JPH04195801A - 磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ディスク装置Info
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- JPH04195801A JPH04195801A JP32289390A JP32289390A JPH04195801A JP H04195801 A JPH04195801 A JP H04195801A JP 32289390 A JP32289390 A JP 32289390A JP 32289390 A JP32289390 A JP 32289390A JP H04195801 A JPH04195801 A JP H04195801A
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
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- G—PHYSICS
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
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- G11B5/3109—Details
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- G11B5/3133—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＣ，Ｓ、Ｓ、方式の磁気ディスク装置に係り、
特に、ヘッドクラッシュを起こさず記録再生特性を向上
させる磁気ディスク装置に関する。
特に、ヘッドクラッシュを起こさず記録再生特性を向上
させる磁気ディスク装置に関する。
従来の磁気ディスク装置に使用されている簿膜磁気ヘッ
ドは、浮上スライダ面と磁束ギャップ部とが同一平面上
に位置するタイプのものである。
ドは、浮上スライダ面と磁束ギャップ部とが同一平面上
に位置するタイプのものである。
現在、薄膜磁気ヘッドの浮上量は０．１〜０．２μｍ程
度であるが、記録密度の大容量化に伴って０．１μｍ以
下に抑える必要がある。これは電磁気特性の点から記録
再生用の磁束ギャップ部と磁気記録媒体との距離を小さ
くする必要があるためである。ところが、浮上量を低く
すると、ヘッドクラッシュなどの事故が起きやすくなる
。これに対して特開昭６２−２２３８１０号公報に記載
の磁気ヘッドは、スライダ面より磁束ギャップ面が磁気
記録媒体側に突き出した形状をしており、浮上量を高く
保ったまま高記録密度化に対応できるものである。この
場合、問題となるのは、磁気記録媒体が停止した時にヘ
ッドクラッシュを起こすことにあり、前述公報では媒体
停止時にピエゾ素子等でヘッドの高さを調整して磁気ヘ
ッドと磁気記録媒体面とを非接触に保持するロード、ア
ンロード方式を用いている。ところがこの方式では、ア
ームが重くなりアクセス速度が遅くなるとともに、高さ
調節機構がこわれやすいという問題がある。
度であるが、記録密度の大容量化に伴って０．１μｍ以
下に抑える必要がある。これは電磁気特性の点から記録
再生用の磁束ギャップ部と磁気記録媒体との距離を小さ
くする必要があるためである。ところが、浮上量を低く
すると、ヘッドクラッシュなどの事故が起きやすくなる
。これに対して特開昭６２−２２３８１０号公報に記載
の磁気ヘッドは、スライダ面より磁束ギャップ面が磁気
記録媒体側に突き出した形状をしており、浮上量を高く
保ったまま高記録密度化に対応できるものである。この
場合、問題となるのは、磁気記録媒体が停止した時にヘ
ッドクラッシュを起こすことにあり、前述公報では媒体
停止時にピエゾ素子等でヘッドの高さを調整して磁気ヘ
ッドと磁気記録媒体面とを非接触に保持するロード、ア
ンロード方式を用いている。ところがこの方式では、ア
ームが重くなりアクセス速度が遅くなるとともに、高さ
調節機構がこわれやすいという問題がある。
上記従来技術は、記録再生時に浮上量を高く保持したま
ま記録再生特性を向上させるものであるが、磁気記録媒
体停止時にはアームの移動が遅く、こわれやすいロード
、アンロード方式を採用するものである。
ま記録再生特性を向上させるものであるが、磁気記録媒
体停止時にはアームの移動が遅く、こわれやすいロード
、アンロード方式を採用するものである。
本発明の目的は、薄膜磁気ヘッドとそれに対しＣ，Ｓ、
Ｓ、方式に適したスパッタ媒体を提供することにある。
Ｓ、方式に適したスパッタ媒体を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は非磁性基板上に電
気導体、絶縁体、磁性体を積み重ねるようにして製造さ
れる薄膜磁気ヘッドとスパッタ媒体の組み合わせにより
Ｃ，Ｓ、Ｓ、方式の磁気ディスク装置において、スライ
ダ面から磁束ギャップ部が磁気記録媒体側に０．０５〜
０．１５μｍ程度突き出している薄膜磁気ヘッドと対向
する磁気記録媒体上に少なくとも一組以上のＣ，Ｓ、Ｓ
、のための溝を形成したスパッタ媒体を用いて磁気ディ
スク装置を構成する。
気導体、絶縁体、磁性体を積み重ねるようにして製造さ
れる薄膜磁気ヘッドとスパッタ媒体の組み合わせにより
Ｃ，Ｓ、Ｓ、方式の磁気ディスク装置において、スライ
ダ面から磁束ギャップ部が磁気記録媒体側に０．０５〜
０．１５μｍ程度突き出している薄膜磁気ヘッドと対向
する磁気記録媒体上に少なくとも一組以上のＣ，Ｓ、Ｓ
、のための溝を形成したスパッタ媒体を用いて磁気ディ
スク装置を構成する。
薄膜磁気ヘッドは非磁性基板上にＮｉ Ｆｅやｃｏ系磁
性合金等の磁性材料により成る磁気コアと、Ｃｕ等の電
気導体により成るコイル、ＰＩＱやフォトレジスト等の
コイルの絶縁体、ＡＱ２０゜等の保護膜をスパッタリン
グ、メッキ、エツチング等の薄膜技術を用いて作成した
後にスライダ形状に加工している。このスライダ浮上面
に磁束ギャップが形成される。磁束ギャップは上部磁気
コアと下部磁気コアの間にＡｆｌ、Ｏ，等の非磁性体を
はさんだ構造をしていて、この部分が磁気記録媒体に記
録再生を行なう。本発明のヘッドはスライダ加工後に、
機械的切削やフォトリングラフィ技術を用いて磁束ギャ
ップ周辺を除くスライダを所定深さだけ削ることによっ
て得られる。
性合金等の磁性材料により成る磁気コアと、Ｃｕ等の電
気導体により成るコイル、ＰＩＱやフォトレジスト等の
コイルの絶縁体、ＡＱ２０゜等の保護膜をスパッタリン
グ、メッキ、エツチング等の薄膜技術を用いて作成した
後にスライダ形状に加工している。このスライダ浮上面
に磁束ギャップが形成される。磁束ギャップは上部磁気
コアと下部磁気コアの間にＡｆｌ、Ｏ，等の非磁性体を
はさんだ構造をしていて、この部分が磁気記録媒体に記
録再生を行なう。本発明のヘッドはスライダ加工後に、
機械的切削やフォトリングラフィ技術を用いて磁束ギャ
ップ周辺を除くスライダを所定深さだけ削ることによっ
て得られる。
スパッタ媒体は、ＡＱ金合金の基板上にＮｉＰ等の下地
膜、Ｃｒ等の中間膜、ｃｏ系合金等の磁性膜、Ｃ等の保
護膜をスパッタリング技術を用いて積層し、表面に潤滑
膜を設けることにより得られる。本発明の磁気記録媒体
は、保護膜をスパッタした後所定の深さまでフォトリン
グラフィ技術を用いて溝を堀り下げることにより得られ
る。
膜、Ｃｒ等の中間膜、ｃｏ系合金等の磁性膜、Ｃ等の保
護膜をスパッタリング技術を用いて積層し、表面に潤滑
膜を設けることにより得られる。本発明の磁気記録媒体
は、保護膜をスパッタした後所定の深さまでフォトリン
グラフィ技術を用いて溝を堀り下げることにより得られ
る。
本発明の磁気ディスク装置に用いられる薄膜磁気ヘッド
は、スライダ面が磁気記録媒体に対して大きな浮上量を
保持しながら、磁束ギャップ部のみが磁気記録媒体に近
づいているので、ヘッドクラッシュを起こさずに容易に
高配に１＠度化に対応できる。また、スパッタ媒体上に
溝を設けたＣ１Ｓ、Ｓ、部をつくることにより、ロード
、アンロード方式に比ベアームが軽くなり高速応答が可
能となるうえに、ロード、アンロード時のふらつきによ
るヘッドクラッシュ、また、ヘッドの浮上量調整系の故
障等がなくなる。
は、スライダ面が磁気記録媒体に対して大きな浮上量を
保持しながら、磁束ギャップ部のみが磁気記録媒体に近
づいているので、ヘッドクラッシュを起こさずに容易に
高配に１＠度化に対応できる。また、スパッタ媒体上に
溝を設けたＣ１Ｓ、Ｓ、部をつくることにより、ロード
、アンロード方式に比ベアームが軽くなり高速応答が可
能となるうえに、ロード、アンロード時のふらつきによ
るヘッドクラッシュ、また、ヘッドの浮上量調整系の故
障等がなくなる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。磁気
ヘッドのスライダ本体１１は矢印２４方向に高速回転す
る磁気記録媒体２１に対して空気流の動圧効果で磁気記
録媒体２１の法線方向に浮にしている。磁気記録媒体２
１と平行な平面内の位置決めは図示していない支持ばね
とアーム部により行なわれる６スライドレールのスライ
ダ浮上面１７より高さｈｏだけ突き出した所に記録再生
用の磁束ギャップ部１６が設けである。また、磁気記録
媒体２１は所定のＣ，Ｓ、Ｓ、部に深さｈｌの溝を設け
である。本発明の構造上の特長は薄膜磁気ヘッドの磁束
ギャップ部１６を突き出させ、かつ、磁気記録媒体２１
にＣ，Ｓ、Ｓ、用の溝２２を堀り込ませた点にある。
ヘッドのスライダ本体１１は矢印２４方向に高速回転す
る磁気記録媒体２１に対して空気流の動圧効果で磁気記
録媒体２１の法線方向に浮にしている。磁気記録媒体２
１と平行な平面内の位置決めは図示していない支持ばね
とアーム部により行なわれる６スライドレールのスライ
ダ浮上面１７より高さｈｏだけ突き出した所に記録再生
用の磁束ギャップ部１６が設けである。また、磁気記録
媒体２１は所定のＣ，Ｓ、Ｓ、部に深さｈｌの溝を設け
である。本発明の構造上の特長は薄膜磁気ヘッドの磁束
ギャップ部１６を突き出させ、かつ、磁気記録媒体２１
にＣ，Ｓ、Ｓ、用の溝２２を堀り込ませた点にある。
磁束ギャップ部を突き出させ、また磁気記ＢＩｌｌ。
体に溝を堀る方法としては５例えば、エツチング方法を
用いて作ることができる。
用いて作ることができる。
現在、薄膜磁気ヘットに用いられているスライダの浮上
面寸法は約０．３５Ｘ４ｍｍ２のものが一対である。磁
束ギャップの突き出し部分は、トラック幅をＴｗ（現在
約１０μｍ）とすると、Ｔｗ≦Ｗ。 ≦２ＴＷ Ｉ Ｑ
ｏ ≦５０μｍ程度が望ましいので、その面積は高’／
０．０２ Ｘ Ｏ，０５ａｎ２ が一対であり、浮上
面に比べかなり小さいことがわかる。
面寸法は約０．３５Ｘ４ｍｍ２のものが一対である。磁
束ギャップの突き出し部分は、トラック幅をＴｗ（現在
約１０μｍ）とすると、Ｔｗ≦Ｗ。 ≦２ＴＷ Ｉ Ｑ
ｏ ≦５０μｍ程度が望ましいので、その面積は高’／
０．０２ Ｘ Ｏ，０５ａｎ２ が一対であり、浮上
面に比べかなり小さいことがわかる。
また、磁気記録媒体の保護膜表面とスライダ浮上面の間
の距離で定義される浮」１量は０．１μｍ程度であるの
で突き出し量は０．０１≦ｈ０≦０．１μｍ程度となり
、これに対し、磁気記録媒体上のＣ，Ｓ、Ｓ、用溝部の
大きさは、ｌＩｉ２Ｔｗ≦Ｗ工≦５Ｔｗ、深さ０．０２
≦ｈ、≦０．２μｍ程度となる。
の距離で定義される浮」１量は０．１μｍ程度であるの
で突き出し量は０．０１≦ｈ０≦０．１μｍ程度となり
、これに対し、磁気記録媒体上のＣ，Ｓ、Ｓ、用溝部の
大きさは、ｌＩｉ２Ｔｗ≦Ｗ工≦５Ｔｗ、深さ０．０２
≦ｈ、≦０．２μｍ程度となる。
薄膜磁気ヘッドは通常、一つのスライダ上に二個のって
いるので、磁気記録媒体上の溝は第２図に示すように対
で存在する必要がある。しかし、実際の装置ではこのう
ち一個のヘラ）・シが用いないので、使わない方のヘッ
ドの磁束ギャップ部をスライダ面まで削り落とした場合
には、第３図に示すように磁気記録媒体上の溝の数をへ
らし記録可能領域を増やすこともできる。
いるので、磁気記録媒体上の溝は第２図に示すように対
で存在する必要がある。しかし、実際の装置ではこのう
ち一個のヘラ）・シが用いないので、使わない方のヘッ
ドの磁束ギャップ部をスライダ面まで削り落とした場合
には、第３図に示すように磁気記録媒体上の溝の数をへ
らし記録可能領域を増やすこともできる。
磁気ギャップの突き出し部分の形状を第４図に示すよう
にした場合には、記録再生時に薄膜磁気ヘットと磁気記
録媒体が接触した場合でもヘッドクラッシュ等の事故は
起きにくくなる。
にした場合には、記録再生時に薄膜磁気ヘットと磁気記
録媒体が接触した場合でもヘッドクラッシュ等の事故は
起きにくくなる。
また、磁気記録媒体の溝を第５図に示すような形状にし
た場合には、Ｃ，Ｓ、Ｓ、時に何らかの原因によって左
右方向のぶれが起きてもヘッドクラッシュ等の事故は起
きにくくなる。
た場合には、Ｃ，Ｓ、Ｓ、時に何らかの原因によって左
右方向のぶれが起きてもヘッドクラッシュ等の事故は起
きにくくなる。
これより先、高密度記録化すると薄膜磁気ヘットは従来
のインダクティブ型から再生用ヘットとして磁気抵抗素
子を用いて複合型ヘッドへとかわっていくものと予想さ
れるが、本発明による４ｉ造はこの複合型ヘットにも適
用できるのは言うまでもない。
のインダクティブ型から再生用ヘットとして磁気抵抗素
子を用いて複合型ヘッドへとかわっていくものと予想さ
れるが、本発明による４ｉ造はこの複合型ヘットにも適
用できるのは言うまでもない。
本発明によれば、薄膜磁気ヘッドの浮上量を従来通り高
く保ったままで磁束ギャップと磁気記録媒体との距離を
小さくすることができ、またアームの移動が速いＣ，Ｓ
、Ｓ、方式を使えるため、安定な浮上系のままで磁気記
録密度の高い磁気ディスク装置を提供することができる
。
く保ったままで磁束ギャップと磁気記録媒体との距離を
小さくすることができ、またアームの移動が速いＣ，Ｓ
、Ｓ、方式を使えるため、安定な浮上系のままで磁気記
録密度の高い磁気ディスク装置を提供することができる
。
第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図は本発明の
正面図、第３図は本発明の第二の実施例の正面図、第４
図は本発明の第三の実施例の（ａ）ヘッドの側面断面図
、（ｂ）ヘッドの正面図、第５図は本発明の第四の実施
例の磁気記録媒体の断面図である。 １１・・スライダ本体、１２・・ヘッド保護膜、１３・
・・下部磁性膜、１４・・上部磁性膜、１５・・コイル
、１６・・・磁束ギャップ、１７・・スライダ浮上面、
２１・・・磁気記８媒体、２２・・・Ｃ，Ｓ、Ｓ、用溝
部、２３・・・磁気記録信号、２４・・・媒体回転方向
。
正面図、第３図は本発明の第二の実施例の正面図、第４
図は本発明の第三の実施例の（ａ）ヘッドの側面断面図
、（ｂ）ヘッドの正面図、第５図は本発明の第四の実施
例の磁気記録媒体の断面図である。 １１・・スライダ本体、１２・・ヘッド保護膜、１３・
・・下部磁性膜、１４・・上部磁性膜、１５・・コイル
、１６・・・磁束ギャップ、１７・・スライダ浮上面、
２１・・・磁気記８媒体、２２・・・Ｃ，Ｓ、Ｓ、用溝
部、２３・・・磁気記録信号、２４・・・媒体回転方向
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、非磁性基板上に電気導体、絶縁体、磁性体を積み重
ねるようにスパッタ、メッキおよびエッチングなどの技
術を利用して製造される薄膜磁気ヘッドとスパッタ媒体
の組み合わせによりなるコンタクト・スタート・アンド
・ストップ方式の磁気ディスク装置において、 スライダ面から磁気記録再生を行なう電磁変換部が記録
媒体側に突き出している磁気ヘッドと、対向する磁気記
録媒体上に少なくとも一組の前記コンタクト・スタート
・アンド・ストップのための溝を形成したスパッタ媒体
とから構成されることを特徴とする磁気ディスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32289390A JPH04195801A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32289390A JPH04195801A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 磁気ディスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04195801A true JPH04195801A (ja) | 1992-07-15 |
Family
ID=18148794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32289390A Pending JPH04195801A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04195801A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6879462B2 (en) | 2001-02-14 | 2005-04-12 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head capable of being increased in shape freedom of support and magnetic head device using the magnetic head |
| CN111863037A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-10-30 | 粤融(广州)科技有限公司 | 一种避免位移时因异常造成的撞击声的计算机腔体装置 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP32289390A patent/JPH04195801A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6879462B2 (en) | 2001-02-14 | 2005-04-12 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head capable of being increased in shape freedom of support and magnetic head device using the magnetic head |
| CN111863037A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-10-30 | 粤融(广州)科技有限公司 | 一种避免位移时因异常造成的撞击声的计算机腔体装置 |
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