JP3327422B2 - 開孔率検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばＣＲＴ用のシャ
ドウマスクや金属スクリーンメッシュ板等の製造ライン
上で開孔率の検査を行う装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＣＲＴにおいて、赤用、青用、緑用の電
子銃から出力された電子ビームが、管面裏側の赤用、青
用、緑用の蛍光物質をそれぞれ確実に走査するように設
けられるシャドウマスクは、金属製の薄板により管面に
応じた大きさで形成され、全体に多数の小孔が設けられ
ている。

【０００３】前記シャドウマスクの小孔は自動エッチン
グラインにより形成され、この自動エッチングラインで
は、帯状の金属薄板がその長手方向に搬送され、該金属
薄板の表裏両面に小孔のパターンに応じた耐食膜が形成
され、耐食膜が形成された金属薄板にエッチング液がス
プレーされる。これにより、耐食膜から露出する金属薄
板部分がエッチングされて、前記長手方向に間隔を置い
た複数の金属薄板箇所に多数の小孔がそれぞれ形成され
る。小孔が形成された金属薄板は、シャドウマスクの製
品サイズに応じて断裁され、さらに、ＣＲＴの管面形状
に合わせてプレスされて、シャドウマスクの製品とな
る。

【０００４】ところで、前記シャドウマスクの製造工程
においては、前記エッチングによる前記小孔の形成後
に、小孔の開き具合や孔の大きさの検査、即ち、開孔率
検査を行っており、従来は、前記金属薄板の断裁後に人
手で開孔率検査を行っていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このため従来は、シャ
ドウマスクの開孔率検査をインライン化することができ
ず、検査段階で製造ラインが途切れてしまい、シャドウ
マスクの製造効率を高めることができないという不具合
があった。また、シャドウマスクの中には、グレーテッ
ド型シャドウマスクと称するものがあり、このグレーテ
ッド型シャドウマスクでは前記小孔が、ＣＲＴの表示画
面が画面の中央と周辺とで同じ明るさで見えるように、
中央寄りでは大径に形成され、周辺付近では小径に形成
されたものがあり、このような全体の開孔率が均一でな
い物品を対象とした検査では、検査箇所の位置決めを正
確に行わないと、正しい検査が行えないという不具合が
あった。本発明は上述の問題に鑑みてなされたもので、
本発明の目的は、シャドウマスク等の製造ラインを止め
ることなく開孔率を全数自動で検査でき、加えて、例え
ばグレーテッド型シャドウマスクのように、全体に均一
でない開孔率で小孔が形成された物品であっても開孔率
検査を自動で行うことができる開孔率検査装置を提供す
ることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、帯状で長尺の金属薄板の長手方向に間隔を置
いた複数の領域にそれぞれ形成された多数の小孔の開孔
率を検査する装置であって、前記金属薄板を前記長手方
向に搬送する搬送手段と、前記領域の所定部分を検出す
る領域検出手段と、前記領域検出手段の検出結果に基づ
いて、前記搬送手段による前記金属薄板の搬送を一時停
止させる搬送制御手段と、前記金属薄板の一時停止中
に、前記領域外の金属薄板箇所に形成された基準孔を検
出する基準孔検出手段と、前記基準孔検出手段の検出結
果に基づいて、一時停止された前記金属薄板の停止位置
を補正する補正手段と、前記金属薄板の一時停止中に、
前記領域内の複数箇所の光透過率をそれぞれ検出する複
数の光透過率検出手段と、前記各光透過率検出手段の検
出結果に基づいて、前記複数箇所の開孔率の良否を判定
する判定手段とを備え、前記各光透過率検出手段は、前
記金属薄板の搬送方向と直交する方向にそれぞれ間隔を
置いて配設され、各光透過率検出手段の間隔を調整する
間隔調整手段をさらに備えていることを特徴とする。

【０００７】また、本発明は、前記補正手段が、前記基
準孔検出手段及び前記各光透過率検出手段を前記金属薄
板の搬送方向に沿って移動可能に支持する支持手段と、
該支持手段を前記搬送方向に沿って移動させる第２搬送
手段と、該第２搬送手段を制御する第２制御手段とで構
成されているものとした。また、本発明は、前記領域及
び前記領域の所定部分の相対位置データを入力する入力
手段をさらに備え、前記搬送制御手段は、前記領域検出
手段の検出結果及び前記相対位置データに基づいて前記
搬送手段による前記金属薄板の搬送を一時停止させるも
のとした。

【０００８】

【作用】本発明によれば、搬送手段による搬送中の金属
薄板の領域の所定部分が領域検出手段で検出されると、
搬送制御手段の制御で金属薄板の搬送が一時停止され
て、光透過率検出手段と前記領域とが大まかに位置決め
され、その上で、前記領域の近傍の金属薄板箇所に形成
された基準孔が基準孔検出手段により検出されているか
否かで、光透過率検出手段と前記領域との相対位置にず
れがあるか否かが判別され、ずれがあった場合には、補
正手段により金属薄板の停止位置が補正されて、光透過
率検出手段と前記領域とが正確に位置決めされる。そし
て、光透過率検出手段により前記領域内の複数箇所の光
透過率が検出され、その光透過率に基づいて、それら複
数箇所の開孔率の良否が判定手段により判定される。ま
た、前記金属薄板の搬送方向と直交する方向にそれぞれ
間隔を置いて配設された各光透過率検出手段の間隔が間
隔調整手段によって調整される。

【０００９】従って、光透過率検出手段による光透過率
の検出箇所の位置誤差がなくなり、前記領域内の複数箇
所の光透過率が正確に検出され、よって、例えばグレー
テッド型シャドウマスク等、全体に均一でない開孔率で
小孔が形成された物品であっても、その開孔率検査を精
度よく行うことができる。しかも、上述の動作が前記搬
送手段による搬送中の金属薄板に対して行われるため、
開孔率検査をインライン化でき、検査効率を高め、ひい
ては前記物品の製造効率を高めることができる。

【００１０】尚、前記補正手段を、前記基準孔検出手段
及び前記各光透過率検出手段を前記金属薄板の搬送方向
に沿って移動可能に支持する支持手段と、該支持手段を
前記搬送方向に沿って移動させる第２搬送手段と、該第
２搬送手段を制御する第２制御手段とで構成してもよ
い。また、前記領域及び前記領域の所定部分の相対位置
データを入力する入力手段を設け、前記領域検出手段の
検出結果及び前記相対位置データに基づいて、前記搬送
手段による前記金属薄板の搬送を前記搬送制御手段で一
時停止させるようにしてもよい。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の一実施例による開孔率検査装置の
概略構成図である。図において１は開孔率検査装置、３
はシャドウマスク形成用の金属薄板で、この金属薄板３
は帯状を呈し長尺である。

【００１２】前記開孔率検査装置１は、装置本体１１
と、装置本体１１上で前記金属薄板３を搬送させる搬送
部１３と、これら装置本体１１及び搬送部１３の動作を
制御する制御部１５とで構成されている。

【００１３】前記搬送部１３は、前記装置本体１１の一
側に配設されたガイドローラ１３０１と、他側に配設さ
れた駆動ローラ１３０３と、該駆動ローラ１３０３を回
転させるモータ１３０５とを備え、駆動ローラ１３０３
により金属薄板３は水平状態を保って装置本体１１上を
搬送され、金属薄板３には、ダンサーローラ１３０７に
よりその長手方向に張力がかけられる。尚、前記装置本
体１１及び駆動ローラ１３０３を過ぎた後に金属薄板３
は、シャドウマスクの大きさに応じ前記長手方向に所定
間隔を置いた箇所毎で断裁され、図中矢印Ａは前記金属
薄板３の搬送方向を示す。また、本実施例では、前記駆
動ローラ１３０３及び前記モータ１３０５により搬送手
段が構成されている。

【００１４】図２は金属薄板３の平面図を示し、図２に
仮想線で示すように、金属薄板３には、多数の小孔（図
示せず）がエッチングにより形成され前記シャドウマス
クを構成する領域３１が前記長手方向に間隔を置いて複
数形成され、これら小孔の小孔率が前記開孔率検査装置
１によって検査される。尚、前記小孔の径は、グレーテ
ッド型シャドウマスクにあっては、前記領域３１の中央
付近では大きく、周辺付近では小さく形成されている。
また、各領域３１の搬送方向Ａの下流側で該領域３１よ
りも金属薄板３の縁部寄りの箇所には、矩形の基準孔３
３がエッチングにより形成され、これにより、前記基準
孔３３は、各領域３１よりも先行して搬送される。

【００１５】前記装置本体１１は、基台１１０１、第１
スライドテーブル１１０３、第１スライドフレーム１１
０５、第１支持フレーム１１０７、通過検出センサ１１
０９、縦枠部材１１１１、第２スライドフレーム１１１
３、第１支持フレーム１１１５、光透過率検出センサ１
１１７、第２スライドテーブル１１１９、第３スライド
テーブル１１２１、第２支持フレーム１１２３、基準孔
検出センサ１１２５、第３支持フレーム１１２７、及び
エッジ検出センサ１１２９を備える。

【００１６】前記第１スライドテーブル１１０３（支持
手段に相当）は、前記基台１１０１上で前記搬送方向Ａ
に沿ってスライド可能に支持されている。図３に模式図
で示すように、第１スライドテーブル１１０３の前記搬
送方向Ａにおける上流側の端部にはスクリューシャフト
１１３１が連結され、このスクリューシャフト１１３１
はモータ１１３３の出力軸に直結され、モータ１１３３
が駆動されることで第１スライドテーブル１１０３が搬
送方向Ａに沿ってスライドされる。尚、本実施例では、
前記スクリューシャフト１１３１及びモータ１１３３に
より第２搬送手段が構成されている。

【００１７】前記第１スライドフレーム１１０５は、図
４に装置本体１１の平面図で示すように、前記第１スラ
イドテーブル１１０３上の前記搬送方向Ａにおける略々
中央箇所で、該搬送方向Ａと直交する方向における一方
の側部寄り箇所に、該直交する方向に沿ってスライド可
能に支持されている。この第１スライドフレーム１１０
５には、図３に示すスクリューシャフト１１３５が連結
され、このスクリューシャフト１１３５は前記第１スラ
イドテーブル１１０３の一方の側部側に延設され、その
先端にはハンドル１１３７が連結され、ハンドル１１３
７が回転操作されることで第１スライドフレーム１１０
５が、前記搬送方向Ａと直交する方向に沿ってスライド
される。

【００１８】前記第１支持フレーム１１０７は、前記金
属薄板３側に開放状の略コ字状に形成され、前記第１ス
ライドフレーム１１０５の上部に取着されて上下に延在
し、第１支持フレーム１１０７の先端は、前記金属薄板
３の上方及び下方にそれぞれ延出している。前記通過検
出センサ１１０９（領域検出手段に相当）は一対の発光
素子１１３５及び受光素子１１３７で構成され、これら
発光素子１１３５及び受光素子１１３７は、前記第１支
持フレーム１１０７の先端に上下に対向して配設されて
おり、この通過検出センサ１１０９で前記領域３１の前
記搬送方向Ａにおける下流側の端部箇所の通過が検出さ
れる。

【００１９】前記縦枠部材１１１１は、前記第１スライ
ドテーブル１１０３上の前記搬送方向Ａにおける下流側
の箇所で、該搬送方向Ａと直交する方向における両側部
寄りの箇所にそれぞれ立設されている。前記第２スライ
ドフレーム１１１３は３つ設けられ、図４に示すよう
に、このうち２つは一方の前記縦枠部材１１１１の上部
に、それぞれ前記搬送方向Ａと直交する方向に沿ってス
ライド可能に支持され、残る１つは他方の縦枠部材１１
１１の上部に、前記搬送方向Ａと直交する方向に沿って
スライド可能に支持されている。そして、前記各第２ス
ライドフレーム１１１３の前記搬送方向Ａと直交する方
向における一方の側部には、図３に示すスクリューシャ
フト１１３９がそれぞれ連結され、各スクリューシャフ
ト１１３９はそれぞれモータ１１４１の出力軸に直結さ
れ、各モータ１１４１が駆動されることで各第２スライ
ドフレーム１１１３が、それぞれ独立して前記搬送方向
Ａと直交する方向に沿ってスライドされる。尚、本実施
例では、前記第２スライドフレーム１１１３、スクリュ
ーシャフト１１３９、及びモータ１１４１により間隔調
整手段が構成されている。

【００２０】前記第１支持フレーム１１１５は、前記金
属薄板３側に開放状の略コ字状に形成され、前記各第２
スライドフレーム１１１３の上部にそれぞれ取着されて
上下に延在し、各第１支持フレーム１１１５の先端は、
前記金属薄板３の上方及び下方にそれぞれ延出してい
る。前記光透過率検出センサ１１１７（光透過率検出手
段に相当）は一対の発光素子１１４３及び受光素子１１
４５で構成され、これら発光素子１１４３及び受光素子
１１４５は、前記各第１支持フレーム１１１５の先端に
上下に対向して配設されている。これら各光透過率検出
センサ１１１７により、前記領域３１の前記搬送方向Ａ
における略々中央部分で、該搬送方向Ａと直交する方向
に間隔を置いた３つの領域３１箇所の光透過率が検出さ
れる。

【００２１】前記第２スライドテーブル１１１９は、前
記第１スライドテーブル１１０３上の前記搬送方向Ａに
おける下流側の箇所で、該搬送方向Ａと直交する方向に
おける他方の側部寄りの箇所に、該搬送方向Ａに沿って
スライド可能に支持されており、前記第３スライドテー
ブル１１２１は、前記第２スライドテーブル１１１９上
に、前記搬送方向Ａに沿ってスライド可能に支持されて
いる。そして、図３に示すように、前記第２スライドテ
ーブル１１１９の前記搬送方向Ａにおける下流側の箇所
にはスクリューシャフト１１４７が連結され、このスク
リューシャフト１１４７はモータ１１４９の出力軸に直
結され、モータ１１４９が駆動されることで第２スライ
ドテーブル１１１９が、前記搬送方向Ａに沿ってスライ
ドされる。同様に、前記第３スライドテーブル１１２１
の前記搬送方向Ａと直交する方向における他方の側部に
は、図３に示すようにスクリューシャフト１１５１が連
結され、このスクリューシャフト１１５１はモータ１１
５３の出力軸に直結され、モータ１１５３が駆動される
ことで第３スライドテーブル１１２１が、前記搬送方向
Ａと直交する方向に沿ってスライドされる。

【００２２】前記第２支持フレーム１１２３は、前記第
３スライドテーブル１１２１上に立設された下フレーム
１１５５と、下フレーム１１５５の上部に支持された上
フレーム１１５７とで構成され、上フレーム１１５７は
前記金属薄板３側に開放状の略コ字状に形成され、上フ
レーム１１５７の先端は金属薄板３の上方及び下方にそ
れぞれ延出している。前記基準孔検出センサ１１２５
（基準孔検出手段に相当）は、ＣＣＤカメラ１１５９と
光源１１６１とで構成され、これらＣＣＤカメラ１１５
９及び光源１１６１は、前記上フレーム１１５７の先端
に上下に対向して配設されており、この基準孔検出セン
サ１１２５で前記金属薄板３の基準孔３３が検出され
る。

【００２３】前記第３支持フレーム１１２７は、前記基
台１１０１の前記搬送方向Ａと直交する方向における一
方の側部に取着されて上方に延出する縦フレーム１１６
３と、縦フレーム１１６３の上端から前記金属薄板３側
に延出する横フレーム１１６５とで構成され、横フレー
ム１１６５の先端は金属薄板３の縁部の下方箇所に位置
している。前記エッジ検出センサ１１２９は、例えば前
記搬送方向Ａと直交する方向に延設されたＣＣＤライン
センサ等で構成され、前記横フレーム１１６５の先端に
スクリューシャフト１１６７を介して、前記搬送方向Ａ
と直交する方向に沿ってスライド可能に支持されてお
り、このエッジ検出センサ１１２９で前記金属薄板３の
縁部の位置が検出される。尚、前記スクリューシャフト
１１６７の先端にはハンドル１１６９が連結され、この
ハンドル１１６９が回転操作されることでエッジ検出セ
ンサ１１２９が、前記搬送方向Ａと直交する方向に沿っ
てスライドされる。

【００２４】次に、図５のブロック図を参照して、前記
制御部１５の概略構成を説明する。前記制御部１５は、
キーボード１５０１と、ＣＰＵ１５０３と、入力インタ
フェース１５０５と、メモリ１５０７と、出力インタフ
ェース１５０９と、ドライバ１５１１，１５１３，１５
１５，１５１７，１５１９とを備える。

【００２５】前記キーボード１５０１（入力手段に相
当）には、図６に説明図で示す、前記金属薄板３の縁部
から基準孔３３の中央までの、前記搬送方向Ａと直交す
る方向における距離Ｘ１と、前記領域３１の中央から基
準孔３３の中央までの前記搬送方向Ａにおける距離Ｙ１
とが、前記基準孔３３の位置パラメータとして入力され
る。また、前記キーボード１５０１には、前記３つの光
透過率検出センサ１１１７を用いて開孔率を検査する３
つの領域３１箇所間の相互間隔Ｘ２，Ｘ３と、前記基準
孔３３の中央からこれに最も近い開孔率検査箇所まで
の、前記搬送方向Ａと直交する方向における距離Ｘ４と
が、測定ポイントパラメータとして入力される。さら
に、前記キーボード１５０１には、前記領域３１の中央
から前記搬送方向Ａの下流側の端部箇所までの距離Ｙ２
が、製品パターンパラメータとして入力される。

【００２６】前記ＣＰＵ１５０３（搬送制御手段、判定
手段、第２制御手段に相当）には、入力インタフェース
１５０５を介して、前記通過検出センサ１１０９、光透
過率検出センサ１１１７、基準孔検出センサ１１２５、
及びエッジ検出センサ１１２９が接続されている。ＣＰ
Ｕ１５０３では、前記メモリ１５０７に格納されたプロ
グラムに従い、前記位置パラメータを基に前記基準孔検
出センサ１１２５の位置が割り出される。また、ＣＰＵ
１５０３では、前記プログラムに従い、前記測定ポイン
トパラメータを基に前記各光透過率検出センサ１１１７
の位置が割り出される。この割り出された位置は、前記
エッジ検出センサ１１２９により検出される前記金属薄
板３の縁部の位置に従い、該金属薄板３の蛇行の有無及
びその度合いに応じて変更される。

【００２７】さらに、ＣＰＵ１５０３では、前記プログ
ラムに従い、前記製品パターンパラメータと、図６に示
す、前記通過検出センサ１１０９と光透過率検出センサ
１１１７との前記搬送方向Ａにおける距離Ｙ３とを基
に、該通過検出センサ１１０９で前記領域３１の前記搬
送方向Ａにおける下流側の端部箇所の通過が検出されて
から、前記駆動ローラ１３０３の回転を停止させるまで
の時間が割り出される。また、ＣＰＵ１５０３では、前
記各光透過率検出センサ１１１７で検出される３つの領
域３１箇所の光透過率を基に、該領域３１に形成された
小孔の開孔率の良否が判定される。

【００２８】前記ドライバ１５１１，１５１３，１５１
５，１５１７，１５１９は、前記出力インタフェース１
５０９を介して前記ＣＰＵ１５０３に接続されている。
前記ドライバ１５１１，１５１５，１５１７，１５１９
は、前記モータ１１３３，１１４９，１１５３，１３０
５がそれぞれ接続されている。前記ドライバ１５１３は
３つ設けられ、各ドライバ１５１３にはそれぞれ前記モ
ータ１１４１が接続されている。

【００２９】次に、本実施例の開孔率検査装置１の動作
について説明する。まず、前記領域３１の前記搬送方向
Ａと直交する方向における長さに応じて前記ハンドル１
１３７を操作して、前記通過検出センサ１１０９が前記
領域３１に臨むように位置決めする。同様に、前記金属
薄板３の前記搬送方向Ａと直交する方向における長さに
応じて前記ハンドル１１６９を操作して、前記エッジ検
出センサ１１２９が前記金属薄板３の縁部に臨むように
位置決めする。

【００３０】続いて、前記キーボード１５０１により、
前記位置パラメータ、測定ポイントパラメータ、及び製
品パターンパラメータをそれぞれ入力する。前記位置パ
ラメータの入力により、前記ＣＰＵ１５０３の制御で前
記ドライバ１５１５，１５１７により前記モータ１１４
９，１１５３が駆動されて、前記第２スライドテーブル
１１１９及び第３スライドテーブル１１２１がスライド
され、前記基準孔検出センサ１１２５が、前記基準孔３
３に臨む箇所に位置決めされる。また、前記測定ポイン
トパラメータの入力により、前記ＣＰＵ１５０３の制御
で前記各ドライバ１５１３により前記各モータ１１４１
が駆動されて、前記各第２スライドフレーム１１１３が
スライドされ、前記各光透過率検出センサ１１１７が、
前記領域３１の３つの開孔率検査箇所に臨む箇所にそれ
ぞれ位置決めされる。

【００３１】そして、例えば前記キーボード１５０１に
より金属薄板３の搬送開始指令を入力すると、前記ＣＰ
Ｕ１５０３の制御で、前記ドライバ１５１９により前記
モータ１３０５が駆動され、前記駆動ローラ１３０３が
回転されて、前記金属薄板３が前記搬送方向Ａに搬送さ
れる。

【００３２】金属薄板３の搬送中には、前記エッジ検出
センサ１１２９により、前記金属薄板３の縁部の位置が
検出され、その検出結果を基に前記ＣＰＵ１５０３の制
御で、前記基準孔検出センサ１１２５の位置が前記金属
薄板３の蛇行の有無及びその度合いに応じて修正され
る。また、前記金属薄板３の搬送中には、前記通過検出
センサ１１０９の発光素子１１３５がＣＰＵ１５０３に
より発光駆動されて、その光が前記金属薄板３に上方か
ら照射され、該光が照射された金属薄板３箇所を通過す
る光が前記受光素子１１３７で受光される。従って、前
記通過検出センサ１１０９が臨む箇所を金属薄板３の領
域３１が通過すると、該領域３１の小孔を通過した前記
光が前記受光素子１１３７で受光され、これにより、領
域３１の前記搬送方向Ａにおける下流側の端部箇所の通
過が通過検出センサ１１０９で検出される。

【００３３】通過検出センサ１１０９により領域３１の
通過が検出されると、その時点から前記ＣＰＵ１５０３
で割り出された時間が経過した後、該ＣＰＵ１５０３の
制御により前記モータ１３０５の駆動が停止され、駆動
ローラ１３０３の回転が停止して金属薄板３の搬送が停
止される。金属薄板３の搬送停止後には、前記基準孔検
出センサ１１２５の光源１１６１がＣＰＵ１５０３によ
り発光駆動されて、その光が金属薄板３の縁部寄り部分
に下方から照射されると共に、該光が照射された金属薄
板３箇所が上方からＣＣＤカメラ１１５９により撮影さ
れる。そして、撮影された画像が前記ＣＰＵ１５０３に
よってコントラスト差により画像処理され、該画像中の
明るい部分が抽出される。従って、前記基準孔検出セン
サ１１２５が臨む箇所に金属薄板３の基準孔３３が位置
していると、前記光源１１６１からの光が前記基準孔３
３を通過して該基準孔３３箇所が明るくなり、前記ＣＣ
Ｄカメラ１１５９により撮影され画像中から明るい部分
が抽出され、これにより、前記基準孔３３が基準孔検出
センサ１１２５で検出される。

【００３４】前記基準孔３３が基準孔検出センサ１１２
５で検出されたならば、前記ＣＰＵ１５０３により前記
光源１１６１が滅光される。一方、前記画像中から明る
い部分が抽出されず、前記基準孔３３が基準孔検出セン
サ１１２５で検出されなかった場合には、金属薄板３が
前記搬送方向Ａの下流側に搬送され過ぎたものとして、
前記ＣＰＵ１５０３の制御で前記ドライバ１５１９によ
り前記モータ１３０５が駆動され、前記第１スライドテ
ーブル１１０３が微速で前記搬送方向Ａの上流側にスラ
イドされる。そして、第１スライドテーブル１１０３が
スライドされる間、前記基準孔検出センサ１１２５によ
り前記基準孔３３の検出が継続して行われ、該基準孔３
３が検出されたならば、ＣＰＵ１５０３の制御により前
記モータ１３０５の駆動が停止されて第１スライドテー
ブル１１０３のスライドが停止される。

【００３５】このようにして、前記基準孔３３が基準孔
検出センサ１１２５で検出される位置で、開孔率検出装
置１と金属薄板３との相対位置が固定されることによ
り、前記３つの光透過率検出センサ１１１７が前記領域
３１の３つの開孔率検査箇所に臨む箇所に正確に位置決
めされる。

【００３６】前記各光透過率検出センサ１１１７が位置
決めされると、それら各光透過率検出センサ１１１７の
発光素子１１４３がＣＰＵ１５０３によりそれぞれ発光
駆動されて、各発光素子１１４３からの光が、前記領域
３１の３つの開孔率検査箇所にそれぞれ上方から照射さ
れ、該光が照射された各開孔率検査箇所を通過する光が
前記各受光素子１１４５で受光される。従って、各受光
素子１１４５の受光光量により、各光透過率検出センサ
１１１７で、前記３つの開孔率検査箇所での光透過率が
検出される。

【００３７】そして、前記３つの開孔率検査箇所での光
透過率と、前記各発光素子１１４３の発光光量と、発光
素子１１４３及び金属薄板３間、金属薄板３及び受光素
子１１４５間の上下方向の距離等により、各開孔率検査
箇所における前記小孔の開孔率がＣＰＵ１５０３で判別
され、前記メモリ１５０７に記憶された理想開孔率との
比較により、判別された各開孔率検査箇所の開孔率の良
否がＣＰＵ１５０３で判定される。

【００３８】開孔率の良否が判定された後には、前記Ｃ
ＰＵ１５０３の制御で前記モータ１３０５が再び駆動さ
れて、前記金属薄板３が前記搬送方向Ａに搬送され、以
後、上述した動作が繰り返されて、金属薄板３の上流側
の各領域３１に対する開孔率検査が反復実行される。
尚、前記基準孔３３の検出の際に第１スライドテーブル
１１０３が搬送方向Ａの上流側にスライドされた場合に
は、前記ＣＰＵ１５０３の制御でモータ１１３３を駆動
させて、第１スライドテーブル１１０３が元の位置に戻
してから、前記金属薄板３の搬送を再開させる。そし
て、開孔率が不良であると判別された小孔が形成された
領域３１については、モニタテレビ等の表示手段（図示
せず）上に表示させてもよく、次段の断裁後にＣＰＵ１
５０３の制御で不図示の選別手段を用いて排除してもよ
い。

【００３９】このように、本実施例によれば、搬送中の
金属薄板３の領域３１の搬送方向Ａにおける下流側の端
部を通過検出センサ１１０９で検出すると共に、該金属
薄板３の縁部の基準孔３３を基準孔検出センサ１１２５
で検出して、各光透過率検出センサ１１１７を、前記領
域３１の３つの開孔率検査箇所に臨む箇所に位置決め
し、それら各光透過率検出センサ１１１７で前記各開孔
率検査箇所の光透過率を検出して、その検出結果を基に
各開孔率検査箇所の開孔率をＣＰＵ１５０３で評価する
構成とした。

【００４０】このため、開孔率の検査をインラインで自
動的に行い、シャドウマスクの製造効率を高めることが
できると共に、領域３１の搬送方向Ａにおける下流側の
端部の検出と、金属薄板３の縁部の基準孔３３の検出と
で、各光透過率検出センサ１１１７を、前記領域３１の
３つの開孔率検査箇所に臨む箇所に正確に位置決めする
ことができ、前記領域３１の中央付近と周辺付近とで径
が異なる小孔の開孔率であっても、正しく検査すること
ができる。

【００４１】尚、本実施例では、前記通過検出センサ１
１０９及びエッジ検出センサ１１２９を手動でスライド
させるものとしたが、他のセンサと同様に、モータ等で
自動的にスライドさせるように構成してもよい。また、
各センサの構成は、発光素子及び受光素子の組み合わせ
によるものと、ＣＣＤを用いたものとのいずれか一方に
統一してもよく、その他のセンサに置き換えてもよく、
実施例で示したものに限定されない。さらに、基準孔３
３は対応する領域３１より搬送方向Ａの上流側に設けら
れていてもよく、その場合には、第２スライドテーブル
１１１９及び第３スライドテーブル１１２１や基準孔検
出センサ１１２５を、第１スライドテーブル１１０３の
搬送方向Ａにおける上流側の箇所に配設すればよい。

【００４２】そして、本実施例では、ＣＲＴ用のシャド
ウマスクを構成する金属薄板３の領域３１に形成された
小孔の開孔率検査を例に取って説明したが、本発明は、
例えば金属メッシュ等、全体に均一でない開孔率で小孔
が形成された種々の物品の開孔率検査に広く適用できる
ことは言うまでもない。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、帯
状で長尺の金属薄板の長手方向に間隔を置いた複数の領
域にそれぞれ形成された多数の小孔の開孔率を検査する
装置であって、前記金属薄板を前記長手方向に搬送する
搬送手段と、前記領域の所定部分を検出する領域検出手
段と、前記領域検出手段の検出結果に基づいて、前記搬
送手段による前記金属薄板の搬送を一時停止させる搬送
制御手段と、前記金属薄板の一時停止中に、前記領域外
の金属薄板箇所に形成された基準孔を検出する基準孔検
出手段と、前記基準孔検出手段の検出結果に基づいて、
一時停止された前記金属薄板の停止位置を補正する補正
手段と、前記金属薄板の一時停止中に、前記領域内の複
数箇所の光透過率をそれぞれ検出する複数の光透過率検
出手段と、前記各光透過率検出手段の検出結果に基づい
て、前記複数箇所の開孔率の良否を判定する判定手段と
を備え、前記各光透過率検出手段は、前記金属薄板の搬
送方向と直交する方向にそれぞれ間隔を置いて配設さ
れ、各光透過率検出手段の間隔を調整する間隔調整手段
をさらに備える構成とした。このため、光透過率検出手
段による光透過率の検出箇所の位置誤差がなくなり、前
記領域内の複数箇所の光透過率が正確に検出され、よっ
て、例えばグレーテッド型シャドウマスク等、全体に均
一でない開孔率で小孔が形成された物品であっても、開
孔率検査を精度よく行うことができる。しかも、上述の
動作が前記搬送手段による搬送中の金属薄板に対して行
われるため、開孔率検査をインライン化でき、製造ライ
ンを止める必要がなく、全数検査でき、検査効率を高
め、ひいては前記物品の製造効率を高めることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による開孔率検査装置の概略
構成図である。

【図２】図１に示す金属薄板の平面図である。

【図３】図１に示す装置本体の要部構成を示す模式図で
ある。

【図４】図１の装置本体の平面図である。

【図５】本実施例の開孔率検査装置の制御系の概略構成
を示すブロック図である。

【図６】図５のキーボードから入力するパラメータの説
明図である。

【符号の説明】

１ 開孔率検査装置 １１０３ 第１スライドテーブル（支持手段） １１０９ 通過検出センサ（領域検出手段） １１１３ 第２スライドフレーム（間隔調整手段） １１１７ 光透過率検出センサ（光透過率検出手段） １１２５ 基準孔検出センサ（基準孔検出手段） １１３１ スクリューシャフト（第２搬送手段） １１３３ モータ（第２搬送手段） １１３９ スクリューシャフト（間隔調整手段） １１４１ モータ（間隔調整手段） １５０１ キーボード（入力手段） １３０３ 駆動ローラ（搬送手段） １３０５ モータ（搬送手段） １５０１ キーボード（入力手段） １５０３ ＣＰＵ（搬送制御手段、判定手段、第２制御
手段） ３ 金属薄板 ３１ 領域 ３３ 基準孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−196570（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−49947（ＪＰ，Ａ) 実開 昭49−125766（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭47−9946（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 H01J 9/14 G01N 21/88

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 帯状で長尺の金属薄板の長手方向に間隔
   を置いた複数の領域にそれぞれ形成された多数の小孔の
   開孔率を検査する装置であって、 前記金属薄板を前記長手方向に搬送する搬送手段と、 前記領域の所定部分を検出する領域検出手段と、 前記領域検出手段の検出結果に基づいて、前記搬送手段
   による前記金属薄板の搬送を一時停止させる搬送制御手
   段と、 前記金属薄板の一時停止中に、前記領域外の金属薄板箇
   所に形成された基準孔を検出する基準孔検出手段と、 前記基準孔検出手段の検出結果に基づいて、一時停止さ
   れた前記金属薄板の停止位置を補正する補正手段と、 前記金属薄板の一時停止中に、前記領域内の複数箇所の
   光透過率をそれぞれ検出する複数の光透過率検出手段
   と、 前記各光透過率検出手段の検出結果に基づいて、前記複
   数箇所の開孔率の良否を判定する判定手段とを備え、 前記各光透過率検出手段は、前記金属薄板の搬送方向と
   直交する方向にそれぞれ間隔を置いて配設され、各光透
   過率検出手段の間隔を調整する間隔調整手段をさらに備
   えている、 ことを特徴とする開孔率検査装置。
2. 【請求項２】 前記補正手段は、前記基準孔検出手段及
   び前記各光透過率検出手段を前記金属薄板の搬送方向に
   沿って移動可能に支持する支持手段と、該支持手段を前
   記搬送方向に沿って移動させる第２搬送手段と、該第２
   搬送手段を制御する第２制御手段とで構成されている請
   求項１記載の開孔率検査装置。
3. 【請求項３】 前記領域及び前記領域の所定部分の相対
   位置データを入力する入力手段をさらに備え、前記搬送
   制御手段は、前記領域検出手段の検出結果及び前記相対
   位置データに基づいて前記搬送手段による前記金属薄板
   の搬送を一時停止させる請求項１又は２記載の開孔率検
   査装置。