JPH04231189A - 所定の基準ラインに沿ってレーザビームのアラインメントを行うための調節装置およびレーザ装置 - Google Patents

所定の基準ラインに沿ってレーザビームのアラインメントを行うための調節装置およびレーザ装置

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JPH04231189A
JPH04231189A JP3187855A JP18785591A JPH04231189A JP H04231189 A JPH04231189 A JP H04231189A JP 3187855 A JP3187855 A JP 3187855A JP 18785591 A JP18785591 A JP 18785591A JP H04231189 A JPH04231189 A JP H04231189A
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mirrors
laser
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Franco Sartorio
フランコ　サルトリオ
Luigi Iannarelli
ルイジ　イアンナレーリ
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    • G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は：第１のミラーがレーザ
源からビームを受けかつ該ビームを第２のミラーに反射
し、一方該第２のミラーが該ビームを、第１のミラーに
入射するビームのラインにほぼ垂直な出力ラインに沿っ
て反射するようになっている第１および第２の平面ミラ
ー支持するベース構造体と；ビームが第２のミラーによ
りそれに沿って反射されるところの該出力ラインを基準
ラインに一致させるようにミラーの位置を変化させるた
めの調節手段と；を含む所定の基準ラインに沿ってレー
ザビームのアラインメントを行うための調節装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】上記タイプの調節装置は、一般に、溶接
または切断ロボットのようなレーザ装置において使用さ
れ、レーザ発振器とレーザビームを装置の焦点化ヘッド
に伝送する光学チェーンとの間の光学結合を構成する。 ビームがそれに沿って発振器により放出されるラインは
、しばしばレーザ発振器を維持している間に変化する。 これらのエラーを補正するために調節装置が調節され、
該装置の光学チェーンを構成する種々のミラーの位置は
変化されないままである。
【０００３】既知の調節装置においては、各ミラーは２
つの垂直軸の周りに回転可能になっている。このタイプ
の装置によると、ビームラインの調節はやや面倒である
ことがわかった。出力ビームの方向を保持しながら装置
によりビーム出力を移動させるためには、ビームの傾斜
がミラーの連続ピボット運動により何回も変化させなけ
ればならず、したがって種々の調節により得られたビー
ムの基準線に対する平行度は失われてしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ビー
ムラインをより迅速かつ容易に調節可能にする上述した
タイプの調節装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために本発明に係る調節装置は；２つのミラーの各々が
ベース構造体上で、ミラーに入射するビームのラインに
ほぼ垂直でかつミラーの反射面の平面内に含まれる軸の
周りに回転可能であり；ミラーの回転軸が相互に垂直で
あり；２つのミラーの各々がその回転軸に垂直なライン
に沿って移動可能であり；および各ミラーをその移動運
動と独立に回転しおよび逆に回転運動とは独立に移動す
るための制御手段が２つのミラーの各々に付属されてい
ることを特徴とする。
【０００６】以下の説明から明らかなように、２つのミ
ラーのピボット運動は調節装置によりビーム出力を２つ
の垂直平面内でピボット運動させることを可能にし、一
方２つのミラーの移動はその方向が一定に維持されたま
まビームを２つの垂直方向内に移動されることを可能に
する。したがってビームラインの調節はかなり簡単化さ
れ、しかもビームの移動運動はその角度方向と実質的に
独立でありまた逆にその角度方向は移動運動とは実質的
に独立である。
【０００７】本発明の他の特徴および利点は以下の添付
図面及び実施例の説明において明らかになるであろう。 ただしこの添付図面は単に非制限的実施例を示している
にすぎない。
【０００８】
【実施例】図１を参照すると、符号１で示された溶接ま
たは切断レーザロボットは、レーザ発振器２を含み、該
レーザ発振器２はビーム４を調節装置６に伝送する。調
節装置６により出力されたレーザビーム８は、一連のミ
ラー１０により反射されて光学焦点化ヘッド１２に伝送
される。デカルト基準系座標軸はＸ、ＹおよびＺで示さ
れている。
【０００９】調節装置６は、一対の平面ミラー１４、１
６を含み、該ミラー１４、１６のうちの第１のミラー１
４は、ビーム４を発振器２から軸Ｙに平行なラインに沿
って受け取りかつ該ビーム４を第２のミラー１６に反射
する。第２のミラー１６は、第１のミラー１４により反
射されたビームを受け取りかつ該ビームを軸Ｘに平行な
ラインに沿って焦点化ヘッド１２に通じる光学チェーン
に向けて伝送する。
【００１０】第１のミラー１４は、軸Ｘに平行でかつ入
射ビーム４のラインにほぼ垂直な軸Ａの周りに回転可能
である。一方第２のミラー１６は軸Ｙに平行でかつ第１
のミラー１４により反射されたビームのラインにほぼ垂
直な軸Ｂの周りに回転可能である。以下に説明するよう
に、軸ＡおよびＢの各々はそれぞれのミラー１４、１６
の反射面の平面内に含まれている。第１のミラー１４は
両方向矢印Ｄにより示される方向へ軸Ｚに平行なライン
に沿って移動が可能である。同様に第２のミラー１６は
両方向矢印Ｅによって示される方向へ軸Ｘに平行なライ
ンに沿って移動が可能である。各ミラー１４、１６がそ
れに沿って移動が可能であるラインは、したがってその
回転軸Ａ、Ｂに垂直である。
【００１１】第１のミラー１４の軸Ａの周りの回転は、
第２のミラー１６により反射されるビーム８を平面Ｘ−
Ｙ内で回転させる。第２のミラー１６の軸Ｂの周りの回
転は、出力ビーム８を平面Ｘ−Ｚ内で回転させる。矢印
Ｄで示したライン（軸Ｚ）に沿った第１のミラー１４の
移動の結果ビーム８は、単に平面Ｘ−Ｙ内で移動し、一
方ラインＥ（軸Ｘ）に沿った第２のミラー１６の移動の
結果ビーム８は、その方向を維持しながら平面Ｘ−Ｚ内
で移動をする。
【００１２】したがって調節装置６は、入力ビーム４の
向きがどのようであっても（入力ビーム４が第１のミラ
ー１４の反射面に衝突するかぎり）出力ビーム８を所定
の基準ラインに沿って方向づけることを可能にし、ここ
で基準ラインは、ビーム８の焦点がその上に結ばれるべ
き２つの目標により表される（１つは短い範囲でおよび
もう１つは長い範囲で）。ビームはミラー１４、１６の
移動により狭い範囲上で焦点が結ばれ、一方ビームはミ
ラー１４、１６の回転により長い範囲の目標上に焦点を
結ぶことができる。ビーム８のピボット運動は実質的に
その移動と独立であるので、出力ビームの方向はきわめ
て迅速に調節される。
【００１３】調節装置６の好ましい実施態様を図２ない
し図５により説明する。
【００１４】装置６は２つの同一ミラーホルダ装置２０
、２２を備えたベース構造体１８を含む。
【００１５】各ミラーホルダ装置２０、２２は、ベース
構造体１８により支持されたローラガイド２６に沿って
摺動可能な移動式本体２４を含む（図では第２のミラー
ホルダ装置２２のガイドのみが見える）。第１の装置２
０のガイド２６は、平面Ｙ−Ｚに平行な平面内に伸長し
、一方第２の装置２２のガイド２６は、平面Ｘ−Ｚに平
行な平面内に伸長する。
【００１６】各本体２４は、ねじ付シャンク２７を有す
るねじ２５によりガイド２６に沿って移動され、該ねじ
付シャンク２７は本体２４内のねじ穴２９と係合してい
る（図４）。ねじ２５は、ヘッド３１を有し、該ヘッド
３１は構造体１８のフランジ３３に当接している。フラ
ンジ３３と本体２４との間にコイルばね３５が圧縮状態
で挿入されている。ねじ２５が締め付けられると、本体
はフランジの方向に移動してばね３５を圧縮する。一方
ねじ２５をゆるめると、ばね３５は伸長して本体２４を
フランジ２３から離す方向に移動させる。
【００１７】各移動式本体２４は、支持部材２８を支持
し、該支持部材２８は移動式本体２４上で軸ＡまたはＢ
のそれぞれの周りで回転可能である。図４からわかるよ
うに、支持部材２８は、本体２４により支持された玉軸
受３０によって移動式本体２４に回転可能に結合され、
かつ一方で支持部材２８の一部を形成するピン３２を支
持する。
【００１８】図２からわかるように、第１のミラーホル
ダ装置２０の支持部材２８の回転軸Ａは、平面Ｙ−Ｚに
垂直であり、また第１のミラー１４に入射するビーム４
のラインにもほぼ垂直である。同様に、第２の装置２２
の支持部材２８の回転軸Ｂは、平面Ｘ−Ｚに垂直であり
かつ第２のミラー１６に入射するビームのラインＣにも
ほぼ垂直である。図３および図５からわかるように、支
持部材２８を支持するピン３２の軸Ａ、Ｂはミラー１４
、１６の反射面３４、３６の平面内に含まれている。 ３８で示す第２の調節ねじは、部材２８を軸Ａ、Ｂの周
りに回転するように設計されている。図４からわかるよ
うに、ねじ３８はリングナット４０の内ねじ３９と係合
し、一方該リングナット４０は移動式本体２４に固定さ
れたねじ付部材４３と係合する外ねじ４１を有する。ね
じ３８の一方の端部４２は、ピン４４を介して支持部材
２８の付属体４６上に作用し、該付属体は部材２８の回
転軸Ａから半径方向に間隔をなして配置されている。部
材２８の付属体４６と本体２４に固定されたねじ５０と
の間に、コイルばね４８が圧縮状態で挿入されている。 ねじ３８のピッチは、リングナット４０の外ねじ４１の
ピッチとは僅かに異なる。とくに、外ねじ４１のピッチ
は、内ねじ３９のピッチよりも２／１０ないし３／１０
ｍｍだけ長い。したがってねじ３８の２つの調節運動は
異なる精度で行うことができる。第１の調節運動は、も
しリングナット４０が固定されねじ３８が回転されたと
きに行われ、この場合、ねじ３８の軸方向変位はねじ３
８のピッチによって決定される。第２の調節運動は、ね
じ３８が回転しないようにされかつリングナット４０が
回転されたときに行われ、この場合には、ねじ３８の軸
方向送りはリングナット４０の内ねじと外ねじのピッチ
間の差によって決定されるので、より精密な調節運動が
達成される。コイルばね４８は、常に付属体４６をねじ
３８の端部４２に接触させている。もしねじ３８がばね
４８の作用に対抗して締め付けられると、支持部材２８
は反時計方向に回転され、一方もしねじ３８がゆるめら
れると、ばね４８は支持部材２８を時計方向に回転させ
る。
【００１９】各支持部材２８は２つの垂直壁５２、５４
および該壁５２、５４に対し４５°傾斜している壁５６
を備えた略くさび状をなしている。各支持部材２８は、
２つの円形貫通穴を有し、該貫通穴はその傾斜壁５６内
で開口している。穴５８、６０の軸は、交差しかつ相互
に垂直であり、またミラーに入射するビームのラインお
よび反射ビームのラインのそれぞれとほぼ一致する。
【００２０】各支持部材２８は、ミラー１４、１６を部
材２８の傾斜壁５６に対して圧縮状態にクランプするた
めの機構を有する。この機構はレバー６２を含み、該レ
バー６２は部材２８に対し６４においてヒンジ結合され
、かつ該レバーの自由端は同様に部材２８にヒンジ結合
されたねじクロージャ要素６６により部材２８の壁５６
の方向に押し付けられている。レバー６２はプレート６
８を支持し、該プレート６８は自由にピボット運動が可
能であるが、レバー６２を介して該レバー６２内のそれ
ぞれのスロットを貫通して伸長する一対のピン７０によ
って拘束されている。
【００２１】プレート６８は半球形突出部７２（図３お
よび図５）を有し、該突出部７２はレバー６２からプレ
ート６８へクランプ力を伝達する。プレート６８は、ま
た３つの加圧脚７４を有し、該加圧脚７４はミラー１４
、１６の反射面３４の両側でミラー１４、１６の面上に
作用する。一方ミラー１４、１６は、その反射面３４上
に３つのサポート７６を有し、これらのサポート７６は
支持部材２８の傾斜壁５６に対して押し付けられている
。プレート６８の加圧脚７４は、サポート７６と対応し
てミラー１４、１６上に作用し、したがってプレート６
８を介してレバー６２により加えられるクランプ力は、
ミラー１４の内部応力またはこれによるミラー１４の変
形を形成することなくミラー１４を介して表面５６上に
加えられるが、もしこの変形が発生すると該変形はその
光学精度を害することになろう。プレート６８は、ピボ
ット運動が可能なように半球形要素７２を介してレバー
６２に固定されている。これは、ミラー１４、１６の固
定が完全に均等でありかつクランプ力に対し独立である
ということを意味し、これによりミラー１４、１６を高
い再現精度をもって装着させることが可能である。
【００２２】図に示した実施態様においては、ミラーを
回転させかつ本体２４を移動させる調節ねじは手動操作
ノブを有している。変形例においては、本発明による調
節装置が調節ねじに付属しかつ装置６への手動介入なし
にビーム８を調節可能にする制御装置によって操作され
るアクチュエータを有してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による装置を備えたレーザ装置を示す概
略図である。
【図２】本発明による装置の斜視図である。
【図３】図２の矢印ＩＩＩから見た立面図である。
【図４】図３における矢印ＩＶにより示される部分の拡
大部分断面図である。
【図５】図２の矢印Ｖから見た立面図である。
【符号の説明】
２　　レーザ源 ４　　ビーム ６　　調節装置 ８　　出力ライン １０　　光学チェーン １２　　焦点化ヘッド １４　　第１のミラー １６　　第２のミラー １８　　ベース構造体 ２０、２２　　ミラーホルダ装置 ２４　　本体 ２５、２７　　第１の調節ねじ ２６　　ガイド ２７　　ねじ付シャンク ２８　　支持部材 ２９　　ねじ穴 ３３　　フランジ ３４、３６　　反射面 ３５　　コイルばね ３８　　第２の調節ねじ ３９　　内ねじ ４０　　リングナット ４１　　外ねじ ４２　　端部 ４３　　ねじ付部材 ４６　　付属体 ４８　　弾性手段 ５２、５４　　垂直壁 ５６　　傾斜壁 ５８、６０　　穴 ６２　　レバー ６６　　ばねクロージャ要素 ６８　　プレート ７２　　半球形要素 ７４　　接触点 Ａ、Ｂ　　回転軸

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　第１のミラー（１４）がレーザ源（２
    ）からビーム（４）を受けかつ該ビーム（４）を第２の
    ミラー（１６）に反射し、一方該第２のミラー（１６）
    が該ビーム（４）を、第１のミラー（１４）に入射する
    ビーム（４）のラインにほぼ垂直な出力ライン（８）に
    沿って反射する第１および第２の平面ミラー（１４、１
    ６）を支持するベース構造体（１８）と；ビームが第２
    のミラー（１６）によりそれに沿って反射されるところ
    の該出力ライン（８）を基準ラインに一致させるように
    ミラー（１４、１６）の位置を変化させるための調節手
    段と；を含む所定の基準ラインに沿ってレーザビームの
    アラインメントを行うための調節装置において：２つの
    ミラー（１４、１６）の各々がベース構造体（１８）上
    で、ミラー（１４、１６）に入射するビームのラインに
    ほぼ垂直でかつミラー（１４、１６）の反射面（３６）
    の平面内に含まれる軸（Ａ，Ｂ）の周りに回転可能であ
    り；前記ミラー（１４、１６）の回転軸（Ａ、Ｂ）が相
    互に垂直であり；前記２つのミラー（１４、１６）の各
    々がその回転軸（Ａ、Ｂ）に垂直なライン（Ｄ，Ｅ）に
    沿って移動可能であり；さらに各ミラー（１４、１６）
    をその移動運動と独立に回転しおよびそれと逆に回転運
    動とは独立に移動するための制御手段（３８）が２つの
    ミラー（１４、１６）の各々に関連していること；を特
    徴とする所定の基準ラインに沿ってレーザビームのアラ
    インメントを行うための調節装置。
  2. 【請求項２】　　２つの同一のミラーホルダ装置（２０
    ，２２）を含み、該ミラーホルダ装置（２０、２２）の
    各々がベース構造体（１８）により支持されたガイド（
    ２６）に沿って摺動可能な移動式本体（２４）を含み、
    各ミラーホルダ装置（２０、２２）が、ミラー（１４、
    １６）を支持しかつ該移動式本体（２４）がそれに沿っ
    て摺動するラインに垂直な軸（Ａ、Ｂ）の周りに移動式
    本体（２４）に対して、回転可能である部材（２８）を
    含むことを特徴とする請求項１の装置。
  3. 【請求項３】　　各ミラーホルダ装置（２０、２２）が
    本体（２４）をそのガイド（２６）に沿って摺動させる
    ための第１の調節ねじ（２５、２７）と、支持部材（２
    ８）をその回転軸（Ａ、Ｂ）の周りに回転させるための
    第２の調節ねじ（３８）とを有することを特徴とする請
    求項２の装置。
  4. 【請求項４】　　第１の調節ねじがベース構造体（１８
    ）のフランジ（３３）と当接するヘッド（２５）とおよ
    び本体（２４）内のねじ穴（２９）と係合するねじ付シ
    ャンク（２７）とを有し、本体（２４）とベース構造体
    （１８）のフランジ（３３）との間にコイルばね（３５
    ）が圧縮状態で挿入されていることを特徴とする請求項
    ３の装置。
  5. 【請求項５】　　第２の調節ねじ（３８）が移動式本体
    （２４）内のねじ座（４０）と係合し、またその端部（
    ４２）が支持部材（２８）の付属体（４６）に対して押
    し付けられ、該付属体が支持部材（２８）の回転軸（Ａ
    ，Ｂ）から半径方向に間隔をなして配置されていること
    ；および移動式本体（２４，２６）と支持部材（２８）
    の付属体（４６）との間に該付属体（４６）を調節ねじ
    （３８）の端部（４２）と常に接触させるための弾性手
    段（４８）が挿入されていること；とを特徴とする請求
    項３の装置。
  6. 【請求項６】　　ねじ座は、内ねじ（３９）と外ねじ（
    ４１）とを有するリングナット（４０）によって構成さ
    れ、該内ねじ（３９）はねじ（３８）により係合され、
    また外ねじ（４１）は移動式本体（２４）に固定された
    ねじ付部材（４３）と係合し、リングナット（４０）の
    内ねじ（３９）および外ねじ（４１）のピッチは僅かに
    異なることを特徴とする請求項５の装置。
  7. 【請求項７】　　各支持部材（２８）は、２つの垂直な
    壁（５２，５４）を備えた略くさび形の形状をなし、該
    壁（５２、５４）はそれぞれ穴（５８、６０）を有し、
    該穴（５８、６０）は交差する相互に垂直な軸を有しか
    つミラー（１４、１６）の反射面（３４）に面する傾斜
    壁（５６）内に開放し、各支持部材（２８）が支持部材
    （２８）の傾斜壁（５６）に対してミラー（１４、１６
    ）を圧縮状態でクランプするための機構を有することを
    特徴とする請求項２の装置。
  8. 【請求項８】　　該クランプ機構が支持部材（２８）に
    ヒンジ結合されかつねじクロージャ要素（６６）に付属
    されたレバー（６２）を含み、前記レバー（６２）は該
    レバー（６２）に対し相対的に少なくとも２つの垂直軸
    の周りに自由にピボット回転が可能なプレート（６８）
    を支持し、該プレート（６８）が、ミラー（１４、１６
    ）と支持部材（２８）の傾斜壁（５６）との間の類似数
    の接触点に対応して配置された３つの接触点（７４）に
    おいてミラー（１４、１６）上に作用することを特徴と
    する請求項７の装置。
  9. 【請求項９】　　レバー（６２）とプレート（６８）と
    の間に半球形要素（７２）が挿入され、該半球形要素（
    ７２）がレバー（６２）からプレート（６８）へ全クラ
    ンプ力を伝達することを特徴とする請求項８の装置。
  10. 【請求項１０】　　２つのミラーホルダ（２０、２２）
    の移動式本体（２４）を摺動させるためのガイド（２６
    ）が相互に垂直な平面内に含まれていることを特徴とす
    る請求項２の装置。
  11. 【請求項１１】　　レーザ発振器（２）とおよび該発振
    器により放出されたビームを光学焦点化ヘッド（１２）
    へ伝送するための光学チェーンとを含むレーザ装置にお
    いて：該装置が、発振器（２）および光学チェーン（１
    ０）との間に挿入された前記請求項の１つ以上に記載の
    調節装置（６）を含むことを特徴とするレーザ装置。
JP3187855A 1990-07-27 1991-07-26 所定の基準ラインに沿ってレーザビームのアラインメントを行うための調節装置およびレーザ装置 Pending JPH04231189A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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IT67601A/90 1990-07-27
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011140047A (ja) * 2010-01-08 2011-07-21 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh レーザビームを用いる被加工物の高ダイナミック３次元加工システム
WO2020136928A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 レーザー加工機及び顧客先でのレーザー加工機におけるアラインメント調整方法
CN112882245A (zh) * 2021-01-20 2021-06-01 四川中科友成科技有限公司 一种外场光轴校准装置及校准方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7851725B2 (en) 2004-11-17 2010-12-14 Metal Improvement Company Llc Active beam delivery system with image relay
US7750266B2 (en) * 2004-11-17 2010-07-06 Metal Improvement Company Llc Active beam delivery system for laser peening and laser peening method
DE102004063692B3 (de) * 2004-12-28 2006-05-11 Georg-August-Universität Göttingen Positioniereinrichtung
JP2007175744A (ja) 2005-12-28 2007-07-12 Yamazaki Mazak Corp レーザ加工機における光路軸の調整装置
CN108393585B (zh) * 2018-04-17 2024-08-06 淮阴师范学院 间距可调式多光束激光点焊机及滤清器端盖柔性自动化激光点焊生产线
CN109794688B (zh) * 2019-02-20 2024-05-10 广东铭钰科技股份有限公司 一种可调节激光方向的激光打标装置
CN116623144A (zh) * 2023-04-06 2023-08-22 无锡翔域半导体有限公司 一种用于铝离子注入机的激光预热装置
CN117782999B (zh) * 2024-02-27 2024-04-30 上海英盛分析仪器有限公司 一种基于激光气体分析仪用的光束方向调节装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3339318C2 (de) * 1983-10-29 1995-05-24 Trumpf Gmbh & Co Laser-Bearbeitungsmaschine
US4574180A (en) * 1984-06-19 1986-03-04 Westinghouse Electric Corp. Beam alignment system for laser welding system
FR2608484B1 (fr) * 1986-12-23 1989-04-28 Bertin & Cie Machine a microfaisceau laser d'intervention sur des objets a couches minces de materiau
GB2202299A (en) * 1987-03-02 1988-09-21 Derek George James Flower Differential screw and nut mechanism
FR2616555A1 (fr) * 1987-06-15 1988-12-16 Bm Ind Dispositif de positionnement automatique d'un faisceau laser

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011140047A (ja) * 2010-01-08 2011-07-21 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh レーザビームを用いる被加工物の高ダイナミック３次元加工システム
WO2020136928A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 レーザー加工機及び顧客先でのレーザー加工機におけるアラインメント調整方法
JP2020108895A (ja) * 2018-12-28 2020-07-16 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 レーザー加工機及び顧客先でのレーザー加工機におけるアラインメント調整方法
CN112882245A (zh) * 2021-01-20 2021-06-01 四川中科友成科技有限公司 一种外场光轴校准装置及校准方法
CN112882245B (zh) * 2021-01-20 2022-08-05 四川中科友成科技有限公司 一种外场光轴校准装置及校准方法

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