JP2601431B2 - 光照射処理装置 - Google Patents
光照射処理装置Info
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- JP2601431B2 JP2601431B2 JP63065649A JP6564988A JP2601431B2 JP 2601431 B2 JP2601431 B2 JP 2601431B2 JP 63065649 A JP63065649 A JP 63065649A JP 6564988 A JP6564988 A JP 6564988A JP 2601431 B2 JP2601431 B2 JP 2601431B2
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- light irradiation
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は複数個の光源からなる光照射処理装置に関
するものであり、各光源の光の強度を簡単にモニタする
機能を有する装置に関するものである。
するものであり、各光源の光の強度を簡単にモニタする
機能を有する装置に関するものである。
［従来の技術］ 光照射処理装置は、処理台に載置された被処理物に対
して、光照射処理を行う装置であるが、複数の光源（以
下ランプという）を用いて行う装置の場合、処理台上の
各位置での照度分布がほぼ均一であることが望ましい
が、各ランプの光の強度のバラツキやランプの経時変化
等の理由により照度分布を均一に保つことは難しい。そ
の上、光照射処理装置内の照度分布を知るためには照度
計を用いて装置内の各位置の照度を測定しなければなら
ないが、密閉された空間である光照射処理装置内におい
て光照射処理が行われる時と同一状態で、照度を測定す
るための適当な手段は従来なかった。
して、光照射処理を行う装置であるが、複数の光源（以
下ランプという）を用いて行う装置の場合、処理台上の
各位置での照度分布がほぼ均一であることが望ましい
が、各ランプの光の強度のバラツキやランプの経時変化
等の理由により照度分布を均一に保つことは難しい。そ
の上、光照射処理装置内の照度分布を知るためには照度
計を用いて装置内の各位置の照度を測定しなければなら
ないが、密閉された空間である光照射処理装置内におい
て光照射処理が行われる時と同一状態で、照度を測定す
るための適当な手段は従来なかった。
［発明が解決しようとする課題］ 上記のように、従来の光照射処理装置においては、装
置内の照度を測定する手段としては装置のカバーを取り
はずすか、または被処理物の搬送口より照度計の受光器
を挿入するかして行うことが考えられるが、前者は光照
射処理が行われる時と同一条件で測定する場合とは異な
るので、精度として問題があり、また被処理物の搬送口
は被処理物が半導体ウエハのように厚さの薄いものの場
合、光の漏れを防止するために非常に狭くなっているの
で、この搬送口に受光器を挿入することは不可能であ
る。そのため、処理室内の外壁に受光器を取付けること
等も考えられるが、光照射処理面ではないために測定の
精度としては好ましくない等の問題があった。
置内の照度を測定する手段としては装置のカバーを取り
はずすか、または被処理物の搬送口より照度計の受光器
を挿入するかして行うことが考えられるが、前者は光照
射処理が行われる時と同一条件で測定する場合とは異な
るので、精度として問題があり、また被処理物の搬送口
は被処理物が半導体ウエハのように厚さの薄いものの場
合、光の漏れを防止するために非常に狭くなっているの
で、この搬送口に受光器を挿入することは不可能であ
る。そのため、処理室内の外壁に受光器を取付けること
等も考えられるが、光照射処理面ではないために測定の
精度としては好ましくない等の問題があった。
この発明はかかる課題を解決するためになされたもの
で、光照射処理面の複数位置での照度の測定が容易かつ
高精度に行うことができ、合わせて各位置の照度分布や
各ランプの経時変化も知ることのできる光照射処理装置
を提供することを目的とする。
で、光照射処理面の複数位置での照度の測定が容易かつ
高精度に行うことができ、合わせて各位置の照度分布や
各ランプの経時変化も知ることのできる光照射処理装置
を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明の光照射処理
装置は、処理台を有し、この処理台に載置された被処理
物に複数個の光源からの光照射により処理を行う光照射
処理装置において、前記複数個のそれぞれの光源に対応
して前記処理台上の照度をモニタする複数個の受光素子
につながる複数個のバンドル状またはロッド状のライト
ガイドが、それぞれの光源の略直下の前記処理台面の複
数個の穴に埋め込まれており、それぞれの光源とそれぞ
れの穴との距離が等しい構成を有するものである。
装置は、処理台を有し、この処理台に載置された被処理
物に複数個の光源からの光照射により処理を行う光照射
処理装置において、前記複数個のそれぞれの光源に対応
して前記処理台上の照度をモニタする複数個の受光素子
につながる複数個のバンドル状またはロッド状のライト
ガイドが、それぞれの光源の略直下の前記処理台面の複
数個の穴に埋め込まれており、それぞれの光源とそれぞ
れの穴との距離が等しい構成を有するものである。
［作用］ 上記の構成を有することにより、処理台上の複数位置
での照度の測定が簡単に精度よく行うことができ、その
結果、各ランプの照度についてバラツキや経時変化等を
常にモニタすることができる。
での照度の測定が簡単に精度よく行うことができ、その
結果、各ランプの照度についてバラツキや経時変化等を
常にモニタすることができる。
［実施例］ 第１図はこの発明の一実施例である光照射処理装置の
概略を示す側断面図で、１はランプハウス、2a,2bはラ
ンプ、3a,3bはそれぞれランプ2a,2bのミラー、４は処理
台、５は被照射処理物（以下ワークという）の搬送口、
６は搬送口５のシャッタ、7a,7bは、光源であるランプ2
a,2bの略直下の処理台面上であって、ランプ2a,2bから
の距離を等しくして設けられた穴、8a,8bは各穴7a,7b上
に設けられたゴミ除けの透光性材料である石英板、9a,9
bは穴7a,7bにそれぞれ埋込まれたバンドル状またはロッ
ド状のライトガイト、10a,10bはこれらライトガイド9a,
9bから入射される光によって照度を検知するための受光
素子である。
概略を示す側断面図で、１はランプハウス、2a,2bはラ
ンプ、3a,3bはそれぞれランプ2a,2bのミラー、４は処理
台、５は被照射処理物（以下ワークという）の搬送口、
６は搬送口５のシャッタ、7a,7bは、光源であるランプ2
a,2bの略直下の処理台面上であって、ランプ2a,2bから
の距離を等しくして設けられた穴、8a,8bは各穴7a,7b上
に設けられたゴミ除けの透光性材料である石英板、9a,9
bは穴7a,7bにそれぞれ埋込まれたバンドル状またはロッ
ド状のライトガイト、10a,10bはこれらライトガイド9a,
9bから入射される光によって照度を検知するための受光
素子である。
尚、本実施例では２本のランプを使用するが、被処理
物の大きさや必要な光の強さに応じて、さらに多くのラ
ンプを用いてもよく、その場合はそれに従いライトガイ
ド９等も多くなる。
物の大きさや必要な光の強さに応じて、さらに多くのラ
ンプを用いてもよく、その場合はそれに従いライトガイ
ド９等も多くなる。
また、第２図は第１図の処理台４の主要部を拡大して
示した断面図で、７は穴、８は石英板、９はライトガイ
ド、10は受光素子である。
示した断面図で、７は穴、８は石英板、９はライトガイ
ド、10は受光素子である。
第１図，第２図において、複数のランプ2a,2bからの
光は、処理台４に設けられた穴7,7a,7bの石英板8,8a,8b
を透過してライトガイド9,9a,9bを介して受光素子10,10
a,10bにより照度が測定される。この時、例えば受光素
子10a,10bで測定した光の強度をそれぞれIa,Ibとする
と、 Ia≧C0 Ib≧C0 であって、かつ |Ia−Ib|≦C1 （但し、C0は処理に要求される照度の下限値、C1は各ラ
ンプの光出力のバラツキによる照度分布不均一の許容誤
差とする。また、C0,C1の値は任意に設定できる）の
時、それぞれのランプ2a,2bはほぼ正常な状態で点灯し
ており、光照射処理の続行または開始に不都合はないと
判断される。
光は、処理台４に設けられた穴7,7a,7bの石英板8,8a,8b
を透過してライトガイド9,9a,9bを介して受光素子10,10
a,10bにより照度が測定される。この時、例えば受光素
子10a,10bで測定した光の強度をそれぞれIa,Ibとする
と、 Ia≧C0 Ib≧C0 であって、かつ |Ia−Ib|≦C1 （但し、C0は処理に要求される照度の下限値、C1は各ラ
ンプの光出力のバラツキによる照度分布不均一の許容誤
差とする。また、C0,C1の値は任意に設定できる）の
時、それぞれのランプ2a,2bはほぼ正常な状態で点灯し
ており、光照射処理の続行または開始に不都合はないと
判断される。
ところが、光の強度Ia,IbのいずれかがC0より小さく
なったり、また、 |Ia−Ib|＞C1 になった場合は、照度が不足していたり、照度分布が不
均一であることになり、処理続行または開始が不可と判
断される。
なったり、また、 |Ia−Ib|＞C1 になった場合は、照度が不足していたり、照度分布が不
均一であることになり、処理続行または開始が不可と判
断される。
従って、速やかにランプを取換える等の手段を行っ
て、照度不足を解消したり照度分布の均一を図ることが
行われる。
て、照度不足を解消したり照度分布の均一を図ることが
行われる。
尚、この実施例では石英板８から直接ライトガイド９
に光が入射する場合を示しているが、このゴミ除け用の
石英板８とライトガイド９の間に必要に応じて減光板、
または光を均一に拡散したり減光したりしてライトガイ
ドに入射させるためのスリガラス等の光拡散板を設ける
ことも可能である。
に光が入射する場合を示しているが、このゴミ除け用の
石英板８とライトガイド９の間に必要に応じて減光板、
または光を均一に拡散したり減光したりしてライトガイ
ドに入射させるためのスリガラス等の光拡散板を設ける
ことも可能である。
さらに、ライトガイド９は被処理物により蔽れる位置
でも蔽れない位置でもどちらでも良く、蔽れる位置の場
合は実際の処理位置での照度がモニタできる利点があ
り、蔽れない位置の場合は処理中も常時モニタできる利
点がある。
でも蔽れない位置でもどちらでも良く、蔽れる位置の場
合は実際の処理位置での照度がモニタできる利点があ
り、蔽れない位置の場合は処理中も常時モニタできる利
点がある。
また、処理台４には必要に応じてワークを吸着するた
めの真空吸引孔やモータ，水冷パイプ，放熱フィン等を
設けることも可能である。
めの真空吸引孔やモータ，水冷パイプ，放熱フィン等を
設けることも可能である。
［発明の効果］ 以上説明したとおり、この発明は、前記複数個のそれ
ぞれの光源に対応して処理台上の照度をモニタする複数
個の受光素子につながる複数個のバンドル状またはロッ
ド状のライトガイドが、それぞれの光源の略直下の前記
処理台面の複数個の穴に埋め込まれており、それぞれの
光源とそれぞれの穴との距離が等しい構成であるので、
個々の光源を個別にしかも同時にモニタできるので、そ
れぞれのランプのバラツキ、経時変化等による照度の低
下や照度分布の不均一を常時モニタすることができる。
ぞれの光源に対応して処理台上の照度をモニタする複数
個の受光素子につながる複数個のバンドル状またはロッ
ド状のライトガイドが、それぞれの光源の略直下の前記
処理台面の複数個の穴に埋め込まれており、それぞれの
光源とそれぞれの穴との距離が等しい構成であるので、
個々の光源を個別にしかも同時にモニタできるので、そ
れぞれのランプのバラツキ、経時変化等による照度の低
下や照度分布の不均一を常時モニタすることができる。
第１図はこの発明の一実施例である光照射処理装置の概
略を示す側断面図、第２図は第１図の処理台の主要部を
拡大して示した断面図である。 図中． 1:ランプハウス 2a,2b:ランプ 3a,3b:ミラー 4:処理台 5:被照射処理物搬送口 6:シャッタ 7,7a,7b:穴 8,8a,8b:石英板 9,9a,9b:ライトガイド 10,10a,10b:受光素子
略を示す側断面図、第２図は第１図の処理台の主要部を
拡大して示した断面図である。 図中． 1:ランプハウス 2a,2b:ランプ 3a,3b:ミラー 4:処理台 5:被照射処理物搬送口 6:シャッタ 7,7a,7b:穴 8,8a,8b:石英板 9,9a,9b:ライトガイド 10,10a,10b:受光素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−15817（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−73632（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】処理台を有し、この処理台に載置された被
処理物に複数個の光源からの光照射により処理を行う光
照射処理装置において、 前記複数個のそれぞれの光源に対応して前記処理台上の
照度をモニタする複数個の受光素子につながる複数個の
バンドル状またはロッド状のライトガイドが、それぞれ
の光源の略直下の前記処理台面の複数個の穴に埋め込ま
れており、それぞれの光源とそれぞれの穴との距離が等
しいことを特徴とする光照射処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065649A JP2601431B2 (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | 光照射処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065649A JP2601431B2 (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | 光照射処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01239428A JPH01239428A (ja) | 1989-09-25 |
| JP2601431B2 true JP2601431B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=13293065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63065649A Expired - Fee Related JP2601431B2 (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | 光照射処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2601431B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5061026A (en) * | 1990-08-23 | 1991-10-29 | Clarke's Sheet Metal, Inc. | Light rod assembly for spark detection system |
| JP2007274007A (ja) * | 2007-06-18 | 2007-10-18 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5515082U (ja) * | 1978-07-19 | 1980-01-30 | ||
| JPS5773632A (en) * | 1980-10-27 | 1982-05-08 | Ushio Inc | Method and device for detecting light irradiation state |
| JPH07119647B2 (ja) * | 1985-07-15 | 1995-12-20 | 日本電気株式会社 | 光強度測定装置 |
| JPH0370176A (ja) * | 1989-08-10 | 1991-03-26 | Toshiba Corp | 絶縁ゲート付ターンオフサイリスタ |
-
1988
- 1988-03-22 JP JP63065649A patent/JP2601431B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01239428A (ja) | 1989-09-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |