JPH0423372A

JPH0423372A - レーザ発振器の水漏れ検出装置

Info

Publication number: JPH0423372A
Application number: JP12291390A
Authority: JP
Inventors: Shinji Fukazawa; 深澤　真志
Original assignee: Amada Co Ltd
Current assignee: Amada Co Ltd
Priority date: 1990-05-15
Filing date: 1990-05-15
Publication date: 1992-01-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、レーザ発振器内部の水漏れを検知するように
したレーザ発振器の水漏れ検出装置に関する。

（従来の技術）従来、例えば３軸直交型ガスレ一ザ発振器が知られてい
る。このレーザ発振器に設けられたレーザ発振器本体の
上部には、上部ガス通路が形成され、ガス流方向に向っ
て左右側壁に光共振器の各ミラーが取付けられている。

一方、前記レーザ発振器本体の下部には、ガス流を送風
するためのブロアが設けられている。このブロアにより
送風されたガス流が側部ガス通路を経て、上部ガス通路
、放電領域に導入され、この放電領域を通過した後、他
の側部ガス通路に設けられた熱交換器で冷却され、前記
ブロアに戻されるようになっている。

（発明が解決しようとする課題）ところで、前記レーザ発振器本体は真空容器で、この真
空容器内に何らかの理由で、熱交換器の冷却水等の水漏
れが発生した場合には、アーク放電により放電が不安定
になり、吸熱によりミラーが曇り、フロア、熱交換器、
アノード部、ミラ一部、シールドブレートアパーチャ等
の順に応力腐蝕が多く発生する等の問題がある。しかし
、作業者の経験により放電状態または真空ポンプの汚染
状態から、水漏れが発生していることを判断していた。

このために、水が大量に漏れた状態でないと、その判断
が困難で、水漏れと判断した時点では既に大量の水漏れ
となっていて、復帰に多大の時間を要すると共に、内部
の部品交換費用が増加する等の問題があった。従って、
早期に水漏れを発見することは保守上の重要な課題であ
った。

本発明の目的は、上記の問題点を解決するために、早期
に水漏れが発見され、損害が軽減されるレーザ発振器の
水漏れ検出装置を提供することにある。

［発明の構成コ（課題を解決するための手段）上記目的を達成するために、本発明は、レーザ媒質であ
るガス流の流れ方向に沿って放電を行うレーザ発振器で
あって、前記レーザ発振器内部の水漏れを検知する水漏
れセンサと、この水漏れセンサの出力を基準値と比較し
て異常の有無を検出する水漏れ比較検出部とを備えたこ
とを特徴とするレーザ発振器の水漏れ検出装置である。

また、水漏れセンサは、レーザ発振器内部のガスを排出
する排出管に装着された加圧容器内部に設けられる。な
お、水漏れ比較検出部は、レーザ発振器内部に装着され
た熱交換器への冷却水の供給を停止し得る。

（作用）本発明のレーザ発振器の水漏れ検出装置を採用すること
により、前記レーザ発振器内部の水漏れを検知する水漏
れセンサを設け、この水漏れセンサの出力を基準値と比
較して水漏れの有無を検出する水漏れ比較検出装置を設
けることによって、早期に水漏れが発見され、その損害
が軽減される。

（実施例）以下、本発明の実施例例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

第６図は本発明が実施されるレーザ発振器の正面説明図
を示す。図においてレーザ発振器には、レーザ発振器本
体１が設けられている。レーザ発振器本体１の上部には
、このレーザ発振器本体１を図において左右方向に貫通
する上部ガス通路３が形成されている。

この上部ガス通路３のガス流方向に向って左右の側壁に
、光共振器の各ミラーが取付けられている。すなわち、
ガス通路３の背面側壁面には、前記光共振器のリアフォ
ールディングミラー５およびプライマリミラー７が設け
られ、ガス通路３の手前側壁面（図示せず）には、前記
光共振器のフロントフォールディングミラーおよび出力
ミラー（いずれも図示せず）が設けられている。

従って、前記ガス通路３には、前記複数のミラーで挾ま
れる領域として光学空洞９が形成されている。

この光学空洞９の下には、前記ガス流中に放電を行うた
めの正の放電電極であるアノード１１が設けられている
。また、その上方には、負の放電電極である上流側カソ
ード列１３および下流側カソード列１５が設けられてい
る。なお、この上流側カソード列１３および下流側カソ
ード列１５は、それぞれ紙面に垂直方向に併設された多
数の針状電極からなるものである。

一方、前記レーザ発振器本体１の下部には、ガス流Ｇを
送風するためのブロア１７が設けられている。このブロ
ア１７により送風されたガス流Ｇが側部ガス通路１９を
介して、前記上部ガス通路３、放電領域に導入され、放
電領域を通過した後、他の側部ガス通路２１に設けられ
た熱交換器２３にて冷却され、ブロア１７に戻されるよ
うに形成されている。

第１図は本発明の一実施例である水漏れ検出装置の回路
構成図、第２図は湿度に対する電気抵抗の変化を示す湿
度センサの特性図、第３図は湿度設定値に対する異常表
示区間表示線図を示す。水漏れ検出装置２５は、水漏れ
検知センサ（湿度センサ）２７、増幅器２９、水漏れ比
較検出部（湿度異常検出部）３１および表示ランプ３３
から構成されている。湿度センサ２７は、電極３５．３
７からなり、レーザ発振器本体１内部の水回りの内壁に
設けられ、湿度変化による電気抵抗の変化を検知するこ
とにより、水漏れ（湿度）を検出する。

第２図に示すように湿度センサ２７は、湿度（％）に対
する電気抵抗（Ω）の変化特性を具備する検出信号を増
幅器２９に出力する。増幅器２９は、この検出信号を増
幅して、湿度異常検出部３１に出力する。なお、３９は
常に電極３５．３７間に、一定電圧を掛でおくための電
源である。

湿度異常検出部３１は、増幅器２つの出力を入力し、基
準値である湿度設定器４１の設定信号と比較し、湿度設
定値を越えるとき、抵抗Ｒ、トランジスタＴｒを経て、
第３図に示すように表示オン区間において、表示ランプ
３３により水漏れ異常表示するものである。

次に、第４図は本発明の他の実施例である水漏れ比較検
出装置の構成説明図を示す。図において水漏れ比較検出
装置４１は、湿度センサ２７を加圧容器４７の内部に設
置するものである。この加圧容器４７は、レーザ発振器
本体１に設けられた排気管４３の分岐管４５に装備され
コンプレッサ４５Ａにより吸引され収容されたガスを、
図示されない加圧機により一定圧力に加圧している。

通常、レーザ発振器本体１の内部はｌ／７６０気圧程度
の真空に近い状態のガス圧で、水蒸気量が６゜７１程度
で極めて少なく、水漏れを検出することは困難であるが
、湿度センサ２７を加圧状態下で使用することにより、
湿度検出が容易となるものである。

次に、第５図は本発明のさらに他の実施例である水漏れ
検出装置の構成説明図を示す。水漏れ検出装置４９は、
主として水漏れ検知センサ５１と、水漏れ比較検出部、
本実施例では発振器電源箱５３および遮断弁操作電源部
（チラー電源部）５５とから構成されている。水漏れ検
知センサ５１は、水滴による導電率変化を検知する方式
で、電極５７．５９および絶縁体６１とからなり、レー
ザ発振器本体１内の冷却水を必要とする熱交換器２３付
近の内壁、例えば底部の水滴が溜り易い部分に、ネジ止
め等により固定されるものとする。

発振器電源箱５３は、電源部６３、電流計６５、導電率
比較検出装置６７からなり、電源部６３により電極５７
．５９に常時電圧を掛け、電極５７゜５９に接触する水
滴による導電率の変化を電流計６５に表示する。導電率
比較検出装置６７は、この電流計６５の測定値変化を基
準値と比較し、異常を検出すればアラーム表示する。

アラーム表示されると共に、チラー電源部５５をオフ状
態とすることにより、遮断弁（電磁弁）６９．７１が熱
交換器２３と冷却水槽７３との間に設けられた冷却水路
７５．７７を閉鎖するものである。

従って、水漏れ検知センサ５１は僅かな水漏れでも検知
可能となり、水漏れがあれば、熱交換器２３への冷却水
の供給を停止し、レーザ発振器本体１内部に生じている
圧力差による発振器本体１の内部への冷却水の吸引量を
最低限に抑制することが可能となり、損傷部品の大幅な
減少が可能で、運転復帰の時間が軽減される。

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく
、適宜の設計的変更を行うことにより、他の態様におい
ても実施し得るもので、例えば水漏れ検知センサ５１は
、その電極部である電極５７．５つおよび絶縁体６１の
形状が単純で、ホースに電極５７．５９を直接ぜき付け
る等その形状を自由に変更することによって、設置場所
を自由に選択し、僅かな水漏れでも検出可能で、水漏れ
の範囲および量を、外部から推定することが可能となっ
た。

［発明の効果］上記説明ですでに明らかなように、本発明の、レーザ発
振器の水漏れ検出装置は、レーザ発振器内部の水漏れを
検知する水漏れセンサを設け、この水漏れセンサの出力
を基準値と比較して水漏れの有無を検出する水漏れ比較
検出装置を設けることによって、従来技術の問題点が有
効に解決され、その損害が軽減される。

早期に水漏れが発見され、

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である水漏れ検出装置の回路
構成図、第２図は湿度に対する電気抵抗の変化を示す湿
度センサの特性図、第３図は湿度設定値に対する異常表
示区間表示線図、第４図は本発明の他の実施例である水
漏れ検出装置の構成説明図、第５図は本発明のさらに他
の実施例である水漏れ検出装置の構成説明図、第６図は
本発明が実施されるレーザ発振器の正面説明図である。１・・・レーザ発振器本体３・・・ガス通路　　　　１７・・・ブロア２３・・・
熱交換器　　　　２５・・・水漏れ検出装置２７・・・
湿度センサ　　　３１・・・湿度比較検出部３５．３７
・・・電極　　　３９・・・絶縁体４１・・・水漏れ検
出装置　４７・・・加圧容器４９・・・水漏れ検出装置
　５１・・・水漏れ検知センサ５３・・・発振器電源箱
　　５５・・・セラー電源部５７．５９・・・電極　　
　６１・・・絶縁体６５・・・電流計７・・・導電率比較検出袋

Claims

【特許請求の範囲】

（１）レーザ媒質であるガス流の流れ方向に沿って放電
を行うレーザ発振器であって、前記レーザ発振器内部の
水漏れを検知する水漏れセンサと、この水漏れセンサの
出力を基準値と比較して異常の有無を検出する水漏れ比
較検出部と、を備えたことを特徴とするレーザ発振器の
水漏れ検出装置。
（２）水漏れセンサは、レーザ発振器内部のガスを排出
する排出管に装着された加圧容器内部に設けられたこと
を特徴とする請求項（１）記載のレーザ発振器の水漏れ
検出装置。
（３）水漏れ比較検出部は、レーザ発振器内部に装着さ
れた熱交換器への冷却水の供給を停止することを特徴と
する請求項（１）記載のレーザ発振器の水漏れ検出装置
。