JPH04231852A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

表面欠陥検査装置

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JPH04231852A
JPH04231852A JP3134092A JP13409291A JPH04231852A JP H04231852 A JPH04231852 A JP H04231852A JP 3134092 A JP3134092 A JP 3134092A JP 13409291 A JP13409291 A JP 13409291A JP H04231852 A JPH04231852 A JP H04231852A
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Kazumoto Tanaka
一基 田中
Hidenori Ishiide
石井出 秀則
Takeshi Sugihara
毅 杉原
Akinori Utsunomiya
昭則 宇都宮
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、鏡面として機能する
被検査面に向けて光を照射し、その反射光から塗装欠陥
等の表面欠陥の有無を検査する表面欠陥検査装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】一般に、自動車等の車両の製造ラインに
おいては、車体に対する塗装は、製造ライン中に設けた
塗装ステーシヨンにおいてなされる。このような塗装ス
テーションにおいて車体の塗装がなされた後、この塗装
によって生じた塗装欠陥の検査が実行される事になる。 ここで、この塗装欠陥の検査は、従来から、人間の目視
検査によつて行われている。この目視検査においては、
塗膜面から微小な欠陥部を発見しなければならない、。 このため、検査者の神経的負担が大きく、また肉体的に
もきびしい作業を強いられることになつている。
【0003】ところで、作業者の目視検査に頼らず、塗
装欠陥を検査する技術として、例えば、特開昭62−2
33710号公報には、物体の被検査面に光を照射して
、その反射光をスクリーン上に投影させ、その投影像の
鮮映度から被検査面の表面欠陥を自動的に検出する検査
技術が開示されている。したがつて、上記の従来公報に
開示された技術を応用すれば、車体の塗装面に発生した
塗装欠陥の自動検出が可能になり、従来の目視による検
査作業から検査者を解放させることができる。
【0004】ところで、上記の従来公報に開示された光
照射による表面検査技術を、車体の塗装の自動検査に応
用する場合、図7に示すように、塗膜面Yの鏡面反射性
を利用し、この塗膜面Yに光源A1 から線的な(ある
いはスポツト的な)光を照射して、塗膜面Y上に、次に
述べるCCDカメラBのカメラ視野Fよりも充分に小さ
い光照射領域を作り、この光照射領域からの反射光をC
CDカメラBによつて受光させる検査装置が考えられる
【0005】この検査装置では、CCDカメラBで作成
される受光画像は図8に示すようになつて、カメラ視野
Fをカバーする全体として暗い受光画像Cの中に塗膜面
Yの光照射領域が明るい線Dとなつて捉えられることに
なる。ここで、この光照射領域中に例えば球面を有する
形状と擬制する事の出来る塗装欠陥部Xがあつた場合、
この塗装欠陥部Xの球面において正反射が生じる事とな
る。詳細には、この塗装欠陥部Xにおいては、これを中
心とした周囲の風景が、光源A1 を含む比較的広い範
囲を凝縮した状態で映し出される事となる。そして、こ
の塗装欠陥部Xに映し出された像は、明るいが小さく写
し出された光源A1 とこれの周囲の広い暗い部分とを
含むものである。従つて、カメラ受光面に対する塗装欠
陥部Xの入射光量に着目すれば、この光源A1 の暗い
周囲部分に対応する部分においては、光量が低下し、こ
の結果、上記の明るい線Dの中に黒く表面欠陥部Xが写
し出されることになる。
【0006】このようにして、画像処理技術によつて、
この黒点を識別することにより、塗装欠陥部Xを検出で
きることになる。また、この検査装置によれば、塗膜面
Yを線的に狭く照射するので、照射光量が少なくても、
光照射領域に入射する光の塗装欠陥部Xにおける正反射
方向が変化して、カメラBに入る光量が塗装欠陥部Xと
そうでない部分とで明瞭に差が出来、微小な欠陥をも検
出することが出来る事になる。
【0007】しかし、上述した様に狭い光照射を行って
いるので、カメラ視野Fに対して光照射領域が小さすぎ
、一方、カメラBが捉えることができる欠陥部Xは光照
射領域(すなわち受光画像中の線画像)の内部か、近辺
でしかない。このため、常に、カメラ視野Fの一部のみ
を使用した表面検査しかできず、検査能率に欠ける問題
がある。
【0008】また、被検査物が車体の塗装表面であると
、上記の光源A1ならびにCCDカメラBをロボツト装
置で車体の塗装表面にそつて移動させながら検査を行う
ことになる。しかしながら、車体は互いに曲率の異なる
多くの曲面から構成されている。このため、これら曲面
部に検査箇所が移動すると、光源A1 によつて車体表
面にできている線的な照射形状が歪み、したがつてカメ
ラBの受光画像C中の線画像Dも図9に示すように歪む
こととなる。この結果、甚だしい場合には、カメラ視野
Fから線画像Dが逸脱することになる。このため正常な
検査ができなくなる。
【0009】このため、自動車等の車両の車体において
は、塗膜面の正常な検査が困難であり、常にカメラ視野
F内に線画像Dが収まるようにするために、ロボツト装
置に複雑な制御をかけねばならなくなる問題がある。
【0010】以上のような難点を解消するため、図10
のように、塗膜面Yを広い光照射領域を有する光源A2
 によつて照射し、カメラ視野Fと同等もしくはそれ以
上の範囲で面的に広く照射するようにし、この広い光照
射領域をカメラBによつて捉えることが考えられる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに広く塗膜面Yを照射すると、照射光量が大幅に増加
し、塗装欠陥部Xでの光のハレーションを生じて、微小
な塗装欠陥Xを明確に捉えることが出来なくなる。詳細
には、塗装欠陥部Xで映し出される像は、ほとんど光源
A2 のみとなり、この塗装欠陥部Xも明るく映し出さ
れる事となる。従つて、カメラ受光面に対する塗装欠陥
部Xの入射光量に着目すれば、この光源A2 で照射さ
れた部分の光量と、塗装欠陥部Xで映し出された部分の
光量とがほぼ同一となり、この結果、上記の明るい線D
の中に明るい表面欠陥部Xが写し出され、CCDカメラ
Bが微小な塗装欠陥部Xを明確に捉えることができなく
なる事になる。
【0012】この発明は、以上のような事情に鑑みなさ
れたもので、この発明の目的は、被検査面に存在する表
面欠陥の位置とその凹凸状態を正確に、かつ効率よく検
出することが出来る表面欠陥検査装置を提供することで
ある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するため、この発明に係わる表面欠陥検査装
置は、鏡面として機能する被検査面に対向して配設され
、この被検査面に向けて所定の方向に沿つて光度が大か
ら小に徐々に変化する様に設定された光度分布を有する
光を照射する光照射手段と、前記被検査面で反射された
前記光照射手段の像を撮影して、この光照射手段の光度
分布に対応する明暗ある受光画像を作成する撮像手段と
、この撮像手段で形成された受光画像に基づき、これの
明部および暗部のそれぞれにおいて明るさが周囲とは大
きく異なる箇所を識別することにより、この識別された
箇所を被検査面の表面欠陥部として検出する画像処理手
段とを具備する事を特徴としている。
【0014】また、この発明に係わる表面欠陥検査装置
において、前記カメラは、前記被検査面で反射された前
記光照射手段の像を、その受光画像の形成範囲の全面に
渡り撮影する様に設定された視野を有する事を特徴とし
ている。
【0015】また、この発明に係わる表面欠陥検査装置
において、前記撮像手段は、前記受光画像をビデオ信号
に変換するビデオ信号発生手段を備え、前記画像処理手
段は、このビデオ信号発生手段から出力されたビデオ信
号を処理し、この処理された値が予め設定された値を越
えるタイミングと、その変化状態とから、被検査面上に
存在する欠陥部の位置とその凹凸の状態を識別する事を
特徴としている。
【0016】
【作用】上記構成によれば、光照射手段は、所定の方向
に沿つて光度が大から小に徐々に変化する様に設定され
た光度分布を有する光を照射するので、被検査面上に表
面欠陥があると、その部分での光の正反射方向が変化し
て、表面欠陥からの物体光は、この表面欠陥の周囲の明
るさと異なる事となる。このように、光照射手段の像を
反射して写し出している被検査面に表面欠陥があると、
この表面欠陥で光の正反射方向が変化して反射光の状態
が変化する。この反射光の変化の状態はこの表面欠陥の
凹凸の状態により異なる。従つて、表面欠陥からの反射
光の変化の状態は、画像処理手段で受光画像を画像処理
する事により検出され、その変化のタイミングおよび変
化状態から、表面欠陥の位置および表面欠陥の凹凸の状
態が検出される。
【0017】
【実施例】以下、この発明に係わる表面欠陥検査装置の
一実施例の構成を説明する前に、この発明の動作原理を
、図1乃至図4を参照して説明する。ここで、図1は被
検査面11に凸状の欠陥部12を有する場合を示し、図
2は被検査面11に凹状の欠陥部12を有する場合を示
している。
【0018】図1および図2において、光照射手段とし
ての光源13は、光の射出面13aから射出する光の光
度(線mの長さで表されている)がこの射出面の矢印A
1 で示す一つの方向に強から弱に変化する様に設定さ
れている。
【0019】ここで上述したように、光源13の光の射
出面13aから射出される光には、矢印A1 で示すよ
うに、この射出面13aの一つの方向に関して光度が一
様に変化する様に、詳細には、矢印A1 で示す方向に
沿つて徐々に光度が減少する様に、設定されている。そ
して、この光源13の像は、被検査面11で反射され、
ビデオカメラ14で撮像されるようになされている。換
言すれば、ビデオカメラ14は、この被検査面11で反
射された光源13からの光を直接写し出すことが出来る
様に設定されたカメラ視野Fを有する様に、光源13に
隣接した状態で、被検査面11に対向して配設されてい
る。
【0020】このような構成により、図3および図4に
夫々示すように、このような光照射領域Sからの反射光
をとらえるビデオカメラ14の受光画像15においては
、光源13の光の射出面13aから射出される光の光度
が強から弱に変化する方向A1 に対応する所の矢印A
2 で示す方向に沿つて、明るさが強から弱に変化する
。 尚、これら図3及び図4においては、縦線の密度が疎で
ある程明るさが強い状態を示し、縦線の密度が密である
程明るさが暗い状態を示している。
【0021】このような状態において、被検査面11に
欠陥部12が生じていると、この欠陥部12で光源13
からの光の正反射方向が変化する。この光の正反射方向
の変化により、ビデオカメラ14の受光画像15は、照
度が矢印A2 で示す方向に変化する状態で、この欠陥
部12の明るさの変化状態がほかの部分とは異なる事と
なる。
【0022】そして、上述した欠陥部12が、図1に示
すように、凸状のものである場合には、この欠陥部12
の表面は、所謂凸面鏡として実質的に機能する。この結
果、この凸状の欠陥部12においては、凸面鏡の反射理
論に従い、光源13の射出面13aの光度の大きい部分
16からの光が主として射出面13aと対向する欠陥部
12の面12aに当たってその正反射方向が変化し、欠
陥部12からの反射光が欠陥部12の物体光としてビデ
オカメラ14に入射する。尚、このように、欠陥部12
の像を受光画像15において鮮明に写し出すために、ビ
デオカメラ14は被検査面11で合焦する様に、ピント
位置が調整される。
【0023】ここで、射出面13aに関する欠陥部12
の背後側の面12bには、射出面13aの光度が比較的
小さい部分17からの光しか入射しない。この結果、ビ
デオカメラ14には、欠陥部12の背後側の面12bか
らの反射光は殆ど入射しない。
【0024】したがつて、ビデオカメラ14の受光画像
15は、図3に示すように、欠陥部12が凸状のもので
は、ビデオカメラ14の受光画像15の明るいところか
ら暗いところに向かう矢印A2 で示す方向で、欠陥部
12がはじめに他の部分よりも明るくなり、この明るい
部分を過ぎると他の部分よりも暗くなる。
【0025】なお、欠陥部12が凹状のものである場合
には、この欠陥部12の表面は、所謂凹面鏡として実質
的に機能する。この結果、この凹状の欠陥部12の表面
においては、凹面鏡の反射理論に従い、光源13の射出
面13aの光度の大きい部分16からの光が、主として
欠陥部12の射出面13aから遠い側の面12cに当た
って正反射方向が変化し、その一部がビデオカメラ14
に入射する。しかし、欠陥部12の面12cと反対側の
面(即ち、射出面13に近い側の面)12dには、射出
面13aの光度が比較的小さい部分17からの光しか入
射せず、ビデオカメラ14には、欠陥部12の面12d
からは光が殆ど入射しない。
【0026】したがつて、ビデオカメラ14の受光画像
15は、図4に示すように、欠陥部12が凹状のもので
は、ビデオカメラ14の受光画像15の明るいところか
ら暗いところに向かう方向矢印A2 に沿つて、欠陥部
12がはじめに他の部分よりも暗くなり、この暗い部分
を過ぎると他の部分よりも明るくなるように変化する。
【0027】そして、ビデオカメラ14は、その受光画
像15の明るさの変化に応じて変化するビデオ信号を出
力する。この後、ビデオカメラ14から出力されたビデ
オ信号を処理・演算した値、例えば、このビデオ信号の
微分信号が予め設定した閾値を越えるビデオ信号に対応
する走査線と、この走査線上で微分信号が上述した閾値
を越えいるタイミング、及び、このタイミング近傍での
上述した微分信号の符号の変化を検出する事により、受
光画像16内での表面欠陥部12の位置及び表面欠陥部
の凹凸状態を検出することが出来る事になる。
【0028】次に、上述の動作原理を用いたこの発明に
係わる表面欠陥検査装置の一実施例の構成を図5及び図
6を参照して、詳細に説明する。車体の塗装検査ステー
シヨン20には、図5に示すように、台座Bに載置され
、ここに搬入された車体26の塗膜面27を検査して塗
装欠陥の有無を検出するための塗装欠陥検査装置として
の検査ロボツト装置21が装備されている。
【0029】このロボツト装置21は、任意の位置に移
動可能に、且つ、任意の姿勢を取ることが出来る様にな
された先端アーム22を備えている。この先端アーム2
2の先端には、上述した光源13(図1および図2参照
)に対応する光照射機構23と、上述したビデオカメラ
14(図1および図2参照)に対応するCCDカメラ2
4とが支持金具25を介して取り付けられている。ロボ
ツト装置21に取り付けられた光照射機構23とCCD
カメラ24とは、塗装検査ステーシヨン20に搬入され
た車体26の塗膜面27(図1および図2の被検査面1
1に相当)をトレースし、その際、光照射機構23によ
つて照射された光が、車体26の表面の塗膜面27で反
射してCCDカメラ24に入射する。換言すれば、CC
Dカメラ24の受光画像15には、鏡面として機能する
塗膜面27を介して、光照射機構23が主として写し出
される様に、光照射機構23とCCDカメラ24との互
いの位置が設定されている。
【0030】また、このような光照射機構23とCCD
カメラ24を備えた塗装欠陥検査装置(検査ロボツト装
置)21においては、ホストコンピユータ31によつて
与えられる指令によつて、ロボツトコントローラ32が
駆動制御され、このロボツトコントローラ32により、
ロボツト装置21が具体的に駆動される様に構成されて
いる。
【0031】このロボツト装置21は、内装されている
図示しないアクチユエータが作動する事により、光照射
機構23およびCCDカメラ24が車体26の表面をな
ぞるように、これら光照射機構23およびCCDカメラ
24を移動させるとともに、CCDカメラ24によつて
得られるビデオ信号を画像処理プロセツサ33に出力す
る。
【0032】この画像処理プロセツサ33では、既に述
べたように、ビデオ信号を増幅した後に微分し、その微
分信号が、予め設定した閾値を越えるビデオ信号の走査
線とこの走査線上でのタイミングの検出を行い、そのデ
ータをホストコンピユータ31に伝送して解析させる。 この解析により、塗装欠陥部12の位置の座標および塗
装欠陥部12が凸状であるか凹状であるかが検出される
【0033】このような情報処理により得られた検出結
果により、車体26の塗装面に存在する塗装欠陥部12
の凹凸に応じた補修が行なわれる。この補修作業は、欠
陥部12が凸状であるときは、その突出部分は小さく削
り取られ、塗装欠陥部12が凹状であるときは、この塗
装欠陥部12を含んで比較的広い範囲で塗膜が削り取ら
れる様に実施される。
【0034】この補修は、人手により行なうこともでき
るが、通常、上述したロボツト装置21もしくはそれと
は別に設けた図示しない補修用のロボツト装置により、
自動的に行なわれる。
【0035】上述した光照射機構23は、図6に示すよ
うに、塗膜面27に対向する一側面が開放されたボツク
ス41と、このボックス41の内部に配設された複数本
の蛍光灯42(特に蛍光灯42に限られるものではない
)とから構成されている。このボックス41の開放され
た一側面には、光フイルタ43が設置され、さらに、こ
の光フイルタ43の全面を覆うように拡散スクリーン4
4が取り付けられている。
【0036】この光フイルタ43は、蛍光灯42から出
る光の光度分布を、この拡散スクリーン44が形成する
光の射出面13aの一方向に対して、一様に変化させる
ために設けられている。詳細には、この光フィルタ43
は、光の射出面13a上にたとえば図6に示すように設
定したxy座標の同一のx座標値を有する点での光の透
過度は等しく、異なるy座標値を有する点での光の透過
度は、y座標値に応じて異なるように設定されている。 これによつて、図5に示す車体26の表面の塗膜面27
には、一方向に照度の変化がある光照射領域S(図1お
よび図2参照)が形成される。
【0037】一方、この拡散スクリーン44は、光フイ
ルタ43を透過してくる光を拡散させ、蛍光灯42を間
隔おいて配置することにより、互いに隣接する蛍光灯4
2の間に対応する塗膜面27の部分において、照度の低
い領域が生じないようにするために配設されている。
【0038】なお、光照射機構23に付ける光度の変化
(勾配)は、図5に点線で示すように、光照射機構コン
トローラ34を設け、ホストコンピユータ31からの指
令により、各蛍光灯42の印加電圧を、この光照射機構
コントローラ34により変えることによつても作り出す
こともできる。この場合、この光フイルタ43は省略す
ることができる。
【0039】以上のように構成される塗装欠陥検査装置
では、塗装検査ステーシヨン20に塗装済の車体26が
搬入されるに伴い、塗装欠陥検査作業が開始される。す
なわち、ロボツト装置21がロボツトコントローラ32
に制御されて、光仮照射機構23とCCDカメラ24と
を一体の関係を保って、かつ、車体26の表面にこれら
光照射機構23とCCDカメラ24とが適切な距離を置
く状態で、車体26の表面形状に沿ってなぞるように移
動させる。
【0040】このときに、図1および図2において説明
したように、カメラ視野Fには、鏡面である塗膜面27
で反射された光照射機構23における光度分布が一方向
に沿つて一様に変化する光光射出面13aが写し出され
る事となる。即ち、CCDカメラ24では、この光照射
機構23の光度分布に対応して一方向に明るさが一様に
変化する受光画像15が作成されることになる。
【0041】したがつて、塗膜面27に塗装欠陥部12
が生じていると、その部分で光源13からの光の正反射
方向が変化し、図1乃至図4を参照した原理説明で述べ
たように、例えば、この塗装欠陥部12が凸状のもので
ある場合は、CCDカメラ24の受光画像15は、図3
に示すように、CCDカメラ24の受光画像15の明る
いところから暗いところに向かう方向A2 Bに沿つて
、塗装欠陥部12に対応する部分は、はじめに他の部分
よりも明るくなり、この明るい部分を過ぎると他の部分
よりも暗くなる様に変化する。
【0042】また、この塗装欠陥部12が凹状のもので
ある場合は、図4に示すように、CCDカメラ24の受
光画像15の明るいところから暗いところに向かう方向
矢印A2 に沿つて、塗装欠陥部12に対応する部分は
、はじめに他の部分よりも暗くなり、この暗い部分を過
ぎると他の部分よりも明るくなる様に変化する。そして
、CCDカメラ24は、その受光画像15の明るさの変
化に応じて変化するビデオ信号を画像処理プロセッサ3
3に出力する。
【0043】画像処理プロセツサ33にこのビデオ信号
が入力されると、この画像処理プロセツサ33は、塗装
欠陥部12の存在に基づいてCCDカメラ24から出力
するビデオ信号の微分信号が予め設定した閾値を越える
ビデオ信号の走査線と、この走査線上での微分信号がこ
の閾値を越えるるタイミングと、このタイミング近傍で
のこの微分信号の符号の変化とを検出する。この検出に
より、受光画像15内での塗装欠陥部12の位置と、塗
装欠陥部12の凹凸形状とを検出する。この検出データ
とロボツト装置21の先端アーム22の位置はメモリに
記憶される。そして、塗装欠陥部12の補修時には、こ
のメモリの記憶内容を取り出し、既に述べたようにして
、塗装欠陥部12の補修が行なわれる。
【0044】以上詳述した様に、この一実施例において
は、被検査面11を面的に広い範囲で照射しても、塗装
欠陥部12をこれの周囲とは明るさに差がある明瞭な画
像として取られることが出来る事になる。
【0045】また、上述したように塗装欠陥部12の存
在による所のCCDカメラ24から出力するビデオ信号
の変化が、このビデオ信号の微分信号が予め設定した閾
値を越えるビデオ信号の走査線と、この走査線上で微分
信号が上述した閾値を越えるタイミングと、このタイミ
ング近傍での上記微分信号の符号の変化とを検出するこ
とにより、受光画像15内での塗装欠陥部12の位置お
よび塗装欠陥部12の凹凸を検出することができ、塗装
欠陥部12が微小であつても、確実に塗装欠陥部12と
してとらえることができる。
【0046】この発明は、上述した一実施例の構成に限
定されることなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で
種々変形可能である事は言うまでもない。例えば、上述
した一実施例においては、塗装欠陥部12の検出を画像
処理プロセツサ33により行う様に説明したが、この発
明は、このような構成に限定されることなく、CCDカ
メラ24からのビデオ信号を、検査者がモニタテレビを
モニタすることにより、塗装欠陥部12を検出して、そ
の形状および位置等の情報を記録装置に記憶させること
もできる。
【0047】
【発明の効果】以上詳述した様に、この発明に係わる表
面欠陥検査装置は、鏡面として機能する被検査面に対向
して配設され、この被検査面に向けて所定の方向に沿つ
て光度が大から小に徐々に変化する様に設定された光度
分布を有する光を照射する光照射手段と、前記被検査面
で反射された前記光照射手段の像を撮影して、この光照
射手段の光度分布に対応する明暗ある受光画像を作成す
る撮像手段と、この撮像手段で形成された受光画像に基
づき、これの明部および暗部のそれぞれにおいて明るさ
が周囲とは大きく異なる箇所を識別することにより、こ
の識別された箇所を被検査面の表面欠陥部として検出す
る画像処理手段とを具備する事を特徴としている。
【0048】また、この発明に係わる表面欠陥検査装置
において、前記カメラは、前記被検査面で反射された前
記光照射手段の像を、その受光画像の形成範囲の全面に
渡り撮影する様に設定された視野を有する事を特徴とし
ている。
【0049】また、この発明に係わる表面欠陥検査装置
において、前記撮像手段は、前記受光画像をビデオ信号
に変換するビデオ信号発生手段を備え、前記画像処理手
段は、このビデオ信号発生手段から出力されたビデオ信
号を処理し、この処理された値が予め設定された値を越
えるタイミングと、その変化状態とから、被検査面上に
存在する欠陥部の位置とその凹凸の状態を識別する事を
特徴としている。従つて、この発明によれば、被検査面
に存在する表面欠陥を正確に、かつ効率よく検出し得る
表面欠陥検査装置が提供される事になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】及び
【図2】夫々、この発明に係わる表面欠陥検査装置の動
作原理を説明するための図である。
【図3】及び
【図4】夫々、被検査面に凸状および凹状の欠陥がある
ときのカメラの画像の形成状態を示す図である。
【図5】この発明に係わる表面欠陥検査装置の一実施例
の構成を、自動車の車体の塗装欠陥検査装置に適用した
場合で示す斜視図である。
【図6】、図5に示す光照射機構の構成を取り出して示
す分解斜視図である。
【図7】従来の表面欠陥検査装置の構成を概略的に示す
図である。
【図8】図7の表面欠陥検査装置のカメラにより得られ
る画像の形成状態を示す図である。
【図9】被検査面が曲面のときにカメラにより得られる
画像の形成状態を示す図である。
【図10】図7に示す従来装置とは異なる従来の表面欠
陥検査装置構成を概略的に示す図である。
【符号の説明】
11    被検査面、12    欠陥部、13  
  光源、14    ビデオカメラ、15    受
光画像、16    光度の大きい位置、17    
光度の小さい位置、21ロボツト装置、23    光
照射機構、24    CCDカメラ、25    支
持金具、26    車体、27    塗膜面、31
    ホストコンピユータ、32    ロボツトコ
ントローラ、33    画像処理プロセツサ、41 
   ボツクス、42    蛍光灯、43    光
フイルタ、44    拡散スクリーンである。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  鏡面として機能する被検査面に対向し
    て配設され、この被検査面に向けて所定の方向に沿つて
    光度が大から小に徐々に変化する様に設定された光度分
    布を有する光を照射する光照射手段と、前記被検査面で
    反射された前記光照射手段の像を撮影して、この光照射
    手段の光度分布に対応する明暗ある受光画像を作成する
    撮像手段と、この撮像手段で形成された受光画像に基づ
    き、これの明部および暗部のそれぞれにおいて明るさが
    周囲とは大きく異なる箇所を識別することにより、この
    識別された箇所を被検査面の表面欠陥分として検出する
    画像処理手段とを具備する事を特徴とする表面欠陥検査
    装置。
  2. 【請求項2】  前記カメラは、前記被検査面で反射さ
    れた前記光照射手段の像を、その受光画像の形成範囲の
    全面に渡り撮影する様に設定された視野を有する事を特
    徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
  3. 【請求項3】  前記撮像手段は、前記受光画像をビデ
    オ信号に変換するビデオ信号発生手段を備え、前記画像
    処理手段は、このビデオ信号発生手段から出力されたビ
    デオ信号を処理し、この処理された値が予め設定された
    値を越えるタイミングと、その変化状態とから、被検査
    面上に存在する欠陥部の位置とその凹凸の状態を識別す
    る事を特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO1999017074A1 (fr) * 1997-09-30 1999-04-08 Ibiden Co., Ltd. Dispositif permettant de juger si la hauteur d'une protuberance est correcte ou non

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US6437355B1 (en) 1997-09-30 2002-08-20 Ibiden Co., Ltd. Apparatus for judging whether bump height is proper or not

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