JPH04212709A - 磁気抵抗素子をもつ磁気読み書きヘッド - Google Patents
磁気抵抗素子をもつ磁気読み書きヘッドInfo
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- JPH04212709A JPH04212709A JP3016894A JP1689491A JPH04212709A JP H04212709 A JPH04212709 A JP H04212709A JP 3016894 A JP3016894 A JP 3016894A JP 1689491 A JP1689491 A JP 1689491A JP H04212709 A JPH04212709 A JP H04212709A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気抵抗素子をもつ読
み書きヘッドに関するものである。本発明はいわゆる水
平薄膜ヘッドに適用される。
み書きヘッドに関するものである。本発明はいわゆる水
平薄膜ヘッドに適用される。
【従来の技術】図１に従来の水平薄膜ヘッドを示す。図
１は断面図で、例えばシリコン半導体基板１０のような
ものを持つ水平ヘッドを示しており、くぼみ１２がエッ
チングされている。後方には下方の磁気層１４が電解技
術的に形成され、それが２つの垂直パッド１６１ ，１
６２ によって延びている。この垂直パッド１６１ ，
１６２ は絶縁層２０に埋めこまれたコイル１８によっ
て囲まれている。磁気回路は非磁性スペーサ２４によっ
て２つの部分２２１ ，２２２ に分断された上方の電
極部分によって完全なものになる。例えば鉄−ニッケル
磁気抵抗素子ＭＲは非磁性スペーサ２４の下方に置かれ
ている。この素子はマスクとしてスペーサを用いるフォ
トエッチングによって得られる。スペーサに関しては自
動的に整列するものである。
１は断面図で、例えばシリコン半導体基板１０のような
ものを持つ水平ヘッドを示しており、くぼみ１２がエッ
チングされている。後方には下方の磁気層１４が電解技
術的に形成され、それが２つの垂直パッド１６１ ，１
６２ によって延びている。この垂直パッド１６１ ，
１６２ は絶縁層２０に埋めこまれたコイル１８によっ
て囲まれている。磁気回路は非磁性スペーサ２４によっ
て２つの部分２２１ ，２２２ に分断された上方の電
極部分によって完全なものになる。例えば鉄−ニッケル
磁気抵抗素子ＭＲは非磁性スペーサ２４の下方に置かれ
ている。この素子はマスクとしてスペーサを用いるフォ
トエッチングによって得られる。スペーサに関しては自
動的に整列するものである。
【０００２】ヘッドは読み込み或いは書き込みする情報
が記録される磁気支持材３０の正面で動く。この種のヘ
ッドは「細長の記録の為の磁気抵抗をもつ磁気ヘッドと
そのヘッドの製造過程」”Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｈｅａｄ
ｗｉｔｈ ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ ｆ
ｏｒ ｌｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌ ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ
ａｎｄ ｐｒｏｃｅｓｓ ｆｏｒ ｔｈｅ ｐｒｏｄ
ｕｃｔｉｏｎ ｏｆ ｓｕｃｈ ａ ｈｅａｄ”と題さ
れて１９８９年３月２９日に出願されたフランス国特許
出願第８９ ０４０６０号に記載されている。
が記録される磁気支持材３０の正面で動く。この種のヘ
ッドは「細長の記録の為の磁気抵抗をもつ磁気ヘッドと
そのヘッドの製造過程」”Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｈｅａｄ
ｗｉｔｈ ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ ｆ
ｏｒ ｌｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌ ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ
ａｎｄ ｐｒｏｃｅｓｓ ｆｏｒ ｔｈｅ ｐｒｏｄ
ｕｃｔｉｏｎ ｏｆ ｓｕｃｈ ａ ｈｅａｄ”と題さ
れて１９８９年３月２９日に出願されたフランス国特許
出願第８９ ０４０６０号に記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記記載の装置は書き
込み時にはコイル１８に流れる電流は磁界を作り出し、
その結果、磁気回路の中に誘導を生じる。スペーサのま
わりに開いた磁界の線は支持材３０の中に磁化を引き起
こす。読み込み時には、支持材３０に記録された磁気情
報は磁気読み込み磁界を作り出し、結果として磁気回路
の中に誘導を生じる。この誘導の一部は抵抗素子ＭＲを
横切って再び閉じる。このようにして上記素子に読み込
み磁化があり、素子の抵抗の変化をもたらす。このよう
なヘッドはある点では満足のいくものであるが、読み込
み信号の相対的な弱さと結びつく欠点がある。
込み時にはコイル１８に流れる電流は磁界を作り出し、
その結果、磁気回路の中に誘導を生じる。スペーサのま
わりに開いた磁界の線は支持材３０の中に磁化を引き起
こす。読み込み時には、支持材３０に記録された磁気情
報は磁気読み込み磁界を作り出し、結果として磁気回路
の中に誘導を生じる。この誘導の一部は抵抗素子ＭＲを
横切って再び閉じる。このようにして上記素子に読み込
み磁化があり、素子の抵抗の変化をもたらす。このよう
なヘッドはある点では満足のいくものであるが、読み込
み信号の相対的な弱さと結びつく欠点がある。
【０００４】この欠点は本来、磁気読み込み磁束が抵抗
素子ＭＲを横切って完全には再接続しないという事実に
よるものである。このように、読み込み時、支持材３０
から出る磁気磁束は、添付の図２に示した２つの異なっ
た進路、即ち下方の電極部分１４によってとられる進路
（ａ）と抵抗素子ＭＲを横切って再接続する進路（ｂ）
を進みながら再接続する。それ故、磁気磁束の一部分は
読み込み段階では使用されない。本発明の目的は、この
従来の欠点を除去し、総合特性を改善可能な磁気抵抗素
子をもつ磁気読み書きヘッドを提供することにある。
素子ＭＲを横切って完全には再接続しないという事実に
よるものである。このように、読み込み時、支持材３０
から出る磁気磁束は、添付の図２に示した２つの異なっ
た進路、即ち下方の電極部分１４によってとられる進路
（ａ）と抵抗素子ＭＲを横切って再接続する進路（ｂ）
を進みながら再接続する。それ故、磁気磁束の一部分は
読み込み段階では使用されない。本発明の目的は、この
従来の欠点を除去し、総合特性を改善可能な磁気抵抗素
子をもつ磁気読み書きヘッドを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】それゆえ、本発明は進路
（ｂ）が選択されるように前述の進路（ａ）が遮られる
ような方法で磁気回路を開くことを促すものである。当
然、これは書き込み信号に損傷を与えて読み出し信号に
改善をもたらすものである。これら２つの相反する目的
の間で受け入れられる妥協点を明白にし、書き込み時の
効率を削減するにもかかわらず、読み込み感度がかなり
高まる結果、その性能における特性に関して総合的基準
でヘッドが改善されることを示し得るということが本発
明のメリットである。
（ｂ）が選択されるように前述の進路（ａ）が遮られる
ような方法で磁気回路を開くことを促すものである。当
然、これは書き込み信号に損傷を与えて読み出し信号に
改善をもたらすものである。これら２つの相反する目的
の間で受け入れられる妥協点を明白にし、書き込み時の
効率を削減するにもかかわらず、読み込み感度がかなり
高まる結果、その性能における特性に関して総合的基準
でヘッドが改善されることを示し得るということが本発
明のメリットである。
【０００６】特に本発明は、ヘッドギャップのある磁気
回路と、ヘッドギャップの下方に置かれた抵抗素子と、
電導性コイルを含む磁気読み書きヘッドとに関するもの
であり、磁気回路が開いていることを特徴とする。第一
の変形例は、本発明によるヘッドは磁気回路が上方の電
極部分のみを有することを特徴とするものである。第二
の変形例は、本発明によるヘッドは磁気回路が上方の電
極部分と、これに平行であるが磁気的にこれと接続しな
い下方の電極部分とを有することを特徴とするものであ
る。
回路と、ヘッドギャップの下方に置かれた抵抗素子と、
電導性コイルを含む磁気読み書きヘッドとに関するもの
であり、磁気回路が開いていることを特徴とする。第一
の変形例は、本発明によるヘッドは磁気回路が上方の電
極部分のみを有することを特徴とするものである。第二
の変形例は、本発明によるヘッドは磁気回路が上方の電
極部分と、これに平行であるが磁気的にこれと接続しな
い下方の電極部分とを有することを特徴とするものであ
る。
【０００７】
【実施例】図３に示されたヘッドは図１のヘッドと同様
の素子をもつ。これらの素子は同じ関係をもつ。これら
のヘッドは基板１０と、絶縁体２０に埋め込まれたコイ
ル１８と、２つの部分２２１ と２２２ から成る上方
の電極と、非磁性スペーサで構成されたヘッドギャップ
２４と、そして最後に抵抗素子ＭＲとから成る。しかし
ながら従来の技術によるヘッドと異なり、下方の電極も
柱もない。結果として読み込みヘッドはＭＲ素子によっ
て完全に接続する。書き込み時には、作られた磁束は自
然にひどく弱められ、図１によるヘッドの場合には６０
００Ｏｅ（即ち約４８００００Ａ／ｍ）になるのに、約
４００ Ｏｅ（即ち約３２０００ Ａ／ｍ）に落ち込む
。しかしながら上記の値は十分なものである。
の素子をもつ。これらの素子は同じ関係をもつ。これら
のヘッドは基板１０と、絶縁体２０に埋め込まれたコイ
ル１８と、２つの部分２２１ と２２２ から成る上方
の電極と、非磁性スペーサで構成されたヘッドギャップ
２４と、そして最後に抵抗素子ＭＲとから成る。しかし
ながら従来の技術によるヘッドと異なり、下方の電極も
柱もない。結果として読み込みヘッドはＭＲ素子によっ
て完全に接続する。書き込み時には、作られた磁束は自
然にひどく弱められ、図１によるヘッドの場合には６０
００Ｏｅ（即ち約４８００００Ａ／ｍ）になるのに、約
４００ Ｏｅ（即ち約３２０００ Ａ／ｍ）に落ち込む
。しかしながら上記の値は十分なものである。
【０００８】コイル１８は図１によるヘッドのコイルよ
りもヘッドギャップに近く、それにより書き込み領域を
多少増やすことになる。また、上方の電極部分をコイル
の面の方に動かすことも可能である。図３のヘッドは電
導層である素子Ｃも有し、これは、ＭＲ素子に成極誘導
を引き起こすために、素子Ｃの中に分極電流を流すこと
が可能である。静止時（即ち読み込み磁界がない時）誘
導はＭＲ素子の抵抗の変化を読む為に使用される電流線
に対して傾く。このような配列は周知の通り、例えば（
垂直ヘッドの場合には）米国特許第４７３４６４４号に
記載されている。
りもヘッドギャップに近く、それにより書き込み領域を
多少増やすことになる。また、上方の電極部分をコイル
の面の方に動かすことも可能である。図３のヘッドは電
導層である素子Ｃも有し、これは、ＭＲ素子に成極誘導
を引き起こすために、素子Ｃの中に分極電流を流すこと
が可能である。静止時（即ち読み込み磁界がない時）誘
導はＭＲ素子の抵抗の変化を読む為に使用される電流線
に対して傾く。このような配列は周知の通り、例えば（
垂直ヘッドの場合には）米国特許第４７３４６４４号に
記載されている。
【０００９】しかしながら、このような電導体は必ずし
も必要ではない。それに匹敵する優位性は実際のＭＲ素
子に置かれるいわゆるバーバーポール（Ｂａｒｂｅｒ
Ｐｏｌｅ） 電導層に与えられ、それはＭＲ素子の縦軸
に関して間接電流を作り出す。バーバーポール（Ｂａｒ
ｂｅｒ Ｐｏｌｅ） 装置は「フィリップス技術評論」
“Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｒｅｖｉｅｗ
”１９８８年１２月、第４４巻、第６号、１６９〜１７
８頁に発表された「薄膜技術におけるマルチトラック磁
気ヘッド」“Ｍｕｌｔｉ−ｔｒａｃｋ ｍａｇｎｅｔｉ
ｃ ｈｅａｄｓ ｉｎ ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｔｅｃｈ
ｎｏｌｏｇｙ”と題されたＭ．Ｇ．Ｊ．ＨＥＩＪＭＡＮ
ｅｔ ａｌ による論文に記述されている。
も必要ではない。それに匹敵する優位性は実際のＭＲ素
子に置かれるいわゆるバーバーポール（Ｂａｒｂｅｒ
Ｐｏｌｅ） 電導層に与えられ、それはＭＲ素子の縦軸
に関して間接電流を作り出す。バーバーポール（Ｂａｒ
ｂｅｒ Ｐｏｌｅ） 装置は「フィリップス技術評論」
“Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｒｅｖｉｅｗ
”１９８８年１２月、第４４巻、第６号、１６９〜１７
８頁に発表された「薄膜技術におけるマルチトラック磁
気ヘッド」“Ｍｕｌｔｉ−ｔｒａｃｋ ｍａｇｎｅｔｉ
ｃ ｈｅａｄｓ ｉｎ ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｔｅｃｈ
ｎｏｌｏｇｙ”と題されたＭ．Ｇ．Ｊ．ＨＥＩＪＭＡＮ
ｅｔ ａｌ による論文に記述されている。
【００１０】図４のヘッドは下方の電極部分１４が付加
されたことで図３のヘッドとは異なる。書き込み領域は
幾分増加し２４００Ｏｅ（即ち１９２０００Ａ／ｍ）に
なる。下方の電極はヘッドを磁気的に保護し外部妨害領
域がＭＲ抵抗素子を妨害することを防ぐ効果をもつ。ど
の変形が使われようとも、１９９０年１月１７日のフラ
ンス国特許出願第ＥＮ９０ ００４９０号の「非磁性
的素子と電流制御をもつ磁気ヘッド」“Ｍａｇｎｅｔｉ
ｃ ｈｅａｄ ｗｉｔｈ ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔ
ａｎｔ ｅｌｅｍｅｎｔ ａｎｄ ｃｕｒｒｅｎｔｃｏ
ｎｔｒｏｌ ”に記載されているように、読み込み誘導
補償装置としての導電性素子Ｃを使用することが可能で
ある。
されたことで図３のヘッドとは異なる。書き込み領域は
幾分増加し２４００Ｏｅ（即ち１９２０００Ａ／ｍ）に
なる。下方の電極はヘッドを磁気的に保護し外部妨害領
域がＭＲ抵抗素子を妨害することを防ぐ効果をもつ。ど
の変形が使われようとも、１９９０年１月１７日のフラ
ンス国特許出願第ＥＮ９０ ００４９０号の「非磁性
的素子と電流制御をもつ磁気ヘッド」“Ｍａｇｎｅｔｉ
ｃ ｈｅａｄ ｗｉｔｈ ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔ
ａｎｔ ｅｌｅｍｅｎｔ ａｎｄ ｃｕｒｒｅｎｔｃｏ
ｎｔｒｏｌ ”に記載されているように、読み込み誘導
補償装置としての導電性素子Ｃを使用することが可能で
ある。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
書き込み時の効率を削減するにもかかわらず、読み込み
感度がかなり高まる結果、総合的基準でヘッドの性能特
性が改善される。
書き込み時の効率を削減するにもかかわらず、読み込み
感度がかなり高まる結果、総合的基準でヘッドの性能特
性が改善される。
【図１】従来の技術による磁気ヘッドを示す図である。
【図２】従来の技術による進路を閉じる２つの読み込み
磁束を示す図である。
磁束を示す図である。
【図３】本発明の第一の実施例における磁気ヘッドを示
す図である。
す図である。
【図４】本発明の第二の実施例における磁気ヘッドを示
す図である。
す図である。
【符号の説明】
１０ シリコン半導体基板
１２ くぼみ
１４ 磁気層
１６１ 垂直パッド
１６２ 垂直パッド
１８ 導電性コイル
２０ 絶縁層
２２１ 電極
２２２ 電極
２４ ヘッドギャップ
３０ 磁気支持材
Ｃ 導電性素子
ＭＲ 磁気抵抗素子
Claims (3)
- 【請求項１】ヘッドギャップ（２４）と、ヘッドギャッ
プの下方に置かれた磁気抵抗素子（ＭＲ）と、導電性コ
イル（１８）を含む磁気読み書きヘッドであり、磁気回
路が開いていることを特徴とする磁気抵抗素子を有する
磁気読み書きヘッド。 - 【請求項２】磁気回路が上方の電極部分（２２１ ，２
２２ ）のみを有することを特徴とする請求項１記載の
磁気ヘッド。 - 【請求項３】磁気回路が上方の電極部分（２２１ ，２
２２ ）と、上方の電極部分（２２１ ，２２２ ）と
平行であるが磁気的にこれと接続しない下方の電極部分
を有することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9000556A FR2657189B1 (fr) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | Tete magnetique de lecture et d'ecriture a element magnetoresistant. |
| FR9000556 | 1990-01-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04212709A true JPH04212709A (ja) | 1992-08-04 |
Family
ID=9392899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3016894A Pending JPH04212709A (ja) | 1990-01-18 | 1991-01-18 | 磁気抵抗素子をもつ磁気読み書きヘッド |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5168408A (ja) |
| EP (1) | EP0438350B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04212709A (ja) |
| DE (1) | DE69100132T2 (ja) |
| FR (1) | FR2657189B1 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05114119A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-05-07 | Fujitsu Ltd | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
| FR2700633B1 (fr) * | 1993-01-20 | 1995-03-17 | Silmag Sa | Procédé de réalisation d'une tête magnétique à détecteur de champ à semiconducteur et tête obtenue par ce procédé. |
| FR2709855B1 (fr) * | 1993-09-06 | 1995-10-20 | Commissariat Energie Atomique | Tête magnétique de lecture et d'écriture à élément magnétorésistant compensé en écriture. |
| FR2716741B1 (fr) * | 1994-02-28 | 1996-04-05 | Commissariat Energie Atomique | Tête magnétique de lecture à élément magnétorésistant et à moyens de polarisation perfectionnés. |
| US5909346A (en) * | 1994-08-26 | 1999-06-01 | Aiwa Research & Development, Inc. | Thin magnetic film including multiple geometry gap structures on a common substrate |
| US5544774A (en) * | 1994-08-26 | 1996-08-13 | Aiwa Research And Development, Inc. | Method of eliminating pole recession in a thin film magnetic head |
| US5563754A (en) * | 1994-08-26 | 1996-10-08 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film magnetic head including a durable wear layer and gap structure |
| US6091581A (en) * | 1994-08-26 | 2000-07-18 | Aiwa Co., Ltd. | Thin film magnetic head including a separately deposited diamond-like carbon gap structure and magnetic control wells |
| US5754377A (en) * | 1994-08-26 | 1998-05-19 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film magnetic head including an elevated gap structure |
| US5801909A (en) * | 1994-08-26 | 1998-09-01 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film magnetic head including durable wear layer and non-magnetic gap structures |
| US5748417A (en) * | 1994-08-26 | 1998-05-05 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film magnetic head including layered magnetic side poles |
| US5673474A (en) * | 1994-08-26 | 1997-10-07 | Aiwa Research And Development, Inc. | Method of fabricating a thin film magnetic head including layered magnetic side poles |
| US5490028A (en) * | 1994-08-26 | 1996-02-06 | Aiwa Research And Development, Inc. | Thin film magnetic head including an integral layered shield structure |
| JPH08171712A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-07-02 | Aiwa Co Ltd | 側面露出型薄膜磁気ヘッド並びにその製造方法 |
| FR2724481B1 (fr) * | 1994-09-13 | 1996-10-18 | Commissariat Energie Atomique | Tete magnetique planaire a magnetoresistance multicouche longitudinale |
| FR2727778B1 (fr) * | 1994-12-02 | 1997-01-03 | Commissariat Energie Atomique | Codeur magnetique pour la lecture de marques sur une piste magnetique associee |
| US5621594A (en) * | 1995-02-17 | 1997-04-15 | Aiwa Research And Development, Inc. | Electroplated thin film conductor coil assembly |
| US6219205B1 (en) * | 1995-10-10 | 2001-04-17 | Read-Rite Corporation | High density giant magnetoresistive transducer with recessed sensor |
| US6069015A (en) * | 1996-05-20 | 2000-05-30 | Aiwa Research And Development, Inc. | Method of fabricating thin film magnetic head including durable wear layer and non-magnetic gap structure |
| US5867889A (en) * | 1997-04-01 | 1999-02-09 | International Business Machines Corporation | Double self-aligned insulated contiguous junction for flux-guided-MR or yoke-MR head applications |
| KR100264802B1 (ko) | 1998-02-24 | 2000-09-01 | 윤종용 | 플래너구조 박막자기헤드의 갭 형성방법 |
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