JPH04196707A - 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 - Google Patents
圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法Info
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- JPH04196707A JPH04196707A JP2322372A JP32237290A JPH04196707A JP H04196707 A JPH04196707 A JP H04196707A JP 2322372 A JP2322372 A JP 2322372A JP 32237290 A JP32237290 A JP 32237290A JP H04196707 A JPH04196707 A JP H04196707A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の目的〉
「産業上の利用分野」
本発明は、周波数を測定しながらプラズマイオンエツチ
ングにより圧電素子の水晶振動子や弾性表面波素子の周
波数調整を行う周波数調整装置と周波数調整方法に関す
る。
ングにより圧電素子の水晶振動子や弾性表面波素子の周
波数調整を行う周波数調整装置と周波数調整方法に関す
る。
「従来の技術」
従来より圧電素子の周波数調整方法としては、励振電極
の上にさらに金属を蒸着して質量を増やして周波数を下
げて調整する方法がとられていた。
の上にさらに金属を蒸着して質量を増やして周波数を下
げて調整する方法がとられていた。
また最近ではイオンビームにより電極にイオンをぶつけ
ることによりエツチングし、周波数を上げる方法もとら
れている。第３図は、従来のイオンエツチングの原理説
明図である。イオンガン２０から発生するイオン粒子２
工を圧電素子２２に当てることにより電極の金属をエツ
チングして周波数を上げている。
ることによりエツチングし、周波数を上げる方法もとら
れている。第３図は、従来のイオンエツチングの原理説
明図である。イオンガン２０から発生するイオン粒子２
工を圧電素子２２に当てることにより電極の金属をエツ
チングして周波数を上げている。
「発明が解決しようとする課題」
しかし従来のイオンビームによるエツチングでは圧電素
子に飛んでくるイオン粒子がプラスやマイナスに帯電し
ており、圧電素子に帯電してしまうため、周波数を測定
しながらエツチングすると発振回路を破壊したり、正し
く周波数を測定出来ないため、測定とエツチングの工程
を分けてこれを繰り返して行う必要がある。
子に飛んでくるイオン粒子がプラスやマイナスに帯電し
ており、圧電素子に帯電してしまうため、周波数を測定
しながらエツチングすると発振回路を破壊したり、正し
く周波数を測定出来ないため、測定とエツチングの工程
を分けてこれを繰り返して行う必要がある。
「発明の目的」
本発明の目的は、前述した欠点を除去し、圧電素子の周
波数を測定しながらイオンビームによるエツチングによ
り周波数調整が出来る周波数調整装置と周波数調整方法
を提供することにある。
波数を測定しながらイオンビームによるエツチングによ
り周波数調整が出来る周波数調整装置と周波数調整方法
を提供することにある。
く本発明の構成〉
「課題を解決する手段」
そこで本発明では、イオンガンから発生するイオンのう
ち中性粒子のみを圧電素子にぶつけてエツチングを行っ
ている。中性粒子のみを得るためにイオンガンと圧電素
子との間にマグネットを記置して解決している。
ち中性粒子のみを圧電素子にぶつけてエツチングを行っ
ている。中性粒子のみを得るためにイオンガンと圧電素
子との間にマグネットを記置して解決している。
「作用」
本発明では、イオンガンと圧電素子との間にマグネット
があるため、プラスかマイナスに帯電したイオンはマグ
ネットによりその経路が曲がるため直進するのは中性粒
子のみであり、従来のように圧電素子に帯電することは
な（なり、エツチングしながら周波数の測定が出来るよ
うになる。
があるため、プラスかマイナスに帯電したイオンはマグ
ネットによりその経路が曲がるため直進するのは中性粒
子のみであり、従来のように圧電素子に帯電することは
な（なり、エツチングしながら周波数の測定が出来るよ
うになる。
「実施例」
第１図は、本発明の周波数調整装置の原理図である。イ
オンガン１は、本発明では中性粒子を発生し易いサドル
・フィールド型イオンガンが使用されている。
オンガン１は、本発明では中性粒子を発生し易いサドル
・フィールド型イオンガンが使用されている。
従来使用されていたイオンガンでは、ＥＣＲ（電子サイ
クロトロン共振型イオンガン）であり、マイクロ波で励
振されたイオンがイオンガン前面に記置されたグリッド
に直流電圧を印加されているため、加速され放出される
。ＥＣＲタイプでは中性粒子は少なくプラスやマイナス
に帯電したイオンが多く放出される。
クロトロン共振型イオンガン）であり、マイクロ波で励
振されたイオンがイオンガン前面に記置されたグリッド
に直流電圧を印加されているため、加速され放出される
。ＥＣＲタイプでは中性粒子は少なくプラスやマイナス
に帯電したイオンが多く放出される。
しかし本発明で使用されるイオンガン１は、第２図に示
す通り、ドーナツ状の陽極２と外周の陰極３とからなり
、陰極３には２個の放射孔４゜４′が開いている。内部
にアルゴン等のガスを導入しながら減圧し、ドーナツ状
の陽極２と外周の陰極３との間に直流電圧を印加するす
るとドーナツ杖電極の中心でイオンの振動が始まりプラ
ズマを発生させる。電子の放出によって陰極３に向かっ
て運動し、放出孔４，４“から飛び出していく。
す通り、ドーナツ状の陽極２と外周の陰極３とからなり
、陰極３には２個の放射孔４゜４′が開いている。内部
にアルゴン等のガスを導入しながら減圧し、ドーナツ状
の陽極２と外周の陰極３との間に直流電圧を印加するす
るとドーナツ杖電極の中心でイオンの振動が始まりプラ
ズマを発生させる。電子の放出によって陰極３に向かっ
て運動し、放出孔４，４“から飛び出していく。
この時マイナスイオンも同時に飛び出してプラスイオン
と中和して中性な粒子を発生させる。
と中和して中性な粒子を発生させる。
イオンビームのビーム方向に周波数調整する水晶振動子
５が記置されている。イオンガン１と水晶振動子５はチ
ャンバーの中に入れられ、アルゴン、酸素、フロン（Ｃ
Ｆ、）等のガスが入れられ１０−１〜１０”ｐａ（パス
カル）程度の真空度に維持されている。
５が記置されている。イオンガン１と水晶振動子５はチ
ャンバーの中に入れられ、アルゴン、酸素、フロン（Ｃ
Ｆ、）等のガスが入れられ１０−１〜１０”ｐａ（パス
カル）程度の真空度に維持されている。
イオンガン１と水晶振動子５との間にはリング吠のマグ
ネット６が記置され、このリング杖マグネット６の穴の
中をイオンが通過するとプラスやマイナスに帯電したイ
オンはマグネット６の磁界によって進路が曲げられ、真
っ直ぐ進むのは中性粒子だけとなる。本発明で使用され
るイオンガン１では中性粒子が多く発生しているが、そ
れでも帯電したイオンが含まれているため、それらイオ
ンをマグネット６によって除去される。
ネット６が記置され、このリング杖マグネット６の穴の
中をイオンが通過するとプラスやマイナスに帯電したイ
オンはマグネット６の磁界によって進路が曲げられ、真
っ直ぐ進むのは中性粒子だけとなる。本発明で使用され
るイオンガン１では中性粒子が多く発生しているが、そ
れでも帯電したイオンが含まれているため、それらイオ
ンをマグネット６によって除去される。
本発明によってイオンビームから発生するイオン流のう
ち中性粒子のみを水晶振動子にぶつけることが出来、水
晶振動子が帯電しないため、周波数を測定しながらエツ
チングが出来る。このため微妙な周波数調整が出来るよ
うになり、より精度の高い圧電素子が提供出来るように
なった。
ち中性粒子のみを水晶振動子にぶつけることが出来、水
晶振動子が帯電しないため、周波数を測定しながらエツ
チングが出来る。このため微妙な周波数調整が出来るよ
うになり、より精度の高い圧電素子が提供出来るように
なった。
なお本実施例では、圧電素子として水晶振動子を例に挙
げたが、他の圧電体であるタンタル酸リチウムや圧電セ
ラミックであってもよい。
げたが、他の圧電体であるタンタル酸リチウムや圧電セ
ラミックであってもよい。
また圧電素子として弾性表面波素子の周波数調整にも有
効である。
効である。
く本発明の効果〉
本発明による周波数調整方法および周波数調整装置によ
って、周波数を測定しながらエツチングによる周波数調
整が出来、従来に比べ調整工数が大幅に軽減出来、しか
もリアルタイムに周波数が測定されているため高精度な
周波数調整が可能となった。
って、周波数を測定しながらエツチングによる周波数調
整が出来、従来に比べ調整工数が大幅に軽減出来、しか
もリアルタイムに周波数が測定されているため高精度な
周波数調整が可能となった。
第１図は本発明の原理を示す説明図、第２図は本発明に
使用されるイオンビームの構造説明図、第３図は従来の
装置の原理説明図である。 １・・・・・・・・・イオンガン、 ５・・・・・・・・・圧電素子、 ８・・・・・・・・・マグネット
使用されるイオンビームの構造説明図、第３図は従来の
装置の原理説明図である。 １・・・・・・・・・イオンガン、 ５・・・・・・・・・圧電素子、 ８・・・・・・・・・マグネット
Claims (4)
- （１）周波数を調整すべき圧電素子にイオンビームを当
てて周波数を調整する圧電素子の周波数調整装置におい
て、イオンガンと周波数調整する圧電素子との間にマグ
ネットを記置したことを特徴とする圧電素子の周波数調
整装置。 - （２）イオンガンから発生するイオンビームをマグネッ
トを通すことにより中性粒子のみを圧電素子に当てて周
波数を調整する圧電素子の周波数調整方法。 - （３）該イオンガンがサドル・フィールド型イオンガン
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧
電素子の周波数調整装置 - （４）該圧電素子が弾性表面波素子であることを特徽と
する特許請求の範囲第２項記載の圧電素子の周波数調整
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32237290A JP2626928B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32237290A JP2626928B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04196707A true JPH04196707A (ja) | 1992-07-16 |
| JP2626928B2 JP2626928B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=18142911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32237290A Expired - Lifetime JP2626928B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧電素子の周波数調整装置および周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2626928B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0730355A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-01-31 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の周波数調整方法および装置 |
| EP0724334B2 (en) † | 1995-01-24 | 2004-01-02 | CTS Corporation | Double-sided oscillator package |
| US6707228B2 (en) | 2000-03-31 | 2004-03-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for adjusting frequency of electronic component |
| JP2005204287A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-28 | Showa Shinku:Kk | 圧電デバイスの周波数調整装置及び方法、並びに圧電デバイス |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP32237290A patent/JP2626928B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0730355A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-01-31 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の周波数調整方法および装置 |
| EP0724334B2 (en) † | 1995-01-24 | 2004-01-02 | CTS Corporation | Double-sided oscillator package |
| US6707228B2 (en) | 2000-03-31 | 2004-03-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for adjusting frequency of electronic component |
| JP2005204287A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-28 | Showa Shinku:Kk | 圧電デバイスの周波数調整装置及び方法、並びに圧電デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2626928B2 (ja) | 1997-07-02 |
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