JPH04209440A - 露光装置における光源の位置合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、ブラウン管のパネル内面に蛍光面を露光形成
する露光装置における光源の位置合わせ装置に関する。

（従来の技術） ブラウン管の製造工程の一つに、パネル内面に蛍光面を
露光形成する工程がある。これは、内面に一様に蛍光塗
料が塗布されたパネルに対して、このパネルにゲージン
グピンにて位置決めされたシャドウマスクを介して光を
照射し、その後現像することで、光の照射された部分の
蛍光塗料を点状にパネル内面に定着させる工程でおる。

ここで、パネル内面の所定位置にずれなく蛍光面を形成
するためには、パネルと光源との相対的な位置合わせを
正確に行う必要がある。この位置合わせは従来、作業者
が次のようにして行っていた。

まず、パネル内面の所定位置にずれなく複数の蛍光点よ
り成る蛍光面が露光形成されたゲージパネルを用怠し、
このゲージパネルにシャドウマスクを装着する。次にゲ
ージパネルをその外面を上向きにして露光位置へ設置す
る。露光位置下方には、Ｘ−Ｙテーブル上に設置された
光源があり、この光源より、ゲージパネルに対し光を照
射する。

照射された光は、シャドウマスクの孔を透過しゲージパ
ネルに点状となって照射される。そこで作業者は、この
ときのゲージパネルにあける、いくつかの透過光の照射
位置と、各々の透過光に対応する蛍光点の位置とを拡大
鏡を用いて視認し、両者の位置が一致するように、Ｘ−
Ｙテーブルを手で動かして光源の位置を調整する。

（発明が解決しようとする課題） 上記した位置合わせ技術によると、作業者が目視および
手作業により光源の位置合わせを行っていたため、位置
合わせに多くの時間がかかつていた。またシャドウマス
クの孔の小径化並びに小ピツチ化するにつれて、位置合
わせ作業に熟練を要するとともに、位置合わせ精度に作
業者による個人差が生じていた。

本発明は、上記問題点を解決し、容易、迅速かつ正確に
光源の位置合わせを行うことが可能な露光装置にあける
光源の位置合わせ装置を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため本発明においては、シャドウマ
スクの特定の孔を通過した光源からの透過光のゲージパ
ネルにあける位置を検出する搬像手段と、この撮像手段
によって検出された前記透過光と前記特定の孔に対応す
る蛍光点との位置ずれを求める比較手段と、この比較手
段によって求められた位置ずれをなくす方向に前記光源
を支持する移動台を移動させる制御手段とを有すること
を特徴とする。

（作用） 本発明によれば、ゲージパネルにあける透過光の位置が
搬像手段により検出され、この検出された透過光と、対
応する蛍光点との位置ずれをなくす方向に光源が移動さ
れることにて、光源の位置決めが行われることとなる。

（実施例） 以下本発明の実施例について図面を用いて説明する。第
１図は本発明に基づく光源の位置合わせ装置の一実施例
を示す構成図、第２図は第１図にあけるゲージパネル内
面の蛍光面を示す平面図、第３図は第１図にあけるカメ
ラの視野内に位置する蛍光点の位置と透過光の照射位置
との位置関係を示す図である。

第１図において、１はゲージパネル、２はシャドウマス
クであり、このシャドウマスク２には一定間隔で複数個
の孔３が規則正しく設けられている。また、ゲージパネ
ル１の内面は、シャドウマスク２の個々の孔３に対応し
て、予め所定位置にずれなく形成された蛍光点４ａの集
合体からなる蛍光面４となっており、このゲージパネル
１は、その外面を上方に向けた状態で、チャック５によ
り位置決め、支持される。ゲージパネル１の下方には、
Ｘ−Ｙテーブル６が設けられ、このテーブル６に保持さ
れた露光用の光源７から、ゲージパネル１に向けて光を
照射可能とされる。

さてゲージパネル１をはさんで光源７に対向する位置に
は、カメラ８が取付けられている。このカメラ８は、画
像処理部９および比較手段１０を介して制御手段１１に
接続される。比較手段１０はまた、ゲージパネル１に形
成され蛍光面４を構成するいくつかの蛍光点４ａの位置
座標を設定可能な設定手段１２とも接続される。制御手
段１１は、光源７およびＸ−Ｙテーブル６に作動指令を
送信可能とされる。

次に作動について説明する。

まず、シャドウマスク２が固定されたゲージパネル１が
、チャック５に位置決め状態で装着されると、制御手段
１１は、例えば、センサによりそ゛の装着完了を検知し
、光源７を発光さぜる指令を送る。光源７からの光は、
シャドウマスク２の孔３・・・を透過し、ゲージパネル
１にその透過光が照射される。この後制御手段１１は、
カメラ８にゲージパネル１の所定位置を撮像する指令を
送り、カメラ８は搬像を開始する。このカメラ８により
第３図に示す画像か、画像処理部９に送られ画像処理か
行われる。すなわち第３図において、■は刀メラ禎野、
４ｂ、４Ｃはカメラ視野Ｖ内に撮像された２個の蛍光点
、ｈ、ｈは蛍光点４ｂ、４Ｇに対応するシャドウマスク
２の孔３からの透過光を示す。なおりメラ視野Ｖは、第
１の検出範囲ｄ１、第２の検出範囲ｄ２を有し、１つの
検出範囲ｄ１　（ｄ２＞には、１つの蛍光点４ｂ　（４
ｃ）とそれに対応する透過光りが位置するように設定さ
れる。ここで、光源７がゲージパネル１に対して正確に
位置決めされた時には、蛍光点４ｂ（４Ｃ）と透過光り
は重なるはずでおる。しかしながら実際、この段階では
第３図に示すように両者間にずれを生じている。

さて、このようにして得られた画像は、画像処理部９に
おいて処理され、検出範囲ｄ１、ｄ２それぞれにおける
透過光り、ｈの中心座標か算出される。算出された中心
座標は比較手段１０に送られる。ここで設定手段１２に
は、予め蛍光点４ｂ、４Ｇの設定中心座標が記憶されて
いる。そこで比較手段１０においては、画像処理部９に
て算出された透過光り、ｈの中心座標と、設定手段１２
に設定されている対応する蛍光点４ｂ、４Ｃの設定中心
座標との比較を行い、両者のずれ量から、光源７の補正
量を算出する。この後、制御手段１１は、この補正量に
基づいてＸ−Ｙテーブル６を駆動して光源７を移動させ
、透過光り、ｈと蛍光点４ｂ、４Ｃの中心を一致させる
。そして補正終了後、その位置で光源７、すなわちＸ−
Ｙテーブル６を固定状態とする。この動作をもって光源
７の位置合わせ作業は終了し、この後ゲージパネル１を
取りはずし、実際のパネルをチャック５に順次供給、位
置決めし、露光作業が行われる。

以上説明した実施例によれば、ゲージパネル１における
、検出された透過光りの中心座標と、予め設定された対
応する蛍光点４ｂ、４Ｃの設定中心座標とを比較し、両
者のずれ量に基づいて、光源７の位置補正か行われる。

このため、作業者は装置の監視を行うだけでよく、光源
７の位置合わせを容易、迅速かつ正確、そして自動的に
行える。

これは光源７の位置合わせ時間の短縮および人件費の削
減につながり、生産性向上に大いに有効である。

なお光源７の位置補正に必たり、シャドウマスク２の近
隣の孔３からの透過光位置に基づいて行ったが、例えば
シャドウマスクの両端部近くの孔から透過光位置に基づ
いて行ってもよい。

ざらにゲージパネル１における、蛍光点４ｂ（４Ｃ）と
、その対応する透過光１の両方の位置をカメラから得た
画像より求めるようにしてもよい。

［発明の効果］ 本発明によれば、露光装置にあける光源の位置合わせを
容易、迅速かつ正確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に基づく光源の位置合わせ装置の一実施
例を示す構成図、第２図は第１図におけるゲージパネル
内面の蛍光面を示す平面図、第３図は第１図にあけるカ
メラの視野内に位置する蛍光点の位置と透過光の照射位
置との位置関係を示す図である。 １・・・ゲージパネル、２・・・シャドウマスク、３−
・・孔、４−を光面、４ａ、４ｂ、４ｃｍ９光点、５・
・・チャック（パネル支持手段）、６・・・Ｘ−Ｙテー
ブル（移動台）、７・・・光源、８・・・カメラ（撮像
手段）、９・・・画像処理部、１ｏ・・・比較手段、１
１・・・制御手段、１２・・・設定手段、ｈ・・・透過
光。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の孔を有するシャドウマスクが固定されパネ
   ル内面に前記複数の孔に対応する複数の蛍光点より成る
   蛍光面を有するゲージパネルを位置決め、支持する支持
   手段と、前記シャドウマスクを間に前記ゲージパネルと
   反対側に配置された光源と、この光源を支持し水平方向
   に移動する移動台と、を有する露光装置における光源の
   位置合わせ装置において、前記シャドウマスクの特定の
   孔を通過した前記光源からの透過光の前記ゲージパネル
   における位置を検出する撮像手段と、この撮像手段によ
   つて検出された前記透過光と前記特定の孔に対応する前
   記蛍光点との位置ずれを求める比較手段と、この比較手
   段によって求められた位置ずれをなくす方向に前記移動
   台を移動させる制御手段とを有することを特徴とする露
   光装置における光源の位置合わせ装置。