FR2616555A1 - Dispositif de positionnement automatique d'un faisceau laser - Google Patents

Dispositif de positionnement automatique d'un faisceau laser Download PDF

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J Pierre Francois Treton
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    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/042Automatically aligning the laser beam
    • B23K26/043Automatically aligning the laser beam along the beam path, i.e. alignment of laser beam axis relative to laser beam apparatus
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Abstract

L'invention concerne un dispositif de positionnement automatique d'un faisceau laser. Il est particularisé par le fait qu'il est capable d'isoler les défauts de translation pure, les défauts de translation résultant de la composition de la rotation de deux miroirs et les défauts de direction dus à des rotations de miroirs. Le dispositif comporte un support général 1 qui se fixe sur la machine à l'endroit où arrive le faisceau. Sur ce support 1 sont montés rigidement, une lame à faces parallèles qui est semi transparente 2, une autre lame à faces parallèles semi transparente 3, un condenseur annulaire de lumière 4, un atténuateur de luminosité 5, une cellule de détection de type quatre quadrants ou de type centrode 6, une lame à faces parallèles 7, un objectif de focalisation 8, un condensateur annulaire de lumière 9, un atténuateur de luminosité 10, une cellule de détection de type quatre quadrants ou de type centrode 11 fixée sur une glissière de déplacement rectiligne 12.

Description

La présente invention concerne un dispositif de positionnement
automatique d sun faisceau laser.
Pour beaucoup d'applications des lasers et principalement dans
l'industrie, la stabilité spatiale des faisceaux énergétiques est nécessaire.
En effet, par exemple dans une installation industrielle le
laser est placé à un endroit géographique de l'atelier et la machine
qui l'exploitera est implantée dans un autre endroit.
Pour arriver jusqu'à la machine, le faisceau laser se trouve réfléchi par une succession de miroirs dont les supports sont sur des
potences métalliques à des altitudes différentes dans l'espace de
l'atelier.
Souvent il est constaté des changements involontaires de
position des faisceaux dans l'espace ayant diverses causes comme
- des variations climatiques dans le temps, qui occasionnent des
variations de géométrie des divers éléments mécaniques (potences,
sols, structures),
- des vibrations.
Ces instabilités se traduisent par une différence de position des axes mécaniques de la cinématique de la machine d'exploitation et
l'axe suivant lequel se propage le faisceau laser ce qui est, pour un
grand nombre d'applications, incompatible avec des précisions
recherchées en usinage laser.
Actuellement, les techniciens d'atelier sont obligés de régler manuellement et périodiquement la succession de miroirs qui se
trouvent entre le laser et la machine afin de maintenir superposé
l'axe du faisceau laser sur les axes de la cinématique de la machine.
Cette action conduit inévitablement à une perte de temps et donc à une
perte de productivité et nécessite par ailleurs, l'intervention d'un spécialiste en optique ce qui est contraire à la philosophie
industrielle.
L'automatisation de ce réglage est difficile à réaliser
rigoureusement, car lorsqu'un faisceau laser se réfléchit sur une
succession d'au moins deux miroirs dont les positions accusent quelques défauts par rapport au réglage originel, le faisceau présente
à l'entrée de la machine une nouvelle position qui peut avoir
plusieurs causes comme
- translations pures des miroirs,
--rotations pures des miroirs,
- - translations et rotations des miroirs, et ceci pour les deux axes de l'espace OX et OY qui définissent le plan perpendiculaire à l'axe OZ de propagation du faisceau.
Quand on sait que la rotation de deux miroirs conduit le faisceau à présenter un défaut de translation pure ou un défaut de translation et de rotation pouvant avoir chacun deux composantes, on comprend bien qu'il faut avant toute correctio4, faire une levée d'incertitude pour connaître la part concernant chaque cause indépendante (rotation 1, rotation 2, translation 1, translation 2) comme le représentent les figures 1, 2 et 3.
En effet, la translation suivant les axes de l'espace peut s'exprimer ainsi - T1 = fonction des rotations R1 et R2, - T2 = fonction des translations pures des miroirs, - T résultante = T1 + T2.
La position P du faisceau dans l'espace à l'entrée de la machine peut s'exprimer ainsi - P = R + T1 + T2, avec R = rotation résultant des rotations R1 + R2.
Le dispositif selon l'invention permet de remédier aux inconvénients évoqués précédemment, car par la seule connaissance de
P, le dispositif qui fait l'objet de l'invention permet de retrouver et d'isoler les différents paramètres vrais qui donnent la position constatée du faisceau à savoir - R, - Tl, - T2.
A partir de ces données vraies, un boîtier électronique calcule les corrections à apporter au faisceau suivant R, T1, T2.
L'invention propose deux dispositifs optoélectromécaniques se plaçant sur le parcours du faisceau. En liaison avec un boîtier électronique de commande, ils assurent automatiquement la stabilité du faisceau à l'entrée de la machine.
L'invention a pour objet un dispositif de positionnement automatique d'un faisceau laser dans l'espace.
L'invention est exposée ci-après plus en détail à l'aide de dessins représentant seulement un mode d'exécution.
La figure 1 montre, pour la compréhension de ce qui a été dit, un faisceau lumineux qui se réfléchit sur deux miroirs.
La figure 2 montre la modification de position du faisceau lorsque le premier miroir tourne d'un angle.
La figure 3 met en évidence que} par la rotation du deuxième miroir: le faisceau peut être réorienté parallèlement à la position d'origine vue à la figure 1. On peut observer que l'écartement entre le faisceau d'entrée et celui de sortie n'est plus le même que celui d'origine montré à la figure 1.
On voit donc l'importance de connaître et d'isoler chaque paramètre de position avant d'apporter une quelconque correction.
La figure 4 présente en plan le premier dispositif optoélectromécanique dont le rôle est de connaître et d'isoler R, T1,
T2. Ce dispositif est fixé à la machine et à l'endroit où entre le faisceau laser.
Les figures 5 et 6 donnent quelques précisions du fonctionnement d'une partie du dispositif présenté à la figure 4.
La figure 7 présente le deuxième dispositif optoélectromécanique qui se place sur le parcours du faisceau en général près du laser. Son rôle est d'apporter au faisceau les corrections de position, à partir de l'analyse faite par le dispositif de la figure 4 et commandé par une électronique.
Les figures 8 et 9 apportent une variante de quelques parties discrètes du dispositif représenté à la figure 4.
Le dispositif représenté à la figure 4 comporte un support général (1) qui se fixe sur la machine à l'endroit où arrive le faisceau Sur ce support (1) sont montés rigidement, une lame à faces parallèles qui est semi transparente (2), une autre lame à faces parallèles semi transparente (3), un condenseur annulaire de lumière (4), un atténuateur de luminosité (5), une cellule de détection de type quatre quadrants ou de type centroide (6), une lame à faces parallèles (7), un objectif de focalisation (8), un condenseur annulaire de lumière (9), un atténuateur de luminosité (10), une cellule de détection de type quatre quadrants ou de type centroide (11) fixée sur une glissière de déplacement rectiligne (12).
Le dispositif de la figure 4 fonctionne ainsi - le faisceau laser qui arrive de B traverse la lame (2) pour ensuite entrer dans la machine.
La partie réfléchie par la lame (3) se dirige vers la cellule de détection (6).
La partie transmise par la lame (3) se dirige vers la cellule (11).
Lorsque le faisceau qui arrive de B a un défaut de position, la cellule (6) enregistre de, façon continue la somme des défauts d'orientation et de translation.
La cellule (11) enregistre seulement les défauts d'orientation.
En effet, le dessin de la figure 5 explique ce qui se passe
Lorsqu'un faisceau est incident à un objectif convergent, toute translation parallèlement à lui-même trouve une invariance de position du point de focalisation. Le faisceau qui passe des positions C, D à E focalise toujours au même point.
On observe que si la cellule (11) se trouvait aux positions P1 ou P2, lorsque le faisceau passe de la position C à E elle enregistrerait également les défauts de translation pour une part plus ou moins importante selon la distance entre la position idéale de la cellule PO et par exemple la position P1.
La figure 6 montre comment la position idéale PO de la cellule est déterminée.
Le boîtier électronique de commande envoie un signal alternatif à un moteur qui fait osciller la lame à faces parallèles (7). Durant l'oscillation de la lame (7) le faisceau qui l'a traversée, selon les lois de l'optique se translate parallèlement à lui-même. I1 suffit alors d'avancer ou de reculer la cellule (11) jusqu'au moment ou la valeur qu'elle enregistre ne varie plus. Cette position de la cellule correspond au plan PO. Ensuite la lame (7) est rendue à nouveau immobile.
Quand le faisceau est trop décalé afin que les cellules recueillent toujours une information, le condenseur (4) reçoit le faisceau et le ramène dans la cellule (6). I1 en est de même pour le condenseur (9) et la cellule (11).
Le dispositif optoélectromécanique présenté à la figure 7 comprend un support général (13) sur lequel sont fixés rigidement, une glissière motorisée (14) qui a un support de miroir (15) dont un des axes de rotation est motorisé, une glissière motorisée (16) qui a une monture de miroir -(17) dont un des axes de rotation du miroir est motorisé. Les deux miroirs en position moyenne sont placés orthogonalement et les axes de déplacement des glisssières sont positionnés perpendiculairement à la face réfléchissante du miroir qu'elle supporte.
Le dispositif de la figure 7 est placé à la sortie du laser et le faisceau qui lui est incident arrive en A, se réfléchit sur le premier miroir puis. sur le second, pour ensuite arriver en B dans le dispositif de la figure 4.
Les informations lumineuses que reçoivent les cellules sont converties en signaux électriques qui sont dirigés vers le boîtier électronique possédant un microprocesseur qui prend les décisions et, envoie au dispositif optoélectromécanique représenté à la figure 7,quatre tensions électriques distinctes. Les deux premières tensions électriques commandent respectivement le déplacement dans un sens ou l'autre des deux glissières, faisant avancer ou reculer le plan de réflexion des miroirs. Les deux autres tensions commandent la rotation du plan de réflexion de chaque miroir.
La procédure automatique de positionnement du faisceau est la suivante
Le faisceau qui arrive en B figure 4, génère une information à chaque#cellule (6) et (11).
La première information exploitée est celle de la cellule (11).
En fonction de cette information le boîtier de commande électronique envoie des tensions électriques au moteur de chaque support de miroir qui règle l'orientation des plans de réflexion jusqu'à retrouver l'orientation originelle du faisceau.
Si à la suite de ce réglage la cellule (6) donne l'information correspondant à la position originelle du faisceau, cela signifie qu'il y avait uniquement un déréglage en orientation.
Si à la suite du premier réglage la cellule (6) donne une information qui n'est pas celle qui correspond à la position originelle, le boîtier électronique envoie des tensions électriques au moteur de chaque glissière (14) et (16) pour effectuer la translation du faisceau.
La figure 8 montre une variante de la lame de prélèvement (2).
Dans certaines applications s'il n'est pas possible de prélever par une lame semi réfléchissante une partie du faisceau, on peut utiliser un miroir escamotable (18).
La figure 9 présente un dispositif optique (19) qui réduit le diamètre du faisceau, si ce dernier est plus grand que l'ouverture utile des cellules.

Claims (10)

REVENDICATIONS
1 - Dispositif d'alignement automatique d'un faisceau laser caractérisé en ce qu'il comprend un premier module équipé d'un support général (1), d'une lame semi réfléchissante (2), d'une autre lame semi réfléchissante (3), d'une cellule quatre quadrants (6), d'un objectif de focalisation (8), d'une cellule quatre quadrants (11).
2 - Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend une lame à faces parallèles oscillante (7).
3 - Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'il comprend deux condenseurs de lumière (4) et
(9).
4 - Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 1, 2 et 3 caractérisé en ce que la cellule (11) est déplacée par une glissière (12).
5 - Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 1, 2, 3 et 4 caractérisé en ce que les cellules (6) et (11) sont de type centrolde.
6 - Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 1, 2, 3, 4 et 5 caractérisé en ce qu'il comprend deux atténuateurs de lumière (5) et (10).
7 - Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 1, 2, 3, 4, 5 et 6 caractérisé en ce que la lame (2) est remplacée par un miroir mobile (18)
8 - Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 1, 2, 3, 4, 5, 6 et 7 caractérisé en ce qu'il comprend un réducteur de diamètre de faisceau (19).
9 - Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 et 8 caractérisé en ce qu'il est associé à un second module qui comprend un support général (13) sur lequel sont fixés, une glissière motorisée (14) qui a un support de miroir (15) dont un des axes de rotation est motorisé, une glissière motorisée (16) qui a une monture de miroir (17 > dont un des axes de rotation du miroir est motorisé. Les deux miroirs en position moyenne sont placés orthogonalement et les axes de déplacement des glissières sont positionnés perpendiculairement à la face réfléchissante du miroir qu'elle supporte.
10 - Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 et 9 caractérisé en ce que l'ensemble est commandé électroniquement.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2654375A1 (fr) * 1989-11-16 1991-05-17 Amada Co Ltd Appareil d'alignement du trajet d'un faisceau laser dans une machine.
EP0468937A2 (fr) * 1990-07-27 1992-01-29 PRIMA INDUSTRIE S.p.A. Equipement pour l'ajustement de l'alignement d'un rayon laser le long d'une ligne de référence donnée
WO2011071366A1 (fr) * 2009-12-08 2011-06-16 Maypa B.V. Capteur optique de position à large bande avec normalisation
CN109483047A (zh) * 2018-11-15 2019-03-19 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光光束终端指向检测与校正方法及激光加工装置
RU2747047C1 (ru) * 2020-08-19 2021-04-23 Объединенный Институт Ядерных Исследований (Оияи) Лазерный инклинометр

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2228040A1 (fr) * 1973-05-04 1974-11-29 Commissariat Energie Atomique
FR2295476A1 (fr) * 1974-12-19 1976-07-16 Gen Electric Appareil et procede opto-electronique de detection et de controle de position
JPS57154389A (en) * 1981-03-19 1982-09-24 Toshiba Corp Laser working device
US4383168A (en) * 1980-06-02 1983-05-10 Raytheon Company Automatic focusing apparatus
US4402574A (en) * 1981-04-20 1983-09-06 Weyerhaeuser Company Method and apparatus for refracting a laser beam
EP0154866A1 (fr) * 1984-02-24 1985-09-18 Firma Carl Zeiss Dispositif pour la compensation de la déviation d'un faisceau laser

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2228040A1 (fr) * 1973-05-04 1974-11-29 Commissariat Energie Atomique
FR2295476A1 (fr) * 1974-12-19 1976-07-16 Gen Electric Appareil et procede opto-electronique de detection et de controle de position
US4383168A (en) * 1980-06-02 1983-05-10 Raytheon Company Automatic focusing apparatus
JPS57154389A (en) * 1981-03-19 1982-09-24 Toshiba Corp Laser working device
US4402574A (en) * 1981-04-20 1983-09-06 Weyerhaeuser Company Method and apparatus for refracting a laser beam
EP0154866A1 (fr) * 1984-02-24 1985-09-18 Firma Carl Zeiss Dispositif pour la compensation de la déviation d'un faisceau laser

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, vol. 6, no. 260 (M-180)[1138], 18 décembre 1982; & JP-A-57 154 389 (TOKYO SHIBAURA DENKI K.K.) 24-09-1982 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2654375A1 (fr) * 1989-11-16 1991-05-17 Amada Co Ltd Appareil d'alignement du trajet d'un faisceau laser dans une machine.
EP0468937A2 (fr) * 1990-07-27 1992-01-29 PRIMA INDUSTRIE S.p.A. Equipement pour l'ajustement de l'alignement d'un rayon laser le long d'une ligne de référence donnée
EP0468937A3 (en) * 1990-07-27 1992-04-22 Prima Industrie S.P.A. An adjustment device for aligning a laser beam along a predetermined reference line
WO2011071366A1 (fr) * 2009-12-08 2011-06-16 Maypa B.V. Capteur optique de position à large bande avec normalisation
CN109483047A (zh) * 2018-11-15 2019-03-19 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光光束终端指向检测与校正方法及激光加工装置
RU2747047C1 (ru) * 2020-08-19 2021-04-23 Объединенный Институт Ядерных Исследований (Оияи) Лазерный инклинометр

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