JPH04210887A - レーザ肉盛装置 - Google Patents
レーザ肉盛装置Info
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- JPH04210887A JPH04210887A JP2403134A JP40313490A JPH04210887A JP H04210887 A JPH04210887 A JP H04210887A JP 2403134 A JP2403134 A JP 2403134A JP 40313490 A JP40313490 A JP 40313490A JP H04210887 A JPH04210887 A JP H04210887A
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- laser
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- laser beam
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［０００１１
〔発明の目的〕
［０００２］
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工ヘッドから
被加工物に照射されるレーザ光によって、被加工物に肉
盛部を形成するようにしたレーザ肉盛装置に関する。 ［０００３］
被加工物に照射されるレーザ光によって、被加工物に肉
盛部を形成するようにしたレーザ肉盛装置に関する。 ［０００３］
【従来の技術】一般に基材表面を改質するために、上記
基材表面に他の金属材料を肉盛加工することが広〈実施
されている。近年では、肉盛加工の熱源としてレーザ光
を利用するレーザ肉盛装置が多用されている。 ［０００４］このレーザ肉盛装置の一般例を説明すると
、図４に示されているように、レーザ発振器１から発振
せしめられたレーザ光２は、ミラー３にて所定の方向に
反射・偏向された後、集光レンズ４て集束され被加工物
としての基材５に照射される。一方、この基材５のレー
ザ照射部に対して、肉盛供給機６から供給ノズル６ａを
通して粉状の肉盛材料７が供給される。供給された肉盛
材料７は、上記照射レーザ光によって溶融され、溶融プ
ール８がレーザ照射部に形成されつつ肉盛層９が得られ
るようになっている。 ［０００５］
基材表面に他の金属材料を肉盛加工することが広〈実施
されている。近年では、肉盛加工の熱源としてレーザ光
を利用するレーザ肉盛装置が多用されている。 ［０００４］このレーザ肉盛装置の一般例を説明すると
、図４に示されているように、レーザ発振器１から発振
せしめられたレーザ光２は、ミラー３にて所定の方向に
反射・偏向された後、集光レンズ４て集束され被加工物
としての基材５に照射される。一方、この基材５のレー
ザ照射部に対して、肉盛供給機６から供給ノズル６ａを
通して粉状の肉盛材料７が供給される。供給された肉盛
材料７は、上記照射レーザ光によって溶融され、溶融プ
ール８がレーザ照射部に形成されつつ肉盛層９が得られ
るようになっている。 ［０００５］
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ肉盛装置
においては、以下のような問題がある。 ［０００６］まず基材５に照射されたレーザ光は、基材
５の表面で全て吸収されることはなく一定光量は周囲に
反射していき、その散乱光によって周囲に熱損傷を与え
ることがある。従来のレーザ肉盛装置では、レーザ照射
部の回りに耐熱性材料からなる囲いを設置し、作業者へ
の安全を確保するとともに、火災の危険を回避すべく周
辺機器に耐火材を装備している。 ［０００７］さらに上記基材５からの反射光が、粉材料
供給ノズル６ａの先端部分を加熱して昇温させることか
あり、そのため粉材料供給ノズル６ａに目詰りを生じさ
せるおそれがある。すなわち肉盛材料７の溶融の観点か
らすれば、粉材料供給ノズル６ａの先端部を、図４に示
されているように、肉盛進行方向（図４右方向）の前方
側に配置することが好ましい。このように粉材料供給ノ
ズル６ａの先端部を肉盛進行方向の前方側に配置する場
合には、少なくとも溶融プール８の前方領域に肉盛材料
７が落下堆積させることができ、その後のレーザ光の進
行によって肉盛層になすことができる。 ［０００８］ところが図５に示されているように、レー
ザ光の反射も、肉盛進行方向前方側に向かって多く行な
われることが判明した。これは、溶融プール８の表面が
肉盛進行方向の前方側に傾いているためと考えられる。 ［０００９］ レーザ反射光による目詰りを回避すべく
、粉材料供給ノズル６ａを肉盛進行方向以外の位置に配
置して施工試験を実施してみたが、溶融プール８以外の
領域に肉盛材料７が多く供給されてしまい、それらが肉
盛層の形成に奇与しなくなって歩留まりの低下を生じた
。 ［００１０１本発明は、上述した事情を考慮してなされ
たもので、レーザ肉盛施工時に発生する目詰りを防止し
、長時間施工時においても安定した粉末供給を行なうこ
とができるとともに、反射レーザ光による周辺機器や作
業者への熱的影響あるいは熱損傷を防止することができ
るようにした安全性および信頼性の高いレーザ肉盛装置
を提供することを目的とする。 〔発明の構成〕［００
１１１
においては、以下のような問題がある。 ［０００６］まず基材５に照射されたレーザ光は、基材
５の表面で全て吸収されることはなく一定光量は周囲に
反射していき、その散乱光によって周囲に熱損傷を与え
ることがある。従来のレーザ肉盛装置では、レーザ照射
部の回りに耐熱性材料からなる囲いを設置し、作業者へ
の安全を確保するとともに、火災の危険を回避すべく周
辺機器に耐火材を装備している。 ［０００７］さらに上記基材５からの反射光が、粉材料
供給ノズル６ａの先端部分を加熱して昇温させることか
あり、そのため粉材料供給ノズル６ａに目詰りを生じさ
せるおそれがある。すなわち肉盛材料７の溶融の観点か
らすれば、粉材料供給ノズル６ａの先端部を、図４に示
されているように、肉盛進行方向（図４右方向）の前方
側に配置することが好ましい。このように粉材料供給ノ
ズル６ａの先端部を肉盛進行方向の前方側に配置する場
合には、少なくとも溶融プール８の前方領域に肉盛材料
７が落下堆積させることができ、その後のレーザ光の進
行によって肉盛層になすことができる。 ［０００８］ところが図５に示されているように、レー
ザ光の反射も、肉盛進行方向前方側に向かって多く行な
われることが判明した。これは、溶融プール８の表面が
肉盛進行方向の前方側に傾いているためと考えられる。 ［０００９］ レーザ反射光による目詰りを回避すべく
、粉材料供給ノズル６ａを肉盛進行方向以外の位置に配
置して施工試験を実施してみたが、溶融プール８以外の
領域に肉盛材料７が多く供給されてしまい、それらが肉
盛層の形成に奇与しなくなって歩留まりの低下を生じた
。 ［００１０１本発明は、上述した事情を考慮してなされ
たもので、レーザ肉盛施工時に発生する目詰りを防止し
、長時間施工時においても安定した粉末供給を行なうこ
とができるとともに、反射レーザ光による周辺機器や作
業者への熱的影響あるいは熱損傷を防止することができ
るようにした安全性および信頼性の高いレーザ肉盛装置
を提供することを目的とする。 〔発明の構成〕［００
１１１
【課題を解決するための手段］本発明に係るレーザ肉盛
装置は、上述した課題を解決するために、レーザ発振器
から発振されるレーザ光を集束してレーザ加工ヘッドか
ら被加工物に照射するとともに、肉盛材料を上記被加工
物のレーザ照射部に供給して肉盛部を形成するようにし
たレーザ肉盛装置において、前記レーザ加工ヘッドは、
被加工物に照射されるレーザ光の光軸方向に肉盛材料を
供給する材料供給口と、上記被加工物から反射光を受け
て遮光を行なう受光面とを備えたものである。 ［００１２］ 【作用】このレーザ肉盛装置は、レーザ加工ヘッドには
、被加工物に照射されるレーザ光の光軸方向に肉盛材料
を供給する材料供給口と、上記被加工物からの反射光を
受けて遮光を行なう受光面とが備えられており、肉盛材
料が溶融プールに対して直接的に供給されるとともに、
溶融プールからの反射光がレーザ加工ヘッドの遮光面に
当てられて周囲へのレーザ光の散乱が阻止されるように
なっている。 ［００１３］
装置は、上述した課題を解決するために、レーザ発振器
から発振されるレーザ光を集束してレーザ加工ヘッドか
ら被加工物に照射するとともに、肉盛材料を上記被加工
物のレーザ照射部に供給して肉盛部を形成するようにし
たレーザ肉盛装置において、前記レーザ加工ヘッドは、
被加工物に照射されるレーザ光の光軸方向に肉盛材料を
供給する材料供給口と、上記被加工物から反射光を受け
て遮光を行なう受光面とを備えたものである。 ［００１２］ 【作用】このレーザ肉盛装置は、レーザ加工ヘッドには
、被加工物に照射されるレーザ光の光軸方向に肉盛材料
を供給する材料供給口と、上記被加工物からの反射光を
受けて遮光を行なう受光面とが備えられており、肉盛材
料が溶融プールに対して直接的に供給されるとともに、
溶融プールからの反射光がレーザ加工ヘッドの遮光面に
当てられて周囲へのレーザ光の散乱が阻止されるように
なっている。 ［００１３］
【実施例】以下、本発明に係るレーザ肉盛装置の一実施
例について添付図面を参照して詳細に説明する。 ［００１４１図１に示されているように、レーザ発振器
１０から発振せしめられたレーザ光１１は、ミラー１２
にて所定の方向に反射・偏向され、レーザ加工ヘッド１
３内で集束されて被加工物としての基材１４に照射され
る。レーザ加工ヘッド１３には、多数の口出し部が設け
られており、両側面に設けられた一対の口出し部１４１
４には肉盛粉末供給装置１５．１５がそれぞれ接続され
るとともに、レーザ加工ヘッド１３の上部側に設けられ
た日出部１６にはレンズ保護ガス供給装置１７が接続さ
れ、また−側下部面に設けられた日出部１８にはシール
ドガス供給装置１９が接続され、さらに他側下部面に設
けられた一対の目出部２０．２０には冷却水循環装置２
１が接続されている。 ［００１５１図２にはレーザ加工ヘッド１３の内部構造
を示している。まずこのレーザ加工ヘッド１３を構成す
るハウジング２３の上部には、レーザ光を導入するため
の開口２４が設けられており、この開口２４の近傍に集
光レンズ２５が取り付けられている。集光レンズ２５の
直下の空間部分は、集光束の外側線に沿ったコーン形状
の空洞２６に形成されており、このコーン状空洞２６が
、通路２７および上記口出し部１６を介してレンズ保護
ガス供給装置１７に連通されている。また上記コーン状
空洞２６の下端部分に集光束の焦点Ｓが形成され、かつ
その焦点Ｓの直下に出射口２８が基材１４に向かって開
口される。 ［００１６］またコーン状空洞２６の外側には、肉盛粉
末供給装置が接続された口出し部１４．１４から延びて
上記出射口に開口される粉状の肉盛材料供給通路２９が
設けられている。肉盛材料は粒状であってもよい。 ［Ｏｏ １７］さらに、肉盛材料供給通路２９の外側に
は、横断面三角形状の水室３０が環状に形成されており
、この水室３０に対して、上記口出し部２０．２０を介
して冷却水循環装置２１が循環系を構成するように接続
されている。さらに上記水室３０の外側には、横断面四
角形状のガス室３１が環状に形成されており、このガス
室３１に対して、上記口出し部１８を介してシールドガ
ス供給装置１９が接続されている。ガス室３１からは、
光軸下方に向かってガス通路３２が延びており、レーザ
加工ヘッド１３を構成するハウジング２３の底面２３ａ
に開口している。 ［００１８］さらにまた、上記ハウジング２３の底面２
３ａは、基材１４からの反射光を受ける受光面として形
成されており、基材Ｍからの反射光すなわち溶融プール
３３にて反射されたレーザ反射光３５の光束を全て遮光
する面積を備えるように形成されている。 ［００１９］このような実施例装置によってレーザ肉盛
層を形成するには、まず事前準備として、冷却水循環装
置２１を作動させてレーザ加工ヘッド１３内を十分に冷
却し、冷却水の循環を継続させておく。つぎに、シール
ドガス供給装置１９から、大気によるコンタミネーショ
ンを防止するためのシールドガス（例えばアルゴンガス
）を送給する。本実施例装置では、上記ガス供給量を１
０ないし４０リットル／分に設定している。さらにレン
ズ保護ガス供給装置１７から、例えばアルゴンガス等の
不活性ガスを、ガス供給量５ないし４０リットル／分の
割合で送給する。 ［００２０１このような事前準備の後、レーザ発振器１
０から例えば４ないし１０）（Ｗのレーザ光１１を発振
・放出させ、集光レンズ２５を通して集束されたレーザ
光を、ビーム径４ないし２０ｍｍとなるように被加工物
としての基材Ｍに照射する。またこれと同時に肉盛粉末
供給装置１５．１５から、例えば１０ないし１００ ｇ
／分の割合で粉状の肉盛材料３６を供給しつつ、レーザ
肉盛装置の全体を、例えば１０ないし１５００ｍｍ／分
の速度で図示右側に移動させる。基材１４および粉状肉
盛材料３６は、レーザ光の照射を受けて昇温され、粉状
肉盛材料３６が溶融して基板１４の上に所定の肉盛層が
形成されていく。 ［００２１１このとき粉状肉盛材料３６は、溶融プール
３３に対して直接的に供給されるため、材料の無駄はほ
とんど生じることがない。また溶融プール３３からの反
射光は、レーザ加工ヘッド１３の遮光面２３ａに当てら
れる。上記遮光面２３ａは十分に冷却されているため、
周囲環境への熱的影響および熱損傷が回避されるととも
に、レーザの光軸方向に供給される粉状肉盛材料３６は
、レーザ反射光３５の影響を受けることがなく、しかも
溶融プール３３へ落下する直前からレーザ光による加熱
を受けて余熱されるので、溶融プール３３に対して良好
ななじみ性を有することとなり、肉盛層の形成が良好に
行なわれる。 ［００２２］この実施例におけるように、粉状肉盛材料
の供給位置を進行方向の前後に設定する必要はなく、例
えば左右の位置から供給を行なうようにしても良い。ま
た、肉盛粉末供給装置１５は、単体あるいは３体以上に
わたって設置することも可能であり、多く設けるほど粉
状肉盛材料の供給は安定的かつ大量に供給することがで
きる。 ［００２３］また、図３に示されているように、基材１
４が例えばドラム状をなし、被加工面が曲面をなす場合
であっても、レーザ加工ヘッド１３の遮光面２３ａ等の
寸法を適正化することによって上記実施例と同様に反射
光の散乱を防止することができる。この場合、肉盛材料
をレーザ光軸方向に供給するので、被加工面の曲率が極
小さい場合であっても肉盛を良好に形成することができ
る。 ［００２４］
例について添付図面を参照して詳細に説明する。 ［００１４１図１に示されているように、レーザ発振器
１０から発振せしめられたレーザ光１１は、ミラー１２
にて所定の方向に反射・偏向され、レーザ加工ヘッド１
３内で集束されて被加工物としての基材１４に照射され
る。レーザ加工ヘッド１３には、多数の口出し部が設け
られており、両側面に設けられた一対の口出し部１４１
４には肉盛粉末供給装置１５．１５がそれぞれ接続され
るとともに、レーザ加工ヘッド１３の上部側に設けられ
た日出部１６にはレンズ保護ガス供給装置１７が接続さ
れ、また−側下部面に設けられた日出部１８にはシール
ドガス供給装置１９が接続され、さらに他側下部面に設
けられた一対の目出部２０．２０には冷却水循環装置２
１が接続されている。 ［００１５１図２にはレーザ加工ヘッド１３の内部構造
を示している。まずこのレーザ加工ヘッド１３を構成す
るハウジング２３の上部には、レーザ光を導入するため
の開口２４が設けられており、この開口２４の近傍に集
光レンズ２５が取り付けられている。集光レンズ２５の
直下の空間部分は、集光束の外側線に沿ったコーン形状
の空洞２６に形成されており、このコーン状空洞２６が
、通路２７および上記口出し部１６を介してレンズ保護
ガス供給装置１７に連通されている。また上記コーン状
空洞２６の下端部分に集光束の焦点Ｓが形成され、かつ
その焦点Ｓの直下に出射口２８が基材１４に向かって開
口される。 ［００１６］またコーン状空洞２６の外側には、肉盛粉
末供給装置が接続された口出し部１４．１４から延びて
上記出射口に開口される粉状の肉盛材料供給通路２９が
設けられている。肉盛材料は粒状であってもよい。 ［Ｏｏ １７］さらに、肉盛材料供給通路２９の外側に
は、横断面三角形状の水室３０が環状に形成されており
、この水室３０に対して、上記口出し部２０．２０を介
して冷却水循環装置２１が循環系を構成するように接続
されている。さらに上記水室３０の外側には、横断面四
角形状のガス室３１が環状に形成されており、このガス
室３１に対して、上記口出し部１８を介してシールドガ
ス供給装置１９が接続されている。ガス室３１からは、
光軸下方に向かってガス通路３２が延びており、レーザ
加工ヘッド１３を構成するハウジング２３の底面２３ａ
に開口している。 ［００１８］さらにまた、上記ハウジング２３の底面２
３ａは、基材１４からの反射光を受ける受光面として形
成されており、基材Ｍからの反射光すなわち溶融プール
３３にて反射されたレーザ反射光３５の光束を全て遮光
する面積を備えるように形成されている。 ［００１９］このような実施例装置によってレーザ肉盛
層を形成するには、まず事前準備として、冷却水循環装
置２１を作動させてレーザ加工ヘッド１３内を十分に冷
却し、冷却水の循環を継続させておく。つぎに、シール
ドガス供給装置１９から、大気によるコンタミネーショ
ンを防止するためのシールドガス（例えばアルゴンガス
）を送給する。本実施例装置では、上記ガス供給量を１
０ないし４０リットル／分に設定している。さらにレン
ズ保護ガス供給装置１７から、例えばアルゴンガス等の
不活性ガスを、ガス供給量５ないし４０リットル／分の
割合で送給する。 ［００２０１このような事前準備の後、レーザ発振器１
０から例えば４ないし１０）（Ｗのレーザ光１１を発振
・放出させ、集光レンズ２５を通して集束されたレーザ
光を、ビーム径４ないし２０ｍｍとなるように被加工物
としての基材Ｍに照射する。またこれと同時に肉盛粉末
供給装置１５．１５から、例えば１０ないし１００ ｇ
／分の割合で粉状の肉盛材料３６を供給しつつ、レーザ
肉盛装置の全体を、例えば１０ないし１５００ｍｍ／分
の速度で図示右側に移動させる。基材１４および粉状肉
盛材料３６は、レーザ光の照射を受けて昇温され、粉状
肉盛材料３６が溶融して基板１４の上に所定の肉盛層が
形成されていく。 ［００２１１このとき粉状肉盛材料３６は、溶融プール
３３に対して直接的に供給されるため、材料の無駄はほ
とんど生じることがない。また溶融プール３３からの反
射光は、レーザ加工ヘッド１３の遮光面２３ａに当てら
れる。上記遮光面２３ａは十分に冷却されているため、
周囲環境への熱的影響および熱損傷が回避されるととも
に、レーザの光軸方向に供給される粉状肉盛材料３６は
、レーザ反射光３５の影響を受けることがなく、しかも
溶融プール３３へ落下する直前からレーザ光による加熱
を受けて余熱されるので、溶融プール３３に対して良好
ななじみ性を有することとなり、肉盛層の形成が良好に
行なわれる。 ［００２２］この実施例におけるように、粉状肉盛材料
の供給位置を進行方向の前後に設定する必要はなく、例
えば左右の位置から供給を行なうようにしても良い。ま
た、肉盛粉末供給装置１５は、単体あるいは３体以上に
わたって設置することも可能であり、多く設けるほど粉
状肉盛材料の供給は安定的かつ大量に供給することがで
きる。 ［００２３］また、図３に示されているように、基材１
４が例えばドラム状をなし、被加工面が曲面をなす場合
であっても、レーザ加工ヘッド１３の遮光面２３ａ等の
寸法を適正化することによって上記実施例と同様に反射
光の散乱を防止することができる。この場合、肉盛材料
をレーザ光軸方向に供給するので、被加工面の曲率が極
小さい場合であっても肉盛を良好に形成することができ
る。 ［００２４］
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、簡易
な構成で、長時間施工時においても、肉盛材料の供給を
目詰りなく安定的に行なうことができ、かつ反射レーザ
光による周辺機器や作業者への熱的影響あるいは熱損傷
を良好に防止することができる。
な構成で、長時間施工時においても、肉盛材料の供給を
目詰りなく安定的に行なうことができ、かつ反射レーザ
光による周辺機器や作業者への熱的影響あるいは熱損傷
を良好に防止することができる。
【図１】本発明に係るレーザ肉盛装置の一実施例を表わ
した原理的な説明図。
した原理的な説明図。
【図２】図１に表わされたレーザ肉盛装置に用いられる
レーザ加工ヘッドの詳細を表わした縦断面説明図。
レーザ加工ヘッドの詳細を表わした縦断面説明図。
【図３】他の被加工物に肉盛を施すようにした場合の原
理的な外観斜視図。
理的な外観斜視図。
【図４】従来におけるレーザ肉盛装置を表わした原理的
な断面図。
な断面図。
【図５】従来のレーザ肉盛装置におけるレーザ照射部を
拡大して表わした原理的な断面図。
拡大して表わした原理的な断面図。
１０ レーザ発振装置
１１ レーザ光
１２ ミラ
１３ レーザ加工ヘッド
１４ 基材
肉盛粉末供給装置
レンズ保護ガス供給装置
シールドガス供給装置
冷却水循環装置
遮光面（受光面）
肉盛材料供給口
レーザ反射光
肉盛材料
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ発振器から発振されるレーザ光を集
束してレーザ加工ヘッドから被加工物に照射するととも
に、肉盛材料を上記被加工物のレーザ照射部に供給して
肉盛部を形成するようにしたレーザ肉盛装置において、
前記レーザ加工ヘッドは、被加工物に照射されるレーザ
光の光軸方向に肉盛材料を供給する材料供給口と、上記
被加工物からの反射光を受けて遮光を行なう受光面とを
備えていることを特徴とするレーザ肉盛装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2403134A JP2823362B2 (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | レーザ肉盛装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2403134A JP2823362B2 (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | レーザ肉盛装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04210887A true JPH04210887A (ja) | 1992-07-31 |
| JP2823362B2 JP2823362B2 (ja) | 1998-11-11 |
Family
ID=18512893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2403134A Expired - Fee Related JP2823362B2 (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | レーザ肉盛装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2823362B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0897773A3 (de) * | 1997-08-20 | 2000-03-08 | Alcatel | Vorrichtung zum Längsnahtschweissen von Metallrohren |
| KR100351385B1 (ko) * | 2000-01-07 | 2002-09-05 | 두산중공업 주식회사 | 레이저 육성용접헤드 |
| JP2003290955A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-14 | Toyota Motor Corp | 表面処理鋼板のレーザ溶接方法 |
| WO2005049262A1 (en) * | 2003-11-13 | 2005-06-02 | Honeywell International Inc. | Hand-held laser welding wand with reflection shield |
| JP2006077325A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-23 | Snecma | 単結晶金属部品または方向性凝固部品の表面を再生成する方法 |
| JP2011088154A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Hitachi Ltd | レーザ加工ヘッド、及びレーザ肉盛方法 |
| WO2013046950A1 (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | 株式会社日立製作所 | パウダ供給ノズルおよび肉盛溶接方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS6277689U (ja) * | 1985-10-29 | 1987-05-18 | ||
| JPS632577A (ja) * | 1986-06-21 | 1988-01-07 | Sanoyasu:Kk | 炭酸ガスレ−ザ−を用いた高反射材料の加工装置 |
-
1990
- 1990-12-18 JP JP2403134A patent/JP2823362B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JP2823362B2 (ja) | 1998-11-11 |
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