JPH042018U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH042018U JPH042018U JP4246490U JP4246490U JPH042018U JP H042018 U JPH042018 U JP H042018U JP 4246490 U JP4246490 U JP 4246490U JP 4246490 U JP4246490 U JP 4246490U JP H042018 U JPH042018 U JP H042018U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounting table
- wafer
- fixing structure
- resist
- removably
- Prior art date
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- Granted
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図および第２図はこの考案の一実施例を示
し、第１図はウエハの固定構造の要部断面図、第
２図は全体を縮小した外観斜視図、第３図および
第４図は従来例を示し、第３図は載置台上にウエ
ハを固定してレジストを塗布した状態の要部断面
図、第４図はウエハのエツジ部にエツジリンスを
吹き付けてレジストを除去した状態の要部断面図
である。 １……半導体ウエハ、６……フオトレジスト、
７……エツジ部（周辺部分）、１０……載置台、
１２……押え部材。
し、第１図はウエハの固定構造の要部断面図、第
２図は全体を縮小した外観斜視図、第３図および
第４図は従来例を示し、第３図は載置台上にウエ
ハを固定してレジストを塗布した状態の要部断面
図、第４図はウエハのエツジ部にエツジリンスを
吹き付けてレジストを除去した状態の要部断面図
である。 １……半導体ウエハ、６……フオトレジスト、
７……エツジ部（周辺部分）、１０……載置台、
１２……押え部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 レジストが塗布されるウエハを載置する載置面
が平坦面に形成された載置台と、 前記載置台の外周に設けられ、前記ウエハの周
辺部分を覆つてその周辺部分を前記載置台上に係
脱可能に押え付ける押え部材と、 を具備してなるウエハの固定構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990042464U JP2530716Y2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | ウエハの固定構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990042464U JP2530716Y2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | ウエハの固定構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042018U true JPH042018U (ja) | 1992-01-09 |
| JP2530716Y2 JP2530716Y2 (ja) | 1997-03-26 |
Family
ID=31554033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990042464U Expired - Lifetime JP2530716Y2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | ウエハの固定構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2530716Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59141406A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-08-14 | ユナイテッド・テクノロジ−ズ・コ−ポレ−ション | 急速始動形メタノ−ル反応装置 |
| JPS61942U (ja) * | 1984-06-08 | 1986-01-07 | シチズン時計株式会社 | ドツト印字ヘツドのワイヤガイド |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP1990042464U patent/JP2530716Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59141406A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-08-14 | ユナイテッド・テクノロジ−ズ・コ−ポレ−ション | 急速始動形メタノ−ル反応装置 |
| JPS61942U (ja) * | 1984-06-08 | 1986-01-07 | シチズン時計株式会社 | ドツト印字ヘツドのワイヤガイド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2530716Y2 (ja) | 1997-03-26 |