JPH0423345A - 動作入力装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、各種自動機に用いられる動作入力装置に関す
るものである。

［従来の技術］ 半導体製造装置、分析装置等の各種自動機に於いて、処
理室内の機器或は被処理物を処理室外より動作させる為
の動作入力装置が設けられる。

この種の従来の動作入力装置を、第３図、第４図に於い
て昇降装置について説明する。

図中、１は真空容器の底板であり、該底板１には昇降装
置取付用の孔２が穿設されている。

鎖孔２に昇降装置３の上基板４が気密に取付けられてい
る。該上基板４に２本のガイドシャフト５，５が固着さ
れ、該２本のガイドシャフト５．５の下端に下基板６が
固着されている。又、該２本のガイドシャフト５，５に
摺動軸受７を介してスライダ８が滑動自在に設けられ、
該スライダ８にはナツト９が取付けられている。前記下
基板６には軸受１０を介してスクリューシャフト１１が
回転自在に設けられ、該スクリューシャフト１１は前記
ナツト９に螺合している。該スクリューシャフト１１に
中空密閉構造の昇降口ツド１２を被せ、該昇降ロッド１
２下端に設けたフランジ１３が前記スライダ８に固着し
である。又、前記昇降ロッド１２と同心にベローズカバ
ー１４が設けられ、該ベローズカバー１４の下端は前記
昇降ロッド１２のフランジ１３に、ベローズカバー１４
の上端は前記上基板４にそれぞれ気密に取付けられてい
る。

前記下基板６の下方には、ボスト１５を介して駆動部ベ
ース板１６が取付けられ、該ベース板１６に減速器１７
が取付けられている。該減速器１７にはモータ１８が取
付けられ、該モータ１８の出力軸１９と減速器１７の入
力軸２０とをカップリング２１で連結し、減速器１７の
出力軸２２と前記スクリューシャフト１１の下端とがカ
ップリング２３で連結されている。

而して、モータ１８を駆動すると減速器１７を介して、
前記スクリューシャフト１１が回転し、該スクリューシ
ャフト１１と前記ナツト９の螺合間係でスライダ８が昇
降し、スライダ８の昇降によって前記昇降ロッド１２の
上端が真空容器内を上下するものである。

又、該昇降ロッド１２の上端には真空容器内の動作させ
るべき機器の可動部を連結する。

更に、前記昇降ロッド１２の周囲はベローズカバー１４
によって気密に覆われているので真空容器の気密は維持
されている。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、上記した従来の昇降装置では、スライダ８を
ガイドするのに２本のガイドシャフト５５が必要であり
、更に作動伝達用として中空の昇降ロッド１２を必要と
する等、構造が複雑であり、２本のガイドシャフト５，
５を設けるには厳密な平行度が要求され、高度な加工技
術が要求されていた。

本発明は、斯かる実情に鑑み構造の簡潔な昇降装置を提
供しようとするものである。

［課題を解決する為の手段］ 本発明は、容器の外面にガイドブロックを取付け、該ガ
イドブロックに入力ロットを摺動自在に設けると共に回
止めガイド軸を入力ロットと平行に固着し、該入力ロッ
ト先端を容器内部に突出させ、該入力ロットに移動ブロ
ックを固着し、該移動ブロックに前記口止めガイド軸を
挾む一対のローラを設けると共にナツトを設け、前記ガ
イドブロックにスクリューシャフトを入力ロットと平行
に設け、該スクリューシャフトを回転駆動可能とすると
共に前記ナツトに螺合したことを特徴とするものである
。

［作　　用］ スクリューシャフトを回転させるとナツトはスクリュー
シャフトに沿って移動し、移動ブロックを介して入力ロ
ットが摺動する。入力ロットは一対のローラと回止めガ
イド軸によって回転が規制され、入力ロットの先端は容
器内部で直線運動のみをし、外部からの直線運動を容器
内に入力する。

［実　施　例］ 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する。

真空容器の底板２６に昇降ロッド２７が遊貫する窓孔２
８を穿設し、該窓孔２８と同心にシールフランジ２９を
底板２６の外側面に気密に固着する。該シールフランジ
２９に縦長コの字状のガイドブロック３０を取付け、該
ガイドブロック３０の上鉤部３１と上鉤部３２にそれぞ
れ摺動軸受３３．３３を嵌設し、両摺動軸受３３．３３
に昇降ロッド２７を嵌合する。該昇降ロッド２７の前記
シールフランジ２９貫通部には第１次シール材３４、第
２次シール材３５を設けると共に前記シールフランジ２
９に第１次シール材３４と第２次シール材３５との間に
開口する吸気路３６を設け、該吸気路３６は図示しない
真空ポンプ等の真空源に連通ずる。

前記上鉤部３２には棚板３７を形成し、該棚板３７に前
記昇降ロッド２７と平行に回止めガイド軸３８を立設す
ると共にスクリューシャフト３９を回転自在に設ける。

前記昇降ロッド２７には昇降ブロック４０を固着し、該
昇降ブロック４０に前記スクリューシャフト３９と螺合
するナツト４１を設けると共に、前記口止めガイド軸３
８を挾込む一対のガイドローラ４２．４２を設ける。

又、前記棚板３７の下面にはボスト４３を介して昇降モ
ータ４４を固着する。前記スクリューシャフト３９の下
端は、前記棚板３７の下方に突出しており、該スクリュ
ーシャフト３９の下端に被動プーリ４５を嵌着する。前
記昇降モータ４４の出力軸に駆動プーリ４６を嵌着し、
該駆動グーリ４６と被動プーリ４５とをタイミングベル
ト４７で連結する。

前記昇降ロッド２７の上端に動作させるべき機器の可動
部（図示せず）を連結する。

以下、作動について説明する。

前記吸気路３６より吸気し、第１シール材３４と第２シ
ール材３５との間を真空状態とし、真空容器内と第１シ
ール材３４、第２シール材３５間の間隙との気圧差を０
又は略Ｏとする。

昇降モータ４４を駆動すると、昇降モータ４４の回転は
駆動プーリ４６、タイミングベルト４７、被動プーリ４
５を介してスクリューシャフト３９に伝達され、スクリ
ューシャフト３９の回転はナツト４１との螺合間係で昇
降動作に変換され、更に昇降ブロック４０を介して昇降
ロッド２７に伝達される。

昇降ロッド２７の昇降動は上下の摺動軸受３３３３によ
って規制され、昇降ロッド２７の回転については回止め
ガイド軸３８によって規制される。

上記構成で明らかな様に、昇降ロッド２７そのものを昇
降自在に支持し、回止めだけの為に口止めガイド軸３８
を設けている。従って、昇降ロッド２７と回止めガイド
軸３８との間に厳密な平行度を要求しなくとも、昇降ロ
ッド２７は円滑に昇降する。更に、昇降ロッド２７自体
を摺動自在に支持する構成であるので上下摺動軸受３３
．３３のスパンを長くとれ、昇降ロッド２７の直進性も
保証される４前記昇降ロツド２７は先端に連結された図
示しない機器を動作する。

尚、上記実施例では昇降動作を入力する様にしたが取付
姿勢を９０゛変えて水平動作を入力する様にすることも
可能であることは言う迄もない。

［発明の効果］ 以上述べた如く本発明によれば、動作を入力するロッド
にガイドシャフトを兼用させているので、ガイドシャフ
トの数を少なくすることができ、構造が簡潔になると共
にガイドシャフト間の厳密な平行度を必要としなくなる
為、加工製作が容易になるという優れた効果を発揮する
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す一部を破断した正面図
、第２図は第１図のＡ矢視図、第３図は従来例の一部を
破断した正面図、第４図は第３図のＢ−Ｂ矢視図である
。 ２７は昇降ロッド、３０はガイドブロック、３８は回止
めガイド軸、３９はスクリューシャフト、４０は昇降ブ
ロック、４２はガイドローラ、４４は昇降モータを示す
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）容器の外面にガイドブロックを取付け、該ガイドブ
   ロックに入力ロッドを摺動自在に設けると共に回止めガ
   イド軸を入力ロッドと平行に固着し、該入力ロット先端
   を容器内部に突出させ、該入力ロッドに移動ブロックを
   固着し、該移動ブロックに前記回止めガイド軸を挾む一
   対のローラを設けると共にナットを設け、前記ガイドブ
   ロックにスクリューシャフトを入力ロッドと平行に設け
   、該スクリューシャフトを回転駆動可能とすると共に前
   記ナットに螺合したことを特徴とする動作入力装置。