JPH04184151A - 液体濃度センサ及び液体濃度検出方法 - Google Patents

液体濃度センサ及び液体濃度検出方法

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JPH04184151A
JPH04184151A JP31254990A JP31254990A JPH04184151A JP H04184151 A JPH04184151 A JP H04184151A JP 31254990 A JP31254990 A JP 31254990A JP 31254990 A JP31254990 A JP 31254990A JP H04184151 A JPH04184151 A JP H04184151A
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JP
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light
prism
liquid concentration
concentration sensor
liquid
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JP31254990A
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English (en)
Inventor
Masayuki Goto
雅幸 後藤
Osamu Koike
理 小池
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Denso Corp
Original Assignee
NipponDenso Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は1例えば自動車用燃料中のメタノール濃度など
を検出するために用いる。光学式の液体濃度センサに関
する。
〔従来技術〕
近年、自動車用燃料においては、クリーンな排気ガスを
排出させるために、ガソリン中にメタノール、エタノー
ル等の他成分を混入することが提案されている。
そして、この燃料中の他成分の濃度を検出するために、
光の屈折率を利用した光学式の燃料濃度センサが提案さ
れている(例えば、特開昭62−232538号公報)
。なお、光の屈折率を利用して水滴等の液体を検知する
光学式液体検出器も提案されている(例えば、特開昭6
3−33645号公報、特開昭63−144239号公
報)。
これら公報に示される光学式センサは、光の全反射を用
いるため、プリズムを使用している。そして、このセン
サの構造は、プリズムの一方面に発光端部を、これと対
向する他方面に受光端部を配置したものである。そして
、測定に当っては。
発光端部からプリズム内に光を入射させ、燃料等の液体
と接触しているプリズム面で全反射を行わせ、その全反
射光を対向側に配置した受光端部に入射させる方式を採
用している。
この原理を、第15図に示す。即ち3発光素子よりプリ
ズム91内へ入射させた光90,901゜902は、そ
の中で全反射角θ及びこれよりも大きい角度θ2の光9
0,902は、液体としての燃料と接しているプリズム
面912で全反射する。
そのため、光90,902は外部(燃料側)に出ず1例
えば反射光905として全反射してしまう。
そこで、この全反射光を受光素子に受光させる。
一方、全反射角θよりも小さい角度θ1の光901は、
プリズム面を透過して、光903として。
燃料F中に入る。
即ち、上記の関係は、プリズムの屈折率をnl+測定す
べき燃料の屈折率をn2とすると、sinθ> n z
 / n 1で示される。このことは、燃料のみならず
、水溶液、有機溶媒液等の液体についてても同様である
そして、上記において、測定すべき燃料の屈折率ntが
変化すると、全反射角θが変化するため。
全反射光量が変化する。即ち、燃料の濃度2例えばガソ
リンとメタノールとの混合比が変化すると。
屈折率が変化するため、全反射光量を検出すればメタノ
ールの濃度を知ることができる。
また、上記液体濃度と屈折率との関係は2例えば第16
図により示される。同図は、ガソリン−メタノール燃料
中のメタノール濃度(容量%)と。
燃料の屈折率との関係を示す線図である。
〔解決しようとする課題〕
ところで、従来の光学式センサは、プリズムやガラスロ
ンドなどの光学素子よりなるセンサ部と。
発光素子、受光素子及び検出回路よりなる回路部とが一
体的に構成されている。そのため、かかる光学式センサ
を自動車のエンジンルーム内のような高温場所に取付け
ると1回路部が熱により損傷を受けるおそれがある。
そこで9発明者らは、センサ部と回路部とを分離すべく
、第17図に示すごとく3発光端部及び受光端部として
の光ファイバー92及び93を用いてセンサ部と回路部
との間を連絡させる液体濃度センサ9を考えた。即ち、
この液体濃度センサ9は、ハウジング96内にプリズム
91を設け。
該プリズム91の一方の面に発光素子に光学的に連結し
た光ファイバー92を、これと対向する他面に受光素子
に光学的に連結した光ファイバー93をそれぞれ対面さ
せたものである。また、上記プリズム91の下側のプリ
ズム面912は、ハウジング96の下方に設けた燃料通
路95に面し。
燃料Fに接触している。
そして、光90を光ファイバー92よりブリズムク1内
に入射させる。入射した光90は、プリズム91により
分離され、前記の全反射の原理(第15図)により5そ
の一部が燃料内に入り。
他はプリズム面912により全反射して集光レンズ94
を経て光ファイバー93に入り、受光素子へ送られる。
そして、上記全反射光量から9燃料Fのメタノール濃度
が検出される。
上記構成により1回路部は車室内に、液体濃度センサ9
はエンジンルーム内に搭載することが可能となり、上記
回路部の熱損傷を防止できるようになった。
しかし、上記光フアイバ一方式においても次の問題があ
る。
即ち、光フアイバ一方式では、光フアイバー92→プリ
ズム91→集光レンズ94→光フアイバー93の順序で
光を伝達する必要がある。そのため、これら4つの光学
素子を±100μm程度の高い精度で組付ける必要があ
る。それ故2部品点数が多く2組付性が悪く、更には液
体濃度センサの量産性が低い。
本発明は、上記問題点に鑑み1組付性が良く。
量産性に優れた液体濃度センサを提供しようとするもの
である。
〔課題の解決手段〕
本発明は、ハウジング内に導入した液体に隣接配置した
プリズムと、該プリズム内に光を入射する発光端部と、
該発光端部の取付反対側においてプリズムに対面配設し
た反射光学素子と、上記発光端部と同一又は近接した位
置に配設した受光端部とからなり上記発光端部より入射
させた光を液体と接触しているプリズム面で全反射させ
、その全反射光を上記反射光学素子により集束させて上
記受光端部へ入射させるよう構成したことを特徴とする
液体濃度センサにある。
本発明において最も注目すべきことは、上記反射光学素
子を設けると共に発光端部と同一又は近接した位置に受
光端部を設けることにより、プリズム面で反射させた全
反射光を上記反射光学素子により集束させて、再びプリ
ズム内を経て受光端部へ入射させるようにしたことにあ
る。
上記プリズムとしては台形プリズム、三角プリズムを用
いることが好ましい。そして、このプリズムの一方の斜
面には発光端部及び受光端部を上記のごとく配置し、他
方側の斜面には反射光学素子を配設する。
また2反射光学素子は2例えば球面平凸レンズで、かつ
凸面の外表面にはアルミニウム、銀などの金属反射膜を
設けたものがある(第1図)。そして、液体と接触して
いるプリズム面で反射した全反射光は該レンズ内に入り
、上記凸面内側の反射面で集束されると共に反射され、
再び該レンズ内、プリズムを経て受光端部に入る。また
2反射光学素子としては、凹面鏡1反射型ホログラムが
ある。
また、上記発光端部は、光ファイバーにより構成するこ
とが好ましい。この場合該光ファイバーの先端はプリズ
ムに対面して配置し、その後端は光源に光学的に連結す
る。上記光源としては、LED、LD(レーザ、ダイオ
ード)などの発光素子を用いる。
また、受光端部は、光ファイバーにより構成することが
好ましい、この場合、光ファイバーの先端は、プリズム
に対面させて1発光端部と同位置又はその近傍に配置す
る。また、光ファイバー〇後端は光検出器に光学的に連
結する。光検出器としては、cdS、PD (フォトダ
イオード)などの受光素子を用いる。
そして、ここに重要なことは3発光端部と受光端部が、
プリズムの一方の面において、同−場所又は近接位置に
配置され、これらに対向する面に上記反射光学素子が配
置されていることである(第2図、第12図、第13図
)。
そして2発光端部及び受光端部が、それぞれ光ファイバ
ーである場合には、この光ファイバーは1本(1束)と
することもできる、この場合には。
1本の光フアイバー内をプリズムへの入射光、プリズム
からの反射光が通過するよう構成する(第1図)。
また、上記光ファイバーは、それぞれ発光端部用、受光
端部用として、それぞれ1本づつ用いることもできる(
第12図)。
また1発光端部及び受光端部に光ファイバーを用いる場
合には、プリズムの同一面に一本又は2本の光ファイバ
ーを配置すれば良いので、−層組付性が向上し、また液
体濃度センサ全体がコンパクトになる。更に、光源、光
検出器等の受発光回路部を、高温部から遠ざけることが
でき、耐久性が向上する。
また、上記のごとく光ファイバーを用いない場合には2
発光端部は光源自体をプリズムに対して直接配置し、ま
た、受光端部は光検出器自体を上記光源と隣接させて、
プリズムに対して直接配置する(第13図、第14図)
また1本発明の液体濃度センサは2例えばガソリン燃料
中に混合したメタノール、エタノール。
更にはペンタン、ヘキサン、ヘプタン、ベンゼン。
トルエン、キシレン等も測定することができる。
また、上記燃料の外、化学工場における各種水溶液1反
応溶液、混合有機溶媒等の液体中における特定成分の濃
度測定にも利用することができる。
また、上記液体濃度センサを用いた液体濃度検出方法と
しては、液体に隣接して配置したプリズム内に発光端部
から光を入射させ、液体と接触しているプリズム面で反
射した全反射光を反射光学素子により集束して、再びプ
リズム内を経て上記発光端部の配置側に戻すと共に該全
反射光を受光端部に入射させ、その反射光量より液体濃
度を検出することを特徴とする液体濃度検出方法がある
〔作用及び効果〕
本発明の液体濃度センサにおいては5発光端部から出た
光をプリズム内に入射させ、液体と接触しているプリズ
ム面で反射させ、その全反射光を反射光学素子により集
束すると共に再び該全反射光をプリズム内に戻して受光
端部に受光している。
また、該受光端部は7発光端部と近接してプリズムの同
一面側に配置しである。
そのため、!II付精度に関しては、プリズムの同一面
側に対して発光端部と受光端部の組付位置を配慮すれば
良く、従来のごとく高度な組付精度が要求されない。そ
のため1組付が容易である。
また2発光端部と受光端部をプリズムの同一面側に配置
するため1部品点数が少なく液体濃度センサ全体がコン
パクトになる。また2組付性に優れ2部品点数が少ない
ので、量産性に優れている。
したがって2本発明によれば2組付性が良く。
量産性に優れ、かつコンパクトな液体濃度センサを提供
することができる。
また、上記の液体濃度検出方法によれば、上記液体濃度
センサと同様の効果を得ることができる。
〔実施例〕
第1実施例 本発明の実施例にかかる液体濃度センサ及び液体濃度検
出方法につき、第1図〜第11図を用いて説明する。
本例の液体濃度センサは、メタノール含有ガソリン燃料
中のメタノール濃度の測定に用いるものである。
まず1本例の液体濃度センサは、第1図〜第3図に示す
ごとく、液体としての燃料Fに隣接して配置したプリズ
ム11と、光入射用の発光端部及び受光用の受光端部と
しての光ファイバー2と。
該光ファイバー2の取付反対側においてプリズム11に
対面配設した反射光学素子5とよりなる。
そして、上記光ファイバー2は、その先端21が上記プ
リズム11に面して、取付具17により固定されている
また、光ファイバー2の後端は、第3図に示すごとく、
受発光回路部4に接続しである。該受発光回路部4は受
発光部40と1回路部45とよりなる。上記受発光部4
0は、LED等の発光素子41と上記光ファイバー2の
後端22との間に配置したハーフミラ−44と、該ハー
フミラ−44の左右に配置したモニタ用受光素子42と
検出用受光素子43とを有する。
また1回路部45は、光源出力部410とモニタ入力部
420と検出信号入力部430と、液体濃度に応じた信
号を出力するセンサ出力部450とを有する。
上記より知られるごとく9本例では、プリズム11に光
を入射する発光端部、及び反射光学素子からの全反射光
を受信する受光端部は、同し光ファイバー2によって構
成している。
また、第1図〜第3図に示すごとく、上記プリズム11
は上下のハウジング16の間にシールリング18を介し
て組付けである。また、ハウジング16には、燃料Fを
測定室160内に流入、流出させ、またホースなどに接
続するためのノズル141.142を設ける。なお、燃
料Fは、第1図の紙面に垂直な方向に流れている。
次に、上記液体濃度センサ1の具体的構成につき説明す
る。
まず、プリズム面112で反射された全反射光を集束し
、再びプリズム11に戻すための反射光学素子5につい
て説明する。本例の反射光学素子5は、第4図、第5図
に示すごとく1球面平凸レンズである。そして、その凸
面51の表面には5アルミニウム膜53が、草着形成さ
れて、内面反射形の曲率半径Rの鏡面を有している。そ
のため。
第4図に示すごとく、上記鏡面の中心点Oに入射光B(
即ち上記プリズム面112における反射光)が来るよう
にすれば、その光315は上記反射光学素子5で反射さ
れ、再び中心点0に戻る。
なお、同図は概念図のため、光の屈折は無視して描いで
ある。
そして1本例においては、直径10I、焦点距離f=5
0閣の球面平凸レンズを用いた。また。
該反射光学素子5は、第5図に示すごとく、プリズム1
1の斜面113に、接着剤19を用いて接着した。該接
着剤は、100”C以上の耐熱性を有し、無色透明で、
屈折率がプリズムに近いものが良い。本例では、紫外線
硬化型の光学接着剤を用いた。
次に、プリズムについて説明する。
まず、前記第14図及び第15図より、プリズムの屈折
率n、と燃料の屈折率n2とから、プリズムの全反射角
が、メタノール濃度の変化によって、どの角度範囲で変
るかを知ることができる。
例えば5本例の場合には、プリズム11としてBK−7
(屈折率1.5162)を用いると5全反射角はメタノ
ール濃度O〜100%に対して約60〜70度の角度範
囲で変化する。
そこで、第5図に示すごとく、光ファイバー2の光軸I
Aがプリズム11の入射面111に対して、直角で入射
できるようにプリズム11は台形状とした。そして、光
ファイバー2の光軸IAと。
燃料と接しているプリズム面112の垂直線IBとのな
す配置角度αを、プリズムの屈折率と燃料の屈折率とか
ら決定する。本例の場合には、上記のごとく全反射角が
60〜70度の範囲にあるため、プリズム11の上記配
置角度αを67度とした。
次に、光ファイバー2からプリズム11内に入った入射
光31が、メタノール濃度の変化により。
プリズム面112でどのように反射するかにつき。
第6図、第7図により説明する。
まず、第6図に示すごとく、メタノール濃度が低いとき
には、燃料の屈折率ntが大きいため(第15図)、全
反射角θが大きくなる。そのために、燃料Fと接触して
いるプリズム面112における反射光量は斜線20で示
すごと(少ない。
一方、メタノール濃度が高いときには、第7図に示すご
とく、上記とは逆に、全反射角θが小さくなるために5
反射光量は斜線20で示すごとく大きくなる。なお、こ
れらのことは、前記第14図の説明で示した。sinθ
>n、/n、の関係式より知られる。
そして、上記の全反射光は1両図及び前記第1図にも示
すごとく3反射光学素子5により集束され、再びプリズ
ム11内に戻され、更に光フアイバー2内に入って光量
検出用の受光素子43(第3図)に入る。
したがって2反射光量を測定すれば、メタノール濃度を
知ることができるのである。
次に、光ファイバー2につき説明する。
光ファイバー2は、液体濃度センサがエンジンルーム内
にあるため、100°C以上の耐熱性を有する。ガラス
系又は、耐熱樹脂系のものを用いる。
なお、ガラス系の場合には、コア径が直径1暖以上必要
であるため1曲げ半径が大きくなり、取り回しか困難と
なる。バンドル型を用いることもできるがコスト高とな
る。
また、樹脂の場合、ポリカーボネート系の樹脂。
又はシース(被覆)に耐熱性を持たせたアクリル系のも
のがある。これらは、低コストで、量産向きである。
また、上記ハウジング16は、耐食性のある5US31
0Sを用いた。また、シールリング1Bは耐ガソリン、
耐アルコール性のフッ素ゴムを用いた。
次に1本例の液体濃度センサ1及び受発光回路部4の作
用効果を第1図〜第3図により説明する。
まず、受発光回路部4においては、第3図に示すごとく
9発光素子4Iの光はハーフミラ−44を通過した後、
光ファイバー2の後端22に入射される。そして、光フ
ァイバー2の先端21からプリズム11内に入った入射
光31は、燃料Fと接触しているプリズム面112に達
しく第1図。
第3 図、第5図)、前記第6図、第7図に示したごと
くメタノール濃度に応じて、一部の光311は、燃料F
側に抜け、他の光はプリズム面112で全反射してその
全反射光32は反射光学素子5に達する。そして、該反
射光学素子により集束され1反射されて再びプリズムl
l内を経て光フアイバー2内に入る(第1図、第3図、
第5図)。
そして、光ファイバー2により受発光回路部4へ戻って
きた全反射光32↓よ、第3関に示すごとくハーフミラ
−44により右側へ反射され、検出用受光素子43に入
る。そして9回路部45において、検出光を増幅し規定
出力電圧として出力する。
なお5発光素子41としてLEDを用いる場合には、電
圧変動、温度変化などにより、その光量が変動する。そ
のため、受発光部40にモニタ用受光素子42を設け1
発光素子41の光の一部をハーフミラ−44により採取
し、その光量を上記回路部45にフィードバックして上
記変動量を調整する。
以上のごとく1本例の液体濃度センサによれば。
受光端部と発光端部とは同一の光ファイバー2を用いて
、プリズム11の同一場所に配設している。
そのため1組付槽度に関しては、光ファイバー2の組付
を考慮すれば良く、前記従来のごとく、高度な組付精度
は要求されない。それ故、U付けが容易である。また、
光ファイバーは1本であるため、液体濃度センサの部品
点数も少なく、全体がコンパクトである。また、そのた
め、量産性に優れている。
また、受発光回路部4は、光ファイバー2によって、液
体濃度センサ1から離して配置できる。
そのため、エンジンルーム内などの高温場所に受発光回
路部を配設する必要がな(、受発光回路部4の熱障害が
ない。
更に、ノイズに関しても1本例では反射光学素子5を用
いているので、ハウジング壁等に当った散乱光などのノ
イズ光は、光ファイバー2の光軸から若干ズしている。
そのため、光フアイバー2内へノイズ光が再入射する確
率は非常に低い。それ故1本例によれば、散乱光ノイズ
の影響を防止することもできる。
なお、tP!、料は温度により屈折率が若干変動する。
それ故、燃料Fの通路内に温度センサーを設けて。
その信号を受発光回路部4ヘフイードバツクし。
屈折率の温度補償をすることが好ましい。
第2実施例 本例は、第8図に示すごとく1反射光学素子として凹面
鏡56を用いたものである。
その他は、第1実施例と同様である。本例によれば第1
実施例と同様の作用効果を得ることができる。
第3実施例 本例は第9図に示すごとく2反射光学素子として1反射
型ホログラム57を用いたものである。
その他は、第1実施例と同様である。該反射型ホログラ
ム57は、第10図に示すごとく、光入射点0(即ち、
プリズム11のプリズム面112における反射光)から
の光を集束して再び反射させる機能を有する。
該反射型ホログラム57は、第11図に示すごとく、ホ
ログラム乾板570を鏡575とレンズ576との間に
配置し、レーザ光等の平行光573をレンズ576、ホ
ログラム乾板570.鏡575に照射して作製する。即
ち、レンズ576を経た光束571と、鏡575の反射
光である光束572との干渉縞により、ホログラム乾板
570に、上記機能を有する反射型ホログラム57が得
られる。
本例においても、第1実施例と同様の効果を得ることが
できる。
第4実施例 本例は、第12図に示すごとく、第1実施例の光ファイ
バー2に代えて1発光端部用の光ファイバー25と受光
端部用の光ファイバー26を用いたものである。
そして、上記反射光学素子5を僅かに上記光ファイバー
25の光軸からずらすことにより、全反射光を光ファイ
バー26が受光できるようにしたものである。そのほか
は、第1実施例と同様である。
これにより、受発光回路部4のハーフミラ−44を省略
することもできる。また、第1実施例と同様の効果を得
ることができる。
第5実施例 本例は、第13図に示すごとく、第1実施例において光
ファイバー2を用いず、受発光部40の発光素子41.
及び検出用受光素子43を、直接にプリズム11に対向
配置したものである。即ち。
発光端部及び受光端部を直接にプリズム11に対して、
配設したものである。
本例は、液体濃度センサ1を、余り高温でない場所に配
置する場合に好適である。また1本例によれば、光ファ
イバー2を用いる点を除き、第1実施例と同様の効果が
得られる。
第6実施例 本例は、第14図に示すごとく、第5実施例において、
更にハーフミラ−44,モニタ用受光素子43を配置し
たものである。これらの配置関係及び機能は前記第3図
(第1実施例)に関して説明した内容と同様である。
本例においても第5実施例と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第7図は第1実施例の液体濃度センサを示し、
第1図は液体濃度センサの断面図、第2図はその平面図
、第3図は液体濃度センサと受発光回路部の全体図、第
4図は反射光学素子の説明図、第5図は光ファイバーと
プリズムと反射光学素子との関係説明図、第6図はメタ
ノール濃度が低い場合の反射光量を示す説明図、第7図
はメタノール濃度が高い場合の反射光量を示す説明図。 第8図は第2実施例の液体濃度センサの断面図。 第9図〜第11図は第3実施例を示し、第9図は液体濃
度センサの断面図、第10図は反射型ホログラムの反射
説明図、第11図は反射型ホログラムの作製説明図、第
12図は第4実施例の液体濃度センサの平面図、第13
図は第5実施例の液体濃度センサの平面回、第14図は
第6実施例の液体濃度センサの平面図、第15図は燃料
と接触しているプリズム面の反射説明図、第16図は、
メタノール濃度と燃料屈折率との関係線図、第17図は
比較用液体濃度センサの断面図である。 l・・・液体濃度センサ。 11・・・プリズム。 112・・・プリズム面。 2.25.26・・・光ファイバー。 31・・・入射光。 32・・・全反射光。 4・・・受発光回路部。 40・・・受発光部。 41・・・発光素子。 42・・・モニタ用受光素子。 43・・・検出用受光素子。 45・・・回路部。 5・・・反射光学素子。 56・・・反射光学素子としての凹面鏡。 57・・・反射光学素子としての反射型ホログラム。 n、・・・プリズムの屈折率。 n2 ・・・燃料の屈折率。 F・・・燃料。 第4図 第5図 第6図 ]41       第9図 第10図 第11図 第12図 令↓ 第13図 ト     5 第14図 第15図 第16回 第17図

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ハウジング内に導入した液体に隣接配置したプリ
    ズムと、該プリズム内に光を入射する発光端部と、該発
    光端部の取付反対側においてプリズムに対面配設した反
    射光学素子と、上記発光端部と同一又は近接した位置に
    配設した受光端部とからなり、 上記発光端部より入射させた光を液体と接触しているプ
    リズム面で全反射させ、その全反射光を上記反射光学素
    子により集束させて上記受光端部へ入射させるよう構成
    したことを特徴とする液体濃度センサ。
  2. (2)第1請求項において、プリズムは台形状であり、
    その一方の斜面に発光端部及び受光端部を、また対向す
    る他方の斜面に反射光学素子を配設したことを特徴とす
    る液体濃度センサ。
  3. (3)第1請求項において、反射光学素子は、凹面鏡機
    能を有する球面平凸レンズであり、かつ凸面の外表面に
    はアルミニウム、銀などの金属反射膜が設けてあり、こ
    の凸面の内側で光を反射するレンズであることを特徴と
    する液体濃度センサ。
  4. (4)第1請求項において、反射光学素子は、凹面鏡で
    あることを特徴とする液体濃度センサ。
  5. (5)第1請求項において、反射光学素子は、反射型ホ
    ログラムであることを特徴とする液体濃度センサ。
  6. (6)第1請求項において、発光端部及び受光端部は光
    ファイバーで構成されていることを特徴とする液体濃度
    センサ。
  7. (7)第1請求項において、発光端部と受光端部とは同
    一の光ファイバーを用いていることを特徴とする液体濃
    度センサ。
  8. (8)第1請求項において、液体はガソリンとメタノー
    ル又はエタノールとの混合燃料であることを特徴とする
    液体濃度センサ。
  9. (9)液体に隣接して配置したプリズム内に発光端部か
    ら光を入射させ、液体と接触しているプリズム面で反射
    した全反射光を反射光学素子により集束して、再びプリ
    ズム内を経て上記発光端部の配置側に戻すと共に該全反
    射光を受光端部に入射させ、その反射光量より液体濃度
    を検出することを特徴とする液体濃度検出方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100367979B1 (ko) * 1999-12-24 2003-01-14 김태진 광섬유를 이용한 입자 농도 측정 장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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