JPH04176655A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

インクジェット記録ヘッド

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JPH04176655A
JPH04176655A JP30507190A JP30507190A JPH04176655A JP H04176655 A JPH04176655 A JP H04176655A JP 30507190 A JP30507190 A JP 30507190A JP 30507190 A JP30507190 A JP 30507190A JP H04176655 A JPH04176655 A JP H04176655A
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pressure chamber
ink feed
laser beam
ink
chamber
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Shuichi Yamaguchi
修一 山口
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] 本発明はインクジェット記録ヘッド、特にそのインク供
給室と圧力室とを連結する供給路の改良に関する。
[従来の技術] オンデマンド型インクシェツト記録装置に要求されてい
る高印字品質化に応えるためにはノズル密度をより高め
ることが必要である。そのために、例えば特開昭56−
172号公報に見られるように、共通の基板上に形成し
たノズル列に対して複数のインク室をその両側に交互に
配置して高密度化したインクジェット記録ヘッドが提案
されている。さらにこの種の記録ヘッドを低コストで形
成するために、基板を高分子樹脂材により形成する手段
が採られるようになってきた。
ところで、高密度化したインクジェット記録ヘッドによ
り高印字品質を得るためには、インク供給室から供給路
を経て圧力室に入り、圧力室内で加圧され、圧力室の一
端に連通したノズルより噴射される、一連のインク挙動
、即ちインク飛行速度や飛行方向そして1ドツト当りの
インク量等が、個別にばらつきがないことが求められる
。インク挙動のばらつきに大きな影響を与える要因は、
圧力室の人口に相当する供給路の形状寸法と、出口に相
当するノズルの形状寸法のばらつきである。供給路とノ
ズルの断面積のばらつきがそれぞれ±15%以下であれ
ば、例え他の部分がばらついても印字品質は確保される
ということが実験的に確認されている。
これを各部の寸法精度に置き換えると、矩形断面の供給
路で幅、深さ各々約40μmに対し±25μm、円形断
面の供給路及びノズルで直径約40μmに対し上2゜5
μmになる。しかし現実的には、高分子樹脂材の射出成
形法で、このような微細寸法を高精度に成形することは
困難である。
また、微細寸法を高精度に成形するために、特開平−2
94047号に見られるように、インク供給室、圧力室
、供給路、ノズル全てをレーザービームて加工する方法
があるが、これは工数がかかり、非現実的である。
これに対して供給路のみをレーザーで加工する方法が考
えられる。本発明者が作成したヘッドを第4図に示す、
圧力室4の設けられた基板1に閉した流路系を構成する
ように第2基板8、lOが接合されている。インク吐出
側にはノズル6が形成されたノズル板9が接合されてい
る。また圧力室4の流入側には、レーザー加工により供
給路3が形成されている。また圧力室に対応して第2基
板8上には圧電素子7が設けられている。
[発明が解決しようとする課題] しかし、本発明者がこの構成のヘッドで印字試験を行っ
たところ、吐出不良が多数発生した。それを解析したと
ころ供給路3に塵llが詰まっていることが判明した。
レーザーで孔を形成した場合、レーザー光の入射側の断
面積をA1、出射側のそれをA2とした場合、Al>A
2の関係になる。このヘッドではインク供給室2側より
レーザー光を入射して供給路3を形成したためインク供
給室2側の断面積が広くなっており、第4図でわかるよ
うに塵が詰まり易く、固定されやすい形状となっている
また供給路3と圧力室4とのつなぎ部には流れがよどむ
点13が存在するため、ここに停滞した気泡はなかなか
とり除くことができないという問題があった。
そこで本発明はこのような間圧点を解決するものでその
目的とするところは塵詰まりを起こしに((、かつ気泡
の滞留しに(い供給路形状をレーザー加工によって形成
することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明のヘッドは、圧力室側よりインク供給室側に向け
てレーザービーム光を照射することにより供給路を形成
したことを特徴とする。
[実 施 例1 以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
1図はヘッド基板を形成するための型構造の一例を示す
断面図である。
ヘッド基板lは固定側型板19と可動側型板20との間
に射出注入された高分子樹脂素材により一体的に成形さ
れる。
この成形に使用される固定側型板19には、そのキャビ
ティ部に、ヘッド基板1の圧力室4に対応した成形用凸
部14が形成されている。また、圧力室成形用凸部14
の一端部には、ノズル6と連通ずるための通孔5を形成
するためのビン15が設けられている。これに対する可
動側型板20には、そのキャビィティ部に、ヘッド基板
lのインク供給室2に対応した成形用凸部12が形成さ
れている。また上記の通孔5を形成するためのビン15
に対向する部分に、ビン15の先端部の支持穴21が形
成されている。なお、図中の符号22はランナ一部、2
3はゲート部、24はイジェクタビンを示している。
このように構成された両型板19.20間にランナ一部
22及びゲート部23を介して上述した高分子樹脂素材
が射出注入されると、−面にインり供給室2を有し、他
面に圧力室4を有し、圧力室4の一端にノズル叛7に設
けたノズル6と連通するための通孔5を有するヘンド基
板lが成形される。
第2図は、このようにして成形されたヘッド基板1への
供給路の形成工程を示したものである。
上述した工程により成形されたヘッド基板lは、インク
供給室2の形成面を表にして固定され、圧力室4の一端
からインク供給室2に向がってレーザービームLを照射
することにより、所要の供給路3が形成される。
これに用いるレーザービーム発生装置40は、レーザー
触媒として、ArF、KrF、XeC1、XeF等を用
いた発振波長が193乃至351nmの、化学結合を直
接開裂させるに必要な紫外光領域の窩エネルギーのフォ
トンを高強度で発振できるエキシマレーザ−装置が好ま
しい。装置40から出力したレーザービームLをイメー
ジマスク41と集光レンズ42を用いて、ヘッド基板1
上のインク供給室2と圧力室4の連結部に収束させて、
所要の供給路3を形成する。
第3図は、形成された供給路3の断面図である。
実際にポリカーボネートを素材としで、ヘッド基板1を
射出成形法により形成し、インク供給室2及び圧力室4
の連結部に縮小率が8の集光レンス42を用いてエネル
ギー3度が6.OJ/’cm2のレーザービームを照射
したところ、繰り返し周波数200)1zで約600回
のショツト数により穴径40am、Gさ120umでテ
ーパー角度θが約2度の供給路3をl供給路当93秒て
汗ε成することができた。
必要に応じて、ヘッド基板1とレーザービーム装置40
のいずれか一方を供給路3の配置に合わせて順次相対的
に移動させながら、へンド基板1上に所要数の供給路3
を形成する。
前記の方法で供給路3となる孔を形成する場合、孔の長
さが20μm末端では樹脂が型に充填されず基板を形成
できない。またこの長さが1mmを越えた場合レーザー
で孔を形成するためには1000発以上のレーザー光の
照射を必要とし、コスト及びレーザーの耐久性の面から
みて間頭である。これらの理由から孔の長さは、20μ
mから1mmの範囲が好ましい。
また供給路3のインク供給室2側断面積をSl、圧力室
4側の断面積をS2とした場合に81、S2の関係はS
l<32、となる。ここで圧力室4内で圧力を発生する
ためにはSl、S2は任意の値では満足されず本発明者
の実験によると51は円形断面の場合直径110Li以
上は必要でありS2は直径250μm以下てないと液滴
が射出されないことが確認された。これを数式で示すと
、およそ100μm2<Sl<52<5000μm2と
なる。
C発明の効果] 本発明によれば圧力室側よりインク供給室側にむけてレ
ーザービーム光をp8射することにより供給路を形成し
たので、供給路がテーパー状に形成され、入口側の断面
積が出口側の断面積より小さくなる。このため塵が詰ま
りに<<、詰まった場合にも取れて再びインク供給室側
に移動するため吐出不良が改善される。これにより偏重
性の高いヘッドが実現できた。また、圧力室側に向かっ
て断面積が増加しているためインクの流れがスムーズと
なり、供給路と圧力室との連結部に従来の様な気泡が浦
るという問題も改善された。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に用いる流路基板を形成する為の型構造
の一例を示す断面図。第2図は、本発明の実施例を示す
断面図。第3図は同実施例における供給路の拡大断面図
。第4図は従来ヘッドの構造を示す断面図。 1 ・ ・ ・ ・  ・ヘッド基板 2・・・・・・インク供給室 3・・・・・・供給路 4・・・・・・圧力室 5・・・・・・通孔 6・・・  ・・ノズル 7・・・・・・圧電素子 8.10・・・第2基板 9・・・・・ ノズル板 1 l ・ ・ ・ ・ ・ ・塵 19・・・・・・固定側型板 20・・・ ・・可動側型板 40・・・・・・レーザービーム発生装置41・・・・
・・マスク 42・・・・・・集光レンズ 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部(他1名)第1関 2イシフイ共給室 3発1台路 杭2噌 第3図 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)高分子樹脂材によりインク供給室と圧力室とを形成
    し、前記インク供給室と前記圧力室とを連結する孔状の
    供給路をレーザービーム光を照射して形成するインクジ
    ェット記録ヘッドであって、前記圧力室側より前記イン
    ク供給室側に向けてレーザービーム光を照射する事によ
    り供給路を形成した事を特徴とするインクジェット記録
    ヘッド。 2)前記供給路長さが20μm以上1mm以下である事
    を特徴とするインクジェット記録ヘッド。 3)前記供給路の供給室側断面積S1と圧力室側断面積
    S2とがS1<S2であり、かつ100μm^2<S1
    <S2<50000μm^2の関係を満たしている事を
    特徴とするインクジェット記録ヘッド。
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