JPH04178180A - 超音波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、超音波モータ、詳しくは超音波振動により
移動部材に駆動力を発生させる超音波モータに関するも
のである。

［従来の技術］ 屈曲振動子と縦振動子とを組み合わせた駆動部を有する
超音波モータは、既に提案されている。

この超音波モータは、弾性体に圧電素子や電歪素子等の
電気−機械変換素子を貼設してなる屈曲振動子と、該屈
曲振動子の節線上に設けられた縦振動子と、この縦振動
その先端面に圧接される被駆動部材とを具備し、屈曲振
動子の屈曲振動と縦振動子の伸縮により被駆動部材を移
動させるようにしたものである。

また、振動子の水平面と垂直面に圧電素子を貼設して超
音波振動を発生させ、この超音波振動を駆動力に利用し
たものとしては、実開平１−１０１１９２号公報に開示
されている圧電駆動装置がある。

この圧電駆動装置は、振動部が角棒状の振動子の水平側
面および垂直側面の一方に第１の圧電素子を、他方に第
２の圧電素子をそれぞれ設けると共に、上記第１の圧電
素子に高周波電圧を印加して共振振動を発生させ、かつ
この高周波電圧に同期して９０°位相のずれたパルス電
圧を上記第２の圧電素子に印加し、第２の圧電素子の最
大振幅点が円運動または楕円運動をなすようにする電源
装置を設け、そして上記最大振幅点と接する接触子を配
設することにより、上記接触子または振動子が駆動され
るようにしたものである。

また、この公報中には、屈曲振動子の屈曲振動の振幅方
向と垂直方向で、該屈曲振動子の中央に積層圧電素子を
設ける技術手段も開示されている。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、前記超音波モータのように屈曲振動の振動方
向に縦振動子を配置した構成や、上記実開平１−１０１
１９２号公報に開示されている圧電駆動装置のように屈
曲振動方向と直交する方向に縦振動子を配置している構
成では、振動子の屈曲振幅と平行方向か垂直方向のどち
らか一方の直線移動しかできないという不具合があり、
また、曲げモーメントが最大になる所に積層振動子が固
着されているため、屈曲振動子の屈曲力が妨げられ駆動
力が弱くなったり、更に、被駆動部材である走行体と駆
動部の積層先端との振動変位が弾性体の屈曲の変位だけ
なので、十分な変位量がとれず、積層先端での被駆動部
材である走行体を蹴る力が弱くなり、従って駆動力も弱
くなるという欠点を有していた。

本発明の目的は、上記従来の超音波モータや圧電駆動装
置における不具合を除去し、直線運動ばかりでなく回転
運動も容易にできて高駆動力が得られる、屈曲振動子と
縦振動子とを組み合わせた駆動部を有する超音波モータ
を提供するにある。

［課題を解決するための手段及び作用］本発明による超
音波モータは、弾性体と、該弾性体に固定される電気−
機械変換素子とからなり、該電気−機械変換素子に交流
電圧を印加することにより、上記弾性体上に定在波型の
屈曲振動を発生する屈曲振動子と、上記弾性体の表面で
、上記屈曲振動の節線上より外れた位置に設けられてお
り、上記屈曲振動により該節線を中心として揺動され、
交流電圧を印加されることにより上記屈曲振動の振幅方
向に対して垂直な方向に伸縮する少なくとも２つの縦振
動子と、上記縦振動子の先端面に圧接される被駆動部材
と、を具備しており、上記屈曲振動に同期して上記縦振
動子を伸縮させることにより、上記被駆動部材を上記屈
曲振動子および縦振動子に対して相対移動させることを
特徴とする。

［実施例］ 以下、図示の実施例により本発明を説明する。

先ず１、本発明の詳細な説明するに先立ち、本発明の基
本原理を述べた後、第２．３．４図を用いて屈曲振動子
と縦振動子等からなる駆動体の構造、動作、振動姿態等
をそれぞれれ説明する。

本発明の超音波モータの基本原理を説明すると、板状も
しくは棒状の弾性体と一体となっていて、該弾性体に超
音波振動を起こさせる圧電素子、電歪素子等からなる電
気−機械変換素子に交流電圧を印加することにより定在
波型の屈曲振動を起こす屈曲振動子と、上記弾性体の屈
曲振動の振幅方向と垂直方向の面で上記屈曲振動の節以
外の位置に設けられ屈曲振動子の振幅方向と垂直方向に
伸縮する少なくとも２つの縦振動子とからなる駆動体と
、上記縦振動子の先端面に圧接される被駆動部材とを具
備しており、上記屈曲振動に同期して上記縦振動子を伸
縮させることにより、上記駆動体と被駆動部材とを相対
移動させることを特徴とするものであって、屈曲振動子
の節以外に設けられた縦振動子を同時に駆動させること
によって直線運動を行わせ、また上記両端の縦振動子を
別々に駆動させることにより時計方向または反時計方向
の回転駆動を行わせる。このため、２次元的な自由度の
高い駆動を行うことができる。

次に、本発明の超音波モータに使用される駆動体の構造
、動作、振動姿態を説明する。

第３図および第４図は、圧電素子６を含む屈曲振動子１
と第１．第２の縦振動子３，４とからなる駆動体２の斜
視図と振動状態を示す作用図である。図において、屈曲
振動子１を屈曲振動させても変位のない点が節Ｎ、Ｎ′
である。また、図中の矢印は分極方向を示している。

屈曲振動子１は板状弾性体７とその屈曲方向面に板厚方
向に分極された圧電素子６が接着されて構成され、また
、屈曲振動子１の両端に、分極方向が互いに向き合うよ
うに８層された第１の縦振動子３、第２の縦振動子４が
屈曲振動子の屈曲振動の振幅方向と垂直な面より突出さ
れて配置されている。

このような構造において、屈曲振動子１が屈曲振動をす
ると、第４図に示すように屈曲振動子の振動形態は、屈
曲振動をしても振幅のないｓＮ。

Ｎ′を中心とした回転往復運動をする。そこで第１、第
２の縦振動子３，４はそれぞれ節Ｎ、Ｎ′を中心とする
回転方向が異なる回転往復運動、即ち揺動することにな
る。また、この縦振動子３゜４の先端に、板状の被駆動
部材５（第３図参照）が圧接されている。そして、回転
往復運動のうち、往動作あるいは復動作を、同時または
別々に被駆動部材５に作用させるように縦振動子３．４
を駆動し、被駆動部材５と駆動体２を相対的に直線移動
させたり、回転移動させることができるようになってい
る。

次に、圧電素子６および縦振動子３．４の分極方向と積
層方向並びに電圧印加時の挙動を第５図によって説明す
る。また図中、符号Ｏ１■は方向を表わし、矢印は分極
方向を示している。

第５図において、圧電素子６の右側の電極に印加される
交流電圧Ｅ１が正なら屈曲振動子１は、Ｓ方向に凸状に
屈曲し、負ならＳ方向に凸状に屈曲する。

また、縦振動子３．４へ印加される交流電圧Ｅ２、Ｅ３
が正なら縦振動子３．４はともに伸張した状態になり、
また縦振動子３，４へ印加される交流電圧Ｅ２　、Ｅ３
が負なら縦振動子３．４はともに収縮した状態になる。

次に、第４，５図を用いて屈曲振動子１と縦振動子３，
４の駆動による動作の説明をする。ここで０．■、■、
■は方向を表わす。

第５図において、屈曲振動子ｌへの入力交流電圧をＥｌ
、縦振動子３への入力交流電圧をＥ２、縦振動子４への
入力交流電圧をＥ３とする。屈曲振動子１への入力交流
電圧Ｅ１と縦振動子３への入力交流電圧Ｅ２の位相を９
０°シフトシ、縦振動子３への入力交流電圧Ｅ２と縦振
動子４への入力交流電圧Ｅ３とを同位相の交流電圧で駆
動すると、一方の縦振動子３が伸張して被駆動部材５（
第３図参照）に圧接、他方の縦振動子４も伸張して被駆
動部材５に圧接するのに同期して、一方の縦振動子３が
配置された屈曲振動子１の節ＮのＱ側の位置では、この
節Ｎを中心とした微小な反時計方向の回転が生じるので
、一方の縦振動子３の先端Ｐでは微小な反時計方向の回
転Ｐ−Ｐ’が生じ、一方の縦振動子３は被駆動部材５を
■から０へ蹴るように作用する。従って被駆動部材５が
固定されている場合には、駆動体２のＯ１！が■側へ移
動する。このとき、他方の縦振動子４が配置された屈曲
振動子１の節Ｎ′の０側の位置では、この節Ｎ′を中心
とした微小な時計方向の回転が生じるので、他方の縦振
動子４の先端Ｍでは微小な時計方向の回転Ｍ→゛Ｍ′が
生じ、他方の縦振動子４は被駆動部材５（第３図参照）
を■側がらＯ側へ蹴るように作用する。よって、被駆動
部材５が固定されている場合には駆動体２のＲ側がΦ側
へ移動する。

このように屈曲振動子１がＳ方向に凸から■方向へ凸に
屈曲するのに同期して縦振動子３，４が伸張した場合、
被駆動部材５が固定されていれば、駆動体２は■側から
■側へ平行移動することになる。

そして、屈曲振動子１が■側に凸から０側へ凸に屈曲し
た場合、一方の縦振動子３が配置された屈曲振動子１の
節ＮのＱ側の位置では、この節Ｎを中心とした微小な時
計方向の回転が生じるので、一方の縦振動子３の先端Ｐ
では微小な時計方向の回転Ｐ′→Ｐが生じ、他方の縦振
動子４が配置された屈曲振動子１の節Ｎ′の■側の位置
では、この節Ｎ′を中心とした微小な時計方向の回転が
生じるので、他方の縦振動子４の先端Ｍでは微小な反時
計方向の回転Ｍ′−Ｍが生じ、一方の縦振動子３と他方
の縦振動子・１は収縮して被駆動部材５とは接触してい
ないので、屈曲振動子１がΦ側に凸からΩ側へ凸に屈曲
した場合には、駆動体２は被駆動部材５に駆動力を与え
ないし、また、被駆動部材５が固定されていた場合でも
駆動体２が移動することはない。従って、この動作の繰
返しにより被駆動部材５が固定されていた場合、駆動体
２は０側から■側へ平行移動することになる。

また、駆動体２を逆方向、つまり■側からＳ側へ平行移
動させるには、屈曲振動子１に対する両縦振動子３．４
の伸縮タイミングを逆にすればよい。即ち、屈曲振動子
１がＯ側に凸がち■側に凸に屈曲するときに、両組振動
子３，４が収縮、屈曲振動子１がの側に凸からＧ側へ凸
に屈曲するときに両縦振動子３，４が伸張するようにす
ればよい。

以上は駆動体２が平行移動をする場合について述べたが
、次に駆動体２を回転させる方法につぃて述べる。

屈曲振動子１がθ側に凸から■側ｌ＼凸に屈曲するとき
に、他方の縦振動子４は伸縮させず、一方の縦振動子３
を伸張、屈曲振動子１がΦ側に凸がら０側へ凸に屈曲す
るときに他方の縦振動子４は伸縮させないまま、一方の
縦振動子３を収縮するようにすれば、一方の縦振動子３
の先端Ｐでの微小な反時計方向の回転ｐ−ｐ′のみが作
用することになる。よって、一方の縦振動子３は被駆動
部材５を■側から■側へ蹴る力のみが作用するので、被
駆動部材５が固定されていた場合には、上記の動作の繰
返しによって、駆動体２は他方の縦振動子４を中心とし
て時計方向に回転することになる。

また、屈曲振動子１がθ側に凸からの側へ凸に屈曲する
ときに、他方の縦振動子４を伸縮させず、一方の縦振動
子３を収縮、屈曲振動子１が■側に凸から０側へ凸に屈
曲するときに他方の縦振動子４を伸縮させないまま、一
方の縦振動子３は伸張するようにすれば、一方の縦振動
子３の先端Ｐでの微小な時計方向の回転Ｐ′→Ｐのみが
作用することになる。よって、一方の縦振動子３は被駆
動部材５をΩ測から■側へ蹴る力のみが作用するので、
被駆動部材５が固定されている場合、上記の動作の繰返
しによって、駆動体２は他方の縦振動子４を中心として
反時計方向に回転することになる。

また、屈曲振動子１の屈曲動作時に、一方の縦振動子３
を伸縮させず、他方の縦振動子４のみを伸縮させれば駆
動体２は一方の縦振動子３を中心として回転することに
なる。

以上が本発明の超音波モータに使用される駆動体の構造
、動作、振動姿態の説明である。次に、本発明の具体的
な実施例を図面に基づいて説明する。

第１図（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の第１実施例を示す超
音波モータの駆動体２の正面図および側面図であって、
第２図は駆動体２の斜視図である。また、第１図（Ｂ）
において符号＠、■は方向を示している。

図において、屈曲振動子１は、ステンレス、黄銅、リン
青銅、アルミニウム、インバー合金等からなる弾性体７
の前面に圧電素子６が一体に接着されて構成されている
。この屈曲振動子１に屈曲振動を励起すると振動の節が
できるが、この節と端部の間の位置に厚み方向に分極さ
れた複数の圧電素子板をＭＮＪしてなる第１．第２の縦
振動子３゜４が屈曲振動子１を構成する弾性体７の屈曲
振動の振幅方向の面と垂直な面７ａに接着されており、
この縦振動子３，４の先端面は走行体である被駆動部材
らの摺動面５ａに直交する方向に配置されている。

ここで第１．第２の縦振動子３．４は同一の分ａｉ構造
を持っている。

なお、本実施例では、第１．第２の縦振動子３゜４の先
端面、つまり被駆動部材５の摺動面５ａとの接触面に高
分子材料、セラミックス、複合材料等の絶縁性および耐
摩耗性のある摩擦材１ｏを張り付けである。このように
すれば、縦振動子３゜４に印加された電圧が被駆動部材
５へ漏れるのを防止できると共に、耐久性のあるモータ
にすることができる。

上記屈曲振動子１の各々の節の位置には、弾性体の振幅
方向と垂直な幅方向の側面、つまり上下面に４個の支持
ピン８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが取り付けられている。そ
して、これらの支持ビン８ａ〜８ｄにより支持ができる
ようになっている。

次に、このように構成された第１実施例において、被駆
動部材５の摺動面５ａ上に配置された駆動体２が第１図
（、Ｂ）において＠側に平行移動する方法を、第６図お
よび第７図により、以下に説明する。

屈曲振動子１に、第６図（＾）に示すような振幅ＶＯで
角周波数ωの正弦波形ｊ１の交流電圧ＶＯ５１ｎωｔを
印加する。また、一方の第１の縦振動子３に第６図（Ｂ
）に示すような上記正弦波形ｐ１より９０°位相が進ん
だ正弦波形ｊ２の交流電圧を印加する。そして、他方の
第２の縦振動子４にも第６図（Ｃ）に示すように上記の
縦振動子３同様、屈曲振動子１に印加した正弦波形ρ１
より９０゜位相の進んだ正弦波形１３の交流電圧を印加
する。

すると、駆動体２は第７図（Ａ）〜（ＤＪに示すように
動作する、なお、第７図において、左方は駆動体２の平
面を、また右方は正面をそれぞれ示しており、符号（る
口は方向を表わしている。

上述のように電圧を印加すると、第１の縦振動子３と第
２の４１振動子４がともに伸張するのに同期して屈曲振
動子１が駆動され、駆動体２が口側に凸型から■側に凸
型になる屈曲振動をする。すると、摺動面５ａに第１．
第２の縦振動子３．４が接触し、第１．第２の縦振動子
３，４か被駆動部材５の摺動面５ａを■側から口側に平
行に蹴り下げることになり、その結果、駆動体２が６側
方向に移動する。

次に、第７図（Ｅ）〜（Ｈ）において第１の縦振動子３
と第２の縦振動子４かともに収縮するのに同期して屈曲
振動子１が駆動され、駆動体２がΦ側に凸型から口側に
凸型になる屈曲振動をする。すると、摺動面５ａから第
１．第２の縦振動子３゜４が離れるから、第１．第２の
縦振動子３．４が被駆動部材５の摺動面５ａに力が作用
しないので、駆動体２は動かない。

そして、上記作動の連続により駆動体２は屈曲振動子１
の屈曲に伴って第７図の平面図で示す如く、■側方向、
つまり第１図（Ｂ）においては＠方向に移動することに
在る。

なお、駆動体２の移動方向を第１図（Ｂ）の■側にする
場合には屈曲振動子１に対する縦振動子３゜４の伸縮夕
■ミングを逆にすればよい。即ち、屈曲振動子１または
縦振動子３，４に印加する信号を上記の場合に対して　
１８０°位相をずらせば第１図（Ｂ）において、駆動体
２を■側に移動させることができる。

次に、駆動体２を回転させる方法を第８図、第９図によ
り以下に説明する。なお、第９図において左方は駆動体
２の平面を、右方は正面をそれぞれ示しており、符号０
０６口は方向を表している。

屈曲振動子１に第８図（Ａ）に示すような振幅■０で角
周波数ωの正弦波形ｆＪ１の交流電圧ＶＯ５１ｎωｔを
印加する。また、第１の縦振動子３に第８図（８）に示
すような上記正弦波形１１より９０゜位相が進んだ正弦
波形ｐ２の交流電圧を印加する。

そして、第２の縦振動子、１には第８図（Ｃ）に示すよ
うに電圧を印加しなければ、第９図（Ａ）〜（Ｄ）に示
すように第１の縦振動子３が伸張し、第２の縦振動子４
は伸縮しないのに同期して屈曲振動子１が駆動され、駆
動体２か口側に凸型から■側に凸型になる屈曲振動をす
る。すると、摺動面５ａに第１の縦振動子３のみが接触
し、第１の縦振動子３が被駆動部材５の摺動面５ａを■
側から口側へ蹴ることになり、その結果、駆動体２の◎
側のみが■側方向に移動する。

次に、第９図（Ｅ）〜（旧において第１の縦振動子３が
収縮して第２の縦振動子４が伸張しないのに同期して屈
曲振動子１が駆動され、駆動体２が■側に凸型から０側
に凸型になる屈曲振動をする。

すると、摺動面５ａから第１の縦振動子３が被駆動部材
５に力を作用させないので、駆動体２は動かない。

そして、上記作動の連続により駆動体２は屈曲振動子１
の屈曲に伴って第９図の正面図に示す如く、第２の縦振
動子４を中心として第１の縦振動子３が紙面に垂直に向
こう側、つまり、第２図において第２の縦振動子４を中
心として時計方向に回転することになる。

なお、駆動体２を第１の縦振動子３を中心として反時計
方向に回転させるには屈曲振動子１に対する縦振動子３
の伸縮タイミングを逆にすればよい。つまり、屈曲振動
子１または縦振動子３に印加する信号を上記の場合に対
して　１８０°位相をずらせば第９図の正面図に示す如
く、第２の縦振動子４を中心として第１の縦振動子３が
紙面に垂直に手前側、つまり第２図において第２の縦振
動子４を中心として反時計方向に回転することになる。

また、以上の組合わせによって直線運動や回転運動を複
合した移動ができる。

以上は、被駆動部材５の摺動面５ａ上を駆動体２を移動
させていたが、駆動体２を形成している弾性体７の側面
から出ている支持ビン８ａ、８ｂ。

８ｃ、８ｄを支持手段（図示せず）に支持すれば被駆動
部材５を直線移動や回転移動をさせることがてきる。

第１０図（＾＞、　（Ｂ３は、本発明の第２実施例を示
す超音波モータの平面図および正面図である。また符号
＠θは方向を示す。

上記第１実施例では弾性体７の幅方向に垂直な面に縦振
動子３，４を配置していたが、この第２実施例は弾性体
７の長さ方向に垂直な面、即ち両端面に縦振動子３Ａ、
４Ａをそれぞれ貼設して配置している。第１０図に示す
第２実施例において、屈曲振動子ＩＡの振動振幅方向は
＠Ｇ方向であるが、この屈曲振動子ＩＡの入力電力に対
する縦振動子３Ａ、４Ａへの入力電力を制御すれば、移
動走行体である被駆動部材５Ａ、５Ａ′と駆動体２Ａが
相対的に移動することになる。また、被駆動部材５Ａ、
５Ａ’を円弧状に形成すれば、駆動体２Ａは回転運動を
することになる。

次に第１１図は、回転円板等を駆動する本発明の第３実
施例を示したものである。駆動体２は前記第１実施例と
同じ構成である。被駆動部材５Ｂは円板状に形成されて
いて、その中心には貫通孔５Ｂａが穿設されており、回
礼５Ｂａが支軸１１に挿通されることによって被駆動部
材５Ｂは回転自在に支持されている。そして、被駆動部
材５Ｂに駆動体２を圧接させ、第１２図のように駆動さ
せる。

次に、第１２図に基づいて被駆動部材５Ｂを反時計方向
に駆動する作用を課明する。先ず、第１２図（Ａ）に示
すように、屈曲振動子１を振動させ、屈曲振動子左端が
図中上方にあるとき、縦振動子３を伸張させ、一方の縦
振動子４を収縮させる。

次いで第１２図（８）に示す如く、縦振動子について上
記状態を保持する。そして、第１２図（Ｃ）に示すよう
に屈曲振動子がこの状態のとき一方の縦振動子３を収縮
させ、他方の縦振動子４を伸張させる０次に、第１２図
（Ｄ）のように縦振動子について上記状態を保持する。

そして、第１２図（Ｅ）に示す如く、この状態で両振動
子３，４の伸縮を反転する。時計方向に駆動する場合に
は、上記縦振動子にかける電圧を逆にすればよい。

［発明の効果コ 以上述べたように本発明によれば、屈曲振動子の屈曲振
動の振幅方向とは垂直な面に少なくとも２つの縦振動子
を配置したことにより、直線運動および回転運動および
これらの組合わせによってより自由度の高い超音波モー
タを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）、　（Ｂ）は、本発明の第１実施例を示す
超音波モータの正面図と側面図、 第２図は、上記第１図の超音波モータにおける駆動体の
斜視図、 第３図は、上記駆動体における振動子の分極方向と被駆
動部材との関俤を示す斜視図、第４図は、上記駆動体の
振動状態を示す斜視図、第５図は、上記駆動体の圧電素
子と縦振動子への交流電圧の印加方法の一例と、このと
きの分極方向の状態を示す線図、 第６図（Ａ）、　（Ｂ）、　（Ｃ）は、上記第１図の超
音波モータを直線駆動させる場合における屈曲振動子、
縦振動子にそれぞれ印加する交流電圧の位相を示す波形
図、 第７図（Ａｌ−（ＩＩ）は、上記第６図（Ａ）〜（Ｃ１
に示す交流電圧を印加したときの上記駆動体の作用をそ
れぞれ表わした平面図と正面図、 第８図（Ａ）、　（Ｂ）、　（Ｃ）は、上記第１図の超
音波モータを回転駆動させる場合における屈曲振動子、
縦振動子にそれぞれ印加す交流電圧の位相を示す波形図
、 第９図（＾）〜（旧は、上記第８図（Ａ）〜（Ｃ）に示
す交流電圧を印加したときの上記駆動体の作用をそれぞ
れ表わした平面図と正面図、 第１０図（＾）、（Ｂ）は、本発明の第２実施例を示す
超音波モータの平面図と正面図、 第１１図は、本発明の第３実施例を示す超音波モータの
斜視図、 第１２図（Ａ）〜（Ｅ）は、上記第１１図の超音波モー
タの作用をそれぞれ示す平面図である。 １、ＩＡ・・・屈曲振動子 ２．２Ａ　駆動体 ３．３Ａ、４．４Ａ・・・縦振動子 ５．５Ａ、５Ａ′、５Ｂ−被駆動部材 ６・圧電素子（電気−機械変換素子） ７・・弾性体 Ｅｌ　、Ｅ２　、Ｅ３　・・交流電圧 特許出願人　　オリンパス光学工業株式会社第２０ ■ 茶８円 第１０園 第１２霞 （Ａ） ↑ （Ｂ）　　　　　　　　　　　（Ｅ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 弾性体と、該弾性体に固定される電気−機械変換素子と
   からなり、該電気−機械変換素子に交流電圧を印加する
   ことにより、上記弾性体上に定在波型の屈曲振動を発生
   する屈曲振動子と、 上記弾性体の表面で、上記屈曲振動の節線上より外れた
   位置に設けられており、上記屈曲振動により該節線を中
   心として揺動され、交流電圧を印加されることにより上
   記屈曲振動の振幅方向に対して垂直な方向に伸縮する少
   なくとも２つの縦振動子と、 上記縦振動子の先端面に圧接される被駆動部材と、 を具備しており、上記屈曲振動に同期して上記縦振動子
   を伸縮させることにより、上記被駆動部材を上記屈曲振
   動子および縦振動子に対して相対移動させることを特徴
   とする超音波モータ。