JPH04208557A - 半導体装置用放熱体 - Google Patents

半導体装置用放熱体

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Publication number
JPH04208557A
JPH04208557A JP2340917A JP34091790A JPH04208557A JP H04208557 A JPH04208557 A JP H04208557A JP 2340917 A JP2340917 A JP 2340917A JP 34091790 A JP34091790 A JP 34091790A JP H04208557 A JPH04208557 A JP H04208557A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat sink
semiconductor device
porous
surface area
porous metal
Prior art date
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Pending
Application number
JP2340917A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuaki Yamamori
山盛 信彰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH04208557A publication Critical patent/JPH04208557A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、特に低い熱抵抗を要求される半導体装置に取
付け、その熱抵抗を低下させるために用いる半導体装置
用放熱体に関する。
〔従来の技術〕
従来の放熱体は第3図(a)または同図(b)の断面図
のように、半導体装置のパッケージ6に対し水平なフィ
ン4aをもつもの、または、垂直方向のフィン5aをも
つものがあり、材質としては熱伝導率に勝れ、かつ、加
工のし易いアルミまたは銅などが用いられている。
〔発明が解決しようとする課題〕
この従来の放熱体構造では、放熱特性を更によくしよう
とすると、フィンを増やすことになるが、従来と同じフ
ィンピッチ・サイズでは放熱体のサイズが大きくなり実
装密度が低下する。又、フィンピッチ・サイズを小さく
すると、放熱体の強度が低下するという問題点があった
〔課題を解決するための手段〕
上記課題に対し本発明の放熱体は、多孔質な金属又は多
孔質な、金属酸化物又は多孔質な金属窒化物から構成さ
れてし・る。
こ実施例〕 つぎに本発明を実施例により説明する。
第1図(a)は本発明の第1の実施例の内部構造を示す
ための部分拡大断面図、同図(b)は半導体装置のパッ
ケージに同図(a)の材質の放熱体を取付けた状態の断
面図である。第1図(a)では、放熱体を構成する材質
は、従来のアルミと比べて同−形状で約10倍の表面積
を有する多くの空洞1を内部に有する多孔質アルミナを
用い、形状としては、同図(b)のようにブロック2て
構成され、半導体装置のパッケージ6に密着し取付けら
れる。
第2図(a)は本発明の第2実施例の内部構造を示す部
分拡大断面図、同図(b)は同図(a)の材質の放熱体
を半導体装置のパッケージに取付けた状態の断面図であ
る。第2図(a)のように、柱状3の構造を有し、アル
ミに比べ同一形状で約3倍の表面積を有する窒化チタン
を用いており、形状としては、同図(b)のようにパッ
ケージ6に対し水平なフィン4をもつ放熱体としている
なお上記実施例では、金属酸化物と金属窒化物の例を挙
げたが、多孔質金属を用いることもできるのはいうまで
もない。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は放熱体の材質として多孔質
な金属、金属酸化物等を使用することにより、表面積を
増加させ、放熱特性が向上するという効果を有する。同
一容積で表面積を2倍にすると熱抵抗はl/7Tになる
という実験データがら推察すると、第1の実施例では熱
抵抗は1/J′V6に、第2の実施例では1/ブIにな
ることが期待できる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)は本発明の第1実施例の内部材質構造を説
明するための部分拡大断面図、同図(b)は半導体装置
のパッケージに本発明の第1実施例を取付けた状態の断
面図、第2図(a)は本発明の第2実施例の内部材質構
造説明のための部分拡大断面図、同図(b)は半導体装
置のパッケージに第2実施例をとりつけた状態の断面図
、第3図(a)2(b)はそれぞれ従来の一例および他
の一例と取付は半導体装置のパッケージを示す断面図で
ある。 1・・・・・空洞、2・・・・・ブロック、3・・・・
・柱状、4・・・・水平フィン、5・・垂直フィン、6
・・・・・半導体装置のパッケージ。 代理人 弁理士  内 原   晋

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 多孔質金属、多孔質金属酸化物、多孔質金属窒化物より
    なる一群中より任意に選んだ一つの物質により構成され
    た半導体装置用放熱体。
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