JPH0353838U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0353838U JPH0353838U JP11485489U JP11485489U JPH0353838U JP H0353838 U JPH0353838 U JP H0353838U JP 11485489 U JP11485489 U JP 11485489U JP 11485489 U JP11485489 U JP 11485489U JP H0353838 U JPH0353838 U JP H0353838U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- magnetic material
- specific location
- manufacturing apparatus
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
Description
第１図は、この考案の位置決めステージとベア
チツプの平面図と側面図でベアチツプは裏面特定
箇所に磁性体を有する。第２図は従来のベアチツ
プと位置決めステージの平面図と側面図である。 １……ベアチツプ（半導体素子）、２……磁性
体、３……位置決めステージ、４……電磁石。
チツプの平面図と側面図でベアチツプは裏面特定
箇所に磁性体を有する。第２図は従来のベアチツ
プと位置決めステージの平面図と側面図である。 １……ベアチツプ（半導体素子）、２……磁性
体、３……位置決めステージ、４……電磁石。
Claims (1)
- 半導体素子を、ダイボンデイングするに際し、
特定箇所に磁性体を有する半導体素子を用い、磁
気吸引位置決め手段として、位置決めステージ内
に電磁石を配置したことを特徴とする半導体製造
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11485489U JPH0353838U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11485489U JPH0353838U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353838U true JPH0353838U (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=31663202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11485489U Pending JPH0353838U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353838U (ja) |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP11485489U patent/JPH0353838U/ja active Pending