JPH04179142A - 配管内汚れ予知システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置製造用の真空装置に使用している各
種排気系配管、配管内の汚れを予知する配管内汚れ自動
予知システムに関する。

〔従来の技術〕

近年、半導体装置の製造に関しては、酸化膜形成、不純
物拡散、多結晶膜の成膜及びエツチング等の種々の工程
がある。これら工程における各種製造設備には真空排気
装置を備えている。これら真空排気装置は種々の雰囲気
ガスを排気することから配管内が種々の化学育成物が堆
積するということがある。また、これら堆積物が蒸発し
、真空排気されたチャンバに逆流し、半導体ウェーハを
汚染し、半導体装置の品質を著しく低下するとかある。

これら各種設備の真空排気装置の配管内の汚れについて
は、定期的に分解し、清掃する以外は、特に手だてがな
く、汚れを予知する手段がなかった。従って、必要に応
じて汚れがあると思われる配管を取外し、その配管内の
汚れを調査し、全真空排気系を分解し、清掃するか否か
を決めていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来のような配管内部の汚れ具合を予知
するには、配管系統を分解し、目視にて汚れを確認する
方法しかなく、配管の汚れを予知するのに定量的に汚れ
の度合を把握出来ないはかりか、汚れを確認するのに、
多大な浪費と機械停止時間を要する問題かある。

本発明の目的は、かかる問題を解決すへく、配管内の汚
れを定量的に的確に予知し得る配管内汚れ予知システム
を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の配管内汚れ予知システムは、半導体基板を収納
し、処理するチャンバに直結する配管に対向して設けら
れる気密構造の一対の窓と、これらの窓の外に配置され
る発光器及び受光器とを備え、発光器より発生ずる光を
受光器が受光し、その光電流を測定し、その測定値か規
定電流値以下になるとき、警報を発生することを特徴と
している。

〔実施例〕

次に本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例における配管内汚れ予知シス
テムの概略を示す図である。この配管内汚れ予知システ
ムは、同図に示すように、処理室であるチャンバに直接
接続される配管５に対向して設けられる透明な気密構造
の窓３ａ及び３１）と、この窓３ａを透過し窓３１つに
光を照射する発光器１と、窓３１つを透過する光を検知
する受光器２と、発光器１に電流を供給するとともに受
光器２の光電流を測定し、その測定値が規定値以下にな
るとき警報を発する検知制御装置４とで構成される。

次に、この配管内汚れ予知システムの動作を説明する。

まず、チャンバ内の処理により発生ずる化合物がチャン
バ側壁及び配管内に堆積し始める。このとき、発光器１
は検知制御装置４により一定の光強度の光を発光する。

受光器２は窓３ｂを透過した光を検知し、その発光電流
を検知制御装置４は受ける。次に配管内の汚れか進むに
つれて、光電流が減少する。ここで、検知制御装置４に
は、汚れの限度を設定する規定電流値を設定しておくこ
とにより、前記光電流か前記規定電流値以下になるとき
、警報のための信号を出力する。

この配管内汚れ予知システムの警報により、配管内の汚
れを警告し、装置を停止して、配管内を清掃する。なお
、ここで発光器は、感度を良くするために出来るだけ大
面積のものか良く、例えば、コリメートレンズを用いた
投光器のようなものを使用し、そして、受光器としては
大面積の太陽電池セル等を使用すると効果的である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は配管内の汚れを光透過率と
して定量的に把握する手段を設けることによって、配管
内の汚れを定量的に的確に予知する配管内汚れ予知シス
テムか得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における配管内汚れ予知シス
テムの概略を示す図である。 １・・発光器、２・・受光器、３ａ、３ｂ・・・窓、４
・・・検知制御装置、５・・・配管。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体基板を収納し、処理するチャンバに直結する配
   管に対向して設けられる気密構造の一対の窓と、これら
   の窓の外に配置される発光器及び受光器とを備え、発光
   器より発生する光を受光器が受光し、その光電流を測定
   し、その測定値が規定電流値以下になるとき、警報を発
   生することを特徴とする配管内汚れ予知システム。