JPH04210348A - Ｘ−ｙテーブル - Google Patents
Ｘ−ｙテーブルInfo
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- JPH04210348A JPH04210348A JP40159490A JP40159490A JPH04210348A JP H04210348 A JPH04210348 A JP H04210348A JP 40159490 A JP40159490 A JP 40159490A JP 40159490 A JP40159490 A JP 40159490A JP H04210348 A JPH04210348 A JP H04210348A
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- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 abstract description 4
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［０００１１
【産業上の利用分野］本発明は、例えば、互いに直交す
るＸ−Ｘ方向にそれぞれ変位自在なＸテーブルとＸテー
ブルとを備えたＸ−Ｘテーブルに関する。 ［０００２］ 【従来の技術】例えば、図６に示すようなＸ−Ｘテーブ
ルが知られている。このＸ−Ｘテーブル１は、高精度な
位置合せ等に利用することが可能なものであり、互いに
種本ねられるとともにそれぞれが直交するＸ−Ｘ方向に
変位自在なＸテーブル２とＸテーブル３とを備えている
。 ［０００３］さらに、Ｘ−Ｘテーブル１は、Ｘテーブル
２をＸテーブル３上に配置している。そして、Ｘ−Ｘテ
ーブル１は、Ｘ−Ｘ方向に架設されたＸ軸用ボールねじ
４およびＹ軸用ボールねじ（図示しない）を回転させ、
Ｘテーブル３をＸテーブル２とともにＸ方向へ変位させ
るとともに、Ｘテーブル２をＸテーブル上でＸ方向に変
位させる。 ［０００４］さらに、Ｘ−Ｘテーブル１は、各ボールね
じをそれぞれ回転させるモータ５ａ、５ｂや、ガイド、
ボールブツシュ、および、ローラ等の直線案内要素を各
軸毎に有している。そして、Ｘ−Ｘテーブル１は、Ｘテ
ーブル２用のモータ５ａや直線案内要素等をＸテーブル
とともにＸテーブル３に搭載しており、Ｘテーブル３を
駆動する際には、Ｘテーブル３をこれらと一体に変位さ
せる。 ［０００５］また、図７に示すようなタイプのＸ−Ｘテ
ーブル６もある。このタイプのＸ−Ｘテーブル６は、Ｘ
方向およびＸ方向にそれぞれ２つずつのボールねじ７．
７．８．８を配設しており、ボールねじ７．７．８．８
の推力とＸテーブル９およびＸテーブル１０のガイド１
１．１１１２．１２等の抵抗力とをバランスさせている
。 ［０００６］さらに、このＸ−Ｘテーブル６は、Ｘ軸モ
ータ１３およびＹ軸モータ１４をともに本体１５に固定
しており、各モータ１３．１４を各テーブル９．１０に
搭載しない構造を採用している。そして、Ｘ−Ｘテーブ
ル６は各モータ１３．１４の配置を、各モータ１３．１
４の重量が各テーブル９．１０に負荷として加わらない
よう設定している。 ［０００７］そして、図７に示すＸ−Ｘテーブル６は、
各テーブル９．１０の変位に伴ってボールねじ７．７．
８．８とガイド１１．１１．１２．１２との相対位置が
変化し作用点の位置変化が生じることを防止している。 ［０００８］
るＸ−Ｘ方向にそれぞれ変位自在なＸテーブルとＸテー
ブルとを備えたＸ−Ｘテーブルに関する。 ［０００２］ 【従来の技術】例えば、図６に示すようなＸ−Ｘテーブ
ルが知られている。このＸ−Ｘテーブル１は、高精度な
位置合せ等に利用することが可能なものであり、互いに
種本ねられるとともにそれぞれが直交するＸ−Ｘ方向に
変位自在なＸテーブル２とＸテーブル３とを備えている
。 ［０００３］さらに、Ｘ−Ｘテーブル１は、Ｘテーブル
２をＸテーブル３上に配置している。そして、Ｘ−Ｘテ
ーブル１は、Ｘ−Ｘ方向に架設されたＸ軸用ボールねじ
４およびＹ軸用ボールねじ（図示しない）を回転させ、
Ｘテーブル３をＸテーブル２とともにＸ方向へ変位させ
るとともに、Ｘテーブル２をＸテーブル上でＸ方向に変
位させる。 ［０００４］さらに、Ｘ−Ｘテーブル１は、各ボールね
じをそれぞれ回転させるモータ５ａ、５ｂや、ガイド、
ボールブツシュ、および、ローラ等の直線案内要素を各
軸毎に有している。そして、Ｘ−Ｘテーブル１は、Ｘテ
ーブル２用のモータ５ａや直線案内要素等をＸテーブル
とともにＸテーブル３に搭載しており、Ｘテーブル３を
駆動する際には、Ｘテーブル３をこれらと一体に変位さ
せる。 ［０００５］また、図７に示すようなタイプのＸ−Ｘテ
ーブル６もある。このタイプのＸ−Ｘテーブル６は、Ｘ
方向およびＸ方向にそれぞれ２つずつのボールねじ７．
７．８．８を配設しており、ボールねじ７．７．８．８
の推力とＸテーブル９およびＸテーブル１０のガイド１
１．１１１２．１２等の抵抗力とをバランスさせている
。 ［０００６］さらに、このＸ−Ｘテーブル６は、Ｘ軸モ
ータ１３およびＹ軸モータ１４をともに本体１５に固定
しており、各モータ１３．１４を各テーブル９．１０に
搭載しない構造を採用している。そして、Ｘ−Ｘテーブ
ル６は各モータ１３．１４の配置を、各モータ１３．１
４の重量が各テーブル９．１０に負荷として加わらない
よう設定している。 ［０００７］そして、図７に示すＸ−Ｘテーブル６は、
各テーブル９．１０の変位に伴ってボールねじ７．７．
８．８とガイド１１．１１．１２．１２との相対位置が
変化し作用点の位置変化が生じることを防止している。 ［０００８］
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な従来のＸ−Ｘテーブル１．６にはそれぞれ以下のよう
な不具合がある。 ［０００９］つまり、図６に示すようなＸ−Ｘテーブル
１では、Ｘテーブル３が、Ｘテーブル２やＸ軸モータ５
ａ、および、直線案内要素等の重量を負荷として受けな
がら駆動されるため、駆動時の負担はＸテーブル２の側
よりもＸテーブル３の側が大きい。したがって、慣性能
率が大きく、Ｘテーブルを駆動する際には多大な駆動力
が必要であるとともに、Ｘテーブル２側とＸテーブル３
側との間に生じる与圧抵抗が大きい。 ［００１０１また、Ｘテーブル２の側の重量がＸテーブ
ル３の側に負荷として作用することにかかわらず、両テ
ーブル２．３の駆動力等が等しく設定されていたため、
Ｘ−Ｘテーブル１の性能がＸテーブルの性能に影響され
て低くなり、Ｘ−Ｘテーブル１を高速駆動することが困
難だった。 ［００１１１さらに、Ｘテーブル２やＸテーブル２と一
体に変位する部材、および、Ｘテーブル３やＸテーブル
３と一体に変位する部材等を軽量化すれば慣性能率を小
とすることができるが、この場合には、Ｘ−Ｘテーブル
１の各可動部分の剛性が低下してしまう。一方、図７に
示すＸ−Ｘテーブル６では、Ｘテーブル９に作用する負
荷とＸテーブル１０に作用する負荷とが略等しく配分さ
れるが、全体の機構が複雑である。本発明の目的とする
ところは、簡略な構成で高速駆動することが可能なＸ−
Ｘテーブルを提供することにある。 ［００１２］
な従来のＸ−Ｘテーブル１．６にはそれぞれ以下のよう
な不具合がある。 ［０００９］つまり、図６に示すようなＸ−Ｘテーブル
１では、Ｘテーブル３が、Ｘテーブル２やＸ軸モータ５
ａ、および、直線案内要素等の重量を負荷として受けな
がら駆動されるため、駆動時の負担はＸテーブル２の側
よりもＸテーブル３の側が大きい。したがって、慣性能
率が大きく、Ｘテーブルを駆動する際には多大な駆動力
が必要であるとともに、Ｘテーブル２側とＸテーブル３
側との間に生じる与圧抵抗が大きい。 ［００１０１また、Ｘテーブル２の側の重量がＸテーブ
ル３の側に負荷として作用することにかかわらず、両テ
ーブル２．３の駆動力等が等しく設定されていたため、
Ｘ−Ｘテーブル１の性能がＸテーブルの性能に影響され
て低くなり、Ｘ−Ｘテーブル１を高速駆動することが困
難だった。 ［００１１１さらに、Ｘテーブル２やＸテーブル２と一
体に変位する部材、および、Ｘテーブル３やＸテーブル
３と一体に変位する部材等を軽量化すれば慣性能率を小
とすることができるが、この場合には、Ｘ−Ｘテーブル
１の各可動部分の剛性が低下してしまう。一方、図７に
示すＸ−Ｘテーブル６では、Ｘテーブル９に作用する負
荷とＸテーブル１０に作用する負荷とが略等しく配分さ
れるが、全体の機構が複雑である。本発明の目的とする
ところは、簡略な構成で高速駆動することが可能なＸ−
Ｘテーブルを提供することにある。 ［００１２］
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために本発明は、互いに直交するＸ−Ｘ方向にそ
れぞれ変位自在なＸテーブルおよびＸテーブルを有し、
ＸテーブルをＸテーブル上に配置し、Ｘテーブルおよび
Ｘテーブルを駆動するＸ軸モータおよびＹ軸モータを備
え、これらＸ軸モータおよびＹ軸モータの駆動力をＸテ
ーブルおよびＸテーブルに伝達してＸテーブルおよびＹ
テーブルをＸ方向およびＸ方向にそれぞれ送るＸ軸用ボ
ールねじおよびＹ軸用ボールねじを有し、Ｘテーブルを
Ｙテーブルと一体にＸ方向へ変位させるとともにＹテー
ブルとは独立にＸ方向へ変位させるＸ−Ｙテーブルにお
いて、Ｘ軸用ポールねじに連結されＸ軸用ポールねじと
一体に回転するとともにＹテーブルおよびＸテーブルと
一体にＸ方向へ変位するプーリと、このプーリの外周部
に接するベルトとからなり、プーリをベルトに摩擦させ
ながらＸ軸用ボールねじと一体に回転させてＸテーブル
をＸ方向へ変位させる駆動力補助機構部を設けたことに
ある。こうすることによって本発明は、構成を複雑化す
ることなくＸ−Ｙテーブルを高速駆動できるようにした
ことにある。 ［００１３］
成するために本発明は、互いに直交するＸ−Ｘ方向にそ
れぞれ変位自在なＸテーブルおよびＸテーブルを有し、
ＸテーブルをＸテーブル上に配置し、Ｘテーブルおよび
Ｘテーブルを駆動するＸ軸モータおよびＹ軸モータを備
え、これらＸ軸モータおよびＹ軸モータの駆動力をＸテ
ーブルおよびＸテーブルに伝達してＸテーブルおよびＹ
テーブルをＸ方向およびＸ方向にそれぞれ送るＸ軸用ボ
ールねじおよびＹ軸用ボールねじを有し、Ｘテーブルを
Ｙテーブルと一体にＸ方向へ変位させるとともにＹテー
ブルとは独立にＸ方向へ変位させるＸ−Ｙテーブルにお
いて、Ｘ軸用ポールねじに連結されＸ軸用ポールねじと
一体に回転するとともにＹテーブルおよびＸテーブルと
一体にＸ方向へ変位するプーリと、このプーリの外周部
に接するベルトとからなり、プーリをベルトに摩擦させ
ながらＸ軸用ボールねじと一体に回転させてＸテーブル
をＸ方向へ変位させる駆動力補助機構部を設けたことに
ある。こうすることによって本発明は、構成を複雑化す
ることなくＸ−Ｙテーブルを高速駆動できるようにした
ことにある。 ［００１３］
【実施例】以下、本発明の各実施例を図１〜図５に基づ
いて説明する。 ［００１４］図１および図２は本発明の一実施例を示す
ものであり、図１中の３１はＸテーブル３２とＸテーブ
ル３３とを有するＸ−Ｙテーブルである。さらに、図中
の３４．３５は、ともに正逆回転自在で、Ｘテーブル３
２およびＸテーブル３３をそれぞれ駆動するＸ軸モータ
、および、Ｙ軸モータである。 ［００１５］これらのうちＸテーブル３３は略矩形な板
体からなるものであり、その長手方向をＸ方向に沿わせ
るとともに、長手方向両端部をガイド部材３６．３６に
よってスライド自在に支持されている。さらに、Ｘテー
ブル３３はその長手方向両端部を、Ｘ方向に延びるＹ軸
用ボールねじ３７．３７に連結されている。 ［００１６］また、一方のＹ軸用ボールねじ３７にはＹ
軸モータ３５が同軸的に連結されている。さらに、両Ｙ
軸用ボールねじ３７．３７の一端部にはＹ軸用タイミン
グプーリ３８．３９が固定されており、一方のタイミン
グプーリ３８は一方のＹ軸用ボールねじ３５とＹ軸モー
タ３７との間に介在している。そして、両タイミングプ
ーリ３８．３９は、Ｘ方向に架設されたＹ軸用タイミン
グベルト４０によって連結されている。さらに、Ｘテー
ブル３３上には、矩形板状のＸテーブル３２と、その軸
方向をＸ方向に一致させたＸ軸用ボールねじ４１とが設
けられている。 ［００１７］これらのうちＸ軸用ポールねじ４１はボー
ルねじ支持部４２．４２によって支持されており、その
長手方向一端部をＹテーブルの長手方向一端面から外側
に突出させている。また、Ｘテーブル３２は、Ｘ軸用ボ
ールねじ４１に外装されたボールブツシュ４３を介して
Ｘ軸用ポールねじ４１に連結されている。 ［００１８］さらに、図１中に４４で示すのは駆動力補
助機構部（以下、補助機構部と称する）である。この補
助機構部４４は、Ｘ軸モータ３４に連結された第１のＸ
軸用タイミングプーリ４５、Ｘ軸用ポールねじ４１に連
結された第２のＸ軸用タイミングプーリ４６、および、
これら両タイミングプーリ４５．４６と路間−直線上に
配置された第３のＸ軸用タイミングプーリ４７ （以下
、それぞれ第１のプーリ、第２のプーリ、第３のブーり
と称する）とを有している。 ［００１９］補助機構部４４は、図１および図２に示す
ように、第１のプーリ４５と第３のプーリ４７との間に
第２のプーリ４６を装置しており、第１のプーリ４５と
第３のプーリ４７との間にＸ軸用タイミングベルト４８
を架は渡している。そして、補助機構部４４は、第２の
プーリ４６をＸ軸用タイミングベルト４８の内側に配置
している。 ［００２０１さらに、補助機構部４４は、第２のプーリ
４６の両側にアイドラプーリ４９．４９を配置しており
、これらアイドラプーリ４９．４９によりＸ軸用タイミ
ングベルト４８に張力を与えて、Ｘ軸用タイミングベル
ト４８を第２のプーリ４７の外周部に押付けている。 ［００２１１上述のような構成のＸ−Ｙテーブル３１に
おいては、Ｙ軸モータ３５が駆動されると、Ｙ軸用タイ
ミングベルト４０によって回転力の伝達が行われ、両Ｙ
軸用ポールねじ３７．３７が同期回転する。そして、Ｘ
テーブル３３が、ガイド部材３６．３６により案内され
ながら、両Ｙ軸用ボールねじ３７．３７によって送られ
る。そして、Ｘテーブル３３は、Ｘテーブル３２を搭載
したまま、Ｙ軸モータ３５の回転方向および回転量に応
じてＸ方向に進退する。 ［００２２］また、Ｘ軸モータ３４が駆動されると、第
１のプーリ４５が回転し、第１のプーリ４５と第３のプ
ーリ４７との間に架は渡されたＸ軸用タイミングベルト
４８がＸ方向に走行する。そして、このＸ軸用タイミン
グベルト４８の走行の向きはＸ軸モータ３４の回転方向
によって決定される。 ［００２３］さらに、第２のブー１４６がＸ軸用タイミ
ングベルト４８の走行に伴って回転し、Ｘ軸用ポールね
じ４１が、Ｘ軸用タイミングベルト４８の走行の向きに
応じて、第２のプーリ４６と一体に回転する。そして、
Ｘテーブル３２がＸ軸用ポールねじ４１によって送られ
、Ｘ軸モータ３４の回転方向および回転量に応じてボー
ルブツシュ４３と一体にＸ方向に進退する。 ［００２４］また、Ｘテーブル３３が変位した際には、
Ｘテーブル３２、Ｘ軸用ポールねじ４１、および、第２
のプーリ４６等がＸテーブル３３と一体に変位する。さ
らに、第２のプーリ４６は、その外周部をＸ軸用タイミ
ングベルト４８の内側面に摩擦しながら変位する。 ［００２５］そして、第２のプーリ４６は、Ｘ軸用タイ
ミングベルト４８との間に発生した摩擦力を受け、Ｘ軸
用タイミングベルト４８の変位方向に対して逆向きに回
転する。そして、Ｘ軸用ポールねじ４１が回転し、Ｘテ
ーブル３２がＸ軸用ボールねじ４１によって送られてＸ
方向に変位する。 ［００２６］さらに、Ｘ軸用ボールねじ４１は、Ｘ軸用
タイミングベルト４８により補助されながら回転する。 そして、Ｘ軸用ボールねじ４１は、Ｘテーブル３３が変
位し且つＸ軸用タイミングベルト４８が停止していると
きには、第２のプーリ４６とＸ軸用タイミングベルト４
８との摩擦を利用して回転する。 ［００２７１つまり、このようなＸ−Ｘテーブル３１に
おいては、Ｘ軸モータ３４からＸテーブル３２に伝達さ
れる駆動力の外に、Ｙ軸モータ３５の駆動力がＸテーブ
ル３１に伝達される。そして、Ｙ軸モータ３５の駆動力
がＸテーブル３２の駆動に利用され、Ｙ軸モータ３５が
Ｘテーブル３２の変位に寄与する。 ［００２８］このため、Ｘ軸モータ３４の回転方向とＹ
軸モータ３５の回転方向とが互いに一致した場合には、
Ｘ軸モータ３４の駆動力にＹ軸モータ３５の駆動力の一
部を付加することができ、Ｘテーブル３２を、Ｘ軸モー
タ３４からＸテーブル３２に伝達される駆動力以上の力
によって駆動することができる。 ［００２９］したがって、Ｘテーブル３２やＸテーブル
３２用の可動部等の重量を軽減したり、Ｘ軸モータ３４
の駆動力を増大させたりすることなく、Ｘ方向への高速
な変位が可能になり、Ｘ−Ｘテーブル３２を高速駆動す
ることができる。ここで、例えばＸ軸モータ３４が停止
している場合でも、Ｙ軸モータ３５のみによってＸテー
ブル３２をＸテーブル３３に連動させることができる。 ［００３０１また、Ｘテーブル３２とＸテーブル３３の
連動は可逆的なものではなく、Ｘ軸モータ３４の駆動力
はＸテーブル３３の駆動に利用されないようになってい
る。図３〜図５は本発明の第２の実施例を示している。 ［００３１１図３中に示すＸ−Ｘテーブル５１は、Ｘ軸
モータ３４の回転方向にかかわらずＹ軸モータ３５の駆
動力をＸテーブル３２の駆動に利用できるようにしてい
る。つまり、Ｘ−Ｘテーブル５１は、駆動力補助機構部
（以下、補助機構部と称する）５２に第１および第２の
２つのＸ軸用タイミングベルト５３．５４を備えている
。さらに、Ｘ−Ｘテーブル５１は、図４（ａ）および（
ｂ）に示すように、補助機構部５２を構成する第１のタ
イミングプーリ５５．５６、第２のタイミングプーリ５
７、および、第３のタイミングプーリ５８．５９（以下
、それぞれ第１のプーリ、第２のプーリ、第３のプーリ
と称する）に、２つのＸ軸用タイミングベルト５３．５
４を平行に架は渡している。 ［００３２］さら（二補助機構部５２にはベルト切換部
６０が設けられている。このベルト切換部６０は、２つ
の上段側アイドラ６１．６１，３つの下段側アイドラ６
２．６２．６３、および、図４（ａ）および（ｂ）に示
すようにこれらアイドラ６１〜６３を一体に連結して支
持するリンク６４を有している。そして、ベルト切換部
６０は、上段側アイドラ６１．６１と下段側アイドラ６
２．６２．６３とを、図５に示すように、リンク６４に
逆向に突出させている。 ［００３３］また、ベルト切換部６０は、上段側アイド
ラ６１．６１と下段側アイドラ６２．６２．６３とのそ
れぞれの外周部に、第１のＸ軸用タイミングベルト５３
と第２のＸ軸用タイミングベルト５４とを接触させてい
る。そして、ベルト切換部６０は、第１のＸ軸用タイミ
ングベルト５３を第２のプーリ５７の上方に案内してお
り、第２のＸ軸用タイミングベルト５４を第２のプーリ
５７の下方に案内している。 ［００３４］さらに、ベルト切換部６０は、両Ｘ軸用タ
イミングベルト５３．５４を案内したまま、リンク６４
をＸ方向および上下方向に移動させることができるよう
になっている。 ［００３５］このような構成のＸ−Ｘテーブル５１では
、Ｘ軸モータ３４が停止したままＸテーブル３３が駆動
されてＹ方向＋側、或いは一側へ変位した際に、第２の
プーリ５７が回転し、Ｘテーブル３２がＹ軸モータ３５
の回転方向に対応した向きに変位する。 ［００３６］さらに、Ｘ軸モータ３４を駆動しながらＹ
軸モータ３５の駆動力をＸテーブル３２の駆動に利用す
る場合には、図４（ａ）および（ｂ）に示すようにベル
ト切換部６０がリンク６４を上下させる。そして、第１
および第２のＸ軸用タイミングベルト５３．５４が切換
えられ、これら両Ｘ軸用タイミングベルト５３．５４の
うちのいずれか一方が選択されて第２のプーリ５７の上
部或いは下部に接触する。 ［００３７］そして、図４（ａ）に示すように第１のＸ
軸用タイミングベルト５３が第２のプーリ５７の上部に
接した場合と、図４（ｂ）に示すように第２のＸ軸用タ
イミングベルトＳ４が第２のプーリ５７の下部に接した
場合とで第２のプーリ５７の回転の向きを変え、Ｘ軸用
ボールねじ４１を正逆回転させて、Ｘテーブル３２を進
退させる。 ［００３８］したがって、図３に示すＸ−Ｘテーブル５
１では、第１の実施例と同様の効果を奏するうえに、Ｘ
軸モータ３４の回転方向にかかわらずＹ軸モータ３５の
駆動力をＸテーブル３２の駆動に利用でき、Ｘ軸モータ
３４の回転の向きを一定にしたままでＸテーブル３２を
進退させることができる。 ［００３９］
いて説明する。 ［００１４］図１および図２は本発明の一実施例を示す
ものであり、図１中の３１はＸテーブル３２とＸテーブ
ル３３とを有するＸ−Ｙテーブルである。さらに、図中
の３４．３５は、ともに正逆回転自在で、Ｘテーブル３
２およびＸテーブル３３をそれぞれ駆動するＸ軸モータ
、および、Ｙ軸モータである。 ［００１５］これらのうちＸテーブル３３は略矩形な板
体からなるものであり、その長手方向をＸ方向に沿わせ
るとともに、長手方向両端部をガイド部材３６．３６に
よってスライド自在に支持されている。さらに、Ｘテー
ブル３３はその長手方向両端部を、Ｘ方向に延びるＹ軸
用ボールねじ３７．３７に連結されている。 ［００１６］また、一方のＹ軸用ボールねじ３７にはＹ
軸モータ３５が同軸的に連結されている。さらに、両Ｙ
軸用ボールねじ３７．３７の一端部にはＹ軸用タイミン
グプーリ３８．３９が固定されており、一方のタイミン
グプーリ３８は一方のＹ軸用ボールねじ３５とＹ軸モー
タ３７との間に介在している。そして、両タイミングプ
ーリ３８．３９は、Ｘ方向に架設されたＹ軸用タイミン
グベルト４０によって連結されている。さらに、Ｘテー
ブル３３上には、矩形板状のＸテーブル３２と、その軸
方向をＸ方向に一致させたＸ軸用ボールねじ４１とが設
けられている。 ［００１７］これらのうちＸ軸用ポールねじ４１はボー
ルねじ支持部４２．４２によって支持されており、その
長手方向一端部をＹテーブルの長手方向一端面から外側
に突出させている。また、Ｘテーブル３２は、Ｘ軸用ボ
ールねじ４１に外装されたボールブツシュ４３を介して
Ｘ軸用ポールねじ４１に連結されている。 ［００１８］さらに、図１中に４４で示すのは駆動力補
助機構部（以下、補助機構部と称する）である。この補
助機構部４４は、Ｘ軸モータ３４に連結された第１のＸ
軸用タイミングプーリ４５、Ｘ軸用ポールねじ４１に連
結された第２のＸ軸用タイミングプーリ４６、および、
これら両タイミングプーリ４５．４６と路間−直線上に
配置された第３のＸ軸用タイミングプーリ４７ （以下
、それぞれ第１のプーリ、第２のプーリ、第３のブーり
と称する）とを有している。 ［００１９］補助機構部４４は、図１および図２に示す
ように、第１のプーリ４５と第３のプーリ４７との間に
第２のプーリ４６を装置しており、第１のプーリ４５と
第３のプーリ４７との間にＸ軸用タイミングベルト４８
を架は渡している。そして、補助機構部４４は、第２の
プーリ４６をＸ軸用タイミングベルト４８の内側に配置
している。 ［００２０１さらに、補助機構部４４は、第２のプーリ
４６の両側にアイドラプーリ４９．４９を配置しており
、これらアイドラプーリ４９．４９によりＸ軸用タイミ
ングベルト４８に張力を与えて、Ｘ軸用タイミングベル
ト４８を第２のプーリ４７の外周部に押付けている。 ［００２１１上述のような構成のＸ−Ｙテーブル３１に
おいては、Ｙ軸モータ３５が駆動されると、Ｙ軸用タイ
ミングベルト４０によって回転力の伝達が行われ、両Ｙ
軸用ポールねじ３７．３７が同期回転する。そして、Ｘ
テーブル３３が、ガイド部材３６．３６により案内され
ながら、両Ｙ軸用ボールねじ３７．３７によって送られ
る。そして、Ｘテーブル３３は、Ｘテーブル３２を搭載
したまま、Ｙ軸モータ３５の回転方向および回転量に応
じてＸ方向に進退する。 ［００２２］また、Ｘ軸モータ３４が駆動されると、第
１のプーリ４５が回転し、第１のプーリ４５と第３のプ
ーリ４７との間に架は渡されたＸ軸用タイミングベルト
４８がＸ方向に走行する。そして、このＸ軸用タイミン
グベルト４８の走行の向きはＸ軸モータ３４の回転方向
によって決定される。 ［００２３］さらに、第２のブー１４６がＸ軸用タイミ
ングベルト４８の走行に伴って回転し、Ｘ軸用ポールね
じ４１が、Ｘ軸用タイミングベルト４８の走行の向きに
応じて、第２のプーリ４６と一体に回転する。そして、
Ｘテーブル３２がＸ軸用ポールねじ４１によって送られ
、Ｘ軸モータ３４の回転方向および回転量に応じてボー
ルブツシュ４３と一体にＸ方向に進退する。 ［００２４］また、Ｘテーブル３３が変位した際には、
Ｘテーブル３２、Ｘ軸用ポールねじ４１、および、第２
のプーリ４６等がＸテーブル３３と一体に変位する。さ
らに、第２のプーリ４６は、その外周部をＸ軸用タイミ
ングベルト４８の内側面に摩擦しながら変位する。 ［００２５］そして、第２のプーリ４６は、Ｘ軸用タイ
ミングベルト４８との間に発生した摩擦力を受け、Ｘ軸
用タイミングベルト４８の変位方向に対して逆向きに回
転する。そして、Ｘ軸用ポールねじ４１が回転し、Ｘテ
ーブル３２がＸ軸用ボールねじ４１によって送られてＸ
方向に変位する。 ［００２６］さらに、Ｘ軸用ボールねじ４１は、Ｘ軸用
タイミングベルト４８により補助されながら回転する。 そして、Ｘ軸用ボールねじ４１は、Ｘテーブル３３が変
位し且つＸ軸用タイミングベルト４８が停止していると
きには、第２のプーリ４６とＸ軸用タイミングベルト４
８との摩擦を利用して回転する。 ［００２７１つまり、このようなＸ−Ｘテーブル３１に
おいては、Ｘ軸モータ３４からＸテーブル３２に伝達さ
れる駆動力の外に、Ｙ軸モータ３５の駆動力がＸテーブ
ル３１に伝達される。そして、Ｙ軸モータ３５の駆動力
がＸテーブル３２の駆動に利用され、Ｙ軸モータ３５が
Ｘテーブル３２の変位に寄与する。 ［００２８］このため、Ｘ軸モータ３４の回転方向とＹ
軸モータ３５の回転方向とが互いに一致した場合には、
Ｘ軸モータ３４の駆動力にＹ軸モータ３５の駆動力の一
部を付加することができ、Ｘテーブル３２を、Ｘ軸モー
タ３４からＸテーブル３２に伝達される駆動力以上の力
によって駆動することができる。 ［００２９］したがって、Ｘテーブル３２やＸテーブル
３２用の可動部等の重量を軽減したり、Ｘ軸モータ３４
の駆動力を増大させたりすることなく、Ｘ方向への高速
な変位が可能になり、Ｘ−Ｘテーブル３２を高速駆動す
ることができる。ここで、例えばＸ軸モータ３４が停止
している場合でも、Ｙ軸モータ３５のみによってＸテー
ブル３２をＸテーブル３３に連動させることができる。 ［００３０１また、Ｘテーブル３２とＸテーブル３３の
連動は可逆的なものではなく、Ｘ軸モータ３４の駆動力
はＸテーブル３３の駆動に利用されないようになってい
る。図３〜図５は本発明の第２の実施例を示している。 ［００３１１図３中に示すＸ−Ｘテーブル５１は、Ｘ軸
モータ３４の回転方向にかかわらずＹ軸モータ３５の駆
動力をＸテーブル３２の駆動に利用できるようにしてい
る。つまり、Ｘ−Ｘテーブル５１は、駆動力補助機構部
（以下、補助機構部と称する）５２に第１および第２の
２つのＸ軸用タイミングベルト５３．５４を備えている
。さらに、Ｘ−Ｘテーブル５１は、図４（ａ）および（
ｂ）に示すように、補助機構部５２を構成する第１のタ
イミングプーリ５５．５６、第２のタイミングプーリ５
７、および、第３のタイミングプーリ５８．５９（以下
、それぞれ第１のプーリ、第２のプーリ、第３のプーリ
と称する）に、２つのＸ軸用タイミングベルト５３．５
４を平行に架は渡している。 ［００３２］さら（二補助機構部５２にはベルト切換部
６０が設けられている。このベルト切換部６０は、２つ
の上段側アイドラ６１．６１，３つの下段側アイドラ６
２．６２．６３、および、図４（ａ）および（ｂ）に示
すようにこれらアイドラ６１〜６３を一体に連結して支
持するリンク６４を有している。そして、ベルト切換部
６０は、上段側アイドラ６１．６１と下段側アイドラ６
２．６２．６３とを、図５に示すように、リンク６４に
逆向に突出させている。 ［００３３］また、ベルト切換部６０は、上段側アイド
ラ６１．６１と下段側アイドラ６２．６２．６３とのそ
れぞれの外周部に、第１のＸ軸用タイミングベルト５３
と第２のＸ軸用タイミングベルト５４とを接触させてい
る。そして、ベルト切換部６０は、第１のＸ軸用タイミ
ングベルト５３を第２のプーリ５７の上方に案内してお
り、第２のＸ軸用タイミングベルト５４を第２のプーリ
５７の下方に案内している。 ［００３４］さらに、ベルト切換部６０は、両Ｘ軸用タ
イミングベルト５３．５４を案内したまま、リンク６４
をＸ方向および上下方向に移動させることができるよう
になっている。 ［００３５］このような構成のＸ−Ｘテーブル５１では
、Ｘ軸モータ３４が停止したままＸテーブル３３が駆動
されてＹ方向＋側、或いは一側へ変位した際に、第２の
プーリ５７が回転し、Ｘテーブル３２がＹ軸モータ３５
の回転方向に対応した向きに変位する。 ［００３６］さらに、Ｘ軸モータ３４を駆動しながらＹ
軸モータ３５の駆動力をＸテーブル３２の駆動に利用す
る場合には、図４（ａ）および（ｂ）に示すようにベル
ト切換部６０がリンク６４を上下させる。そして、第１
および第２のＸ軸用タイミングベルト５３．５４が切換
えられ、これら両Ｘ軸用タイミングベルト５３．５４の
うちのいずれか一方が選択されて第２のプーリ５７の上
部或いは下部に接触する。 ［００３７］そして、図４（ａ）に示すように第１のＸ
軸用タイミングベルト５３が第２のプーリ５７の上部に
接した場合と、図４（ｂ）に示すように第２のＸ軸用タ
イミングベルトＳ４が第２のプーリ５７の下部に接した
場合とで第２のプーリ５７の回転の向きを変え、Ｘ軸用
ボールねじ４１を正逆回転させて、Ｘテーブル３２を進
退させる。 ［００３８］したがって、図３に示すＸ−Ｘテーブル５
１では、第１の実施例と同様の効果を奏するうえに、Ｘ
軸モータ３４の回転方向にかかわらずＹ軸モータ３５の
駆動力をＸテーブル３２の駆動に利用でき、Ｘ軸モータ
３４の回転の向きを一定にしたままでＸテーブル３２を
進退させることができる。 ［００３９］
【発明の効果】以上説明したように本発明は、互いに直
交するＸ−Ｙ方向にそれぞれ変位自在なＸテーブルおよ
びＹテーブルを有し、ＸテーブルをＹテーブル上に配置
し、ＸテーブルおよびＹテーブルを駆動するＸ軸モータ
およびＹ軸モータを備え、これらＸ軸モータおよびＹ軸
モータの駆動力をＸテーブルおよびＹテーブルに伝達し
てＸテーブルおよびＹテーブルをＸ方向およびＹ方向に
それぞれ送るＸ軸用ボールねじおよびＹ軸用ポールねじ
を有し、ＸテーブルをＹテーブルと一体にＹ方向へ変位
させるとともにＹテーブルとは独立にＸ方向へ変位させ
るＸ−Ｙテーブルにおいて、Ｘ軸用ボールねじに連結さ
れＸ軸用ポールねじと一体に回転するとともにＹテーブ
ルおよびＸテーブルと一体にＹ方向へ変位するプーリと
、このプーリの外周部に接するベルトとからなり、プー
リをベルトに摩擦させながらＸ軸用ポールねじと一体に
回転させてＸテアプルをＸ方向へ変位させる駆動力補助
機構部を設けたものである。したがって本発明は、構成
を複雑化することなくｘ−Ｘテーブルを高速駆動できる
という効果がある。
交するＸ−Ｙ方向にそれぞれ変位自在なＸテーブルおよ
びＹテーブルを有し、ＸテーブルをＹテーブル上に配置
し、ＸテーブルおよびＹテーブルを駆動するＸ軸モータ
およびＹ軸モータを備え、これらＸ軸モータおよびＹ軸
モータの駆動力をＸテーブルおよびＹテーブルに伝達し
てＸテーブルおよびＹテーブルをＸ方向およびＹ方向に
それぞれ送るＸ軸用ボールねじおよびＹ軸用ポールねじ
を有し、ＸテーブルをＹテーブルと一体にＹ方向へ変位
させるとともにＹテーブルとは独立にＸ方向へ変位させ
るＸ−Ｙテーブルにおいて、Ｘ軸用ボールねじに連結さ
れＸ軸用ポールねじと一体に回転するとともにＹテーブ
ルおよびＸテーブルと一体にＹ方向へ変位するプーリと
、このプーリの外周部に接するベルトとからなり、プー
リをベルトに摩擦させながらＸ軸用ポールねじと一体に
回転させてＸテアプルをＸ方向へ変位させる駆動力補助
機構部を設けたものである。したがって本発明は、構成
を複雑化することなくｘ−Ｘテーブルを高速駆動できる
という効果がある。
【図１】本発明の第１実施例の構成を概略的に示す平面
図。
図。
【図２】同じく本発明の第１実施例の駆動力補助機構部
を概略的に示す側面図。
を概略的に示す側面図。
【図３】本発明の第２実施例の構成を概略的に示す平面
図。
図。
【図４１ （ａ）および（ｂ）はそれぞれ本発明の第
２実施例における駆動力補助機構部の正逆回転の状態を
概略的に示す側面図。 【図５】同じく本発明の第２実施例のベルト切換部を概
略的に示す正面図。
２実施例における駆動力補助機構部の正逆回転の状態を
概略的に示す側面図。 【図５】同じく本発明の第２実施例のベルト切換部を概
略的に示す正面図。
【図６】従来例を示す斜視図。
【図７】従来例を示す斜視図。
３１．５１・・・Ｘ−Ｙテーブル、３２・・・Ｘテーブ
ル、３３・・・Ｙテーブル、３４・・・Ｘ軸モータ、３
５・・・Ｙ軸モータ、３７．３７・・・Ｙ軸用ボールね
じ、４１・・・Ｘ軸用ボールねじ、４４．５２・・・駆
動力補助機構部、４６．５７・・・第２のタイミングプ
ーリ （プーリ）、４８・・・タイミングベルト（ベル
ト）、５３・・・第１のタイミングベルト （ベルト）
、５４・・・第２のタイミングベルト（ベルト）。
ル、３３・・・Ｙテーブル、３４・・・Ｘ軸モータ、３
５・・・Ｙ軸モータ、３７．３７・・・Ｙ軸用ボールね
じ、４１・・・Ｘ軸用ボールねじ、４４．５２・・・駆
動力補助機構部、４６．５７・・・第２のタイミングプ
ーリ （プーリ）、４８・・・タイミングベルト（ベル
ト）、５３・・・第１のタイミングベルト （ベルト）
、５４・・・第２のタイミングベルト（ベルト）。
【図３】
Claims (1)
- 【請求項１】互いに直交するＸ−Ｙ方向にそれぞれ変位
自在なＸテーブルおよびＹテーブルを有し、上記Ｘテー
ブルを上記Ｙテーブル上に配置し、上記Ｘテーブルおよ
び上記Ｙテーブルを駆動するＸ軸モータおよびＹ軸モー
タを備え、これらＸ軸モータおよびＹ軸モータの駆動力
を上記Ｘテーブルおよび上記Ｙテーブルに伝達して上記
Ｘテーブルおよび上記ＹテーブルをＸ方向およびＹ方向
にそれぞれ送るＸ軸用ボールねじおよびＹ軸用ボールね
じを有し、上記Ｘテーブルを上記Ｙテーブルと一体にＹ
方向へ変位させるとともに上記Ｙテーブルとは独立にＸ
方向へ変位させるＸ−Ｙテーブルにおいて、上記Ｘ軸用
ボールねじに連結され上記Ｘ軸用ボールねじと一体に回
転するとともに上記Ｙテーブルおよび上記Ｘテーブルと
一体にＹ方向へ変位するプーリと、このプーリの外周部
に接するベルトとからなり、上記プーリを上記ベルトに
摩擦させながら上記Ｘ軸用ボールねじと一体に回転させ
て上記ＸテーブルをＸ方向へ変位させる駆動力補助機構
部を設けたことを特徴とするＸ−Ｙテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40159490A JPH04210348A (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | Ｘ−ｙテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40159490A JPH04210348A (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | Ｘ−ｙテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04210348A true JPH04210348A (ja) | 1992-07-31 |
Family
ID=18511424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40159490A Pending JPH04210348A (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | Ｘ−ｙテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04210348A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010125701A1 (ja) * | 2009-04-27 | 2010-11-04 | 京セラ株式会社 | 移動ステージ、移動ステージを有する搬送装置および荷電粒子線装置 |
| KR200460351Y1 (ko) * | 2010-04-23 | 2012-05-21 | 정대섭 | 콤바인의 예취날 연삭장치 |
| CN114688183A (zh) * | 2022-03-29 | 2022-07-01 | 苏州矽行半导体技术有限公司 | 一种制动机构及采用该制动机构的调角载台 |
-
1990
- 1990-12-12 JP JP40159490A patent/JPH04210348A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010125701A1 (ja) * | 2009-04-27 | 2010-11-04 | 京セラ株式会社 | 移動ステージ、移動ステージを有する搬送装置および荷電粒子線装置 |
| JP5274656B2 (ja) * | 2009-04-27 | 2013-08-28 | 京セラ株式会社 | 移動ステージ、移動ステージを有する搬送装置および荷電粒子線装置 |
| KR200460351Y1 (ko) * | 2010-04-23 | 2012-05-21 | 정대섭 | 콤바인의 예취날 연삭장치 |
| CN114688183A (zh) * | 2022-03-29 | 2022-07-01 | 苏州矽行半导体技术有限公司 | 一种制动机构及采用该制动机构的调角载台 |
| CN114688183B (zh) * | 2022-03-29 | 2022-11-18 | 苏州矽行半导体技术有限公司 | 一种制动机构及采用该制动机构的调角载台 |
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