JPH0420051U - - Google Patents

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JPH0420051U
JPH0420051U JP6166490U JP6166490U JPH0420051U JP H0420051 U JPH0420051 U JP H0420051U JP 6166490 U JP6166490 U JP 6166490U JP 6166490 U JP6166490 U JP 6166490U JP H0420051 U JPH0420051 U JP H0420051U
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conveyor
baking
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baking device
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【図面の簡単な説明】
第１図は、考案明の一実施例の概略側面図であ
る。 １０……インフイードローダー、２０，５０…
…水浴装置、３０，６０……水圧噴射装置、４０
……加熱焼成定着装置、７０……水切り、８０…
…アウトフイードローダー、２１，５１……水槽
、２２、３１、４２，５２，６１……搬送装置、
３２，６２……高圧噴射ノズル、２３，５３……
超音波発振源、２４，５４……スポンジローラー
。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 焼成装置の前又は／及び後にコンベア搬送
    装置を介して、高圧水噴射方式、超音波発振方式
    の残渣除去装置を付設した水洗装置を備えている
    露光現像レジストパターン処理装置。 (2) 前記焼成装置の前又は後に備える前記コン
    ベア搬送装置、又は、前記焼成装置の前後に備え
    る少なくとも一方の前記コンベア搬送装置にスポ
    ンジブラシなどのラビング手段を備えている前記
    第１項記載の処理装置。
JP6166490U 1990-06-11 1990-06-11 Pending JPH0420051U (ja)

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JPH0420051U true JPH0420051U (ja) 1992-02-19

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5922447B2 (ja) * 1975-11-18 1984-05-26 東京電力株式会社 ホゴケイデンソウチ
JPH02106757A (ja) * 1988-10-14 1990-04-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラーフィルタの現像処理方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5922447B2 (ja) * 1975-11-18 1984-05-26 東京電力株式会社 ホゴケイデンソウチ
JPH02106757A (ja) * 1988-10-14 1990-04-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラーフィルタの現像処理方法

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