JPH0672975U - 真空内治具移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】小型で保守の必要の少ない真空内治具移動装置
を提供する。 【構成】真空室内にガイド軸６を設け、該ガイド軸にス
ライダ８を摺動自在に設け、前記ガイド軸に平行にスク
リューロッド１０を回転自在に設け、該スクリューロッ
ドと前記スライダとをナットブロック９を介して連結
し、前記スクリューロッドの一端を前記真空室より突出
させ、該スクリューロッドの貫通部を真空シール１７す
ると共にスクリューロッドの突出端にモータ１３を連結
し、前記スライダに治具を取付け可能な治具テーブル５
を設け、モータによりスクリューロッドを回転させ、ナ
ットブロック、スライダ、治具テーブルを介して治具を
所望の方向に移動させる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体製造設備の基板搬送装置の一部をなす真空内治具移動装置、 特に真空室内で治具の昇降を行う真空内治具移動装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

半導体製造設備では、基板表面に薄膜生成、エッチング等をして半導体素子を 製造するが、これらの処理は真空雰囲気、或は減圧反応ガス雰囲気で行われる。 又、基板搬送装置の真空室内にモータ等の駆動源を設置することは、発塵、駆動 源自体のシール等の問題から好ましくなく又困難である。従って、従来より駆動 源は真空室の外部に設けている。

【０００３】 図２に於いて、従来の真空内治具移動装置を説明する。

【０００４】 図中、１は真空室、２は基板３を所定の枚数水平姿勢で保持する治具であり、 該治具２は後述する真空内治具移動装置４の治具テーブル５に載置される。

【０００５】 該真空内治具移動装置４を説明する。

【０００６】 前記真空室１の底板にガイド軸６が設けられ、該ガイド軸６にスライド軸受７ を介してスライダ８が昇降自在に設けられ、該スライダ８にはナットブロック９ が設けられる。前記ガイド軸６に平行に且回転自在に設けられたスクリューロッ ド１０に前記ナットブロック９が螺合し、更に前記スクリューロッド１０には軸 継手１１、減速器１２を介してモータ１３が連結されている。前記スライダ８に は前記真空室１の底板を貫通する支持軸１４が設けられ、該支持軸１４を覆い上 端が真空室１の下面に気密に固着され、下端が前記スライダ８に気密に固着され ている金属製のベローズ１５を設け、前記支持軸１４の真空室１貫通箇所を気密 にシールドする。

【０００７】 而して、前記モータ１３を駆動すると減速器１２、軸継手１１を介して前記ス クリューロッド１０が回転し、前記ナットブロック９を介して前記スライダ８が 昇降する。前記支持軸１４は前記スライダ８と一体に昇降し、前記治具テーブル ５に載置された治具２を昇降する。又、図示しないが該治具２の保持する基板３ を水平方向に移載する移載機が設けられ、該移載機と真空内治具移動装置４の協 働で治具２の保持する基板３を他の真空室内に、又他の真空室内から治具２へそ れぞれ基板３の移載を行う。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

上記した従来の真空内治具移動装置では、昇降機構部を真空室１の室外下方に 、特にスクリューロッド１０を室外に設けているので、昇降動作を伝達する支持 軸１４が前記真空室１を貫通し、貫通部のシールの為ベローズ１５が設けられる 構造となっている。該ベローズ１５は高価であると共に繰返し伸縮させた場合に は寿命があり、所要期間経過後には交換しなければならないという不具合があっ た。更に、真空内治具移動装置４の昇降機構部が真空室１の室外下方に設けられ ているので、占有スペースが大きく装置の小型化の妨げとなっていた。

【０００９】 本考案は斯かる実情に鑑み、小型で保守の必要の少ない真空内治具移動装置を 提供するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、真空室内にガイド軸を設け、該ガイド軸にスライダを摺動自在に設 け、前記ガイド軸に平行にスクリューロッドを回転自在に設け、該スクリューロ ッドと前記スライダとをナットブロックを介して連結し、前記スクリューロッド の一端を前記真空室より突出させ、該スクリューロッドの貫通部を真空シールす ると共にスクリューロッドの突出端にモータを連結し、前記スライダに治具を取 付け可能な治具テーブルを設けたことを特徴とするものである。

【００１１】

【作用】

モータによりスクリューロッドを回転すると、該スクリューロッドの回転はナ ットブロック、スライダを介して治具テーブルに直進運動が伝達され、治具を所 望の方向に移動させる。

【００１２】

【実施例】

以下、図面に基づき本考案の一実施例について説明する。

【００１３】 図１で示す実施例に於いて、図２中で示したものと同一の機能を有するものに は同符号を付してある。

【００１４】 真空室１の内部に矩形の枠体１６を立設し、該枠体１６の上下に掛亘り、左右 １対のガイド軸６を設け、該ガイド軸６にナットブロック９を介してスライダ８ を設け、該スライダ８に治具テーブル５を取付ける。該治具テーブル５には治具 ２を載置する。前記ガイド軸６と平行にスクリューロッド１０を回転自在に設け 、該スクリューロッド１０の下端部は前記真空室１の底板を貫通させ下方に突出 させる。該スクリューロッド１０の前記真空室１の底板貫通箇所には気密シール 部材、例えば磁性流体シール１７を設け、該貫通箇所を気密にシールする。

【００１５】 前記真空室１の下面にはモータ１３を設け、該モータ１３の出力軸に駆動プー リ１８を設ける。前記スクリューロッド１０の下端に被動プーリ１９を設け、前 記駆動プーリ１８と該被動プーリ１９とにベルト２０を掛回す。

【００１６】 而して、前記モータ１３を駆動すると駆動プーリ１８、ベルト２０、被動プー リ１９を介して前記スクリューロッド１０が回転し、このスクリューロッド１０ の回転はナットブロック９により昇降動作に変換され、前記スライダ８、治具テ ーブル５を介して前記治具２が昇降する。

【００１７】 上記構成で明らかな様に、本実施例の真空内治具移動装置では室外に露出する のはモータ１３と前記スクリューロッド１０の一部であり、而も治具２はガイド 軸６の側方を昇降する。従って、装置全体の高さが低くなり、スペースの有効利 用が図れる。

【００１８】 尚、上記実施例では治具の昇降について説明したが、治具の水平方向の移動に ついても同様に実施可能であることは言う迄もない。

【００１９】

【考案の効果】

以上述べた如く本考案によれば、装置の高さを低くでき、スペースの有効利用 が図れると共にベローズ等を使用しないので保守性に優れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す説明図である。

【図２】従来例の立面図である。

【符号の説明】

２ 治具 ５ 治具テーブル ６ ガイド軸 ８ スライダ ９ ナットブロック １０ スクリューロッド １３ モータ １７ 磁性流体シール

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空室内にガイド軸を設け、該ガイド軸
   にスライダを摺動自在に設け、前記ガイド軸に平行にス
   クリューロッドを回転自在に設け、該スクリューロッド
   と前記スライダとをナットブロックを介して連結し、前
   記スクリューロッドの一端を前記真空室より突出させ、
   該スクリューロッドの貫通部を真空シールすると共にス
   クリューロッドの突出端にモータを連結し、前記スライ
   ダに治具を取付け可能な治具テーブルを設けたことを特
   徴とする真空内治具移動装置。