JPH04184241A - 粒子分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は細管を流れる粒子にレーザ光を照射し、粒子か
ら発散する散乱光や蛍光の強度を分析する粒子分析装置
に係り、特にガウス分布を持つレーザビームのビーム断
面における強度分布形状を平坦化するに好適なビーム強
度平坦化装置を備えた粒子分析装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、懸濁液サンプル中の粒子を速く効率的に識別でき
る方法の１つに流動細胞測定法がある。

この方法では、粒子の懸濁液、典型的には血液サンプル
中の細胞がフローセルの微小断面の流路を通して流され
、そこで血液サンプル中の個々の粒子がレーザビームで
照射される。そして個々の粒子とレーザビームの相互作
用の結果が、一つもしくは複４数の光検出装置により検
出される０通常、光検出装置は特定の散乱角度における
光の散乱または特定の波長の蛍光を測定するように設計
されている。こうして、ブローセルを流れる個々の粒子
は、散乱光、蛍光もしくは他の光学的または電気的特性
について関連した一つ以上の特性について特徴づけられ
る。それらの特性によって、個々の粒子は検出器で測定
される光の強さまたは他の特性を軸とする特徴空間の中
に写像される。理想的にはサンプル中の異なった種類の
粒子が特徴空間の中の重複しない領域に写像され、特徴
空間におけるその写像に基づいて個々の粒子の種類が推
定できるとよい０粒子の分析精度を向上させるため、フ
ローセル内の流れをつくる方法としてシースフロ一方式
が採用され、この方式によれば微小断面流路の中の中心
部分のみを血液サンプルが流れる。

レーザビームのビーム断面における強度分布は、第９図
に示すように中心部が高く周辺部が低いガウス分布にな
っている０粒子分析装置などの光源として使う場合には
強度分布が一様である必要があるために、従来レーザビ
ーム径を血液の流れに対して垂直な方向（輻方向）にの
み拡大した楕円ビームを用いてその中心部分のみを利用
することが行われてきた。ガウス分布のレーザビームは
一般に強度分布が中心強度の１／ｅ８となる径ｄをもっ
てビームの大きさとしている。照射領域幅Ｓの範囲内で
の強度の均一度Ｕをｉ　／　Ｉで定義すると、ｄ／Ｓを
大きくするほど均一度Ｕは高くなる。

しかし、ｄ／Ｓを大きくした場合、レーザビームの持つ
エネルギのうち、照射領域幅Ｓの中で利用できる割合は
小さくなってしまう、従って、ガウス分布のレーザビー
ムを用いる限り均一度Ｕとエネルギ効率Ｅを同時に高く
することはできない。

均一度Ｕとエネルギ効率Ｅを同時に高くするためにはレ
ーザビームの強度分布をガウス分布より効率のいい形に
変換する必要がある。

レーザビームを平坦化する装置としては、特開平１−２
１０９２３号公報に記載の装置などがある。これは、プ
リズムの稜線を用いて、ガウス分布のビームを分割し１
強度分布を反転して重ね合わせることにより強度分布を
平坦化するものであった。この方法でエネルギ効率Ｅを
向上することができ、アライメントレーザ等に用いるこ
とができるが、粒子分析装置の光源として用いるには適
していない、それは、粒子分析装置では、必要な照射領
域幅が２０μｍ程度と小さいため、ガウス分布のビーム
を分割した場合干渉縞が発生して強度分布が滑らかにな
らないこと、及び、レーザビームの光軸とプリズムの中
心軸がわずかでもずれると得られるビームの強度分布が
非対称になり。

均一度Ｕが低下してしまうことによる。

そこで本出願人は特願平１−２７９４８７にて簡単な構
成でビーム強度を平坦化した粒子分析装置を提案した。

これはガウス分布のレーザビームをウォラストンプリズ
ムで微小角度を持たせて分離し、集光レンズで粒子の通
過領域に照射するものである。この方法では、レーザビ
ームを偏光成分によって分離し、偏光成分が直行したま
ま重ね合わせるために、照射領域では互いに干渉しない
レーザビームがある間隔をおいて重なった状態になって
いる６個々のレーザビームはガウス分布を保っているた
めに、干渉縞が生じない、またプリズムの稜線の部分を
使わないので、光軸とプリズムの中心軸を高精度に一致
させる必要がないなどの利点があった。

〔発明が解決しようとする課題〕

粒子分析装置では、分析対象によってレーザビームの照
射領域の大きさやレーザビームの強度を変更する必要が
ある。例えば、血液中の赤血球の分析を行う場合には、
赤血球は単位容積当りに含まれる数が非常に多いために
、フローセルに流すサンプル液の量を小さくするので、
照射領域を狭くしてよい、さらに、赤血球の中の網状赤
血球の比率を検出するには、網状赤血球から放射される
蛍光の強度を高めるために、照射するレーザビームのエ
ネルギ密度を高める必要がある。この場合は、照射領域
の均一度を多少落としてもエネルギ密度を高くした方が
効果的である。また、血液中の白血球の分析を行うため
には、白血球が赤血球に比べて単位容積当りの数が１／
７００と少ないために、フローセルに流すサンプル液の
量を多くしなければならない、そのため、サンプル液の
流れる領域の幅が大きくなるので、照射領域を広くしな
ければならない、この場合は、レーザビームのエネルギ
密度が低くても白血球から放射される蛍光の強度は高い
が、別の種類の白血球細胞と精度よく分類するには、レ
ーザビームの照射均一度を高める必要がある。また、リ
ンパ球のサブセットの分類を行う場合には、照射均一度
を多少下げても、照射領域を広げ、かつエネルギ密度を
高くする必要がある。このように、粒子分析装置では分
析対象によってレーザビームの照射領域の大きさと領域
内の照射均一度を独立に変更することが必要である。

従来のビーム強度平坦化装置を用いた粒子分析装置では
、レーザビームが均一に照射している領域の大きさと領
域内での照射の均一度を自由に変更することができなか
った。２つのガウス分布のビームを重ね合わせると、照
射面では第２図に示すように、強度分布形状は個々のビ
ームの径ｄとビーム間隔Ｈで決まってしまう、ビーム径
ｄは、収束レンズ２に入射するレーザビームの径りと収
束レンズ２の焦点距離ｆ、レーザ光の波長λを用いて、
　　　　　ｄ＝（４／π）・ｆ・λ／Ｄであられされる
。また、照射面での２つのビームの間隔Ｈは、ウォラス
トンプリズム８の分岐角度θｄを用いて、 Ｈ＝ｆ・θｄ で近似できる０分岐角度θｄはウォラストンプリズム８
の幾何学的形状で決定されてしまうので自由に変更でき
ない、収束レンズ２に焦点距離ｆが異なるレンズを用い
ても強度分布は相似な形状のまま拡大、縮小するだけで
ある。粒子分析装置では、照射領域の大きさを変更する
だけでなく照射均一度も変更する必要があるので強度分
布形状も変える必要がある０強度分布の形状を変更する
ためには、ビーム径りの異なるレーザ光源を用いるか１
分岐角度　θｄの異なるウォラストンプリズムを用いね
ばならず、高価になるという欠点があった。

また、粒子分析装置の照射領域を変更する場合以外にも
、レーザ光源を交換したときなどにも強度分布形状を変
更する必要がある。第２図は個々のビーム径ｄとビーム
間隔Ｈの比Ｈ／ｄが０．５３０の場合の比較的平坦な強
度分布であるが、Ｈ／ｄが０．６０７の場合の強度分布
形状は第３図のように二つの山形になる。レーザ光源に
よってビーム径は差があるが、ビーム径ｄが１５％変化
するだけで強度分布が第３図のように変化し照射均一度
が下がってしまう、従来の粒子分析装置では、レーザ光
源のビーム径の誤差によって照射均一度が低下して、分
析精度が悪くなるという欠点があった。

本発明の目的は、レーザ光が均一に照射する領域の大き
さと、その領域内の照射均一度を簡単に変更でき、分析
精度の高い粒子分析装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本粒子分析装置は、フロー
セルに被検粒子の懸濁液を供給する液供給手段と該懸濁
液中の被検粒子にレーザ光を照射する光学手段と、該被
検粒子の像を結像させる集光手段と、該被検粒子から発
散する光を検出する光検出手段と、該検出された光から
前記被検粒子を分析する分析手段とを備えた装置におい
て、前記光学手段と前記フローセルの間のレーザ光の経
路上に、該レーザ光をビーム径と同等あるいはそれ以下
の間隔を隔てたビームに分岐するビーム分岐素子系を含
み、該光学手段と該ビーム分岐素子系の間のレーザ光の
経路上焦点距離または拡大率可変の変換レンズ系を、該
ビーム分岐素子系と該フローセルの間のレーザ光の経路
上に収束レンズ系を含むことを特徴している。

そして、変換レンズ系は拡大率の異なる複数の変換レン
ズ・サブ系から構成しそれぞれの光軸がレーザ光の光軸
に平行でかつ該レーザ光の光軸を含む面内で移動させる
機構としてもよく、またビーム分岐素子系は分岐角度の
異なる複数のビーム分岐素子・サブ系から構成しそれぞ
れの光軸がレーザ光の光軸に平行でかつ該レーザ光の光
軸を含む面内で移動させる機構としてもよく、さらに収
束レンズ系は収束率の異なる収束レンズ・サブ系から構
成しかつそれぞれの光軸が前記レーザ光の光軸に平行で
かつ該レーザ光の光軸を含む面内で移動させる機構とし
てもよい。

またビーム分岐素子系及びそのサブ系はそれぞれレーザ
光進行方向に順次配列された１／２波長板とウォラスト
ンプリズムで構成するのがよく、あるいはビーム分岐素
子系は分割プリズムから構成することもできる。

また収束レンズ系は２枚のシリンドリカルレンズで構成
し、該２枚のシリンドリカルレンズの一方は懸濁液の流
れ方向と平行に他方は該流れ方向に光を収束するように
設置するのがよい、また収束レンズ系は拡大率可変のレ
ンズ組み合わせで構成することもできる。

〔作用〕

本発明の粒子分析装置において、レーザ光はビーム分岐
素子により２つのビームに分離される。

それぞれのビームは収束レンズで照射面に焦点を結ぶが
、そのスポット位置はそれらのビームの径と同等または
それ以下の間隔で隔たっている。収束レンズはレーザ光
源から見てビーム分岐素子の背後にあるため収束レンズ
の焦点距離を変えるとビーム径及びスポット間隔が同じ
割合で変化する。

変換レンズはビーム分岐素子よりもレーザ光源側にある
ために、変換レンズの焦点距離や拡大率を変化させると
スポットの間隔はあまり変化せずにビーム径のみが大き
く変化する。したがって、変換レンズを変更することに
よりビームの重なり具合いを変化させることができ、照
射領域内の強度の均一度を変更することができる。

〔実施例〕

本発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図は本発明の第１実施例の細胞分析装置の主要部分
の構成を示す図である。レーザ光源１５から出射するレ
ーザビーム３の光軸の延長上に変換レンズ系４．１／２
波長板７、ウォラストンプリズム８、収束レンズ２ａ、
２ｂ、フローセル１、ビーム、トラップ１１が順次配置
されている。フローセル１からレーザビーム３の進行方
向には、集光レンズ６、ダイクロイックミラー２１ａ、
２１ｂが順次設置され、そのダイクロイックミラー２１
ａ、２１ｂの透過光路上及び２つの反射光路上に、それ
ぞれフィルタ２２　（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ）、結像
レンズ２３　（２３ａ、２３ｂ、２３ｃ）、スリット２
４　（２４ａ、２４ｂ、２４ｃ）、光検出器１０　（１
０ａ、１０ｂ、１０ｃ）からなる検出系が３組配置され
ている。フローセル１にはシース液供給器１９とサンプ
ル液供給器２０からそれぞれシース液と被検粒子を懸濁
したサンプル液が送られる。光検出器１０　ａ　、、　
１０　ｂ　、　１０Ｃには分析器１７が接続され分析器
１７には表示器１８が接続されている。また、制御器１
６が分析器１７およびシース液供給器１９、サンプル液
供給器２０に接続されている。

フローセル１の中を、細胞を特異的に染色する蛍光染料
で染色した細胞の懸濁液をシースフローを形成して流し
、フローセル１中の観測点５においてレーザビーム３で
照射すると細胞が光を発散する。細胞から発散する光に
は、蛍光、散乱光などが含まれるが、それらの強度は細
胞の種類、性質によって変化する。それらの光は集光レ
ンズ６で平行光線に変換された後、ダイツクロイツクミ
ラー２１ａ、２１ｂで各検出系に導かれる。ダイツクロ
イツクミラー２１ａは、波長の長い蛍光を反射し、それ
以外の光を透過する。ダイツクロイツクミラー２１ｂは
、波長の短い蛍光を反射し、散乱光を透過する。フィル
タ２２ａは、レーザビーム３と同じ波長の散乱光のみを
透過する狭帯域フィルタである。結像レンズ２３ａは観
測点５から発散される散乱光の像をスリット２４ａの面
上に結ぶ。スリット２４ａは、Ｉｌ測点５から発する散
乱光の結像領域よりも大きな矩形スリットであり、観測
点５から出た散乱光は制限せずに光検出器１０ａの検出
面上に透過し、他の迷光成分は除外される。こうして光
検出器１０ａでは細胞から発散される散乱光のみが検出
される。同様に、光検出器１０ｂ及び光検出器１０ｃで
は、それぞれ細胞から発散される緑色蛍光、及び、赤色
蛍光のみが検出される。ここで、フィルタ２２ｂ及び２
２ｃは、それぞれ緑色蛍光及び赤色蛍光のみを透過する
狭帯域フィルタである。個々の細胞からの散乱光、緑色
蛍光、赤色蛍光の分析をすることにより血液サンプル中
に含まれる種々の細胞の個数や比率を得ることができる
。

第１実施例において変換レンズ系４はズームレンズ系を
構成しており、レンズ間隔を変えることにより焦点距離
を変更可能である。１／２波長板はレーザビーム３の偏
光面を４５度回転する方向に結晶軸を向けて取り付けて
あり、さらに結晶軸方向が回転可能になっている。ウォ
ラストンプリズム８はフローセル１の流路方向に直交す
る面内で光線を分岐する向きに取り付けである。収束レ
ンズ系２ａ及び２ｂは光軸方向に移動可能に取り付けら
れた焦点距離の異なる２枚のシリンドリカルレンズであ
り２ａは懸濁液の流れに直交する方向、２ｂはその流れ
に平行な方向にレーザビームを収束させる。レーザ光源
１５を出射したレーザビーム３は小さな角度で広がって
いる。変換レンズ系４により広がり角度を一旦変更され
た後、収束レンズ２によってビーム径が縮小され、フロ
ーセル１中の観測点５でレーザビーム３のビーム径は最
も小さくなる。１７２波長板７、及びウォラストンプリ
ズム８は両面が平行なためにビーム径に与える影響は小
さい、また、レーザビーム３の偏光面はレーザ光源１５
から出射した時点で水平方向であるが、１／２波長板を
通過する際に垂直から４５度方向に偏光面が回転する。

ウォラストンプリズム８は、レーザビーム３を水平な偏
光成分と垂直な偏光成分とに分岐する。その分岐角度θ
ｄはプリズムの形状で決まっている。２つに分岐したレ
ーザビームは収束レンズ系２で観測点５に収束されるが
、収束レンズ系を構成している２枚のシリンドリカルレ
ンズの焦点距離が違うために収束したビームは、懸濁流
の流れに平行な方向より垂直な方向の方が径が小さい楕
円ビームとなっている。レーザビームは２つに分岐して
いるために２つの楕円ビームとして収束する。

観測点５における２つのレーザビームの流れに垂直な面
内のビーム径をｄ、間隔をＨとすると強度分布は第２図
のようにほぼ平坦になる。図で個々のレーザビームの強
度分布を破線、合成された強度分布を実線で示しである
９第２図は、Ｈ／ｄが０．５３０の場合であるが、計算
によると、Ｈ／ｄが０．５以上になると強度分布の中心
に凹みをもち、その両側に最大値がある形状になる。こ
のような場合に最大値をとる点の外側まで含めた領域内
の照射の均一度は中心上の強度と最大の強度の比以下に
なる。第４図はビーム間隔と光強度均一度の関係を示す
図で、Ｈ／ｄを変化させた場合の中心上の強度と最大強
度の比を計算した結果である。ビーム間隔とビーム径の
比Ｈ／ｄを変えると強度比が大きく変化するので、必要
な照射均一度に合わせてビーム間隔とビーム径の比を精
度□よく設定する必要がある。また、このような場合に
最も効率よくレーザビームのエネルギを利用するには、
強度が最大となる点の外側で、中心の凹みと同じ強度と
なる点までの領域を利用することである。その領域は第
２図のＳで示した。レーザビームの持つエネルギの内、
領域Ｓに含まれる割合がエネルギ効率Ｅである。第５図
はこのように選んだ領域Ｓに対するエネルギ効率Ｅと均
一度Ｕの関係を計算した結果である。均一度Ｕを１に近
付けるとエネルギ効率Ｅが急激に小さくなるので均一度
Ｕを必要以上に高くするとレーザビームのエネルギ密度
を確保するためにはレーザ光源１５の出力を大きくする
必要がある。したがって用途に合わせて必要な均一度Ｅ
及び、照射領域の＠Ｓを定めて、それに合わせて、ビー
ム間隔Ｈとビーム径ｄを設定する必要がある。

第１図の実施例の場合はビーム間隔Ｈは、収束レンズ系
２ａの焦点距離ｆａとウォラストンプリズム８の分岐角
度　θｄを用いて Ｈ＝ｆａ・θｄ で近似できる。またビーム径ｄは収束レンズ２ａに入射
するレーザビーム径りとレーザの波長λを用いて、 ｄ＝　（４／π）・ｆａ・λ／Ｄ で近似できる。変換レンズ系４はズームレンズを構成し
ているので、レンズ間の間隔を変えることによりレーザ
ビーム径りを無段階に変更できる。

収束レンズ２ａは容易に交換可能なので、焦点路＠　ｆ
　ａを自由に選べる。したがって変換レンズ系４と収束
レンズ２ａの焦点距離を個別に変化させることにより、
観測点５におけるレーザビームの照射均一度Ｅと照射領
域の幅Ｓを個別に変更することができる。そのため照射
領域の＠Ｓをフローセル１の中をサンプル液が流れる太
さに合わせることができ、無駄な部分をレーザ光が照射
することを防げるので、出力の小さなレーザ光源１を用
いることができ、小形で低価格の粒子分析装置を構成す
ることができる。またレーザ光源を別のものと交換して
元々のレーザビームの径が変わっても調整することがで
きる。また、照射領域内の均一度を調整できるので分析
の精度を向上できる。

また、照射領域以外の部分を照射する割合が小さいので
、細胞粒子以外からの散乱光なとの迷光が光検出器１０
に入射して分析精度を下げることを避けられる。また、
レーザビームの強度が小さくてすむ上に狭い領域しか照
射しないので、レンズやミラーなどの光学部品に与える
損傷が小さい。

また、本実施例の場合は、収束レンズ系が２枚のシリン
ドリカルレンズで構成されているため観測点５における
ビーム径を流れに平行な方向と垂直な方向に対して別々
に設定できる。そのため、流れに垂直な方向のビーム径
を小さくしておけば、ＩＩ測点を粒子が通過する時間が
短くなり、分析時間を短縮できる。また観測点内を同時
に複数の粒子が通過することによる分析誤差を防ぐこと
ができる。

また、変換レンズの間隔を変えた場合には収束レンズ２
ａ、２ｂによるビームの収束位置が変化するが収束レン
ズ２ａ、２ｂは光軸方向に移動可能なので、収束位置を
容易に観測点５に一致させることができる。

また、ウォラストンプリズム８で分岐されるレーザビー
ムは偏光成分によって分けられているため、それぞれの
成分の強度が異なると観測点５における照射強度分布が
対称でなくなり、照射の均一度が悪化する。しかし、本
実施例の場合は、１／２波長板７を回転させることによ
りそれぞれの成分の強度を一致させることができる。こ
の場合に、ウォラストンプリズム８の後方に光検出器を
おき、偏光子を用いて垂直偏光成分と水平偏光成分の強
度測定し、それらが一致するように調整するのみで照射
強度分布が対称になるので、調整に特殊な測定器が要ら
ないという利点がある。

なお、この実施例において、被検粒子を特定の一つに限
定するような場合には、変換レンズ系の拡大率を一定に
するため、各レンズを固定する手段を設けておくのがよ
い。

第６図は本発明の第２実施例のビーム整形光学系の構成
を説明する図である。この場合は３つのスライダ２６．
２７．２８が配置されている。スライダ２６は３つブロ
ックで構成されそれぞれのブロックには変換レンズ系４
が固定されており、スライダ２６を移動することで１組
の変換レンズ系がレーザビーム３の光路上にくる。それ
ぞれの変換レンズ系は拡大率の異なるビーム拡大光学系
をサブ系として構成しており、出射するビームは平行ビ
ームとなるように調整されている。スライダ２７はビー
ム分岐素子系のサブ系としての３つのブロックで構成さ
れ、そのうち２つには１／２波長板７と分岐角度　θｄ
の異なるウォラストンプリズム８が固定されている。ス
ライダ２７を移動することで、レーザビーム３の光路上
に３つのうち１つのブロックが選ばれる。スライダ２８
も収束レンズ系のサブ系として３つのブロックで構成さ
れており、それぞれには収束レンズ系が固定されている
。そのうち２組は、シリンドリカルレンズ２ａ、２ｂで
構成されており、もう１組は球面レンズ２ｃで構成され
ている。スライダ２８を移動することで、どれか１組の
収束レンズ系が選ばれる。スライダ２６．２７．２８は
それぞれ独立に動かすことができ、光軸に対して十分な
位置の再現性がある。

この実施例の場合は、スライダを動かすことで簡単に観
測点５における照射領域の幅と均一度を変更できる。ま
た、変換レンズ系４を出射したレーザビームが平行ビー
ムになっているため、光路上のウォラストンプリズムな
どが変わってもレーザビームの収束位置が変化しないの
で、３つのスライダをどの様な組合せで用いてもビーム
収束位置の補正が不要であるという利点がある。また粒
子分析の対象によって最適な照射強度分布を得るように
、スライダを自動的に動かす手段を設けることも可能で
ある。またスライダ式の代りにレボルバの如く回転式に
することも可能である。

第７図は本発明の第３実施例のビーム整形光学系の構成
を示す図である。第１実施例と異なるのは、１／２波長
板とウォラストンプリズムを用いる代わりに、分割プリ
ズム９を用いている点である。分割プリズム９は山形を
しているので、稜線の上下でレーザビームが分岐角度　
θｄをもって分割され、収束レンズ２ａによって観測点
５において間隔Ｈだけ隔てて収束する。この場合の観測
点５における照射強度分布は第８図のようになる。

個々のビーム第８図の破線で示したように、ガウス分布
を中心で切断した形状をしている。それを　　４重ね合
わせると実線のように中心部が平坦な分布になる。照射
領域の幅と均一度を調整する必要があることは第１実施
例と同じであり、それは変換レンズ系４と収束レンズ系
２ａ、２ｂを変えることで可能である。この実施例の場
合は１分割したレーザビームの偏光面が一致しているた
め、粒子分析に偏光面の方向が影響を与えることを防ぐ
ことができる。また、偏光面を回転させる１／２波長板
が不要なため小型化、低価格化が可能である。

また、レーザビームを半分に切断して用いるため、照射
領域の外を照射する割合が小さく、エネルギ効率が高く
なるという利点がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、粒子分析装置のレーザビーム上のビー
ム分岐素子の手前に変換レンズ系、ビーム分岐素子の背
後に収束レンズ系を備えているため、必要な幅と均一度
に合わせてレーザビームの照射領域の幅と均一度を調整
でき、分析精度の高い粒子分析装置を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す粒子分析装置の構成
図、第２図〜第５図は第１実施例の作用を説明する図、
第６図は本発明の第２実施例の主要部分の構成図、第７
図は第３実施例の主要部分の構成図、第８図は第３実施
例の作用を説明する図、第９図は従来の光学系の作用を
説明するための図。 １・・・フローセル　　　　２・・・収束レンズ系３・
・・レーザビーム　　　４・・・変換レンズ系５・・・
観測点　　　　　　６・・・集光レンズ７・・１／２波
長板 ８・・・ウォラストンプリズム ９・・・分割プリズム　　１０・・・光検出器１５・・
・レーザ光源　　　１９・・・シース液供給器２０・・
・サンプル液供給器

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、フローセルに被検粒子の懸濁液を供給する液供給手
   段と、該懸濁液中の被検粒子にレーザ光を照射する光学
   手段と、該被検粒子の像を結像させる集光手段と、該被
   検粒子から発散する光を検出する光検出手段と、該検出
   された光から前記被検粒子を分析する分析手段とを備え
   た粒子分析装置において、前記光学手段と前記フローセ
   ルの間のレーザ光の経路上に、該レーザ光をビーム径と
   同等あるいはそれ以下の間隔を隔てたビームに分岐する
   ビーム分岐素子系を含み、該光学手段と該ビーム分岐素
   子系の間のレーザ光の経路上に焦点距離または拡大率可
   変の変換レンズ系を、該ビーム分岐素子系と該フローセ
   ルとの間のレーザ光の経路上に収束レンズ系を含むこと
   を特徴とする粒子分析装置。 ２、前記変換レンズ系は拡大率の異なる複数の変換レン
   ズ・サブ系を並列して構成し、該変換レンズ・サブ系は
   その光軸を前記レーザ光の光軸に平行とし、該レーザ光
   の光軸を含む面内で平行移動可能に設置されたことを特
   徴とする請求項１記載の粒子分析装置。 ３、前記ビーム分岐素子系は分岐角度の異なる複数のビ
   ーム分岐素子・サブ系を並列して構成し、該ビーム分岐
   素子・サブ系はその光軸を前記レーザー光の光軸に平行
   とし、該レーザ光の光軸を含む面内で平行移動可能に設
   置されたことを特徴とする請求項１または２記載の粒子
   分析装置。 ４、前記収束レンズ系は収束率の異なる収束レンズ・サ
   ブ系を並列して構成し、該収束レンズ・サブ系はその光
   軸を前記レーザ光の光軸に平行とし、該レーザ光の光軸
   を含む面内で平行移動可能に設置されたことを特徴とす
   る請求項１、２または３いずれか記載の粒子分析装置。 ５、前記ビーム分岐素子・サブ系はそれぞれレーザ光進
   行方向に順次配列された１／２波長波とウォラストンプ
   リズムとで構成されていることを特徴とする請求項１記
   載の粒子分析装置。 ６、前記ビーム分岐素子系はレーザ光進行方向に順次配
   列された１／２波長板とウオラストンプリズムとで構成
   されていることを特徴とする請求項１記載の粒子分析装
   置。 ７、前記ビーム分岐素子系は分割プリズムから構成され
   たことを特徴とする請求項１記載の粒子分析装置。 ８、前記収束レンズ系は２枚のシリンドリカルレンズで
   構成し、該２枚のシリンドリカルレンズの一方は懸濁液
   の流れ方向と平行に、他方は該流れ方向に光を収束する
   ように設置したことを特徴とする請求項１記載の粒子分
   析装置。 ９、前記収束レンズ系は拡大率可変のレンズで構成した
   ことを特徴とする請求項１記載の粒子分析装置。