JPH04183990A - スクリュー真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業−にの利用分野〕 本発明は、スクリュー真空ポンプに係オ〕す、とくに矩
形歯のスクリューロータで構成され、騒音発生が少なく
エネルキ効率の向上さらに到達圧力の向上などにりｒ適
なスクリュー真空ポンプに関する。

〔従来の技術〕

従来、大気圧から１１１１気できるスクリュー真空ポン
プの１背形形状としてスクリュー式圧縮機に多用されて
いるものと同様の多条ねして干渉の無い山形と、実開昭
６３−］、　４８８４壮公報にある１条あるいは２条の
角ねしによる歯形（矩形歯形と呼ぶことにする）が知ら
れている。これら２種類の歯形はそれぞれ一長・短あり
、真空ポンプの用途に応して使い分けられている。

ここて矩形歯形を用いたＪ〔空ポンプの、気体を排出す
る原理を述べる。スクリューロータの外周面に刻まれた
スクリュー歯イ１ηはスクリューロータを収納している
ケーシンクボア面に囲まれて、甥（旋状の空間を形成す
る。この空間は対どなる他力のスクリューロータの市に
よって複数の作動室と呼ぶ空間を分割さ石、る。　・苅
のスクリューロータを回転させると作動室は軸方向に移
動する。作動室がスクリュー端面まで移動するとボア端
面があるので、ボア端面が作動室の一端を塞き、イ１動
室容積を縮小させる。作動室容積かある値まで縮小した
時に作動室と吐７１冒−１が連通し、作Ｗｉ＋室内の気
体を吐出する。

〔発明か解決しようとする課題〕

スクリュー真空ポンプの吐出性Ｎにおいては、作動室と
吐出「」か連通ずる瞬間を圧縮さＡ１．へ作動室内部の
圧力か人気ハニに近いほど無、駄の無い吐出ができる。

また、］つの作動室に着目してその容積をのると、その
作動室はスクリコ一端血に到達した後、スクリューロー
タの回転に伴って次第に縮小して遂には消滅するか、作
動室は内部の公休を逃かずため消滅まて吐出し１と連通
している必要かある、１そして、このスクリュー１′（
空ポンプの性質に人きく影響するのか吐出口の形状であ
る。

しかし、上記従来技術において、矩形歯形のスクリュー
ロータ用の吐出［−１形状については述べられておらず
、スス１−スて無、ｌ駄のない吐出か保証できないとい
う問題かぁ−）た。

例えは、スクリューロータの吐出側端面に面するケーシ
ング上に吐出口を設けず、吸込側と同様に歯端面全面を
空間を面するという方法かある。

しかし、この方法では作動室が移動して吐出側端に面す
ると大気圧の空気か多量に逆流してしまい、性能を低下
させる原因となっていた。また、吐出「１に不用意な位
置に設けると、減少しつつある作動室の体積が零になる
前に吐出し−１を閉じてしまい内部の気体の行き場が無
くなってしまういわゆる閉じ込みが発イトしてしまう。

閉じ込みは消費動力の増加や騒音の発生源どなるので好
ましく無い。

また炉形歯形では作動室の吐出開始時の容積に対する吐
出以前の最大（１，５容積の比すなわち容積比かある程
度以−に大ぎくとれないという歯溝の形状からくる幾何
学的限界かあり、スクリュー真空ポンプと接続する真空
イ’！Ｖ内圧力か低下してくると容積比か不足する問題
かあった。容積比か不足すると作動室内部の圧力か大気
圧近くまてヒからないうちに、吐出口が開いてしまい、
大気からイ１動室への大気の逆流が生してしまう１．幾
何学的限界の存在する理由を欣に述へる。スクリューロ
ータの回転角度で示すと、作動室か消滅する１８０度手
前までに作動室端面はボア端面を一周なぞってしまい、
１射光円と１Ｊイ底因にはさまｊしノーいかなる場所に
吐出口を開けてもとこかで作！ｉＩＪ室と吐、１１冒１
が連通してしまうからである。

本発明の第１の「１的は、気体の吐出動作かスフ１−ズ
て無駄が無く、大気圧からの排気に才９いてエネルキー
効率か高く到達圧力が低い真空ポンプを実現することに
ある。

本発明の第２の目的は、矩形歯形を用いても歯溝の形状
からくる従来の幾何学的限界より高い容積比をもち、真
空イ】（＋中の真空紹持においてエネルキー効率か高＜
１１１達圧力が低い真空ポンプを実現することにある。

〔課題を解決するためのＦ段〕

」二層第１の「１的を実現するために、本発明のスクリ
ュー頁空ポンプの吐出口の形状を次のようにする。吐出
口は２つのスクリューロータ各々に対応して設けるので
はなく、ボア端面七の２つの「］−夕のボア重複部分て
結合させて−っの吐出「Ｉを設ける３、すなわち吐出ロ
ー１の１倫郭線の−・部には２つのスクリューロータの
回転中心を結ぶ線分のうちのスクリューロータの重複範
囲にある部分ど、各々のスクリューロータかある回転角
度（１ｉｆｔ口角度と呼ぶことにする。）にある時に山
側線とほぼ一致するスクリューロータの回転中心から半
径方向にのびる。”ｒ！＋、’線のうちのスクリューロ
ータの歯先円とｍ底円にはさまれた部分の、剖３本の線
分を輪Ｍ（の一部どする。なお（背信１線とはスクリュ
ーロータの矩形歯形を形成する線の−・部て、回転４・
１１１を含む断面１”では回転軸とほぼ直交するする向
きをもち、回転や＋ｌ＋に垂直な断面上では回転中心か
Ｊ〉、放射状に向いている線分である。

上記吐出にｊの形状は、勿論、２つの〕スクリｊ−ロー
の回１転中心をネ１′１ふ線分のうちスクリューロータ
の重複範囲にある部分と、各々のスクリューロータが開
口角度にあるＲに歯側線とほぼ一致するスクリューロー
タの回転中心から里程方向にのび乙）直線のうちのスク
リューロータの歯先円と山武因にはさまれた部分と、各
スクリューロータの歯先円と歯底円により囲われるＩメ
伸１の１輪郭どすることかてきる。

−Ｉ記第２の［１的を実現するために、本発明の別のス
クリュー１′ル空ポンプの吐１′１冒−１としてボア端
１ｎ１−１にスクリューロータの両底マそよりも内側に
それぞれ吐出［−Ｊ髪旦える。−カスクリユーロータの
吐出側端には歯！ｆｌｆ’の−・番端の部分のみ本来の
１°Ｊｉｊ戊径よりも回転中心方向へ深くする４、この
深い部分は軸方向にも開いているので切欠きどいつでも
よい。

この部分を端部導出路と呼ぶことにする１３さＪらに、
本発明のさら１．こ別のスクリュー」′１空ポンブは、
１−一記木発明のスクリュー真空ポンプの有する１つの
吐出１１を主とし、［−配本発明の別のスクリュー真空
ポンプの有する２つの吐出［−１を副として合オ）せ持
ち、」二となる１つの吐出「］に開閉弁を設けたものと
する。

〔作用〕

−Ｉ−記本発明のスクリュー真空ポンプは以下のように
作動する。

従来技術の工１“↓で述べたようにスクリューロータの
回転にともなって、作動室は軸方向移動と容積の縮小か
行わ扛る。スクリューロータが開［１角度に達すると、
歯の端部の歯側線が吐出口の縁に−・致し、以降吐出側
端の作動室は吐：Ｊ’＋　ｎと連通ずる。

作動室は容積を次第に縮小し、２つのスクリューロータ
の回転中心を結ぶ線上で容積ゼロどなり、作動室が消滅
する。この時まで作動室は吐出口と連通して、内部の気
体を外部へ吐き出すことができる。

本発明の別のスクリュー真空ポンプは以下のように作用
する。

スクリューロータの回転によって吐出側端の作動室は容
積を次第に縮小するが、作動室消滅まて残り１８０度と
な−）でも吐出ｆ１へ開［１しない。１さらに圧縮を続
け、１没定した衣、る角度（開１１角度と呼ぶことにす
る）まで回転すると、端部導出路が吐１１１冒］へさし
かかり、作１カ室は端部導出路をｉイて吐１′１冒１と
連通ずる。開１−１角度でのＨ縮化はｆｉｔ東技術と比
較して高い。

本発明のさ！ン〕に別のスタリ、］、−真空ポンプに才
ダいて、この真空ポンプにより１′（空にひ（ＪＩＣ空
漕中の真空度が低い時には開閉弁を開むづ十吐１ψ己」
を開けてポンプを運転し、真空槽中の真空度か高くなる
と開閉ｊ−ｒを閉して、副吐出口のみを開けて）重１１
ｊｉ：する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施側番３ついて図面を参照して説明す
る。

第１図は本発明の一実施例のスクリュー（′ｒ空水ポン
プ断面図である。スクリュー１′ル空ポンプは、］条の
右ねじの矩形歯形を持つスクリュー口−タ十と、１条の
左ねしの矩形歯形を持つスクリューロータ２と、それら
−・対のスクリューロータ１゜２の歯同士をこぐ僅かな
すき間をもって嵌め合わせて収納１−るボア４髪設けた
ケーシング３とから構成されている。スクリューロータ
１、スクリューロータ２及びボア４の内壁それぞれの間
をは、僅かにすき間が設（づられ、それらか互いに接触
し。

ないように組み☆：てＩへれている。

スクリューロータ１，２は、その両端に委き出たシャツ
Ｉ−か軸受５により支持されて、所定の位置に回転自在
に配置されており、また軸シール６か各軸受５のボア４
寄りに設けられ、ボア４内に潤滑油や空気が侵入するの
を阻止する。スクリューロータ］の一端のシャツｌ−は
ケーシング３から外部へ突き出しており、動力入力軸と
して、動力装置例えば電動機に接続している８、スクリ
ューロータ１，２の他端側のシャフトには一対の同期歯
車か取り付けら九、その同期歯車を介して動力人力軸７
に入力された回転動力がスクリューロータ２に伝えられ
、かくしてスクリューロータ］、２は同期回転する。

スクリューロータ１のスクリュー端部は、第２図に示す
ように、大きな歯先円２１の半円とそれに同心の小さな
歯底円２２の半円により区画される。スクリュー端部で
、歯先円２］と尚底円２２をつなく線分はスクリューの
軸心から半径方向に２本形成され、これら線分は歯側線
である。歯側線は歯！ｉｌｆ′の側壁となる２つの歯面
のそれぞれとスクリュー端面との交線てあり、外周側か
ら見た場合に歯面と端面のなす角度（内角）から、鈍角
側歯側線２３と鋭角側歯側線２４と区別する。幾何学的
には鈍角側歯側線２３３と鋭角側歯側線２４は回転中心
をはさんでほぼ反対側となる。しかし、鋭角側歯側線２
４は鋭いナイフェツジとなってしまい強度十弱いので先
端を少量切り落として丸めをつけるため実線には反対側
にならない。

スクリューロータ］、２の端面と面するボア４の内壁は
ボア端面と呼び、吸入側のボア端ｉｆ＋ｉ　９には吸入
口１０が、吐出側のボア端面９には吐１−１冒−１１１
か開けられている。吐出口］１はボア端面グ〕上におＬ
−する形状が重要であり、第８〜１１図を用いて詳しく
説明する。

第８〜］１１メ１は、２−）のスクリューロータ」。

２と吐１“１冒１１】の位置関係を示し、またスクリュ
ーロー９１，２か順次回転した時、スクリュー端に到達
した作動室か減少していく様子を示すもので、［１１出
側軸方向から見た図である。吐出＋１　、Ｌ　］はケー
シンク３に固定しており、両スクリューロータ１，２が
回転しても位置を＜７２えない。

吐出ｎ　１１は、２つの円弧状溝を反り合わせて二股に
結合したような形状であり、詳しくは、２つのスクリュ
ーロータの回転中心を結ぶ直線のうちの２つのスクリュ
ーロータの重複部分にある線分３０ど、スクリューロー
タ１の回転と逆方向に線分３０からある角度回転したイ
＼″装置の半径方向の直線のうちの歯先円と歯底円に挾
まれた線分３１と、スクリューロータ」の歯先円及び歯
底円と、スクリューロータ２の回転と逆方向に線分３０
からある角度回転した位置の半径方向の直線のうぢの歯
先円と歯底円に挟まれた線分３２と、スクリユーロータ
２の歯先円及びａｑ底円との、台別７本の線から形成さ
れる区画の外郭の形状を有している、線分３Ｊ　、　３
２ばそれぞれ吐出開始線３」。

３２と呼び、線分３０は吐出性ｒ線３ｏと呼ぶことにす
る。またスクリューロータ１，２の回転中心を粘ぶ中心
線３０と吐出開始線３Ｉまたは３２と交わる角度を開口
角度ど呼ふことにする。′木実施例では、吐出１ｍ１−
１は、吐出開始線３　］　。

３２と吐出終了線３０の各線分を歯先円１寸よび歯底円
によってつないだ輪郭を有しているか、その他に、吐出
開始線３１，３２と吐出終了線３０の各線分を直線でつ
ないだ輪郭としてもよい。または吐出［１は吐出終了線
３０や吐出開始線：３１　、３２に接する円形状として
もよい。第２０図においては吐出終了線３０と吐出開始
線３１．３２を破線で示したが、これらは仮想の線であ
り実在ずろ真空ポンプにはない。このように吐出［１５
ｏの形状を４１純な円で作ることかできるので、製作が
容易になる。

スクリュー真空ポンプはスクリューロータの回転によっ
て作動室内部に閉し込めた気体を移送、圧縮して最後に
吐出する。本発明は吐出行程に関するものなのてこの行
程を重点的に説明する。第８〜１１図は順へスクリュー
ロータが４５度づつ回転した状態を示し、特に第９図は
吐出開始の状態である。第４〜７図は吐出口を中心に置
いてスクリューロータ１をそのピッチ円筒に沿って展開
した展開図であり、各々が第８〜１４図の状態と一致し
ている。第４〜７図においてケーシング３に吐７−１冒
ｆｉｌｌか開けら７１シており、こ４しらは動かない。

−力、スクリューロータ１はその歯４］と共に回転し、
図中では左方向に平行移動する。スクリューロータ１の
歯４１、それと噛み合っている相手スクリューロータ２
の１行４３ぞしてボア壁９に囲まれた作動室４２も左方
向に平行移動する。

しかし、Ａ・ＩＩ手スタリューロータ２の歯４３は＋＋
１ＪＨみ合い位置を軸方向（しｌ１１１１一方）へ移動
するだけなので、作動室／１．２は容１１７．を次第に
減少させる。

第５図ならびに第９図においてスクリューロータ１の鋭
角（１１１１！線側２７′ｌはケーシング３の吐出開始
線３１と−へ致する。これ以降、作動室４２と吐出口　
、＋−１は連通し、スクリューロータ１は作動室４２内
部の気体を吐き出す。回転がさらに進んでもこの吐出過
程は続き、鋭角側ｌＡｆ側線２３か吐出終了線３０と−
・致して作動室４２の消滅と共に吐出過程は終了する。

したがって作動室４２内部に逃げ場のない気体が閉し込
められる心配はない。

本実施例によれば、最小限の面積の吐出「−１てスフ１
−ズで無駄の無い吐出行程を実現することか可能である
。また、スクリューロータには特５１１１の改造を加え
る必要がない。

以下、本発明の第２の実施例を第′：３図ならびに第１
２図〜第１９図を用いて説明する。なお、本実施例にお
いて装置全体の構成や動作は第１の実施例と同様なので
説明を省略する。

本実施例のスタリュー真空ポンプ１．こは、第３図に示
すように、スクリューロータ１の端？１１１に端部導出
路２５と名付ける切欠き部を説はイ１１、端部導出路２
５は鈍角側歯側線（第２図の符号２３て示ず４Ｊの）に
近接する歯溝２２の最端部を回転中心方向に深くして設
けた部分で、この端部導出５４４２５の＃７端とスクリ
ュー端面の作わる交線は、鈍ｆ’Ｊ　ａｒ側線２３の延
長線１−の直線となり、鈍角南側線２３′で示す。端部
導出路２５て鈍角歯側線２３３′　と創面する位置にあ
る端は端部導出路端２（５と叶１ｄｃ　ａ端部導出路２
５の円周方向長さは全周の１／４程度とする。この値は
人きすきると端部導出路のもれを増長し、小さすきると
吐出１（、〒の抵抗となり、どちらも性能低下につなが
る。

端部導出路２５に対応する吐出口１１′はボア端面９−
１．における位置と形状が重要であり、第１６〜１９図
を用いて説明する。第１６〜１９図は、２つのスクリュ
ー［１−夕］、２と吐１１１冒−１１］′の位置関係を
示し、またスクリューロータ］、２が順次回転した時、
スクリュー端に設けた端部導出路２５により構成される
作動室が減少していく様子を示すもので、吐出側軸方向
かｌら見た図である。

吐出ＩＴｉ　ｉ　ｉ　’はケーシング３に１３Ｆ４けｌ
られており、両スクリコーロータ」、２か回１伝しても
イ）ｊ百を変えない５．第１に１〜１９図ではスクリュ
ーロータ」側の吐出口Ｊ−ビのみ示したが、図中で左右
対称位置にスクリューロータ２側の吐出口も具える。

吐出＋１”＋　１．１　’　は同心で径の異なる２つの
円弧とスクリューロータ１の軸心から延びる放η・１状
の２本の軸とを輪郭どする。外側の円弧はスクリューロ
ータの１１１底径よりｆノ小さく、内側の円弧は吐出溝
２５の底径２２′　（第３図）とほぼ等しい。放射状の
２本の線の内、スクリューロータの回転方向側にあるも
のを吐出終了線３０′、反対側を吐出開始線３１′と呼
ふ。尤も、”、１：　ｒ：ｌ冒］１１′の形状はスクリ
ュー側の端部導出路２５の形状に必ずしも一致させる必
要はなく、吐出口の円弧Ｊ〈を短くあるいは長くして、
吐出する気体の圧縮比重を高くまたは低くすることかで
きる。

本発明は吐出行程に関するものなのてこの行程を重点的
に説明する。第１６〜］９図は順次スクリューロータが
少しづつ回転した状態を示し、第１１し１は吐出開始、
第１８図は吐出完了の状態である。第１２〜１５図はス
クリューロータ１をぞのピッチ円筒に沿って展開した図
であり、各々が第１６〜１９図の状態と−・敦している
。

第１２　＝　１．５図においてケーシング３に吐出口］
］′　か開けられており、これらは動かない。−方、ス
クリューロータ１はその（ＪＪ４」−と共に回転し、図
中では左方向に平行移動する。スクリューロータ１とそ
の市４１とそれと噛み合っている相手スクリュ−ロータ
２の歯／］３そしてボア壁９に囲まれた作動室４２も左
方向に平行移動する。しかし、相手スクリューロータ２
の歯４３は１１１■の合い位置を軸方向（図中ト方）へ
移動するだけなので、作ｊｗｊ室４２は容積を次第に減
少させる。

第１２図および第１６図では、吐出溝端２６か吐出口＋
１’　の吐、′１雇Ｈｇ始端３１−′　に一致し、これ
より以降、作動室／１２は吐出口１１′と連通し、作動
室／＋２内部の気体を吐き出す。第１２図Ｊ５よび第１
６図の状態まで作動室４２か連通しない理由は、作動室
４２かボア壁９に対して開「」シていても、吐出ｆ、ｉ
ｌ　Ｉｌ、　ｉ　’　は半径方向にずれているためであ
る。

回転が進め、第１３１．２１および第１７図の状態を経
て、第１４図および第１８　ｌ＊ｌの状態まて吐出行程
か続＜３．第１４図および第１８図の状態では鈍角側歯
側線２３′か吐出終了線：３０　’　に−・致し、作動
室４２を吐、【」冒」］１′から閉じる。この時点て作
動室４２内部には気体が僅かなか１〕）残っているが、
第１９図中に矢印で示すように１９１接する他の作動室
へすきまを通って逃げるので問題はない、。

本実施例によれば、スクリューロータの油中−な追加工
と吐出口の位置の変更たけて真空ポンプの容積比を大幅
に太ぎくすることかてきる。

本発明の第１の実施例による吐出［二１と第２の実施例
によ′る吐出ｍｌを１つの真空ポンプに兼用することも
てきる。その時、第１の実施例による吐出口にはバルブ
を設（づておく。大気でγｉ：ｌｊたされた真空槽かβ
）空気を取り除く時には、最初バルブを開けて主に第１
の実施例による吐１１］冒１からＵ１気する。

真空度かある程度」−かったら、バルブを閉じて第２の
実施例による吐）１１冒−１から排気する。以」−のよ
うにすることによって人気からのＪｌｌ気行程でも、真
空の維持にもスｌい−ズで高効〉Ｃの排気を実現するこ
とかできる。

なお、本発明の実施例で用いた図において、スクリュー
ロータ＋［１σ間あるいはスクリューロータケ−シンク
の間のすきまは実際より拡大し、見やすいようにしであ
る。

〔発明の効果〕

本発明によれは、スクリュー真空ポンプを互いにねしれ
方向が逆の矩形１４１をもつ一列のスクリューロータで
構成し、各スクリューロータのスクリュー部の端部と対
面するボア壁の一方に吐出１１を設け、この吐出口は両
スクリューロータの回転中心を結ぶ直線のうちの両スク
リュー部の重複部分にあたる線分に対応する吐出終了線
と、重複部分にあたる線分から各スクリュー部の回転方
向に逆にある角度戻った位置でスクリュー歯先円と歯底
円に挟まれた半径方向の線分に対応する吐出開始線を含
む形状としたので、行き場のない気体を閉じ込めて作動
室の容積を無理に縮小するという気体の閉じ込め現象を
起こさす、大気圧にある真空槽から排気するのにスムー
ズで無駄のない吐出ニ程をもつ真空ポンプを実現できろ
。

また本発明によれば、別のスクリュー真空ポンプを互い
にねじれ方向か逆の矩形歯をもつ一久Ｉのスクリューロ
ータでセｌｊ成し、各スクリュー部の端面部のスクリュ
ー歯面の小端か１２）ｊψ行する範囲にスクリュー満を
深くずろことにより形成した端部導出路を設け、ボア壁
にその端部導出路に対応する形状の吐７ｊ冒」を両スク
リューロータの回転中心を結ぶ直線から回転方向と逆の
位置に設（Ｊたので、容積比の大きい、真空槽を高真空
にひくことのできる真空ポンプを実現できる。

また本発明によれは、さらに別のスクリュー真空ポンプ
を互いにねしれ方向が逆の矩形歯をもつ一対のスクリュ
ーロータで構成し、各スクリュー部の端面部には前記別
のスクリューｇ空ポンプと同様の端部導出路を設け、ボ
ア壁には同様にその端部導出路に対応する形状の吐出１
１　ｋ　ｌ設け、さらに加えてそのボア壁に前記のスク
リュー部の重複部分に位置する吐、１１冒」を各吐ｌ【
１冒」か互いに干渉しないように設けたので、真空１７
シの圧力を人気汀から高真空にまで効率よく引くことの
できる真空ポンプを実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の断面図、第２図は本発明の第
」の実施例のスクリューロータの端部拡大斜視図、第３
図は本発明の第２の実施例のスクリューロータの端部拡
大斜視図、第４図〜第７図は本発明の第１の実施例の吐
出口伺近の展開断面図、第８図〜第」−１図は本発明の
第１−の実施例のスクリューロータと吐出口の正面図、
第１２図〜第１５図は本発明の第２の実施例の吐出口付
近の展開断面図、第１６図〜第１９図は本発明の第２の
実施例のスクリューロータと吐出口の正面図、第２０図
はスクリューロータと円形吐出口を示す図である。 コ・・スクリューロータ　（右ねし）、２・・スクリュ
ーロータ　（左ねじ）、３・・・ケーシング、４　ボア
、５・・・軸受、６　軸シール、７・・動力入力軸、 ８・・・周期歯車、９，９′　ボア端面、１０　吸入１
−１、ｉｌ、５０　　吐出「１．２１・・歯先円、２２
　・歯底円、 ２３　鈍角側歯側線、２４　＃（角側歯側線、２５・端
部導出路、２６　端部導出路、３０　・吐出終了線、３
１．３２　　吐出１）１１Ｍ１編に４１　・歯、４２・
・・作動室、 ４；３　相手スクリューロータの歯、。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、互いに軸平行でかつねじり方向が逆のスクリュー歯
   を噛み合わせてなり同期回転する２つのスクリューロー
   タと、該２つのスクリューロータのスクリュー部を微小
   すき間を介して収納するボアを有し、かつボアの一方の
   端面に吸入口が、他方の端面に吐出口が形成されたケー
   シングとを備えたスクリュー真空ポンプにおいて、前記
   各スクリュー歯は軸断面で矩形形状を有し、また前記吐
   出口は２つのスクリューロータの回転中心を結ぶ中心線
   のうちの両スクリュー部の重複部分にあたる線分と、そ
   れぞれのスクリュー部で中心線から該スクリューの回転
   方向と逆にある回転角度戻った位置での半径方向の直線
   のうちのスクリュー歯先円と歯底円に挟まれたそれぞれ
   の線分との、合計３本の線分を輪郭の一部とする区画に
   対面した形状を有することを特徴とするスクリュー真空
   ポンプ。 ２、互いに軸平行でかつねじる方向が逆のスクリュー歯
   を噛み合わせてなり、同期回転する２つのスクリューロ
   ータと、該２つのスクリューロータのスクリュー部を微
   小すき間を介して収納するボアを有し、かつボアの一方
   の端面に吸入口が、他方の端面に吐出口が形成されたケ
   ーシングとを備えたスクリュー真空ポンプにおいて、前
   記各スクリュー歯は軸断面で矩形形状を有し、また前記
   吐出口は２つのスクリューロータの回転中心を結ぶ中心
   線のうちの両スクリュー部の重複部分にあたる線分と、
   それぞれのスクリューで中心線から該スクリュー部の回
   転方向と逆にある回転角度戻った位置での半径方向の直
   線のうちのスクリュー歯先円と歯底円に挟まれたそれぞ
   れの線分と、それぞれスクリューの歯先円と歯底円とで
   形成される輪郭に対面した形状を有することを特徴とす
   るスクリュー真空ポンプ。 ３、互いに軸平行でかつねじり方向が逆のスクリュー歯
   を噛み合わせてなり同期回転する２つのスクリューロー
   タと、該２つのスクリューロータのスクリュー部を微小
   すき間を介して収納するボアを有し、かつボアの一方の
   端面に吸入口が、他方の端面に吐出口が形成されたケー
   シングとを備えたスクリュー真空ポンプにおいて、前記
   各スクリュー歯は軸断面で矩形形状を有し、また前記吐
   出口は２つのスクリューロータの回転中心を結ぶ中心線
   のうちの両スクリュー部の重複部分にあたる線分と、そ
   れぞれのスクリュー部で中心線から該スクリューの回転
   方向と逆にある回転角度戻った位置での半径方向の直線
   のうちのスクリュー歯先円と歯底円に挟まれたそれぞれ
   の線分との、合計３本の線分の内接円に対面した形状を
   有することを特徴とするスクリュー真空ポンプ。 ４、互いに軸平行でかつねじり方向が逆のスクリュー歯
   を噛み合わせてなり同期回転する２つのスクリューロー
   タと、該２つのスクリューロータのスクリュー部を微小
   すき間を介して収納するボアを有し、かつボアの一方の
   端面に吸入口が、他方の端面に吐出口が形成されたケー
   シングとを備えたスクリュー真空ポンプにおいて、前記
   各スクリュー歯は軸断面形状を矩形とし、前記各スクリ
   ュー部はその端面部に露出したスクリュー溝のうち、ス
   クリュー歯面がスクリュー部端面と交わる交線なるスク
   リュー溝止端から逆行するある範囲のスクリュー溝を一
   定深さ深くすることにより形成される円弧状の端部導出
   路を有し、前記吐出口は端部導出路に対面する輪郭の形
   状を有し、２つのスクリューロータの回転中心を結ぶ中
   心線から各スクリューの回転方向と逆にある回転角度戻
   った部位に位置することを特徴とするスクリュー真空ポ
   ンプ。 ５、互いに軸平行でかつねじり方向が逆のスクリュー歯
   を噛み合わせてなり同期回転する２つのスクリューロー
   タと、該２つのスクリューロータのスクリュー部を微小
   すき間を介して収納するボアを有し、かつボアの一方の
   端面に吸入口が、他方の端面に吐出口が形成されたケー
   シングとを備えたスクリュー真空ポンプにおいて、前記
   各スクリュー歯は軸断面形状を矩形とし、前記各スクリ
   ュー部はその端面部に露出したスクリュー溝のうち、ス
   クリュー歯面がスクリュー部端面と交わる交線なるスク
   リュー溝止端から逆行するある範囲のスクリュー溝を一
   定深さ深くすることにより形成される円弧状の端部導出
   路を有し、前記吐出口は端部導出路に対面し、該端部導
   出路と幅が同一で円弧長の異なる形状を有し、２つのス
   クリューロータの回転中心を結ぶ中心線から各スクリュ
   ーの回転方向と逆にある回転角度戻った部位に位置する
   ことを特徴とするスクリュー真空ポンプ。 ６、互いに軸平行でかつねじり方向が逆のスクリュー歯
   を噛み合わせてなり同期回転する２つのスクリューロー
   タと、該２つのスクリューロータのスクリュー部を微小
   すき間を介して収納するボアを有し、かつボアの一方の
   端面に吸入口が、他方の端面に吐出口が形成されたケー
   シングとを備えたスクリュー真空ポンプにおいて、前記
   各スクリュー歯は軸断面形状を矩形とし、前記各スクリ
   ュー部はその端面部に露出したスクリュー溝のうち、ス
   クリュー歯面がスクリュー部端面と交わる交線なるスク
   リュー溝止端から逆行するある範囲のスクリュー溝を一
   定深さ深くすることにより形成される端部導出路を有し
   、１つの主吐出口は２つのスクリューロータの回転中心
   を結ぶ中心線のうちの両スクリュー部の重複部分にあた
   る線分と、それぞれのスクリューで中心線から該スクリ
   ュー部の回転方向と逆にある回転角度戻った位置での半
   径方向の直線のうちのスクリュー歯先円と歯底円に挟ま
   れたそれぞれの線分と、それぞれスクリューの歯先円と
   歯底円とで形成される輪郭に対面した形状を有し、他の
   ２つの副吐出口は端部導出路に対面する輪郭の形状を有
   し、２つのスクリューロータの回転中心を結ぶ中心線か
   ら各スクリューの回転方向と逆にある回転角度戻った部
   位に位置し、主吐出口と副吐出口は互いに重なる合うこ
   となく隣接し、かつ主吐出口に開閉弁を設けたことを特
   徴とするスクリュー真空ポンプ。 ７、前記端部導出路は略１／４周の範囲に設けられたこ
   とを特徴とする請求項３または４記載のスクリュー真空
   ポンプ。