JPH04183578A - 研磨用基体の製造法 - Google Patents
研磨用基体の製造法Info
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- JPH04183578A JPH04183578A JP2309947A JP30994790A JPH04183578A JP H04183578 A JPH04183578 A JP H04183578A JP 2309947 A JP2309947 A JP 2309947A JP 30994790 A JP30994790 A JP 30994790A JP H04183578 A JPH04183578 A JP H04183578A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D11/00—Constructional features of flexible abrasive materials; Special features in the manufacture of such materials
- B24D11/001—Manufacture of flexible abrasive materials
-
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- B24D3/001—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as supporting member
- B24D3/002—Flexible supporting members, e.g. paper, woven, plastic materials
- B24D3/004—Flexible supporting members, e.g. paper, woven, plastic materials with special coatings
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Treatments For Attaching Organic Compounds To Fibrous Goods (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、半導体ＩＣウェハー、ガラス、金属等を研磨
する時に好適に使用される研磨用基体を得る研磨用基体
の製造法に関する。
する時に好適に使用される研磨用基体を得る研磨用基体
の製造法に関する。
研磨用基体を製造する方法として、従来、不織布にポリ
ウレタン樹脂溶液を含浸させ、水浴中或いは、ジメチル
ホルムアミド水溶液中に浸漬して完全凝固させ、水洗、
乾燥させる方法か知られているが、かかる方法による基
体ではポリウレタン樹脂がポーラス構造となるため柔か
過ぎて、使用時に縁たれを生し、縁の鋭いウェハを得る
ことが出来なかった。従って、繊維網目構造を更に強く
するために、上述の方法で得た基体を更に分割し、両表
面表皮層を除去して、高温加熱処理することにより、ポ
リウレタン樹脂を融解させて繊維の周りに融着させたり
、又、上記融解融着を容易にするために融点の異なるポ
リウレタン樹脂を用いる方法（特開昭６２−２９７０８
１号公報参照）か提示されている。 本発明者は更に良好な研磨用基体を得るための研究を行
い、網目構造を有する合成繊維製不織布にポリウレタン
溶液を含浸し、これを不完全凝固させ、更に約７５±５
℃の雰囲気中で残存溶媒を除去し、完全凝固させて研磨
用基体を得る方法を提案した（特願平２−７９２１号参
照）。
ウレタン樹脂溶液を含浸させ、水浴中或いは、ジメチル
ホルムアミド水溶液中に浸漬して完全凝固させ、水洗、
乾燥させる方法か知られているが、かかる方法による基
体ではポリウレタン樹脂がポーラス構造となるため柔か
過ぎて、使用時に縁たれを生し、縁の鋭いウェハを得る
ことが出来なかった。従って、繊維網目構造を更に強く
するために、上述の方法で得た基体を更に分割し、両表
面表皮層を除去して、高温加熱処理することにより、ポ
リウレタン樹脂を融解させて繊維の周りに融着させたり
、又、上記融解融着を容易にするために融点の異なるポ
リウレタン樹脂を用いる方法（特開昭６２−２９７０８
１号公報参照）か提示されている。 本発明者は更に良好な研磨用基体を得るための研究を行
い、網目構造を有する合成繊維製不織布にポリウレタン
溶液を含浸し、これを不完全凝固させ、更に約７５±５
℃の雰囲気中で残存溶媒を除去し、完全凝固させて研磨
用基体を得る方法を提案した（特願平２−７９２１号参
照）。
前記した特開昭６２−２９７０６１号記載の方法に従っ
て実験を繰返し行い走査型電子顕微鏡写真による観察を
行った処、材料表層部分を構成している繊維間にある樹
脂部分に多くのミクロボイド構造がかなり残留している
ことが判り、これを高温熱処理して樹脂を融解融着させ
ることでミクロボイドを消失させるには、その高温熱処
理の温度制御範囲が狭く自ずから限度があった。 又、本発明者が先に出願したものはかなり改善されたが
、最近特に強く要望されている基体の寿命を更に向上さ
せる点ては未だ不充分であった。そのために本発明では
極力基体全層内にミクロボイド構造がなく、ポリウレタ
ン樹脂が網目構造を形成している合成繊維を互いに固定
しかつ合成繊維の周りのみに樹脂膜か形成されているよ
うな構造体とし、もってテーパー摩耗かより低い、研磨
用に好適な基体を容易に得ることを目的とするものであ
る。
て実験を繰返し行い走査型電子顕微鏡写真による観察を
行った処、材料表層部分を構成している繊維間にある樹
脂部分に多くのミクロボイド構造がかなり残留している
ことが判り、これを高温熱処理して樹脂を融解融着させ
ることでミクロボイドを消失させるには、その高温熱処
理の温度制御範囲が狭く自ずから限度があった。 又、本発明者が先に出願したものはかなり改善されたが
、最近特に強く要望されている基体の寿命を更に向上さ
せる点ては未だ不充分であった。そのために本発明では
極力基体全層内にミクロボイド構造がなく、ポリウレタ
ン樹脂が網目構造を形成している合成繊維を互いに固定
しかつ合成繊維の周りのみに樹脂膜か形成されているよ
うな構造体とし、もってテーパー摩耗かより低い、研磨
用に好適な基体を容易に得ることを目的とするものであ
る。
本発明は、上述の如く完全凝固時に生成したミクロボイ
ドを消失させるため、次いて高温処理しても消失しきれ
なかった欠点、及び不完全凝固させて残存溶媒てミクロ
ボイド構造を消失させようとしてもうまくいかなかった
欠点を解消させるために、網目構造を有する合成繊維製
不織布にポリウレタン溶液を含浸させた研磨用基体の製
造法において、ポリウレタン溶液を完全凝固させ乾燥後
、両表面表皮層を取除いた基体を溶剤水溶液中に短時間
含浸し、短時間高温雰囲気中で処理すること、及び両表
面表皮層を取り除いた基材を数枚に分割せしめ、溶剤水
溶液中に短時間含浸し、短時間高温雰囲気中で処理する
ことにより基体を得て解消したものである。 本発明に用いられる網目構造を有する合成繊維不織布と
は、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリルニトリル
、ポリプロピレン等の合成繊維のステープルファイバー
を通常の乾式不織布製造法で不織布として、その不織布
の形状を保持させるためにニードルパンチングされたも
のが好ましいが、特に溶剤に不溶解であり物性的にも優
れているポリエステル繊維を用いることが好ましい。 該不織布をポリウレタン溶液に含浸させるが、この際用
いられるポリウレタン樹脂としてはポリエステル系、ポ
リエーテル系の単独又は混合のポリウレタン樹脂を用い
ることが出来るか、物性的にはポリエーテル系のポリウ
レタン樹脂をＮ、Ｎ−−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ
−−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン等の溶
剤に溶解したポリウレタン溶液か好ましく、その樹脂濃
度は自由であるが、取扱上２０％前後が望ましい。 不織布を上述のポリウレタン溶液に完全に含浸し、ポリ
ウレタン樹脂か不織布層の内部迄均−に浸透させ、しか
る後に絞り機により所望の樹脂含浸率になる如く絞り、
次いて温水又は水中にポリウレタン樹脂を含浸させた不
織布を浸漬し完全に脱溶媒させて完全凝固させる。次い
て処理済の不織布を通常の乾燥機を用いて完全に水分を
除去し基材を得る。 この様にして得られた基材の両表面表皮層をスライスし
て除去する。これはこの基材か処理によって両表面表皮
層に乾燥等の処理により樹脂が移行しているので、この
不均一樹脂付着部分を除去することを目的とするもので
ある。 両表面表皮層を除去し基材にし、又用途に応じた厚さに
２枚以上の数枚にスライス分割して基材とする。両表面
表皮層を除去した基材、又はスライス分割された基材を
次いてポリウレタン樹脂を溶解する性能を有する例えば
ポリウレタン溶液に用いられた溶剤に水を添加した溶剤
水溶液中に含浸させる。その時の溶剤水溶液の濃度はポ
リウレタン樹脂の付着量に応し又目的とする良好な研磨
基体の性質を具現させるために自由に選択され、又その
含浸時間も自由に選択することができる。もっとも処理
時間が長くなると不織布に含浸された樹脂が溶出してし
まうので余り長くすることは好ましくない。本発明では
１０秒以下が好ましい。溶剤水溶液に含浸した基材は速
やかに絞り機で絞られ、次いて短時間の高温雰囲気中で
乾燥させて研磨用基体を得る。この時の高温雰囲気の温
度は樹脂を溶解したり、不織布を構成している合成繊維
を溶融させる温度迄上昇させることは好ましくなく、本
発明では１５０℃前後、３０分前後が好ましい。この様
な方法によるために研磨用基体全層部に亙すポリウレタ
ン樹脂が合成繊維を強固に接合し、又合成繊維の表面を
皮膜し、ミクロボイド等が残るといったことがない好適
な研磨用基体が得られる。
ドを消失させるため、次いて高温処理しても消失しきれ
なかった欠点、及び不完全凝固させて残存溶媒てミクロ
ボイド構造を消失させようとしてもうまくいかなかった
欠点を解消させるために、網目構造を有する合成繊維製
不織布にポリウレタン溶液を含浸させた研磨用基体の製
造法において、ポリウレタン溶液を完全凝固させ乾燥後
、両表面表皮層を取除いた基体を溶剤水溶液中に短時間
含浸し、短時間高温雰囲気中で処理すること、及び両表
面表皮層を取り除いた基材を数枚に分割せしめ、溶剤水
溶液中に短時間含浸し、短時間高温雰囲気中で処理する
ことにより基体を得て解消したものである。 本発明に用いられる網目構造を有する合成繊維不織布と
は、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリルニトリル
、ポリプロピレン等の合成繊維のステープルファイバー
を通常の乾式不織布製造法で不織布として、その不織布
の形状を保持させるためにニードルパンチングされたも
のが好ましいが、特に溶剤に不溶解であり物性的にも優
れているポリエステル繊維を用いることが好ましい。 該不織布をポリウレタン溶液に含浸させるが、この際用
いられるポリウレタン樹脂としてはポリエステル系、ポ
リエーテル系の単独又は混合のポリウレタン樹脂を用い
ることが出来るか、物性的にはポリエーテル系のポリウ
レタン樹脂をＮ、Ｎ−−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ
−−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン等の溶
剤に溶解したポリウレタン溶液か好ましく、その樹脂濃
度は自由であるが、取扱上２０％前後が望ましい。 不織布を上述のポリウレタン溶液に完全に含浸し、ポリ
ウレタン樹脂か不織布層の内部迄均−に浸透させ、しか
る後に絞り機により所望の樹脂含浸率になる如く絞り、
次いて温水又は水中にポリウレタン樹脂を含浸させた不
織布を浸漬し完全に脱溶媒させて完全凝固させる。次い
て処理済の不織布を通常の乾燥機を用いて完全に水分を
除去し基材を得る。 この様にして得られた基材の両表面表皮層をスライスし
て除去する。これはこの基材か処理によって両表面表皮
層に乾燥等の処理により樹脂が移行しているので、この
不均一樹脂付着部分を除去することを目的とするもので
ある。 両表面表皮層を除去し基材にし、又用途に応じた厚さに
２枚以上の数枚にスライス分割して基材とする。両表面
表皮層を除去した基材、又はスライス分割された基材を
次いてポリウレタン樹脂を溶解する性能を有する例えば
ポリウレタン溶液に用いられた溶剤に水を添加した溶剤
水溶液中に含浸させる。その時の溶剤水溶液の濃度はポ
リウレタン樹脂の付着量に応し又目的とする良好な研磨
基体の性質を具現させるために自由に選択され、又その
含浸時間も自由に選択することができる。もっとも処理
時間が長くなると不織布に含浸された樹脂が溶出してし
まうので余り長くすることは好ましくない。本発明では
１０秒以下が好ましい。溶剤水溶液に含浸した基材は速
やかに絞り機で絞られ、次いて短時間の高温雰囲気中で
乾燥させて研磨用基体を得る。この時の高温雰囲気の温
度は樹脂を溶解したり、不織布を構成している合成繊維
を溶融させる温度迄上昇させることは好ましくなく、本
発明では１５０℃前後、３０分前後が好ましい。この様
な方法によるために研磨用基体全層部に亙すポリウレタ
ン樹脂が合成繊維を強固に接合し、又合成繊維の表面を
皮膜し、ミクロボイド等が残るといったことがない好適
な研磨用基体が得られる。
以下、本発明を実施例により詳細に説明するが、この範
囲に限定されるものではない。 尚、実施例に示した物性の測定は以下の方法による。 （１）密度（ｇ／Ｃｌ５） 試料の耳端５０ｍｍを除き、１００Ｘ Ｉｎ（１＋＋
ｍの試料片３枚を用意し、測定した重量の平均値からｇ
／ｄを求めた。 （′２Ｊ 圧縮率、圧縮弾性率（％）２Ｘ２ｃｍの試
験片３枚を採取し、安田精機製ＹＳＳ式ショツパー型厚
さ測定器を用いて、ｔｏｏ ｇ、３０秒間加圧した後の
厚さｔ。を測定し、次いで９００ｇのもとて５分間放置
後の厚さｔｌを測定する。 次に９００ ｇを除いて無加重で５分間放置後、再び１
００ｇ、３０秒間加圧した後の厚さｔ２を測定し、次式
から算出した。 圧縮率−（ｔ −ｔ ／１ｏ）ｘｌＯＯ圧縮弾性率
−（１−１／１ −１１） ×１００ （３） 硬 度 デュロメータ Ｔｙｐｅ Ａ （Ｔｈｅ ５ｈｏｒｅｌ
ｎｓｔｒｕ＋＋＋ｅｎｔ ＆ Ｍｆｇ、ｃｏ製）を用い
、２×２ＣＩ１１の試料片を厚さ ４．５＋ｕ＋以上に
なるように４枚重ね合わせた試料を台上に載せ、２５１
Ｉ１１上部より加圧針を落下させ、試料の３個所を測定
して平均値で求めた。 （４）透湿度（Ｉｇ／ ＣＩ２／ ｈｒ）Ｊ ｌ５Ｋ−
６５４９に基づいて測定した。封ろう剤として密ろう：
パラフィンの比が６０＋４０のものを用いた。 （５）テーパー摩耗１ｇ／１０００回）東洋側蓋製テー
パー型摩耗試験機を用い、試料片を標準状態（室温２０
±２℃、温度６５±２％）になる迄放置し、測定前に付
着繊維等を完全に払い落とした後、化学天秤で試料片重
量を測定しくＡＩＩｌｇ）、荷重５００ｇ、摩耗輪Ｈ−
２２，１０００回転の条件に設定した摩耗試験機に試料
をセット、運転し、終了後、摩耗層を除去した試料Ｂの
重量を測定しくＢ−ｇ） 、２回の繰返試験の結果を次
式で算出し平均値で求めた。 テーパー摩耗−Ａ−Ｂ 実施例１゜ ３デニール、５１ｍｍ繊維長のポリエステル繊維のウェ
ブを積層し、ｌｄ当り ７００本のニードルパンチを施
した厚さ ４．２■、目付８１１０ｇ／％の不織布を用
いた。この不織布を、エーテル系ポリウレタン樹脂溶液
（商品名サンブレン；三洋化成工業■製、平均分子量２
０００、樹脂濃度２０％のジメチルホルムアミド溶液）
に含浸し、クリアランス３．５−一、圧力３Ｋｇ／ＣＩ
’のロールプレス機で絞って均一に含浸させた。 この樹脂含浸不織布を常温の水流中に１０時間浸漬し完
全に脱溶媒させて完全凝固させた。 次いて水中より取り出し、更に水洗、圧搾を３回繰返し
た後、１００℃の乾燥機で２時間乾燥した。 得られた樹脂含浸不織布の両面表皮層を夫々０．８１１
取除き、中心より２枚の厚さに分割した。 得られた分割した樹脂含浸不織布７試料についてジメチ
ルホルムアミド：水の重量比率を１：１．２ ： １．
３ ： １．４．１．５ ： １．６ ： １．７：１
に変更したジメチルホルムアミド水溶液に夫々５秒浸漬
してから取り出し、直ちにクリア −７ンス３．５・ｓ
ｗ、圧力３Ｋｇ／ｃＩ２のロールプレス機で絞って、１
４０℃の温度雰囲気の乾燥器で２０分処理し、試料１〜
７の研磨用基体を得た。 このものの樹脂付着量は３５％であった。夫々の試料１
〜７、及びジメチルホルムアミド水溶液で処理しない単
に分割した状態の試料８について夫々物性試験を行い、
その結果を第１表に示した。又、試料５と８の表面状態
の走査型電子顕微鏡写真を夫々第１図、第２図に示した
が、本発明の方法による研磨用基体には、全くミクロボ
イドは見られない。 第１表 実施例２゜ 実施例１．では樹脂含浸不織布をクリアランス３．５ｍ
ｍ、圧力３Ｋｇ／ｃＩ２のロールプレス機で絞ったが、
本実施例ではクリアランス２．７ｍｍ、圧力３Ｋｇ／ｃ
ｄのロールプレス機で絞った以外は実施例１．と同様の
条件にして研磨用基体試料９〜１５を得た。これらの研
磨用基体の樹脂付着量は２５％であった。試料９〜１５
の物性測定結果は第２表に示す通りであった。 第２表 実施例３゜ 本実施例では樹脂含浸不織布をクリアランス４．１ａｍ
％圧力３ Ｋｇ／ ｃｗ２のロールプレス機で絞った
以外は実施例１と同様の条件で研磨用基体試料１６〜２
２を得た。これらの研磨用基体の樹脂付着量は４５％で
あった。試料１６〜２２の物性試験結果は第３表に示す
通りであった。 第３表 比較例１゜ ３デニール、５１１１１繊維長のポリエステル繊維のウ
ェブを積層し、１ｃ−当り ７００本のニードルパンチ
を施したもので厚さ ４．２−甑、目付８６０ｇ／ｒ＆
の不織布を用意した。この不織布を実施例１．で用いた
ポリウレタン溶液に浸漬し、クリアラ＞ ７． ３．５
＋＋＋ｓ＋、圧力３ｋｇ／ｃｍ２のロールプレスで絞っ
て均一に含浸させた。 この樹脂含浸不織布を常温（２０℃）の水中に５０分浸
漬し、不完全凝固の状態でロールプレス機で絞り、直ち
に７５±５℃の乾燥機で２時間乾燥した。このものの樹
脂付着率は３８％であった。該基布を２．１−一の厚さ
の２枚に分割し、更に夫々表皮層を０．８ｍｍ取除き、
厚さ １．３１樹脂付着率３５％の２枚の研磨用基体を
得た。 この物性は、密度０．４１ｇ／ＣＩ’、圧縮率３ 、３
９６、弾性圧縮率８２．３％、硬度８０．５、透湿度１
３．８Ｂ／ＣＩ２／ｈ「、テーパー摩耗６１．６ｍｇ／
１０００回で、走査型電子顕微鏡写真で表面状態の繊
維の状態を見ると第３図のとおりでミクロボイドは見ら
れなかったが、繊維間にかなり多くの樹脂膜か残存して
いることが判った。 応用例。 実施例１．２．３で得た試料５，１３．２０及び比較例
１．て得た試料の研磨用基体をスピードファム社製片面
研磨機（形式３２ＳＰＡＶ）の定盤（直径８１２＊＊φ
）の全面に両面テープで貼り付け、コロイダルシルカ果
粒を用いてシリコンウェハー（１２５ｍｍφ）を回転数
８７ＲＰＭ 、加圧圧力５００ｇ／ｃｗ２．１サイクル
２０分間で研磨した。 その結果、試料５．１３．２０については夫々 １２０
時間、１３０時間、１１０時間使用に耐えたのに対し、
比較例のものは８３時間の使用迄しか耐えなかった。そ
して、被研磨物の平坦性、面たれも比較例のものよりも
勝れていた。
囲に限定されるものではない。 尚、実施例に示した物性の測定は以下の方法による。 （１）密度（ｇ／Ｃｌ５） 試料の耳端５０ｍｍを除き、１００Ｘ Ｉｎ（１＋＋
ｍの試料片３枚を用意し、測定した重量の平均値からｇ
／ｄを求めた。 （′２Ｊ 圧縮率、圧縮弾性率（％）２Ｘ２ｃｍの試
験片３枚を採取し、安田精機製ＹＳＳ式ショツパー型厚
さ測定器を用いて、ｔｏｏ ｇ、３０秒間加圧した後の
厚さｔ。を測定し、次いで９００ｇのもとて５分間放置
後の厚さｔｌを測定する。 次に９００ ｇを除いて無加重で５分間放置後、再び１
００ｇ、３０秒間加圧した後の厚さｔ２を測定し、次式
から算出した。 圧縮率−（ｔ −ｔ ／１ｏ）ｘｌＯＯ圧縮弾性率
−（１−１／１ −１１） ×１００ （３） 硬 度 デュロメータ Ｔｙｐｅ Ａ （Ｔｈｅ ５ｈｏｒｅｌ
ｎｓｔｒｕ＋＋＋ｅｎｔ ＆ Ｍｆｇ、ｃｏ製）を用い
、２×２ＣＩ１１の試料片を厚さ ４．５＋ｕ＋以上に
なるように４枚重ね合わせた試料を台上に載せ、２５１
Ｉ１１上部より加圧針を落下させ、試料の３個所を測定
して平均値で求めた。 （４）透湿度（Ｉｇ／ ＣＩ２／ ｈｒ）Ｊ ｌ５Ｋ−
６５４９に基づいて測定した。封ろう剤として密ろう：
パラフィンの比が６０＋４０のものを用いた。 （５）テーパー摩耗１ｇ／１０００回）東洋側蓋製テー
パー型摩耗試験機を用い、試料片を標準状態（室温２０
±２℃、温度６５±２％）になる迄放置し、測定前に付
着繊維等を完全に払い落とした後、化学天秤で試料片重
量を測定しくＡＩＩｌｇ）、荷重５００ｇ、摩耗輪Ｈ−
２２，１０００回転の条件に設定した摩耗試験機に試料
をセット、運転し、終了後、摩耗層を除去した試料Ｂの
重量を測定しくＢ−ｇ） 、２回の繰返試験の結果を次
式で算出し平均値で求めた。 テーパー摩耗−Ａ−Ｂ 実施例１゜ ３デニール、５１ｍｍ繊維長のポリエステル繊維のウェ
ブを積層し、ｌｄ当り ７００本のニードルパンチを施
した厚さ ４．２■、目付８１１０ｇ／％の不織布を用
いた。この不織布を、エーテル系ポリウレタン樹脂溶液
（商品名サンブレン；三洋化成工業■製、平均分子量２
０００、樹脂濃度２０％のジメチルホルムアミド溶液）
に含浸し、クリアランス３．５−一、圧力３Ｋｇ／ＣＩ
’のロールプレス機で絞って均一に含浸させた。 この樹脂含浸不織布を常温の水流中に１０時間浸漬し完
全に脱溶媒させて完全凝固させた。 次いて水中より取り出し、更に水洗、圧搾を３回繰返し
た後、１００℃の乾燥機で２時間乾燥した。 得られた樹脂含浸不織布の両面表皮層を夫々０．８１１
取除き、中心より２枚の厚さに分割した。 得られた分割した樹脂含浸不織布７試料についてジメチ
ルホルムアミド：水の重量比率を１：１．２ ： １．
３ ： １．４．１．５ ： １．６ ： １．７：１
に変更したジメチルホルムアミド水溶液に夫々５秒浸漬
してから取り出し、直ちにクリア −７ンス３．５・ｓ
ｗ、圧力３Ｋｇ／ｃＩ２のロールプレス機で絞って、１
４０℃の温度雰囲気の乾燥器で２０分処理し、試料１〜
７の研磨用基体を得た。 このものの樹脂付着量は３５％であった。夫々の試料１
〜７、及びジメチルホルムアミド水溶液で処理しない単
に分割した状態の試料８について夫々物性試験を行い、
その結果を第１表に示した。又、試料５と８の表面状態
の走査型電子顕微鏡写真を夫々第１図、第２図に示した
が、本発明の方法による研磨用基体には、全くミクロボ
イドは見られない。 第１表 実施例２゜ 実施例１．では樹脂含浸不織布をクリアランス３．５ｍ
ｍ、圧力３Ｋｇ／ｃＩ２のロールプレス機で絞ったが、
本実施例ではクリアランス２．７ｍｍ、圧力３Ｋｇ／ｃ
ｄのロールプレス機で絞った以外は実施例１．と同様の
条件にして研磨用基体試料９〜１５を得た。これらの研
磨用基体の樹脂付着量は２５％であった。試料９〜１５
の物性測定結果は第２表に示す通りであった。 第２表 実施例３゜ 本実施例では樹脂含浸不織布をクリアランス４．１ａｍ
％圧力３ Ｋｇ／ ｃｗ２のロールプレス機で絞った
以外は実施例１と同様の条件で研磨用基体試料１６〜２
２を得た。これらの研磨用基体の樹脂付着量は４５％で
あった。試料１６〜２２の物性試験結果は第３表に示す
通りであった。 第３表 比較例１゜ ３デニール、５１１１１繊維長のポリエステル繊維のウ
ェブを積層し、１ｃ−当り ７００本のニードルパンチ
を施したもので厚さ ４．２−甑、目付８６０ｇ／ｒ＆
の不織布を用意した。この不織布を実施例１．で用いた
ポリウレタン溶液に浸漬し、クリアラ＞ ７． ３．５
＋＋＋ｓ＋、圧力３ｋｇ／ｃｍ２のロールプレスで絞っ
て均一に含浸させた。 この樹脂含浸不織布を常温（２０℃）の水中に５０分浸
漬し、不完全凝固の状態でロールプレス機で絞り、直ち
に７５±５℃の乾燥機で２時間乾燥した。このものの樹
脂付着率は３８％であった。該基布を２．１−一の厚さ
の２枚に分割し、更に夫々表皮層を０．８ｍｍ取除き、
厚さ １．３１樹脂付着率３５％の２枚の研磨用基体を
得た。 この物性は、密度０．４１ｇ／ＣＩ’、圧縮率３ 、３
９６、弾性圧縮率８２．３％、硬度８０．５、透湿度１
３．８Ｂ／ＣＩ２／ｈ「、テーパー摩耗６１．６ｍｇ／
１０００回で、走査型電子顕微鏡写真で表面状態の繊
維の状態を見ると第３図のとおりでミクロボイドは見ら
れなかったが、繊維間にかなり多くの樹脂膜か残存して
いることが判った。 応用例。 実施例１．２．３で得た試料５，１３．２０及び比較例
１．て得た試料の研磨用基体をスピードファム社製片面
研磨機（形式３２ＳＰＡＶ）の定盤（直径８１２＊＊φ
）の全面に両面テープで貼り付け、コロイダルシルカ果
粒を用いてシリコンウェハー（１２５ｍｍφ）を回転数
８７ＲＰＭ 、加圧圧力５００ｇ／ｃｗ２．１サイクル
２０分間で研磨した。 その結果、試料５．１３．２０については夫々 １２０
時間、１３０時間、１１０時間使用に耐えたのに対し、
比較例のものは８３時間の使用迄しか耐えなかった。そ
して、被研磨物の平坦性、面たれも比較例のものよりも
勝れていた。
上述の如く、本発明の方法による研磨用基体はポリウレ
タン含浸不織布を完全凝固させ、乾燥後両表面表皮層を
取り除いた基材、又は用途に応じた厚さにするため２枚
以上に分割した基材を溶剤水溶液中で短時間浸漬し、短
時間高温雰囲気中で処理したためにミクロボイドは全く
消失した研磨用基体が得られ、テーパー摩耗が更に低く
なる研磨用基体としては最も好ましい物性を具備出来、
使用時における寿命も長い研磨用基体である。
タン含浸不織布を完全凝固させ、乾燥後両表面表皮層を
取り除いた基材、又は用途に応じた厚さにするため２枚
以上に分割した基材を溶剤水溶液中で短時間浸漬し、短
時間高温雰囲気中で処理したためにミクロボイドは全く
消失した研磨用基体が得られ、テーパー摩耗が更に低く
なる研磨用基体としては最も好ましい物性を具備出来、
使用時における寿命も長い研磨用基体である。
第１図は本発明の実施例１で得られた試料５の研磨用基
体の、また第２図は同じく試料８の比較例である研磨用
基体の、更に第３図は比較例１て得られた研磨用基体の
、それぞれ表面状態における繊維の状態を示す走査型電
子顕微鏡写真（４００倍）である。
体の、また第２図は同じく試料８の比較例である研磨用
基体の、更に第３図は比較例１て得られた研磨用基体の
、それぞれ表面状態における繊維の状態を示す走査型電
子顕微鏡写真（４００倍）である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、網目構造を有する合成繊維製不織布にポリウレタン
溶液を含浸させた研磨用基体の製造法において、ポリウ
レタン溶液を完全凝固させ乾燥後、両表面表皮層を取除
いた基材を溶剤水溶液中に短時間浸漬し、短時間高温雰
囲気中で処理することを特徴とする研磨用基体の製造方
法 ２、網目構造を有する合成繊維製不織布にポリウレタン
溶液を含浸させた研磨用基体の製造法において、ポリウ
レタン溶液を完全凝固させ乾燥後、両表面表皮層を取除
いた基材を数枚に分割せしめ、溶剤水溶液中に短時間浸
漬し、短時間高温雰囲気中で処理することを特徴とする
研磨用基体の製造方法
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2309947A JPH04183578A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 研磨用基体の製造法 |
| US07/660,750 US5094670A (en) | 1990-11-15 | 1991-02-26 | Method of producing polishing sheet material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2309947A JPH04183578A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 研磨用基体の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04183578A true JPH04183578A (ja) | 1992-06-30 |
Family
ID=17999269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2309947A Pending JPH04183578A (ja) | 1990-11-15 | 1990-11-15 | 研磨用基体の製造法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5094670A (ja) |
| JP (1) | JPH04183578A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016030322A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 金属物品の凹面を研磨するための研磨キット、研磨治具、並びに金属物品の製造方法及び研磨方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| JP4555559B2 (ja) * | 2003-11-25 | 2010-10-06 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨布及び研磨布の製造方法 |
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| TWI297049B (en) * | 2005-05-17 | 2008-05-21 | San Fang Chemical Industry Co | Artificial leather having ultramicro fiber in conjugate fiber of substrate |
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| US20080187715A1 (en) * | 2005-08-08 | 2008-08-07 | Ko-Feng Wang | Elastic Laminate and Method for Making The Same |
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| TW200825244A (en) | 2006-12-13 | 2008-06-16 | San Fang Chemical Industry Co | Flexible artificial leather and its manufacturing method |
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| CA2867350C (en) | 2012-03-16 | 2017-05-23 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing surfaces |
| US8968435B2 (en) | 2012-03-30 | 2015-03-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for fine polishing of ophthalmic lenses |
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1990
- 1990-11-15 JP JP2309947A patent/JPH04183578A/ja active Pending
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- 1991-02-26 US US07/660,750 patent/US5094670A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5094670A (en) | 1992-03-10 |
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