JPH04210834A - モリブデン製金網 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、焼成用ボート、ヒータ複合材用素材等として
使用されるモリブデン金網に関する。

［従来の技術］ 電子部品等の焼成に用いられる敷板（ボート）としてモ
リブデン板が使用されているが、焼成品が密着して不良
品が生じやすいという欠点があるほか、通気性がないの
で雰囲気炉中での使用に問題があった。これを解決する
ものとして、本願出願人は、モリブデン線を編んで形成
した網を複数枚重ね合わせた金属網材を提案している（
特願平１−１２７６７号）。

［発明が解決しようとする課題］ 上記金属網材は、通気性にすぐれているので雰囲気炉中
における焼成用敷板等としてすぐれたものであるが、高
温での使用中に変形が生じやすいという問題点があった
。本発明は、高温において変形の生じにくいモリブデン
金網を提供することを課題としている。

［課題を解決するための手段］ 本発明者らは、上記課題を解決するため、種々の試験を
行なった結果、次のような結晶組織を有するものがすぐ
れた耐高温変形性を有することを見出して本発明を完成
した。

すなわち、本発明にかかるモリブデン製金網はモリブデ
ン線を編んで作った金網であって、該金網を構成するモ
リブデン線の結晶組織が、その線径の３倍の長さの中に
２０個以内、および直径方向に数えて１５個以内の結晶
粒子を有する粗大結晶組織であることを特徴としている
。

以下、具体例を挙げつつ詳細に説明する。

素材となるモリブデン線は、好ましくは線径１ｍｍ以下
、０．１ｍｍ以上の通常のモリブデン線を使用する。用
途上杵される範囲で少量の他の元素例えばカルシウム、
ニッケル、タングステン等を含有する線であってもよい
。モリブデン線の表面に伸線時の潤滑剤である黒鉛が付
着している場合は、電解研磨等によりこれを除去してお
くのが好ましい。また、線表面の酸化物、油その他の汚
れを除去し清浄化してお（とともに、加工前に更に化学
的洗浄処理を施すのが望ましい。さらに、メツシュ加工
及び後続の圧延加工時の加工性を考慮して、適温でアン
ニールを行なっておくのが好ましい。

このモリブデン線を平織、綾織等通常の手法と装置を用
いて編み、−成製品である網を形成する。このようにし
て得られた網を複数枚重ね合わせて両面から加圧する。

重ね合わせる網の素線の線径に差がありすぎると、細い
方に断線を生じやずいので、線径の差は大きいほうの線
径の１７２以下とするのが望ましい。この加圧は重ね合
わされた複数枚の網を塑性変形させ、互いに密着させる
ためのもので、プレス加工でも可能ではあるが、圧延ロ
ール加工を採用するのが実用上好ましい。

このロール加工は、重ね合わされた網の全厚みの約１７
２のロール間隔で加工するのが好ましい。また、加工歪
をできるだけ少なく押えるため、−回のパスで完了する
のが好ましい。このロール加工により複数枚の網が互い
に密着して一体化するが、この結合を更に強固なものと
するため、１７゜５０℃〜２０００℃好ましくは８００
°Ｃ〜２０００℃の温度で３時間以上加熱する。この場
合、モリブデンは酸化雰囲気中で加熱すると急速に酸化
するので、水素雰囲気等の還元性雰囲気の炉中で加熱す
るのがよい。この加熱に際しては、重ね合わせた網上に
例えばタングステンやモリブデンのような高融点金属の
ブロックからなる重りを載せて加圧しつつ加熱するのが
好ましい。加圧の大きさは、例えば２０ｇ／ｃｍ２程度
以上であればよい。上２のような加圧加熱を施せば、加
工歪が除去されるとともに一部融着が生じる等の効果に
よってきわめて強固な結合が得られる。また、この加熱
処理により、網を構成するモリブデン線の結晶粒子が粗
大化し、高温での使用時における変形量（たわみ量）の
少ないものとなる。その結晶の大きさは、線径方向に数
えて結晶の数が平均１５個以内より好ましくは１０個以
内、線径の３倍の長さ中に、長さ方向に数えて平均２０
個以内、より好ましくは１５個以内であるようなものが
すぐれた高温強度を示すことがわかった。

このようにして、複数枚の網が互いに重なり合って結合
一体止したモリブデン製網材が得られるが、この網材は
通気性に優れるとともに、熱容量が少ないため熱効率が
良く、しかも強度的にもすぐれたものであり、耐熱性が
要求される構造材料、部品等として好適に使用される。

なお、この金属網材は、切断やプレス加工等により所望
の形状に容易成形することができる。

［実施例１ カルシウムとニッケルをドープした純度９９．９％以上
のモリブデン線を２種（φ０．６およびφ０３）用意し
、適温でアンニールしたのち、それぞれ別々に編んで素
線径の異なる２種の網（−次組）を製作した。第１図は
この一次組２を示すもので、１は素線である。この網を
化学洗浄した後、素線径０．６ｍｍの網、０．３ｍｍの
網、０．６ｍｍの網の順に３枚重ね合わせて厚さ１．０
ｍｍとなるようにロール加工を施し、３枚の網を密着一
体止した。

このようにして、線径０．６ｍｍの網の間に線径０．３
ｍｍの網をサンドイッチ状に挟んだ厚さ１ｍｍの複合網
材を得た。第２図はこの複合網材３を示す。つぎに、こ
の網材を水素気流中で１８００℃で７．５時間加熱し、
結晶の粗大化を行なった。第３図および第４図（ａ）は
加熱後の結晶組織を示すもので、細長い粗大結晶組織と
なっていることがわかる。

第４図（ｂ）は（ａ）に示すほど結晶が粗大化していな
い比較例をあられす。

つぎに、得られた網材について、高温変形試験を行なっ
た。試験条件は、１３０ｍｍ　Ｘ１３０ｍｍの試片を第
５図に示すように４点指示し、その上に１６０ｇの錘り
（直径４．１ｍｍの円板状）５を載せて、水素気流中で
加熱し、たわみ量を測定した。加熱条件は１６００℃で
３時間であり、この加熱を２回繰り返した。第１表およ
び第６図はこの高温変形試験結果をあられすもので、比
較例として第４図（ｂ）に示すような結晶がそれほど粗
大化していないも　、ののデータも併記した。この結果
かられかる通り、本発明品は高温における変形量がきわ
めて小さいものであるが、その理由としては、加熱時に
おける結晶粒界の変化が少ないこと、脆い粒界の総面積
が少ないこと、粗大化した結晶が長（楔状に入り組んで
いること等が考えられる。

第１表 ［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明にかかるモリブ
デン網材は、板材に較べて軽量で通気性がよく、しかも
高温における変形の生じにくいすぐれたものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は一次網の外観図。第２図は本発明にかかるモリ
ブデン網材の外観図、第３図はその結晶組織をあられす
模式図、第４図（ａ）、（ｂ）は結晶組織を示す顕微鏡
写真、第５図は（ａ）。 （ｂ）は試験方法の説明図、第６図は試験結果をあられ
すグラフである。 １　・・素線　　２　・・・−法網　　３モリブデン網
材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）モリブデン線を編んで作った金網であって、該金
   網を構成するモリブデン線の結晶組織が、その線径の３
   倍の長さの中に２０個以内、および直径方向に数えて１
   ５個以内の結晶粒子を有する粗大結晶組織であることを
   特徴とするモリブデン製金網。