JPH04202022A - 石英ガラス製ベルジャーの製造方法及びその装置 - Google Patents
石英ガラス製ベルジャーの製造方法及びその装置Info
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- JPH04202022A JPH04202022A JP33604990A JP33604990A JPH04202022A JP H04202022 A JPH04202022 A JP H04202022A JP 33604990 A JP33604990 A JP 33604990A JP 33604990 A JP33604990 A JP 33604990A JP H04202022 A JPH04202022 A JP H04202022A
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- Japan
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- quartz glass
- powder
- bell jar
- glass plate
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 9
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/09—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould
- C03B19/095—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould by centrifuging, e.g. arc discharge in rotating mould
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体ウェーハに不純物拡散処理、化学的な
蒸着処理、気相成長処理等を行うに際して用いられる石
英ガラス製ベルジャーの製造方法及びその装置に関する 〔従来の技術〕 近年、石英ガラス製ベルジャーは、第４図に示すように
、保温性、均熱性に優れた不透明石英ガラスからなり、
その一部を内部状況の観察をする透明石英ガラスからな
る窓Ｗとした不透明石英ガラス製ベルジャーが主流とな
っている。
蒸着処理、気相成長処理等を行うに際して用いられる石
英ガラス製ベルジャーの製造方法及びその装置に関する 〔従来の技術〕 近年、石英ガラス製ベルジャーは、第４図に示すように
、保温性、均熱性に優れた不透明石英ガラスからなり、
その一部を内部状況の観察をする透明石英ガラスからな
る窓Ｗとした不透明石英ガラス製ベルジャーが主流とな
っている。
従来、この種の不透明石英ガラス製ベルジャーは、ベル
ジャー形の型穴を設けた成形型を軸線回りに回転しなが
ら、その型穴内に石英ガラス粉末を供給し遠心力によっ
てベルジャー形の粉体層を成形し、その後粉体層の所要
位置にこの粉体層より薄い透明石英ガラス板をその内面
が粉体層の内面と同一内面をなすように埋め込んだ後、
粉体層を加熱処理してガラス化することにより製造され
ている（実公平１−４３８５９号公報参照）。
ジャー形の型穴を設けた成形型を軸線回りに回転しなが
ら、その型穴内に石英ガラス粉末を供給し遠心力によっ
てベルジャー形の粉体層を成形し、その後粉体層の所要
位置にこの粉体層より薄い透明石英ガラス板をその内面
が粉体層の内面と同一内面をなすように埋め込んだ後、
粉体層を加熱処理してガラス化することにより製造され
ている（実公平１−４３８５９号公報参照）。
しかしながら、上記従来の石英ガラス製ベルジャーの製
造方法では、窓の位置にスレを生じたり、又、粉体層の
溶融に伴い窓となる透明石英ガラスの外面に石英粉末粒
子が溶融付着する問題がある。
造方法では、窓の位置にスレを生じたり、又、粉体層の
溶融に伴い窓となる透明石英ガラスの外面に石英粉末粒
子が溶融付着する問題がある。
そこで、本発明は、窓のズレやその外面への粒子付着を
防止し得る石英ガラス製ベルジャーの製造方法及びその
装置の提供を目的とする。
防止し得る石英ガラス製ベルジャーの製造方法及びその
装置の提供を目的とする。
前記課題を解決するため、第１の発明の石英ガラス製ベ
ルジャーの製造方法は、ベルジャー形の型穴を設けた成
形型の型穴内の所ｉ位置に透明石英ガラス板を保持し、
その後成形型を軸線回りに回転しつつその型穴内に石英
粉末を供給し、遠心力により透明石英ガラス板の内面と
同一面をなすベルジャー形の粉体層を形成した後、粉体
層を加熱処理してガラス化する方法である。
ルジャーの製造方法は、ベルジャー形の型穴を設けた成
形型の型穴内の所ｉ位置に透明石英ガラス板を保持し、
その後成形型を軸線回りに回転しつつその型穴内に石英
粉末を供給し、遠心力により透明石英ガラス板の内面と
同一面をなすベルジャー形の粉体層を形成した後、粉体
層を加熱処理してガラス化する方法である。
又、第２の発明の石英ガラス製ベルジャーの製造装置は
、ベルジャー形の型穴が設けられ、軸線回りに回転可能
な成形型と、透明石英ガラス板を上記型穴内の所要位置
に保持する保持手段と、石英粉末を前記型穴内に供給す
る粉末供給手段と、前記型穴内に成形された石英の粉体
層を加熱する熱源とからなるものである。
、ベルジャー形の型穴が設けられ、軸線回りに回転可能
な成形型と、透明石英ガラス板を上記型穴内の所要位置
に保持する保持手段と、石英粉末を前記型穴内に供給す
る粉末供給手段と、前記型穴内に成形された石英の粉体
層を加熱する熱源とからなるものである。
ここで、透明石英ガラス板を保持する保持手段としては
、成形型の型穴の所要位置に設けられた凹部又は真空吸
着のための吸引孔、あるいは両者を併用したものが用い
られる。
、成形型の型穴の所要位置に設けられた凹部又は真空吸
着のための吸引孔、あるいは両者を併用したものが用い
られる。
上記手段においては、透明石英ガラス板の移動が押えら
れ、その外面が型穴の内面と当接して石英粉末との接触
が断たれる。
れ、その外面が型穴の内面と当接して石英粉末との接触
が断たれる。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
まず、第１図に示すように、耐熱性を有する材質からな
り、ベルジャー形の型穴１が設けられ、かつその型穴１
の所要位置に比較的浅い凹部２が設けられると共に、支
軸３により軸線回りに回転可能に支承された成形型４の
型穴１の凹部２に、この凹部２と嵌まり合う比較的厚い
透明石英ガラス板５を係合して保持する。
り、ベルジャー形の型穴１が設けられ、かつその型穴１
の所要位置に比較的浅い凹部２が設けられると共に、支
軸３により軸線回りに回転可能に支承された成形型４の
型穴１の凹部２に、この凹部２と嵌まり合う比較的厚い
透明石英ガラス板５を係合して保持する。
ついで、第２図に示すように、成形型４を軸線回りに回
転しながら漏斗状の粉末供給手段６を用いて石英ガラス
粉末を型穴１内に供給し、遠心力によって透明石英ガラ
ス板５の内面と同一面をなすベルジャー形の石英の粉体
層７を成形する。
転しながら漏斗状の粉末供給手段６を用いて石英ガラス
粉末を型穴１内に供給し、遠心力によって透明石英ガラ
ス板５の内面と同一面をなすベルジャー形の石英の粉体
層７を成形する。
しかる後、第３図に示すように、粉体層７全体を熱源８
としてのアーク炎にて加熱溶融し、ガラス化して不透明
石英ガラス９とすると、透明石英ガラスの窓を有する石
英ガラス製ベルジャーが得られる。
としてのアーク炎にて加熱溶融し、ガラス化して不透明
石英ガラス９とすると、透明石英ガラスの窓を有する石
英ガラス製ベルジャーが得られる。
この方法で得られたベルジャーは、窓の位置がズしたり
、又、窓の外面に石英粉末粒子が付着したすせず、溶融
後の工程を簡略化できる。
、又、窓の外面に石英粉末粒子が付着したすせず、溶融
後の工程を簡略化できる。
なお、上述した実施例においては、透明石英ガラス板５
を保持する保持手段を型穴ｌに設けた凹部２とする場合
について述べたが、これに限らず型穴１の所要位置に吸
引孔を設け、透明石英ガラス板５を型穴１の内面に真空
吸着するようにしてもよく、又、両者を併用してもよい
。
を保持する保持手段を型穴ｌに設けた凹部２とする場合
について述べたが、これに限らず型穴１の所要位置に吸
引孔を設け、透明石英ガラス板５を型穴１の内面に真空
吸着するようにしてもよく、又、両者を併用してもよい
。
以上のように本発明によれば、透明石英ガラス板の移動
が押えられ、かつその外面が型穴の内面と当接して石英
粉末との接触が断たれるので、窓のズレやその外面への
石英粉末粒子の付着を防止することができる。
が押えられ、かつその外面が型穴の内面と当接して石英
粉末との接触が断たれるので、窓のズレやその外面への
石英粉末粒子の付着を防止することができる。
第１図、第２図及び第３図は本発明の一実施例を示す石
英ガラス製ベルジャーの製造方法の各工程の断面図、第
４図は本発明によって得られる石英ガラス製ベルジャー
の斜視図である。 １・・・型穴、２・・・凹部、４・・・成形型、５・・
・透明石英ガラス板、６・・・供給手段、７・・・粉体
層、８・・・熱源、９・・・不透明石英ガラス。
英ガラス製ベルジャーの製造方法の各工程の断面図、第
４図は本発明によって得られる石英ガラス製ベルジャー
の斜視図である。 １・・・型穴、２・・・凹部、４・・・成形型、５・・
・透明石英ガラス板、６・・・供給手段、７・・・粉体
層、８・・・熱源、９・・・不透明石英ガラス。
Claims (2)
- （１）ベルジャー形の型穴を設けた成形型の型穴内の所
要位置に透明石英ガラス板を保持し、その後成形型を軸
線回りに回転しつつその型穴内に石英粉末を供給し、遠
心力によって透明石英ガラス板の内面と同一面をなすベ
ルジャー形の粉体層を成形した後、粉体層を加熱処理し
てガラス化することを特徴とする石英ガラス製ベルジャ
ーの製造方法。 - （２）ベルジャー形の型穴が設けられ、軸線回りに回転
可能な成形型と、透明石英ガラス板を上記型穴内の所要
位置に保持する保持手段と、石英粉末を前記型穴内に供
給する粉末供給手段と、前記型穴内に成形された石英の
粉体層を加熱する熱源とからなることを特徴とする石英
ガラス製ベルジャーの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33604990A JPH04202022A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 石英ガラス製ベルジャーの製造方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33604990A JPH04202022A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 石英ガラス製ベルジャーの製造方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04202022A true JPH04202022A (ja) | 1992-07-22 |
Family
ID=18295173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33604990A Pending JPH04202022A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 石英ガラス製ベルジャーの製造方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04202022A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08162423A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 枚葉式ウエーハ熱処理装置とその装置に用いる反応容器の製造方法 |
| EP1785401A1 (en) * | 2005-11-09 | 2007-05-16 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Silica vessel with nozzle and method of making |
| CN107735371A (zh) * | 2015-07-15 | 2018-02-23 | 贺利氏石英美国有限责任公司 | 用于将不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英连接的工艺 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP33604990A patent/JPH04202022A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08162423A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 枚葉式ウエーハ熱処理装置とその装置に用いる反応容器の製造方法 |
| EP1785401A1 (en) * | 2005-11-09 | 2007-05-16 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Silica vessel with nozzle and method of making |
| JP2007169145A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-07-05 | Heraeus Shin-Etsu America Inc | ノズルを備えたシリカるつぼ及びその製造方法 |
| CN107735371A (zh) * | 2015-07-15 | 2018-02-23 | 贺利氏石英美国有限责任公司 | 用于将不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英连接的工艺 |
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