JPH04176400A - 海水を原水とする超純水製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、半導体工業等の電子工業に使用される超純
水製造装置に利用できる海水を原水とする超純水製造方
法に関する。

この明細書において、「炭酸イオン」には、重炭酸イオ
ンを含むものとする。

従来の技術 従来、半導体工業等の電子工業に使用される超純水を製
造するときの原水としては、工業用水、上水道水、井戸
水等の淡水が用いられている。

発明が解決しようとする課題 超純水製造用の原水として淡水し５か用いられていない
のは、海水中には、懸濁物質、微粒子、微生物、溶存ガ
ス等のほかに、多量の塩分が含まれているため、水質基
準が厳しい半導体工業等の電子工業用の超純水を製造す
る原水として使用するには、不適切であると考えられて
きたことによる。

この発明の目的は、海水から不純物を取り除き、半導体
工業等の電子工業で使用できる超純水を製造する方法を
提供することにある。

課題を解決するための手段 この発明による海水を原水とする超純水製造方法は、上
記目的を達成すべく工夫されたものであって、海水から
海水淡水化装置によって得られた淡水をｐＨ７以上に調
整した後、逆浸透装置に通して溶存炭酸イオンを除去し
、ついで該淡水を多重効用蒸留装置に通して純度を上げ
ることを特徴とするものである。

上記において、海水淡水化装置としては、多重効用蒸留
装置、多段フラッシュ蒸留装置および逆浸透装置等が用
いられる。

作用 海水から海水淡水化装置によって得られた淡水をｐＨ７
以上に調整すると、溶存している二酸化炭素が炭酸イオ
ンに変換される。この炭酸イオンは逆浸透装置によって
除去される。ついで該淡水を多重効用蒸留装置に通すと
、純度の高い超純水が得られる。

実施例 つぎに、この発明の実施例について、図面により具体的
に説明する。

海水から海水淡水化装置（１）によって得られた淡水を
タンク（２）からのアルカリ注入により、ｐＨ７以上に
調整し、溶存している二酸化炭素を炭酸イオンに変換す
る。ついで該淡水を逆浸透装置（３）に通して、溶存炭
酸イオンを除去する。ついで炭酸イオンを除去された淡
水を多重効用蒸留装置り４）に通してさらに純度を上げ
て超純水とする。

海水淡水化装置（１）、逆浸述装置（３）および多重効
用蒸留装置（４）からそれぞれ排出される濃縮水は、通
常の排水処理設備によって処理することができる。

発明の効果 この発明によれば、従来、原水として使用するには不適
切であると考えられてきた海水から超純水を得ることが
できる。したがって、現在、淡水を得ることが難しいた
めに半導体工業等の電子工業が発達していない地域にお
いても、海水が近くにあれば超純水を得ることができ、
半導体工業等の電子工業を発展させることが可能となる
。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案による海水を原水とする超純水製造装置
を示すフローシートである。 （１）・・・海水淡水化装置、（２〉・・・タンク、（
３）・・・逆浸透装置、（４）・・・多重効用蒸留装置
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 海水から海水淡水化装置（１）によって得られた淡水を
   、ｐＨ７以上に調整した後、逆浸透装置（３）に通して
   溶存炭酸イオンを除去し、ついで該淡水を多重効用蒸留
   装置（４）に通して純度を上げることを特徴とする海水
   を原水とする超純水製造方法。