JPH04201514A - セラミックグリーンシートの積層方法 - Google Patents
セラミックグリーンシートの積層方法Info
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- JPH04201514A JPH04201514A JP33921090A JP33921090A JPH04201514A JP H04201514 A JPH04201514 A JP H04201514A JP 33921090 A JP33921090 A JP 33921090A JP 33921090 A JP33921090 A JP 33921090A JP H04201514 A JPH04201514 A JP H04201514A
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- ceramic green
- green sheets
- green sheet
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Links
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Landscapes
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は1例えば、多層配線基板などの積層製品を製造
する際のセラミックグリーンシート積層方法に関する。
する際のセラミックグリーンシート積層方法に関する。
(従来の技術)
多層配線基板等の積層製品は、アルミナ等を主成分とす
るセラミックグリーンシートに、スルホール加工、配線
のための導電性ペーストを用いた配線パターン印刷など
の加工を施し、この加工されたセラミックグリーンシー
トを加圧治具を用いて加熱圧着し、順次積層し積層体と
じ5この積層体を焼成して得るのであるが、この際、積
層するセラミックグリーンシートを痛めず、治具とセラ
ミフグリーンシートとを速やかに離脱させるために、治
具とセラミックグリーンシートとの間にPET(ポリエ
チレンテレフタレート)からなるフィルムを介在させて
いた。
るセラミックグリーンシートに、スルホール加工、配線
のための導電性ペーストを用いた配線パターン印刷など
の加工を施し、この加工されたセラミックグリーンシー
トを加圧治具を用いて加熱圧着し、順次積層し積層体と
じ5この積層体を焼成して得るのであるが、この際、積
層するセラミックグリーンシートを痛めず、治具とセラ
ミフグリーンシートとを速やかに離脱させるために、治
具とセラミックグリーンシートとの間にPET(ポリエ
チレンテレフタレート)からなるフィルムを介在させて
いた。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、PUTフィルムを用いて、積層した積層
体には、セラミックグリーンシートの変形、特にセラミ
ックグリーンシートにICチップを収納する為のキャビ
ティなど穴加工を施した場合の穴周辺の変形が著しいと
いう問題点を有していた。
体には、セラミックグリーンシートの変形、特にセラミ
ックグリーンシートにICチップを収納する為のキャビ
ティなど穴加工を施した場合の穴周辺の変形が著しいと
いう問題点を有していた。
(解題を解決するための手段)
本発明は、上述した課題に鑑みなされたものであって、
その要旨を、複数枚のセラミックグリーンシートを加圧
治具を用いて加熱圧着させ順次積層することにより積層
体を構成するセラミックグリーンシートの積層方法にお
いて、加圧治具とセラミックグリーンシートとの間に離
型紙を介在させることを特徴とするセラミックグリーン
シートの積層方法とする。
その要旨を、複数枚のセラミックグリーンシートを加圧
治具を用いて加熱圧着させ順次積層することにより積層
体を構成するセラミックグリーンシートの積層方法にお
いて、加圧治具とセラミックグリーンシートとの間に離
型紙を介在させることを特徴とするセラミックグリーン
シートの積層方法とする。
(作用)
紙は、PETフィルムに比べ、剛性が高く、治具による
加圧によっても紙自体の変形はほとんどないと考えられ
、そのため、セラミックグリーンシートの変形を極力防
止できるものと推測される(実施例) 本発明を、TCパッケージ用のセラミック積層体の実施
例に基づき詳細に説明する。
加圧によっても紙自体の変形はほとんどないと考えられ
、そのため、セラミックグリーンシートの変形を極力防
止できるものと推測される(実施例) 本発明を、TCパッケージ用のセラミック積層体の実施
例に基づき詳細に説明する。
第1図は、ICチップl収納するキャビティ2を有する
ICパッケージの構造図であって、セラミックグリーン
シート3が多層に積層されている、この積層体の中間部
のセラミックグリーンシート3には、キャビティ2を構
成する為の穴がプレスにより積層前に予め穿設されてい
る。4は、ICチップを載置するためのダイアタッチと
呼ばれる部分である。この部分が、従来のPETフィル
ムであると熱圧着時シこもち上がるという変形を起こし
た。
ICパッケージの構造図であって、セラミックグリーン
シート3が多層に積層されている、この積層体の中間部
のセラミックグリーンシート3には、キャビティ2を構
成する為の穴がプレスにより積層前に予め穿設されてい
る。4は、ICチップを載置するためのダイアタッチと
呼ばれる部分である。この部分が、従来のPETフィル
ムであると熱圧着時シこもち上がるという変形を起こし
た。
次に、積層体の積層方法を第2図に基づき説明する。
アルミニウムからなる厚み5mmの下治具5上に離型紙
6を載せ、更に、そのうえに最下層のグリーンシート7
a、2層目のセラミックグリーンシート7b、離型紙8
.アルミニウムからなる厚み5mmの上治具9の順に順
次載せ、約80°Cに加熱したプレス板にて、圧力30
kg1cm2.15秒間熱圧着する。3層目以降につい
ても同じ手順で積層していく、この際、第1図のような
キャビティ構造を取らないセラミックグリンシートを、
積層する際には、−度に複数枚のセラミックグリーンシ
ートを積層させても構わない。
6を載せ、更に、そのうえに最下層のグリーンシート7
a、2層目のセラミックグリーンシート7b、離型紙8
.アルミニウムからなる厚み5mmの上治具9の順に順
次載せ、約80°Cに加熱したプレス板にて、圧力30
kg1cm2.15秒間熱圧着する。3層目以降につい
ても同じ手順で積層していく、この際、第1図のような
キャビティ構造を取らないセラミックグリンシートを、
積層する際には、−度に複数枚のセラミックグリーンシ
ートを積層させても構わない。
本発明で利用できる離型紙としては、種々のものが利用
できるが、厚みが100μm以下で且つJIS P
8113によって試験された引っ張り強さが5kgf
以上であることが望ましい・また、セラミックグリーン
シートの表面に印刷された配線パターン等が離型紙に付
着するのを防止するために、離型紙表面に、例えば、シ
リコーン系の樹脂をコーティングするなどの処理を施し
てもよい。
できるが、厚みが100μm以下で且つJIS P
8113によって試験された引っ張り強さが5kgf
以上であることが望ましい・また、セラミックグリーン
シートの表面に印刷された配線パターン等が離型紙に付
着するのを防止するために、離型紙表面に、例えば、シ
リコーン系の樹脂をコーティングするなどの処理を施し
てもよい。
(発明の効果)
1配したダイアタッチ部の変形シこついて、PUTフィ
ルムを用いたものと離型紙を用いたものについて、積層
後のダイアタッチの反りをディブスゲージを用いて測定
した結果を表1に示す。
ルムを用いたものと離型紙を用いたものについて、積層
後のダイアタッチの反りをディブスゲージを用いて測定
した結果を表1に示す。
表1
本発明によれば、セラミックグリーンシートと加圧治具
との間に離型紙を介在させることにより、積層したセラ
ミックグリーンシートの変形を極力防止できる。
との間に離型紙を介在させることにより、積層したセラ
ミックグリーンシートの変形を極力防止できる。
第1図は、積層体としてICパッケージを示す要部断面
図、第2図はグリーンシートの積層方法を説明する図で
ある。 3.7a、7b・・・セラミックグリーンシート6.8
・・・離型紙 5.9 ・・・加圧治具 特許出頭へ 束陶機器株式会社
図、第2図はグリーンシートの積層方法を説明する図で
ある。 3.7a、7b・・・セラミックグリーンシート6.8
・・・離型紙 5.9 ・・・加圧治具 特許出頭へ 束陶機器株式会社
Claims (1)
- 複数枚のセラミックグリーンシートを加圧治具を用いて
加熱圧着させ順次積層することにより積層体を構成する
セラミックグリーンシートの積層方法において、加圧治
具とセラミックグリーンシートとの間に離型紙を介在さ
せることを特徴とするセラミックグリーンシートの積層
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33921090A JPH04201514A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33921090A JPH04201514A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04201514A true JPH04201514A (ja) | 1992-07-22 |
Family
ID=18325286
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33921090A Pending JPH04201514A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04201514A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6258192B1 (en) * | 1999-02-10 | 2001-07-10 | International Business Machines Corporation | Multi-thickness, multi-layer green sheet processing |
US6533888B2 (en) * | 1998-02-26 | 2003-03-18 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for fabricating buried and flat metal features |
CN113382975A (zh) * | 2018-11-30 | 2021-09-10 | 康宁股份有限公司 | 蜂窝体制造方法 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP33921090A patent/JPH04201514A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6533888B2 (en) * | 1998-02-26 | 2003-03-18 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for fabricating buried and flat metal features |
US6258192B1 (en) * | 1999-02-10 | 2001-07-10 | International Business Machines Corporation | Multi-thickness, multi-layer green sheet processing |
CN113382975A (zh) * | 2018-11-30 | 2021-09-10 | 康宁股份有限公司 | 蜂窝体制造方法 |
CN113382975B (zh) * | 2018-11-30 | 2023-05-02 | 康宁股份有限公司 | 蜂窝体制造方法 |
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