JPH04198742A - 配線パターン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、スルーホールを有するプリント基板の配線パ
ターン検査装置に関するものである。

従来の技術 スルーホールを有するプリント配線パターンの外観検査
において、スルーホール部のランド産性り幅はパターン
幅の検査基準である最小パターン幅よりも小さな値であ
る。すなわち、座残り幅の検査基準とパターン幅の検査
基準とは異なる値である。このために、スルーホール領
域を検出する必要がある。

従来、このスルーホール領域を検出する方法として、パ
ターンの検出のための反射照明とは別にスルーホール部
の検出のために透過照明を併用している。この方法につ
いては、例えば特開昭６２−１３８９８７号公報に述べ
られている。以下、第６図を参照しながら、従来の方法
について説明する。

スルーホール２７を有するプリント配＃ｌＡ板２ｏの表
面から反射光照明２１を、裏面から透過光照明２２を照
射する。この場合スルーホール２７を透過する透過光２
４の光量を基板表面からの反射光２３の光量よりも大き
くなるようにそれぞれの照明の強さを設定する。この状
態で反射光２３と透過光２４とを１次元ラインセンサ２
５で検出してビデオ信号とする。

第７図は、第６図に示した方法により光を照射して得ら
れた１次元ラインセンサ２５のビデオ信号１を示す。

ビデオ信号１の反射光照明による銅箔部の電位を■１で
示し、透過光照明によるスルーホール部の電位を■２で
示す、また、ビデオ信号１に第１のしきい値信号２およ
び第２のしきい値信号３を設定し、各々の二値化画像を
得る一第１のしきい値信号２は反射光照明により得られ
る銅箔部の電位■ルベルより高電位に設定し、透過光照
明におけるｔ位Ｖ２レベルの、ビデオ信号だけを二値化
するものであり、第７図（ｂ）に第１のしきい値信号２
により得られる第１の二値化信号４を示す。

すなわち、第８図（ａ）に示したように第１の二値化画
像６を得ることができ、スルーホール画像として抽出す
ることができる。第２のしきい値信号３は、反射光照明
による二値化画像を得るためのものであり、反射光照明
による銅箔部の電位Ｖ１より低電位に設定する。第７図
（Ｃ）に第２のしきい値信号３により得られた第２の二
値化信号５を示し、第８図（ｂ）はこの第２のしきい値
信号３による第２の二値化画像７で、スルーホール画像
が消去された画像を示す。

ここで、第１の二値化画像６と第２の二値化画像７の差
をとれば、第４図に示すような従来の反射光照明だけに
よる第８図（ｃ）に示す二値化画像１４と同等な第３の
二値化画像８を得ることができる。すなわち、反射光照
明だけにより得られる二値化画像１４からスルーホール
の二値化画像が抽出でき、スルーホールの認識が可能と
なる。

発明が解決しようとする課題 、　本発明は、上記従来のプリント配線パターン検査装
置の課題を解消し、検査対象が厚いプリント基板の場合
やスルーホール部にゴミなどが存在する場合にも、正確
なスルーホール画像を得ることを目的とする。

しかしながら、上述したスルーホール画像のパターン検
出方法では、厚い基板の場合に、スルーホールの真直度
のために、反射画像とスルーホール画像とが偏芯してし
まう、また、１次元ラインセンサの両端部においてスル
ーホールの壁のためにスルーホール画像が欠けた円形に
検出されるという問題がある。さらに、ゴミなどのため
にもスルーホール画像が完全な円形に検出されるという
問題がある。この様子を第９図に示す、同図（ａ）は１
次元ラインセンサ２５のビデオ信号１を、同図（ｂ）は
第１の２値化画像を、同図（ｃ）は第２の２値化画像を
示す、このような場合、スルーホール画像として正確な
スルーホール形状が得られていないために、欠陥検出部
５１によって誤った欠陥検出をおこなってしまうことが
ある。

課題を解決するための手段 本発明は、スルーホールを有する被検査基板に表面なら
びに裏面から光を照射し、配線パターンからの反射光を
検出するとともに、上記スルーホールを透過してくる透
過光を検出する際に、透過画像をもとに、２値化した反
射画像の反転画像からスルーホール画像を検出するもの
である。

作用 本発明は、被検査基板の透過画像から反射画像を参照し
ながら、スルーホール領域を検出するために、反射画像
における正確なスルーホール領域が検出できる。

実施例 以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は、本発明の第１の実施例における配線パターン
検査装置のブロック結線図である。

第１図に示すように、本実施例では、反射光照明２１と
透過光照明２２とは、異なる波長の光を使用し、２色性
ミラー３０によって、光を分離する０反射光２３は第１
の１次元ラインセンサ３１によって検出され、第１の２
値化手段３２によって２値化され、たとえば第２図（ａ
）に示す反射画像３３を生成する。他方、透過光２３は
第２の１次元ラインセンサ、４１によって検出され、第
２の２値化手段４２によって２値化され、第２図（ｂ）
に示す透過画像４３を生成する。この後、反射画像３３
に対して反転処理手段５０によって第２図（ｃ）に示す
反転反射画像３４を生成する。スルーホール領域検出手
段５１では、この反転反射画像３４を参照しながら透過
画像４３に対して膨張を行い第２図（ｄ）に示すような
正確なスルーホール領域５２を検出する。欠陥検出部６
０では、反射画像３３に対して欠陥検出をおこなうが、
その際にスルーホール領域５２の情報をもとに、スルー
ホール領域では最小パターン幅不足の検出をおこなわな
いようにマスキングをおこなったり、あるいは、検出基
準を最小座切れ幅に切り替えて検査をおこなうようにす
る。

なお、透過画像４３に対しての膨張処理については、第
３図に示すように、膨張させる画素Ａと膨張させない画
素Ｂがある。

以上、本実施例によれば、反射光照明により得られた画
像のなかから正確なスルーホール領域が検出できる。

第４図は、本発明の第２の実施例の説明図である。ここ
では、反射光照明２１と透過光照明２２とは、異なる波
長の光を使用するかわりに、透過光変調手段７０によっ
て透過光照明２２を印刷配線板２ｏの移動と同期させて
時間的変調をおこなっている。そのため、第５図（ａ）
に示すような、１次元ラインセンサ６１からのビデオ信
号を２値化した画像に対し、このなかから周期的な縞パ
ターン領域を分離して、同図（ｂ）に示す反射画像なら
びに同図（ｃ）に示す透過画像を得る。なお、透過画像
から反射画像を参照しながらスルーホール領域を検出す
る処理以降の処理は、第１の実施例と同様である。

発明の詳細 な説明したように本発明は、反射光照明と透過光照明併
用し、透過画像がら反射画像を参照しながら透過画像か
らスルーホール領域を検出することをおこなう。そのた
め、正確なスルーボール領域を検出することができる。

従って、本発明を適用することによって、良品質のプリ
ント基板を提供することができ、その効果は大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例における配線パターン検
査装置のブロック結線図、第２図は同装置における要部
の２値化画像を示す図、第３図は同装置によるスルーホ
ール領域の検出のための処理を示す概念図、第４図は本
発明の第２の実施例における配線パターン検査装置の要
部側面図、第５図は第４図における縞パターンの分離に
ついての概念図、第６図は従来の配線パターン検査装置
の要部側面図、第７図は第６図における同装置のビデオ
信号の波形図、第８図は第７図の同装置のビデオ信号の
２値化画像の概念図、第９図は第７図のビデオ信号の別
の例を示す概念図である。 ２０・・・・・・プリント配線板、３０・・・・・・２
色性ミラー、３１、４２・・・・・・第り第２の一次元
ラインセンサ、３２゜４２・・・・・・第１、第２の２
値化手段、５ｏ・・・・・・反転処理手段、５１・・・
・・・スルーホール領域検出手段、Ｇｏ・・・・・・欠
陥検出部。 第６図 第４図 第６　図 第７図 （ａ） 第８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 プリント基板上に形成された配線パターンを照明し、前
   記配線パターンからの反射光を光電変換する画像入力手
   段と、 前記反射光の画像入力手段からの濃淡画像を２値画像に
   変換する２値化手段と、 前記パターン２値画像から配線パターンの特徴点を抽出
   する特徴抽出手段と、 前記配線パターンを照明し、スルーホールからの透過光
   を光電変換する画像入力手段と、 前記透過光の画像入力手段からの濃淡画像を２値画像に
   変換する２値化手段と、 前記透過画像から前記反射画像を参照しながらスルーホ
   ール領域を検出する領域検出手段と、前記スルーホール
   領域においては特徴点の抽出基準を切り替える切替手段
   とを具備する配線パターン検査装置。