（間隔）　　
屈折率　　　　　　面の１／２径　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　（ｍｍ）　　　　　　　　（ｍｍ
）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（ｍｍ）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ｎ　
＝　１．５０８５５０７　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　ａ　＝　１．０　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　１００　　　　　　　　　　　　　　　　　　１１
５．０　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　６０
．１　　　　　　　　　　　　３０１　　　　３７０．
２９４８　　　　　　３０．０　　　　　　　　　　　
　ｎ　　　　　　　　６７．９　　　　　　　　　　　
　３０２　　　　−１９６．６２１２　　　　　２．０
　　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　６７．
６　　　　　　　　　　　　３０３　　　　−１９５．
９９９２　　　　　２１．０　　　　　　　　　　　　
ｎ　　　　　　　　６７．１　　　　　　　　　　　　
３０４　　　　２８１．８６４９　　　　　　１０４．
０　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　６６．３
　　　　　　　　　　　　３０５　　　　−１１１．９
２４１　　　　　２１．０　　　　　　　　　　　　ｎ
　　　　　　　　７２．７　　　　　　　　　　　　３
０６　　　　−１００．９７８９　　　　　７．５　　
　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　７６．７　
　　　　　　　　　　　３０７　　　　−９７．６０４
６　　　　　　２１．０　　　　　　　　　　　　ｎ　
　　　　　　　７６．５　　　　　　　　　　　　３０
８　　　　−１８９．１７９９　　　　　２．０　　　
　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　８８．９　　
　　　　　　　　　　３０９　　　　−６４９．７９２
４　　　　　３４．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　
　　　　　　９３．４　　　　　　　　　　　　３１０
　　　　−１５９．９６０６　　　　　１０４．０　　
　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　９５．５　　　
　　　　　　　　　３１１　　　　３０７８．１５５５
　　　　　２８．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　
　　　　　９１．７　　　　　　　　　　　　３１２　
　　　−４５５．０２７６　　　　　１２．０　　　　
　　　　　　　　ａ　　　　　　　　９１．２　　　　
　　　　　　　　３１３　　　　−２３８．３５５４　
　　　　１９．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　
　　　　９０．７　　　　　　　　　　　　３１４　　
　　−４０７．０８２４　　　　　２．０　　　　　　
　　　　　　　ａ　　　　　　　　９１．７　　　　　
　　　　　　　３１５　　　　２０４．３３９６　　　
　　　１８．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　
　　　９０．１　　　　　　　　　　　　３１６　　　
　１７０．３０６５　　　　　　５３．０　　　　　　
　　　　　　ａ　　　　　　　　８６．１キューブ面　
　１１７　　　　　　　　　　　　　　　　　　８５．
０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　　　　
　キューブ斜面３１８　　　　　　　　　　　　　　　
　　　８５．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　
　　　　　　　キューブ面　　３１９　　　　　　　　
　　　　　　　　　　０　　　　　　　　　　　　　　
　ａ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　３２０　　　　　　　　　　　　　　　　　　２０．
０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　３２１　　　　８２５．０
５５６　　　　　　７．５　　　　　　　　　　　　　
ａ　　　　　　　　８４．５ミラー　　　　　　３２２
　　　　３８３．２４０５　　　　　　７．５　　　　
　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　８４．７　　　
　　　　　　　　　３２１　　　　８２５．０５５６　
　　　　　２０．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　
　　　　　８４．５　　　　　　　　　　　　３２０　
　　　　　　　　　　　　　　　　　０　　　　　　　
　　　　　　　　ａ　　　　　　　　　　　　キューブ
面　　３１９　　　　　　　　　　　　　　　　　　８
５．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　　
　　　キューブ斜面３１８　　　　　　　　　　　　　
　　　　　８５．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　
　　　　　　　　　キューブ面　　３２３　　　　　　
　　　　　　　　　　　　１．０　　　　　　　　　　
　　　ａ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　３２４　　　　５６．５１０２　　　　　　　１
２．０　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　３
４．５　　　　　　　　　　　　３２５　　　　３８７
．１７０５　　　　　　０．２５　　　　　　　　　　
　　ａ　　　　　　　　３３．７　　　　　　　　　　
　　３２６　　　　−２２９．１０６８　　　　　５．
０　　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　３２
．８　　　　　　　　　　　　３２７　　　　４４．８
２８１　　　　　　　６．２　　　　　　　　　　　　
　ａ　　　　　　　　２６．９　　　　　　　　　　　
　３２８　　　　４６．１３７３　　　　　　　７．５
　　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　２５．
１　　　　　　　　　　　　３２９　　　　５２．１７
２１　　　　　　　２．０　　　　　　　　　　　　　
ａ　　　　　　　　２２．６　　　　　　　　　　　　
３３０　　　　６４．１９４６　　　　　　　１９．６
　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　２２．２
　　　　　　　　　　　　３３１　　　　５２６．９３
７８　　　　　　０．５９９１　　　　　　　　　　ａ
　　　　　　　　１５．３ターゲット　　３３２　　表４の構造的なパラメータを有する図１１の実施例
と表５の構造的なパラメータを有する図１２の実施例は
４４０と５５０のマンジン・ミラー（Ｍａｎｇｉｎ鏡）
をそれぞれ備えている。このマンジン・ミラー（３）は
共役部に使用されて、４の所望の縮小率を略々与えてい
る。マンジン・ミラーの長い共役側における空気を介し
て離間する屈折群はマンジン・ミラーの短い共役側の修
正器群によって補われている。この光学システムはビー
ム分割キューブを伴って設計されており、このビーム分
割キューブはその通路内において光の像形成ビームにマ
ンジン・ミラーへ入射するビームを解放すること許容し
ており、これによってビーム分割キューブのガラス中の
光路に２つの通過使用をもたらしている。この構成なく
しては、シリコンウェハー上への不均一な露光線量に至
る視野に伴う掩蔽の大きさの変化を主に考慮した場合、
マイクロリソグラフィ技術において使用されることが推
奨されない瞳中における障害物が常に現れることになる
。クォーターミクロンに至る高分解能はこの構成の０．
６の開口数によって達成可能である。

【００５３】当方の現在の目的のために、マンジン・ミ
ラーは、入射光に対して凹状のメニスカスレンズであり
、その裏面には適切な高反射物質が塗装されてミラーと
して作用することを示している。そのミラー面において
絞りを有するマンジン・ミラーは、略々所望の縮小率及
び高開口数で、所望の高分解能を略々提供すべく十分に
動作させるために使用されている。

【００５４】図１１及び表４の実施例は４×の縮小用反
射屈折リレーレンズであり、ＵＶ（紫外線）帯域幅にお
いてサブミクロンの分解能を有し、１２×５平方ｍｍの
像視野をカバーするに十分な１３ｍｍ径の円形視野のた
めの０．６の開口数を有している。

【００５５】図１２の実施例は４×の縮小用反射屈折リ
レーレンズであり、ＵＶ（紫外線）帯域幅においてサブ
ミクロンの分解能を有し、１２×５平方ｍｍの像視野を
カバーするに十分な１３ｍｍ径の円形視野のための０．
６の開口数を有している。

【００５６】図１１及び図１２の実施例のための周波数
媒介及び焦点媒介ＭＴＦは図２及び図６の実施例のため
に示されたものと同様である。

【００５７】　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　表４　　　　　　　　　　　　　　
　　面　　　　　　曲率半径　　　　　　厚さ（間隔）
　　屈折率　　　　面の１／２径　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　（ｍｍ）　　　　　　　
　　　（ｍｍ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（ｍｍ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　ｎ　＝　１．５６０７６９１　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　ａ　＝　１．０
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　マス
ク　　　　　　　　４００　　　　　　　　　　　　　
　　　　　３．１　　　　　　　　　　　　　ａ　　　
　　　　　２６．０　　　　　　　　　　　　　　４０
１　　　　９０．５１２４　　　　　　　１５．００２
９　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　２７．１　　
　　　　　　　　　　　　４０２　　　　１４２．８５
８２　　　　　　１．５０２５　　　　　　　　　　ａ
　　　　　　　　２６．９　　　　　　　　　　　　　
　４０３　　　　１８２．２３９８　　　　　　２５．
９９８２　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　２６．
９　　　　　　　　　　　　　　４０４　　　　−２９
９．０７　　　　　　　９．７４　　　　　　　　　　
　　ａ　　　　　　　　２７．１　　　　　　　　　　
　　　　４０５　　　　−８６．３９６３　　　　　　
２０．８１７７　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　
２６．６　　　　　　　　　　　　　　４０６　　　　
−８５．４７２５　　　　　　２１．４９８４　　　　
　　　　　ａ　　　　　　　　２８．２　　　　　　　
　　　　　　　４０７　　　　−２４１．１４３５　　
　　　９．５０５１　　　　　　　　　　ｎ　　　　　
　　　２６．２　　　　　　　　　　　　　　４０８　
　　　−２７９．９２８６　　　　　１１．３４７０　
　　　　　　　　ａ　　　　　　　　２５．８　　　　
　　　　　　　　　　４０９　　　　−６５．７５０３
　　　　　　９．５１５　　　　　　　　　　　ｎ　　
　　　　　　２５．６　　　　　　　　　　　　　　４
１０　　　　−１２２．０２５２　　　　　１４．９５
６３　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　２７．１　
　　　　　　　　　　　　　４１１　　　　−４６７．
２５８３　　　　　１５．００５３　　　　　　　　　
ｎ　　　　　　　　２７．９　　　　　　　　　　　　
　　４１２　　　　−４２１．６９　　　　　　　３．
００１２　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　２８
．８　　　　　　　　　　　　　　４１３　　　　９２
．３５　　　　　　　　　１５．００４２　　　　　　
　　　ｎ　　　　　　　　２９．２　　　　　　　　　
　　　　　４１４　　　　６４．０２８３　　　　　　
　１５．００３８　　　　　　　　　ａ　　　　　　　
　２７．７キューブ面　　　　４１５　　　　　　　　
　　　　　　　　　　３５　　　　　　　　　　　　　
　ｎ　　　　　　　　　　　　キューブ斜面　　４１６
　　　　　　　　　　　　　　　　　　３５　　　　　
　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　　　　　キュー
ブ面　　　　４１７　　　　　　　　　　　　　　　　
　　５．００５６　　　　　　　　　　ａ　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　４１８　　
　　−１９９．４４１５　　　　　１０．００１２　　
　　　　　　　ｎ　　　　　　　　３４．７ミラー　　
　　　　　　４１９　　　　−１６１．８８４４　　　
　　１０．００１２　　　　　　　　　ｎ　　　　　　
　　３５．２　　　　　　　　　　　　　　４１８　　
　　−１９９．４４１５　　　　　５．００５６　　　
　　　　　　　ａ　　　　　　　　３５．２キューブ面
　　　　４１７　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３５　　　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　
　　　　キューブ斜面　　４１６　　　　　　　　　　
　　　　　　　　３５　　　　　　　　　　　　　　ｎ
　　　　　　　　　　　　キューブ面　　　　４２０　
　　　　　　　　　　　　　　　　　．９０２６　　　
　　　　　　　　ａ　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　４２１　　　　５７．６０４１　
　　　　　　９．５０１７　　　　　　　　　　ｎ　　
　　　　　　２５．８　　　　　　　　　　　　　　４
２２　　　　９２０．０４８９　　　　　　０．４０１
５　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　２４．７　
　　　　　　　　　　　　　４２３　　　　９８．１３
３　　　　　　　　１１．２９２９　　　　　　　　　
ｎ　　　　　　　　２３．４　　　　　　　　　　　　
　　４２４　　　　３１６．５８８３　　　　　　２．
００２２　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　２０
．１　　　　　　　　　　　　　　４２５　　　　９２
．５２１６　　　　　　　５．９０１８　　　　　　　
　　　ｎ　　　　　　　　１８．１　　　　　　　　　
　　　　　４２６　　　　−５０２．４２２７　　　　
　０．５　　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　
　１６．５　　　　　　　　　　　　　　４２７　　　
　−２７４．９７７２　　　　　２１．９３７５　　　
　　　　　　ｎ　　　　　　　　１６．２　　　　　　
　　　　　　　　４２８　　　　７６８．７２４８　　
　　　　０．１９３３　　　　　　　　　　ａ　　　　
　　　　６．６　ターゲット　　　　４２９　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　表５　　　　　　　　　　　　　　面　　　　　　
　　曲率半径　　　　　　厚さ（間隔）　　屈折率　　
　　面の１／２径　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　（ｍｍ）　　　　　　　　（ｍｍ）　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　（ｍｍ）　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ｎ　＝
　１．５０８５５０７　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　ａ　＝　１．０　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　マスク　　　　　　
　　５００　　　　　　　　　　　　　　　　　　３．
２　　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　２６
．０　　　　　　　　　　　　　　５０１　　　　１２
３．３７４１　　　　　　１５．００２９　　　　　　
　　　ｎ　　　　　　　　２６．９　　　　　　　　　
　　　　　５０２　　　　４０７．９７４５　　　　　
　０．５０２５　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　
　２７．３　　　　　　　　　　　　　　５０３　　　
　２４７．９２２　　　　　　　２５．９９８２　　　
　　　　　　ｎ　　　　　　　　２７．４　　　　　　
　　　　　　　　５０４　　　　−３０１．６１２８　
　　　　１０．００６５　　　　　　　　　ａ　　　　
　　　　−２６．９　　　　　　　　　　　　　　　５
０５　　　　−７７．１８５２　　　　　　２０．９９
６１　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　２６．８　
　　　　　　　　　　　　　５０６　　　　−７２．９
３９２　　　　　　６．８４４９　　　　　　　　　　
ａ　　　　　　　　２８．１　　　　　　　　　　　　
　　５０７　　　　１１４．６５２４　　　　　　９．
５０５１　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　２７
．３　　　　　　　　　　　　　　５０８　　　　８９
．３９２２　　　　　　　１１．３４７　　　　　　　
　　　ａ　　　　　　　　２６．４　　　　　　　　　
　　　　　５０９　　　　−６０．３０６６　　　　　
　９．５０６　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　
　２６．５　　　　　　　　　　　　　　５１０　　　
　−８６．８１７９　　　　　　４１．２５８１　　　
　　　　　　ａ　　　　　　　　２８．１　　　　　　
　　　　　　　　５１１　　　　２３４．３２０２　　
　　　　１５．００１９　　　　　　　　　ｎ　　　　
　　　　３２．０　　　　　　　　　　　　　　５１２
　　　　１９４．５７６９　　　　　　３．００１２　
　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　３２．０　　　
　　　　　　　　　　　５１３　　　　７９．４６２３
　　　　　　　１５．００４２　　　　　　　　　ｎ　
　　　　　　　３２．３　　　　　　　　　　　　　　
５１４　　　　６１．２８３７　　　　　　　１５．０
０５８　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　３０．４
キューブ面　　　　５１５　　　　　　　　　　　　　
　　　　　０　　　　　　　　　　　　　　　ｎ　　　
　　　　　　　　　キューブ斜面　　５１６　　　　　
　　　　　　　　　　　　　０　　　　　　　　　　　
　　　　ｎ　　　　　　　　　　　　キューブ面　　　
　５１７　　　　　　　　　　　　　　　　　　５．０
０５６　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　５１８　　　　−１７
９．４１８７　　　　　１０．００１２　　　　　　　
　　ａ　　　　　　　　３５．２ミラー　　　　　　　
　５１９　　　　−１５８．６２１８　　　　　１０．
００１２　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　５１８　　　　−１
７９．４１８７　　　　　５．００５６　　　　　　　
　　　ａ　　　　　　　　３５．２キューブ面　　　　
５１７　　　　　　　　　　　　　　　　　　３５　　
　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　　　　　　　
キューブ斜面　　５１６　　　　　　　　　　　　　　
　　　　３５　　　　　　　　　　　　　　ｎ　　　　
　　　　　　　　キューブ面　　　　５２０　　　　　
　　　　　　　　　　　　　０．９０２６　　　　　　
　　　　ａ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　５２１　　　　５２．４４２１　　　　　
　　９．５０２８　　　　　　　　　　ｎ　　　　　　
　　２３．４　　　　　　　　　　　　　　５２２　　
　　９２１．１１２７　　　　　　０．４０１５　　　
　　　　　　　ａ　　　　　　　　２２．１　　　　　
　　　　　　　　　５２３　　　　８５．１７４１　　
　　　　　８．３３９１　　　　　　　　　　ｎ　　　
　　　　　２１．０　　　　　　　　　　　　　　５２
４　　　　３５７．８８５３　　　　　　２．００２２
　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　１９．６　　
　　　　　　　　　　　　５２５　　　　８７．１２２
８　　　　　　　２．９０２４　　　　　　　　　　ｎ
　　　　　　　　１７．７　　　　　　　　　　　　　
　５２６　　　　−３５０５　　　　　　　　　０．５
　　　　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　１７．
０　　　　　　　　　　　　　　５２７　　　　−４８
３．０２２８　　　　　２４．２１５６　　　　　　　
　　ｎ　　　　　　　　１６．７　　　　　　　　　　
　　　　５２８　　　　４２９．６７１５　　　　　　
０．１９０３　　　　　　　　　　ａ　　　　　　　　
６．６　ターゲット　　　　５２９　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　達成可能な視野の非
常に大きなサイズは、特に図６及び表２や図１０及び表
３のような大きなサイズは、主にステッパーとして知ら
れる光学的マイクロリソグラフィ技術の装置に使用する
ことができが、一層大きな視野を作るためのリング状視
野タイプ又はスロット状視野タイプのスキャナーに適用
されることを妨げない。この構成の非常に大きな視野は
サブ−ダイ（又はサブ−チップ）のスキャニングで、よ
り良好な整合及び焦点調整のために、視野の到る所を連
続的にモニターさせること可能とし、この構成の自然に
制限された焦点の深さを調整すること、更には集積回路
の超高分解能光学マイクロリソグラフィ技術のための過
酷なウェハー平坦度要件を手当てすることの１つの方法
としている。

【００５８】ここにおいてビーム分割面上に設けられる
ところのコーティング、そのコーティングを製作する方
法、及び図１の該略図のビーム分割面１２のためのコー
ティングを設計する技術、上述の参照用としてのＲｏｓ
ｅｎｂｌｕｔｈの特許出願、特にその実施例において見
ることができる。Ｒｏｓｅｎｂｌｕｔｈのコーティング
は、ハフニア、マグネシウム、弗化物、アルミナ、シリ
コーンジオキサイドの複数層が含まれるが、これに限定
されることはない。次のものはＲｏｓｅｎｂｌｕｔｈの
教示であり、そして次のビーム分割用コーティングは表
２の実施例用である。

【００５９】１）アルミナ（Ａｌ２　Ｏ３　）　　　　　　　　　　
　　　　　　　　２２６　Å　±　１４　Å２）マグネ
シウムフルオライド（ＭｇＦ２　）　　　　４３２　Å
　±　２２　Å３）ハフニア（ＨｆＯ２　）　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　２０４　Å　±　１０
　Å４）マグネシウムフルオライド（ＭｇＦ２　）　　
　　４６２　Å　±　２４　Å５）アルミナ（Ａｌ２　
Ｏ３　）　　　　　　　　　　　　　　　　　　２０９
　Å　±　１２　Å６）ハフニア（ＨｆＯ２　）　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　２３０　Å　±　
１０　Å　　右の欄はオングストローム（　　）単位の
厚みを表す。輻射線がマスク（入力側）から伝播すると、コーティン
グを通って第１（伝達）通路中の層＃１に入射光しゃす
る。こうした複数層内で多重的に反射させられた後、こ
の副射線は層＃６から抜け出してくる。第２（反射）通
路中において、輻射線は層＃６上に入射する。反射の後
、ウェハーへ向かって伝播する。

【００６０】ここでの実施例はＵＶ（紫外線）波長用で
あるが、図１の一般構成はこれに限定されることはない
。ここでの実施例のための構造的パラメータについての
変動は、好ましくは±２０％、より好ましくは±１０％
、最も好ましくは±５％である。

【００６１】要約すれば、本発明はＮ×の縮小用の反射
屈折リレーレンズの光学システムであり、全ＵＶ帯域幅
、特にＵＶエキシマーレーザの帯域幅に亙ってサブミク
ロンの分解能を有する。ミラー部において絞りを有する
球状ミラーは略々所望の縮小比で、且つ所望の高分解能
を提供するに十分な所望の高開口数で作動すべく使用さ
れる。適切なコーティングを有するビーム分割キューブ
は物体の利用し易い像を形成するに不可欠であり、この
物体はマスクを表し、その像の位置に置かれる基板をパ
ターン化するべく使用される。ミラーに入射するスロー
ビームの通路中と、ミラーから反射されたファーストビ
ームの通路中との屈折修正器はミラーによって形成され
た像の収差を整えるように設計されている。

【００６２】上述した実施例は発明の原理の単なる例示
であり、種々の他の変更や修正は、発明の原理を実施し
ようとする当業者によって工夫され得、そしてこの発明
の精神と範囲の内にある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光学システムの概略構成図である。

【図２】図１に概略的に示された５×の縮小用機構のた
めの装置の実施例の構成図である。

【図３】図２の装置のための空間周波数の関数としての
変調伝達関数（ＭＴＦ）の特性グラフである。

【図４】図２の装置のための２，０００サイクル／ｍｍ
の焦点媒介周波数での焦点媒介ＭＴＦの特性グラフであ
る。

【図５】図２の装置のための１，０００サイクル／ｍｍ
の周波数での焦点媒介ＭＴＦの特性グラフである。

【図６】全視野５×縮小機構のための図１に概略的に示
された装置の実施例の構成図である。

【図７】図６の装置のための空間周波数の関数としての
変調伝達関数（ＭＴＦ）の特性グラフである。

【図８】図６の装置のための１，５００サイクル／ｍｍ
の周波数での焦点媒介ＭＴＦの特性グラフである。

【図９】図６の装置のための２，０００サイクル／ｍｍ
の周波数での焦点媒介ＭＴＦの特性グラフである。

【図１０】全視野４×縮小機構のための図１に概略的に
示された装置の実施例の構成図である。

【図１１】マンジン・ミラー（Ｍａｎｇｉｎ　　ｍｉｒ
ｒｏｒ）が組み入れられた全視野４×縮小機構のための
図１に概略的に示された装置の実施例の構成図である。

【図１２】マンジン・ミラー（Ｍａｎｇｉｎ　　ｍｉｒ
ｒｏｒ）が組み入れられた全視野４×縮小機構のための
図１に概略的に示された装置の実施例の構成図である。

【符号の説明】

２　　入力軸　　　　　　　　　　　　　　　　　　４
　　出力軸６　　物体　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　８　　ターゲット（基板）１０　　放射線　
　　　　　　　　　　　　　　　１２　　平坦面１４　
　ビーム　　　　　　　　　　　　　　　　１６　　反
射面２２　　ビーム分割要素　　　　　　　　２４　　
入口面２６　　出口面　　　　　　　　　　　　　　　
　３２　　プリズム面５０　　ミラー　　　　　　　　
　　　　　　　　５６，５８，６０，６２，６４　　レ
ンズ６６，７０，７８，８０　　修正器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　光学システムであって、像を形成する
ための放射ビームを伝播可能な物質で形成され、少なく
とも一面が略々平坦である光学要素と、前記略々平坦な
面に設けられ、光学収差、歪曲及びアポタイゼーション
を生じることなく、ビームを前記平坦面から反射させた
り、該平坦面を透過させる複数の薄い塗膜と、前記略々
平坦な面から反射もしくは該平坦面を透過した前記ビー
ムが入射する凹状の反射面と、入力及び出力レンズ群と
から成り、該入力及び出力レンズ群が、同レンズ群で生
じたり、前記凹状の反射面からの反射によって生じる光
学収差等を修正する光学システム。
【請求項２】　　前記入力レンズ群及び出力レンズ群は
高い開口数で広い視野の略々歪みがない像を形成すべく
、光学収差等を修正することから成る請求項１記載の光
学システム。
【請求項３】　　前記入力及び出力レンズ群は前記凹状
反斜面の視野湾曲を修正する１つのレンズ組み合わせを
含み、当該入力及び出力レンズ群の各々は前記凹状反斜
面の球状収差を修正する１つのレンズ組み合わせを含む
ことから成る請求項１記載の光学システム。
【請求項４】　　前記高い開口数は０．７以下であり、
前記歪みなし像は大きさにおいて０．２５ミクロン以上
であることから成る請求項２記載の光学システム。
【請求項５】　　前記光学システムはエキシマーレーザ
の全紫外線帯域幅に亙ってサブミクロンの分解能を有す
ることから成る請求項１記載の光学システム。
【請求項６】　　前記帯域幅は約１ナノメータであるこ
とから成る請求項５記載の光学システム。
【請求項７】　　前記薄い塗膜は前記略々平坦面に亙っ
て略々均一な厚みを有する物質から構成されているので
、当該略々平坦面から反射されたビーム中と当該略々平
坦面を透過させられたビーム中に、補償位相分布及び補
償振幅分布を提供しており、当該補償位相及び振幅分布
は実質的には前記略々平坦面とその上のコーティングの
収差及び歪みであることから成る請求項１記載の光学シ
ステム。
【請求項８】　　　　前記輻射線像形成ビームの伝播を
維持できる物質から構成される第２の光学要素を更に備
え、当該第２光学要素は、前記第１光学要素の前記薄い
塗膜、即ち前記薄い塗膜が層状に設けられた前記第１光
学要素に対して当該薄膜層の反対側上に結着された少な
くとも１つの略々平坦な面を有することから成る請求項
１記載の光学システム。
【請求項９】　　前記第１及び第２光学要素はプリズム
であり、前記平坦面は当該プリズムの面であり、当該第
１及び第２光学要素の組み合わせは１つのビーム分割構
造体を形成していることから成る請求項８記載の光学シ
ステム。
【請求項１０】　　前記薄い塗膜は、ハフニア、マグネ
シウム、アルミナ、二酸化珪素の少なくともの１つのグ
ループから選択されることから成る請求項１記載の光学
システム。
【請求項１１】　　紫外線帯域幅においてサブミクロン
の分解能を有する５×の縮小用反射屈折リレーレンズに
おいて、約４１６．２ｍｍの曲率半径の第１面と、約−
３５２．６ｍｍの曲率半径の第２面と、前記第２面及び
第１面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１５．６ｍｍ
及び１．５であること、約２１６．４ｍｍの曲率半径の
第３面と、前記第３面及び第２面の間の間隔及び屈折率
がそれぞれ約０．１ｍｍ及び１であること、約−９１４
３ｍｍの曲率半径の第４面と、前記第４面及び第３面の
間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１０ｍｍ及び１．５で
あること、約−１６５．１ｍｍの曲率半径の第５面と、
前記第５面及び第４面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ
約１００ｍｍ及び１であること、約−１４１．８ｍｍの
曲率半径の第６面と、前記第６面及び第５面の間の間隔
及び屈折率がそれぞれ約６ｍｍ及び１．５であること、
約−５４４．５ｍｍの曲率半径の第７面と、前記第７面
及び第６面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約６．４ｍ
ｍ及び１であること、約２７６．６ｍｍの曲率半径の第
８面と、前記第８面及び第７面の間の間隔及び屈折率が
それぞれ約９ｍｍ及び１．５であること、約−１０６．
２ｍｍの曲率半径の第９面と、前記第９面及び第８面の
間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１５９ｍｍ及び１であ
ること、約−２２１ｍｍの曲率半径の第１０面と、前記
第１０面及び第９面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約
５ｍｍ及び１．５であること、約７１７７．５ｍｍの曲
率半径の第１１面と、前記第１１面及び第１０面の間の
間隔及び屈折率がそれぞれ約９６ｍｍ及び１であること
、約−２３５．３ｍｍの曲率半径の第１２面と、前記第
１２面間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１５ｍｍ及び１
．５であること、約−２５３．３ｍｍの曲率半径の第１
３面と、前記第１３面及び第１２面の間の間隔及び屈折
率がそれぞれ約３ｍｍ及び１であること、約−３６７．
３ｍｍの曲率半径の第１４面と、前記第１４面及び第１
３面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１５ｍｍ及び１
．５であること、約１．５の屈折率を有する領域を画成
している第１５、第１７及び第１９の略々平坦面と、前
記１５面及び第１４面の間の間隔及び屈折率はそれぞれ
約１８ｍｍ及び１であること、前記領域内の第１６ビー
ム分割面と、約３２２ｍｍの曲率半径の第１８反射面と
、前記１８面及び第１７面の間の間隔及び屈折率はそれ
ぞれ約２４ｍｍ及び１であること、約−２６７．８ｍｍ
の曲率半径の第２０面と、約−３１３．７ｍｍの曲率半
径の第２１面と、前記第２１面及び第２０面の間の間隔
及び屈折率がそれぞれ約１５ｍｍ及び１．５であること
、約８０ｍｍの曲率半径の第２２面と、前記第２２面及
び第２１面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１ｍｍ及
び１であること、約３２８．７ｍｍの曲率半径の第２３
面と、前記第２３面及び第２２面の間の間隔及び屈折率
がそれぞれ約１．６５ｍｍ及び１．５であること、約１
１０．７ｍｍの曲率半径の第２４面と、前記第２４面及
び第２３面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約５．９ｍ
ｍ及び１であること、約５６．９ｍｍの曲率半径の第２
５面と、前記第２５面及び第２４面の間の間隔及び屈折
率がそれぞれ約１８ｍｍ及び１．５であること、約６５
．４ｍｍの曲率半径の第２６面と、前記第２６面及び第
２５面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約４．８ｍｍ及
び１であること、約−４２５．５ｍｍの曲率半径の第２
７面と、前記第２７面及び第２６面の間の間隔及び屈折
率がそれぞれ約１８ｍｍ及び１．５であること、約２１
２．４ｍｍの曲率半径の第２８面と、前記第２８面及び
第２７面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１．５ｍｍ
及び１であること、約−７５７ｍｍの曲率半径の第２９
面と、前記第２９面及び第２８面の間の間隔及び屈折率
がそれぞれ約３ｍｍ及び１．５であること、から構成さ
れるリレーレンズ。
【請求項１２】　　前記第１６ビーム分割面はその上に
複数の薄い塗膜を備えて、当該ビーム分割面に関して反
射及び透過させられたビームであって、その反射及び透
過により、収差、歪み及びアポダイゼーションから略々
解放されたビームを提供していることから成る請求項１
１記載のリレーレンズ。
【請求項１３】　　紫外線帯域幅においてサブミクロン
の分解能を有する５×の縮小用反射屈折リレーレンズに
おいて、約１７９２．５ｍｍの曲率半径の第１面と、約
−８６６．１ｍｍの曲率半径の第２面と、前記第２面及
び第１面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１９ｍｍ及
び１．５であること、約３２２．８ｍｍの曲率半径の第
３面と、前記第３面及び第２面の間の間隔及び屈折率が
それぞれ約０．００５ｍｍ及び１であること、約６１２
．９ｍｍの曲率半径の第４面と、前記第４面及び第３面
の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２５ｍｍ及び１．５
であること、約−３６５．５ｍｍの曲率半径の第５面と
、前記第５面及び第４面の間の間隔及び屈折率がそれぞ
れ約９５ｍｍ及び１であること、約２７２ｍｍの曲率半
径の第６面と、前記第６面及び第５面の間の間隔及び屈
折率がそれぞれ約２１ｍｍ及び１．５であること、約１
８０．２ｍｍの曲率半径の第７面と、前記第７面及び第
６面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２６．１ｍｍ及
び１であること、約１６２．６ｍｍの曲率半径の第８面
と、前記第８面及び第７面の間の間隔及び屈折率がそれ
ぞれ約２１ｍｍ及び１．５であること、約２２２．３ｍ
ｍの曲率半径の第９面と、前記第９面及び第８面の間の
間隔及び屈折率がそれぞれ約２６．８ｍｍ及び１である
こと、約−３８２．４ｍｍの曲率半径の第１０面と、前
記第１０面及び第９面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ
約３５ｍｍ及び１．５であること、約６２８．９ｍｍの
曲率半径の第１１面と、前記第１１面及び第１０面の間
の間隔及び屈折率がそれぞれ約０．００３ｍｍ及び１で
あること、約１７６．５ｍｍの曲率半径の第１２面と、
前記第１２面及び第１１面の間の間隔及び屈折率がそれ
ぞれ約１９ｍｍ及び１．５であること、約１１８０．５
ｍｍの曲率半径の第１３面と、前記第１３面及び第１２
面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約９７．４ｍｍ及び
１であること、約−１４６６ｍｍの曲率半径の第１４面
と、前記第１４面及び第１３面の間の間隔及び屈折率が
それぞれ約１９ｍｍ及び１．５であること、約１６５．
２ｍｍの曲率半径の第１５面と、前記第１５面及び第１
４面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約０．５ｍｍ及び
１であること、約１４４．２ｍｍの曲率半径の第１６面
と、前記第１６面及び第１５面の間の間隔及び屈折率が
それぞれ約１９．９ｍｍ及び１．５であること、約１．
５の屈折率を有する領域を画成している第１７、第１９
及び第２３の略々平坦面と、前記１７面及び第１６面の
間の間隔及び屈折率はそれぞれ約８７．６ｍｍ及び１で
あること、前記領域内の第１８ビーム分割面と、第２０
略々平坦面と、前記１９面及び第２０面の間の間隔はゼ
ロであること、約７２７．５ｍｍの曲率半径の第２１面
と、前記第２１面及び第２０面の間の間隔及び屈折率が
それぞれ約２０．０ｍｍ及び１．５であること、約３５
４．６ｍｍの曲率半径の第２２反射面と、前記第２２面
及び第２１面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約７．５
ｍｍ及び１であること、約６０．１ｍｍの曲率半径の第
２４面と、前記第２４面及び第２３面の間の間隔及び屈
折率がそれぞれ約１ｍｍ及び１であること、約１１２．
５ｍｍの曲率半径の第２５面と、前記第２５面及び第２
４面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約９．６ｍｍ及び
１．５であること、約５９．８ｍｍの曲率半径の第２６
面と、前記第２６面及び第２５面の間の間隔及び屈折率
がそれぞれ約０．１ｍｍ及び１であること、約４７．７
ｍｍの曲率半径の第２７面と、前記第２７面及び第２６
面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約４．１ｍｍ及び１
．５であること、約１０２．５ｍｍの曲率半径の第２８
面と、前記第２８面及び第２７面の間の間隔及び屈折率
がそれぞれ約５．６ｍｍ及び１であること、約−６０２
．４ｍｍの曲率半径の第２９面と、前記第２９面及び第
２８面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約７．５ｍｍ及
び１．５であること、約−３８８．７ｍｍの曲率半径の
第３０面と、前記第３０面及び第２９面の間の間隔及び
屈折率がそれぞれ約１ｍｍ及び１であること、約−５７
８．１ｍｍの曲率半径の第３１面と、前記第３１面及び
第３０面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１９．６ｍ
ｍ及び１．５であること、から構成されるリレーレンズ
。
【請求項１４】　　前記第１８ビーム分割面はその上に
複数の薄い塗膜を備えて、当該ビーム分割面に関して反
射及び透過させられたビームであって、その反射及び透
過により、収差、歪み及びアポダイゼーションから略々
解放されたビームを提供していることから成る請求項２
１記載のリレーレンズ。
【請求項１５】　　紫外線帯域幅においてサブミクロン
の分解能を有する４×の縮小用反射屈折リレーレンズに
おいて、約３７０．３ｍｍの曲率半径の第１面と、約−
１９６．６ｍｍの曲率半径の第２面と、前記第２面及び
第１面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約３０ｍｍ及び
１．５であること、約−１９６．０ｍｍの曲率半径の第
３面と、前記第３面及び第２面の間の間隔及び屈折率が
それぞれ約２ｍｍ及び１であること、約−１１１．９ｍ
ｍの曲率半径の第５面と、前記第５面及び第４面の間の
間隔及び屈折率がそれぞれ約１０４ｍｍ及び１であるこ
と、約−１０１ｍｍの曲率半径の第６面と、前記第６面
及び第５面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２１ｍｍ
及び１．５であること、約−９７．６ｍｍの曲率半径の
第７面と、前記第７面及び第６面の間の間隔及び屈折率
がそれぞれ約７．５ｍｍ及び１であること、約１８９．
２ｍｍの曲率半径の第８面と、前記第８面及び第７面の
間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２１ｍｍ及び１．５で
あること、約６５０ｍｍの曲率半径の第９面と、前記第
９面及び第８面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２ｍ
ｍ及び１であること、約１６０ｍｍの曲率半径の第１０
面と、前記第１０面及び第９面の間の間隔及び屈折率が
それぞれ約３４ｍｍ及び１．５であること、約３０７８
ｍｍの曲率半径の第１１面と、前記第１１面及び第１０
面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１０４ｍｍ及び１
であること、約−４５５ｍｍの曲率半径の第１２面と、
前記第１２面及び第１１面の間の間隔及び屈折率がそれ
ぞれ約２８ｍｍ及び１．５であること、約−２３８．４
ｍｍの曲率半径の第１３面と、前記第１３面及び第１２
面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１２ｍｍ及び１で
あること、約−４０７．１ｍｍの曲率半径の第１４面と
、前記第１４面及び第１３面の間の間隔及び屈折率がそ
れぞれ約１９ｍｍ及び１．４であること、約２０４．３
ｍｍの曲率半径の第１５面と、前記第１５面及び第１４
面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２ｍｍ及び１であ
ること、約１７０．３ｍｍの曲率半径の第１６面と、前
記第１６面及び第１５面の間の間隔及び屈折率がそれぞ
れ約１８ｍｍ及び１．５であること、約１．５の屈折率
を有する領域を画成している第１７、第１９及び第２３
の略々平坦面と、前記１７面及び第１６面の間の間隔及
び屈折率はそれぞれ約５３ｍｍ及び１であること、前記
領域内の第１８ビーム分割面と、第２０略々平坦面と、
前記１９面及び第２０面の間の間隔はゼロであること、
約８２５．１ｍｍの曲率半径の第２１面と、前記第２１
面及び第２０面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２０
ｍｍ及び１．５であること、約３８３．２ｍｍの曲率半
径の第２２反射面と、前記第２２面及び第２１面の間の
間隔及び屈折率がそれぞれ約７．５ｍｍ及び１であるこ
と、約５６．５ｍｍの曲率半径の第２４面と、前記第２
４面及び第２３面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１
ｍｍ及び１であること、約３８７．２ｍｍの曲率半径の
第２５面と、前記第２５面及び第２４面の間の間隔及び
屈折率がそれぞれ約１２ｍｍ及び１．５であること、約
−２２９．１ｍｍの曲率半径の第２６面と、前記第２６
面及び第２５面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約０．
２５ｍｍ及び１であること、約４４．８ｍｍの曲率半径
の第２７面と、前記第２７面及び第２６面の間の間隔及
び屈折率がそれぞれ約５ｍｍ及び１．５であること、約
４６．１ｍｍの曲率半径の第２８面と、前記第２８面及
び第２７面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約６．２ｍ
ｍ及び１であること、約５２．２ｍｍの曲率半径の第２
９面と、前記第２９面及び第２８面の間の間隔及び屈折
率がそれぞれ約７．５ｍｍ及び１．５であること、約６
４．２ｍｍの曲率半径の第３０面と、前記第３０面及び
第２９面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２ｍｍ及び
１であること、約５２７ｍｍの曲率半径の第３１面と、
前記第３１面及び第３０面の間の間隔及び屈折率がそれ
ぞれ約１９．６ｍｍ及び１．５であること、から構成さ
れるリレーレンズ。
【請求項１６】　　前記第１８ビーム分割面はその上に
複数の薄い塗膜を備えて、当該ビーム分割面に関して反
射及び透過させられたビームであって、その反射及び透
過により、収差、歪み及びアポダイゼーションから略々
解放されたビームを提供していることから成る請求項１
５記載のリレーレンズ。
【請求項１７】　　紫外線帯域幅においてサブミクロン
の分解能を有する４×の縮小用反射屈折リレーレンズに
おいて、約９０．５ｍｍの曲率半径の第１面と、約１４
２．９ｍｍの曲率半径の第２面と、前記第２面及び第１
面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１５ｍｍ及び１．
５であること、約１８２．２ｍｍの曲率半径の第３面と
、前記第３面及び第２面の間の間隔及び屈折率がそれぞ
れ約１．５ｍｍ及び１であること、約−２９９．１ｍｍ
の曲率半径の第４面と、前記第４面及び第３面の間の間
隔及び屈折率がそれぞれ約２６ｍｍ及び１．５であるこ
と、約−８６．４ｍｍの曲率半径の第５面と、前記第５
面及び第４面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約９．７
ｍｍ及び１であること、約−８５．５ｍｍの曲率半径の
第６面と、前記第６面及び第５面の間の間隔及び屈折率
がそれぞれ約２０．８ｍｍ及び１．５であること、約−
２４１．１ｍｍの曲率半径の第７面と、前記第７面及び
第６面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２１．５ｍｍ
及び１であること、約−２７９．９ｍｍの曲率半径の第
８面と、前記第８面及び第７面の間の間隔及び屈折率が
それぞれ約９．５ｍｍ及び１．５であること、約−６５
．８ｍｍの曲率半径の第９面と、前記第９面及び第８面
の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１１．３ｍｍ及び１
であること、約−１２２．０ｍｍの曲率半径の第１０面
と、前記第１０面及び第９面の間の間隔及び屈折率がそ
れぞれ約９．５ｍｍ及び１．５であること、約−４６７
．３ｍｍの曲率半径の第１１面と、前記第１１面及び第
１０面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１５ｍｍ及び
１であること、約−４２１．７ｍｍの曲率半径の第１２
面と、前記第１２面間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１
５ｍｍ及び１．５であること、約９２．３５ｍｍの曲率
半径の第１３面と、前記第１３面及び第１２面の間の間
隔及び屈折率がそれぞれ約３ｍｍ及び１であること、約
６４ｍｍの曲率半径の第１４面と、前記第１４面及び第
１３面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１５ｍｍ及び
１．５であること、約１．５の屈折率を有する領域を画
成している第１５、第１７及び第２０の略々平坦面と、
前記第１５面及び第１４面の間の間隔及び屈折率がそれ
ぞれ約１５ｍｍ及び１であること、前記領域内の第１６
ビーム分割面と、約１９９．４ｍｍの曲率半径を有する
第１８反射面と、前記１８面及び第１７面の間の間隔及
び屈折率はそれぞれ約５ｍｍ及び１であること、約−１
６１．８８４４ｍｍの曲率半径を有する第１９反射面と
、前記１９面及び第１８面の間の間隔及び屈折率がそれ
ぞれ約１０ｍｍ及び１．５であること、約５７．６０４
１ｍｍの曲率半径の第２１面と、前記第２１面及び第２
０面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約０．９ｍｍ及び
１であること、約９２０ｍｍの曲率半径の第２２面と、
前記第２２面及び第２１面の間の間隔及び屈折率がそれ
ぞれ約９．５ｍｍ及び１．５であること、９８．１３３
ｍｍの曲率半径の第２３面と、前記第２３面及び第２２
面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約０．４ｍｍ及び１
であること、約３１６．５８８３ｍｍの曲率半径の第２
４面と、前記第２４面及び第２３面の間の間隔及び屈折
率がそれぞれ約１１．３ｍｍ及び１．５であること、約
９２．５２１６ｍｍの曲率半径の第２５面と、前記第２
５面及び第２４面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２
ｍｍ及び１であること、約−５０２．４ｍｍの曲率半径
の第２６面と、前記第２６面及び第２５面の間の間隔及
び屈折率がそれぞれ約５．９ｍｍ及び１．５であること
、約−２７５ｍｍの曲率半径の第２７面と、前記第２７
面及び第２６面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約０．
５ｍｍ及び１であること、約７６８．７ｍｍの曲率半径
の第２８面と、前記２８面及び第２７面の間の間隔及び
屈折率がそれぞれ約２２ｍｍ及び１．５であること、か
ら構成されるリレーレンズ。
【請求項１８】　　前記第１６ビーム分割面はその上に
複数の薄い塗膜を備えて、当該ビーム分割面に関して反
射及び透過させられたビームであって、その反射及び透
過により、収差、歪み及びアポダイゼーションから略々
解放されたビームを提供していることから成る請求項１
７記載のリレーレンズ。
【請求項１９】　　紫外線帯域幅においてサブミクロン
の分解能を有する４×の縮小用反射屈折リレーレンズに
おいて、約１２３．４ｍｍの曲率半径の第１面と、約４
０８ｍｍの曲率半径の第２面と、前記第２面及び第１面
の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１５ｍｍ及び１．５
であること、約２４７．９ｍｍの曲率半径の第３面と、
前記第３面及び第２面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ
約０．５ｍｍ及び１であること、約−３０１．６ｍｍの
曲率半径の第４面と、前記第４面及び第３面の間の間隔
及び屈折率がそれぞれ約２６ｍｍ及び１．５であること
、約−７７．２ｍｍの曲率半径の第５面と、前記第５面
及び第４面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１０ｍｍ
及び１であること、約−７３ｍｍの曲率半径の第６面と
、前記第６面及び第５面の間の間隔及び屈折率がそれぞ
れ約２１ｍｍ及び１．５であること、約１１４．７ｍｍ
の曲率半径の第７面と、前記第７面及び第６面の間の間
隔及び屈折率がそれぞれ約６．８ｍｍ及び１であること
、約８９．４ｍｍの曲率半径の第８面と、前記第８面及
び第７面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約９．５ｍｍ
及び１．５であること、約−６０．３ｍｍの曲率半径の
第９面と、前記第９面及び第８面の間の間隔及び屈折率
がそれぞれ約１１．５ｍｍ及び１であること、約−８６
．８ｍｍの曲率半径の第１０面と、前記第１０面及び第
９面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約９．５ｍｍ及び
１．５であること、約２３４．３ｍｍの曲率半径の第１
１面と、前記第１１面及び第１０面の間の間隔及び屈折
率がそれぞれ約４１．３ｍｍ及び１であること、約１９
４．６ｍｍの曲率半径の第１２面と、前記第１２面間の
間隔及び屈折率がそれぞれ約１５ｍｍ及び１．５である
こと、約７９．５ｍｍの曲率半径の第１３面と、前記第
１３面及び第１２面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約
３ｍｍ及び１であること、約６１．３ｍｍの曲率半径の
第１４面と、前記第１４面及び第１３面の間の間隔及び
屈折率がそれぞれ約１５ｍｍ及び１．５であること、約
１．５の屈折率を有する領域を画成している第１５、第
１７及び第２０の略々平坦面と、前記第１５面及び第１
４面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約１５ｍｍ及び１
であること、前記領域内の第１６ビーム分割面と、約−
１７９．４ｍｍの曲率半径の第１８面と、前記第１８面
及び第１７面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約５ｍｍ
及び１であること、約−１５８．６ｍｍの曲率半径の第
１９反射面と、前記第１９面及び第１８面の間の間隔及
び屈折率がそれぞれ約１０ｍｍ及び１．０であること、
約５２．４ｍｍの曲率半径の第２１面と、前記第２１面
及び第２０面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約０．９
ｍｍ及び１であること、約９２１．１ｍｍの曲率半径の
第２２面と、前記第２２面及び第２１面の間の間隔及び
屈折率がそれぞれ約９．５ｍｍ及び１．５であること、
約８５．２ｍｍの半径を有する第２３面と、前記第２３
面及び第２２面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約０．
４ｍｍ及び１であること、約３５７．９ｍｍの曲率半径
の第２４面と、前記第２４面及び第２３面の間の間隔及
び屈折率がそれぞれ約８．４ｍｍ及び１．５であること
、約８７．１ｍｍの曲率半径の第２５面と、前記第２５
面及び第２４面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約２．
０ｍｍ及び１であること、約−３５０５ｍｍの曲率半径
の第２６面と、前記第２６面及び第２５面の間の間隔及
び屈折率がそれぞれ約２．９ｍｍ及び１．５であること
、約−４８３．０ｍｍの曲率半径の第２７面と、前記第
２７面及び第２６面の間の間隔及び屈折率がそれぞれ約
０．５ｍｍ及び１であること、約４２９．７ｍｍの曲率
半径の第２８面と、前記第２８面及び第２７面の間の間
隔及び屈折率がそれぞれ約２４．２ｍｍ及び１５である
こと、から構成されるリレーレンズ。
【請求項２０】　　前記第１６ビーム分割面はその上に
複数の薄い塗膜を備えて、当該ビーム分割面に関して反
射及び透過させられたビームであって、その反射及び透
過により、収差、歪み及びアポダイゼーションから略々
解放されたビームを提供していることから成る請求項１
９記載のリレーレンズ。