JPH04166944A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、アルカリ現像が可能な新規な感光性樹脂組成
物に関し、特にプリント配線板製造に好適なソルダーレ
ジスト組成物に関する。さらに詳しくは、プリント基板
をプレスして外形加工する際に、クランク、ハガレ等の
生じないソルダーレジスト組成物に関するものである。
物に関し、特にプリント配線板製造に好適なソルダーレ
ジスト組成物に関する。さらに詳しくは、プリント基板
をプレスして外形加工する際に、クランク、ハガレ等の
生じないソルダーレジスト組成物に関するものである。
高解像性が要求されるプリント配線板のレジストパター
ン形成には、フォトソルダーレジストが通常使用される
。これは、フォトソルダーレジストは露光−現像により
パターン形成を行うため、にじみあるいはダレ等のスク
リーン印刷法で起きる問題がなく、高解像力を有するた
めである。
ン形成には、フォトソルダーレジストが通常使用される
。これは、フォトソルダーレジストは露光−現像により
パターン形成を行うため、にじみあるいはダレ等のスク
リーン印刷法で起きる問題がなく、高解像力を有するた
めである。
従来、フォトソルダーレジスト
れるバインダー樹脂としては、特開昭6 1−2 23
073号、同61−243869号、同61−5944
7号、同63−205650号、同63−258975
号、同6 2−4 3 9 0号、同62−7 7 7
3号等の各公報に見られるように、ノボランク型のエ
ポキシアクリレート樹脂が一般的である。
073号、同61−243869号、同61−5944
7号、同63−205650号、同63−258975
号、同6 2−4 3 9 0号、同62−7 7 7
3号等の各公報に見られるように、ノボランク型のエ
ポキシアクリレート樹脂が一般的である。
ノボランク型のエポキシアクリレ−1−樹脂はその製造
が容易な上、安価で、電気絶縁性、耐熱性、耐薬品性等
に優れた感光性樹脂である。しかしながら、その反面脆
さ、基板に対する密着性に欠け、特にプリント基板をプ
レスして外形加工をする際、レジストパターン上にクラ
ンク、ハガレを生じる欠点を有していた。
が容易な上、安価で、電気絶縁性、耐熱性、耐薬品性等
に優れた感光性樹脂である。しかしながら、その反面脆
さ、基板に対する密着性に欠け、特にプリント基板をプ
レスして外形加工をする際、レジストパターン上にクラ
ンク、ハガレを生じる欠点を有していた。
これらの問題に対し、特開昭62−277422号、特
公平1−54390号等にはノボラック型のエポキシア
クリレート樹脂とエポキシ樹脂とを併用する方法や、特
公昭61〜42954号のようにウレタン系のアクリレ
ート樹脂を併用する方法が提案され、ある程度有効であ
ることが確認されている。しかしながら、基板に対する
密着性はまだまだ不十分で、更に改良されたフォトソル
ダーレジスト組成物の開発が望まれていた。
公平1−54390号等にはノボラック型のエポキシア
クリレート樹脂とエポキシ樹脂とを併用する方法や、特
公昭61〜42954号のようにウレタン系のアクリレ
ート樹脂を併用する方法が提案され、ある程度有効であ
ることが確認されている。しかしながら、基板に対する
密着性はまだまだ不十分で、更に改良されたフォトソル
ダーレジスト組成物の開発が望まれていた。
本発明者らはエポキシ樹脂の効果に着目し、鋭意検討を
重ねた結果、特定構造のエポキシ化合物を従来のノボラ
ック型のエポキシアクリレート樹脂と併用することによ
り、プルレス加工時にクランク、ハガレ等が全く生じな
いフォトソルダーレジスト組成物が提供できることを見
出し、本発明を完成するに至った。
重ねた結果、特定構造のエポキシ化合物を従来のノボラ
ック型のエポキシアクリレート樹脂と併用することによ
り、プルレス加工時にクランク、ハガレ等が全く生じな
いフォトソルダーレジスト組成物が提供できることを見
出し、本発明を完成するに至った。
即ち本発明の要旨は、
(a) ノボラック型エポキシ化合物、不飽和モノカ
ルボン酸ならびに飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物と
を反応せしめて得られる光重合性不飽和化合物 (b) 光重合開始剤、および (c) ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリ
グリセロールポリグリシジルエーテル及びトリグリシジ
ルトリ(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートより
なる群から選ばれる少なくとも1種の化合物 を含有してなる感光性樹脂組成物に存する。
ルボン酸ならびに飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物と
を反応せしめて得られる光重合性不飽和化合物 (b) 光重合開始剤、および (c) ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリ
グリセロールポリグリシジルエーテル及びトリグリシジ
ルトリ(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートより
なる群から選ばれる少なくとも1種の化合物 を含有してなる感光性樹脂組成物に存する。
以下、本発明につき詳細に説明する。
本発明の第1の成分である光重合性不飽和化合物は、ノ
ボラック型エポキシ化合物、不飽和モノカルボン酸なら
びに飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物とを反応せしめ
て得られるものであるならば特に制限はされないが、好
ましくはノボラック型エポキシ化合物と不飽和モノカル
ボン酸との反応物と、飽和もしくは不飽和多塩基酸無水
物とを反応せしめて得られる光重合性不飽和化合物が好
適に用いられる。
ボラック型エポキシ化合物、不飽和モノカルボン酸なら
びに飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物とを反応せしめ
て得られるものであるならば特に制限はされないが、好
ましくはノボラック型エポキシ化合物と不飽和モノカル
ボン酸との反応物と、飽和もしくは不飽和多塩基酸無水
物とを反応せしめて得られる光重合性不飽和化合物が好
適に用いられる。
かかる化合物は、例えばフェノール、クレゾール、アル
キル化フェノール、ハロゲン化フェノール等のフェノー
ル類とホルムアルデヒドとを酸性条件下で反応させて得
られるノボラック類とエピクロルヒドリン、メチルエピ
クロルヒドリン等とを反応させて得られるノボラック型
エポキシ樹脂に、アクリル酸、メタアクリル酸、クロト
ン酸、β−スチリルアクリル酸、β−フルフリルアクリ
ル酸、α−シアノ桂皮酸、桂皮酸等の不飽和モノカルボ
ン酸を反応させ、これに無水フタル酸、無水テトラヒド
ロフタル酸、無水へキサヒドロフタル酸、無水マレイン
酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、メチルへキサヒド
ロ無水フタル酸、無水エンドメチレンテトラヒドロフタ
ル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸
、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸
等の三塩基性酸無水物;無水ピロメリット酸、無水トリ
メリット酸、ベンゾフェノンテトラカルポン酸二無水物
等の芳香族多価カルボン酸無水物等の飽和あるいは不飽
和多塩基酸無水物を反応させることにより得ることがで
きる。
キル化フェノール、ハロゲン化フェノール等のフェノー
ル類とホルムアルデヒドとを酸性条件下で反応させて得
られるノボラック類とエピクロルヒドリン、メチルエピ
クロルヒドリン等とを反応させて得られるノボラック型
エポキシ樹脂に、アクリル酸、メタアクリル酸、クロト
ン酸、β−スチリルアクリル酸、β−フルフリルアクリ
ル酸、α−シアノ桂皮酸、桂皮酸等の不飽和モノカルボ
ン酸を反応させ、これに無水フタル酸、無水テトラヒド
ロフタル酸、無水へキサヒドロフタル酸、無水マレイン
酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、メチルへキサヒド
ロ無水フタル酸、無水エンドメチレンテトラヒドロフタ
ル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸
、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸
等の三塩基性酸無水物;無水ピロメリット酸、無水トリ
メリット酸、ベンゾフェノンテトラカルポン酸二無水物
等の芳香族多価カルボン酸無水物等の飽和あるいは不飽
和多塩基酸無水物を反応させることにより得ることがで
きる。
なお、上記光重合性不飽和化合物の構成原料となるノボ
ラック型エポキシ樹脂としては、油化シェルエポキシ■
の商品名工ピコ−)180370、大日本インキ化学■
の商品名エビクロンN−660、N−665、N−67
0、N−673、N−680、N−690、N−695
、If−775、チバガイギー■の商品名E、CN−1
273、ECN−1280、東部化成■の商品名YDC
N−701、YDCN−702、YDCN−703、Y
DCN−704、YDCN−701P、、YDCN−7
02P、YDCN−703P、YDCN−704P、Y
DCN−701S、YDCN−7023、YDCN−7
03S、、YDPN−638、YDPN−638P等が
挙げられる。
ラック型エポキシ樹脂としては、油化シェルエポキシ■
の商品名工ピコ−)180370、大日本インキ化学■
の商品名エビクロンN−660、N−665、N−67
0、N−673、N−680、N−690、N−695
、If−775、チバガイギー■の商品名E、CN−1
273、ECN−1280、東部化成■の商品名YDC
N−701、YDCN−702、YDCN−703、Y
DCN−704、YDCN−701P、、YDCN−7
02P、YDCN−703P、YDCN−704P、Y
DCN−701S、YDCN−7023、YDCN−7
03S、、YDPN−638、YDPN−638P等が
挙げられる。
また、不飽和モノカルボン酸は、ノボラック型エポキシ
化合物のエポキシ基1個に対して0.5〜1.2の割合
で反応させることが望ましく、更には0.6〜1.1モ
ルの範囲で反応させると一層好ましい。多塩基酸無水物
は、ノボラック型エポキシ化合物および不飽和モノカル
ボン酸との反応の際に生じる水酸基1個に対し、0.1
0モル以上反応させることが特に望ましい。
化合物のエポキシ基1個に対して0.5〜1.2の割合
で反応させることが望ましく、更には0.6〜1.1モ
ルの範囲で反応させると一層好ましい。多塩基酸無水物
は、ノボラック型エポキシ化合物および不飽和モノカル
ボン酸との反応の際に生じる水酸基1個に対し、0.1
0モル以上反応させることが特に望ましい。
かくして得られる光重合性不飽和化合物はその酸化を4
0〜150mgKOH/gの範囲に調節するのが好まし
い。酸価が4QmgKOH/gより低い場合はアルカリ
現像性の面に於て、150mgKOH/ gより高くな
ると電気絶縁性の面において劣ることがある。
0〜150mgKOH/gの範囲に調節するのが好まし
い。酸価が4QmgKOH/gより低い場合はアルカリ
現像性の面に於て、150mgKOH/ gより高くな
ると電気絶縁性の面において劣ることがある。
次に、本発明における第2の成分である光重合開始剤と
しては例えば特公平1−54390号公報等で公知のも
のが使用でき、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル
等のヘンジインアルキルエーテル類、2−メチルアント
ラキノン等のアントラキノン類、ヘンズアンスロン誘導
体、アセトフェノン、2.2−ジメトキシ−2−フェニ
ルアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロへキシルフェ
ニルケトン、2−メチル−1−[4〜(メチルチオ)フ
ェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン等のアセ
トフェノン類、ヘンシル誘導体、4゜4′−ビス−ジメ
チルアミノベンゾフェノン、3゜4.3’、4’−テト
う(b−ブチルパーオキシカルボニル)ベンズフェノン
等のベンゾフェノン誘導体、キサントン’tiN一体、
チオキサントン誘導体、ビスイミダゾール類、トリクロ
ロメチル−S−トリアジン類等、又はこれらと色素類、
ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル等のアミン
化合物、アリルチオ尿素、N−フェニルグリシンなどの
組合せが挙げられる。
しては例えば特公平1−54390号公報等で公知のも
のが使用でき、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル
等のヘンジインアルキルエーテル類、2−メチルアント
ラキノン等のアントラキノン類、ヘンズアンスロン誘導
体、アセトフェノン、2.2−ジメトキシ−2−フェニ
ルアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロへキシルフェ
ニルケトン、2−メチル−1−[4〜(メチルチオ)フ
ェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン等のアセ
トフェノン類、ヘンシル誘導体、4゜4′−ビス−ジメ
チルアミノベンゾフェノン、3゜4.3’、4’−テト
う(b−ブチルパーオキシカルボニル)ベンズフェノン
等のベンゾフェノン誘導体、キサントン’tiN一体、
チオキサントン誘導体、ビスイミダゾール類、トリクロ
ロメチル−S−トリアジン類等、又はこれらと色素類、
ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル等のアミン
化合物、アリルチオ尿素、N−フェニルグリシンなどの
組合せが挙げられる。
本発明に於ける第3の成分はソルビトールポリグリシジ
ルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル
及びトリグリシジルトリ (2−ヒドロキシエチル)イ
ソシアヌレートよりなる群から選ばれる少なくとも1種
の化合物である。ソルビトールポリグリシジルエーテル
及びポリグリセロールポリグリシジルエーテルとしては
、ソルビトール又はポリグリセロールの2以上の水酸基
がグリシジルオキシ基で置換された化合物であれば特に
限定されない。具体的には、例えば、長瀬化成■製の商
品名ブナコールEX−611、EX−612、EX−6
14、EX−614B、、EX−622等のソルビト−
ルポリグリシジルエーテル;EX−512、EX−52
1等のポリグリセロールポリグリシジルエーテル、EX
−301等のトリグリシジルトリ(2−ヒドロキシエチ
ル)イソシアヌレート等が挙げられる。中でもソルビト
ールポリグリシジルエーテル又はポリグリセロールポリ
グリシジルエーテルが好ましい。
ルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル
及びトリグリシジルトリ (2−ヒドロキシエチル)イ
ソシアヌレートよりなる群から選ばれる少なくとも1種
の化合物である。ソルビトールポリグリシジルエーテル
及びポリグリセロールポリグリシジルエーテルとしては
、ソルビトール又はポリグリセロールの2以上の水酸基
がグリシジルオキシ基で置換された化合物であれば特に
限定されない。具体的には、例えば、長瀬化成■製の商
品名ブナコールEX−611、EX−612、EX−6
14、EX−614B、、EX−622等のソルビト−
ルポリグリシジルエーテル;EX−512、EX−52
1等のポリグリセロールポリグリシジルエーテル、EX
−301等のトリグリシジルトリ(2−ヒドロキシエチ
ル)イソシアヌレート等が挙げられる。中でもソルビト
ールポリグリシジルエーテル又はポリグリセロールポリ
グリシジルエーテルが好ましい。
これらを組成物として調合する際に好適な割合はノボラ
ック型エポキシ化合物、不飽和モノカルボン酸ならびに
飽和もしくは不飽和多塩基無水物とを反応せしめて得ら
れる光重合性不飽和化合物100重量部に対し、光重合
開始剤5〜30重量部及びソルビトールポリグリシジル
エーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル及
びトリグリシジルトリ(2−ヒドロキシエチル)イソシ
アヌレートよりなる群から選ばれる少なくとも1種の化
合物10〜100重量部が好ましい。
ック型エポキシ化合物、不飽和モノカルボン酸ならびに
飽和もしくは不飽和多塩基無水物とを反応せしめて得ら
れる光重合性不飽和化合物100重量部に対し、光重合
開始剤5〜30重量部及びソルビトールポリグリシジル
エーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル及
びトリグリシジルトリ(2−ヒドロキシエチル)イソシ
アヌレートよりなる群から選ばれる少なくとも1種の化
合物10〜100重量部が好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、上記(a)〜(c)以外
にも、感光性樹脂組成物の添加剤として従来公知の種々
の化合物、例えば重合性子ツマー1希釈剤、無機微粒子
、エポキシ硬化剤、顔料、レベリング剤を好適に添加す
ることができる。
にも、感光性樹脂組成物の添加剤として従来公知の種々
の化合物、例えば重合性子ツマー1希釈剤、無機微粒子
、エポキシ硬化剤、顔料、レベリング剤を好適に添加す
ることができる。
重合性モノマーとして好適なものとしては、2−ヒドロ
キシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアク
リレート、N−ビニルピロリドン、アクリロイルモルフ
ォリン、メトキシテトラエチレングリコールアクリレー
ト、メトキシポリエチレングリコールアクリレート、ポ
リエチレングリコールジアクリレート、N、N−ジメチ
ルアクリルアミド、ジエチレングリコールジアクリレー
ト、トリエチレングリコールジアクリレート、プロピレ
ングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコー
ルジアクリレート、フェノキシジエチルアクリレート、
テトラヒドロフルフリルアクリレ−ト、シクロへキシル
アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート
、トリメチロールプロパントリアクリレート、グリセリ
ングリシジルエーテルジアクリレート、グリセリントリ
グリシジルエーテルトリアクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート ルヘキサアクリレートなどが挙げられる。
キシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアク
リレート、N−ビニルピロリドン、アクリロイルモルフ
ォリン、メトキシテトラエチレングリコールアクリレー
ト、メトキシポリエチレングリコールアクリレート、ポ
リエチレングリコールジアクリレート、N、N−ジメチ
ルアクリルアミド、ジエチレングリコールジアクリレー
ト、トリエチレングリコールジアクリレート、プロピレ
ングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコー
ルジアクリレート、フェノキシジエチルアクリレート、
テトラヒドロフルフリルアクリレ−ト、シクロへキシル
アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート
、トリメチロールプロパントリアクリレート、グリセリ
ングリシジルエーテルジアクリレート、グリセリントリ
グリシジルエーテルトリアクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート ルヘキサアクリレートなどが挙げられる。
また、粘度調節のための希釈剤としては、例えばメチル
エチルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソ
ブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、
ブチルセロソルブ、シクロヘキサノン、セロソルブアセ
テート、メチルセロソルブアセテート、ブチルセロソル
ブアセテート、カルピトール、メチルカルピトール、カ
ルピトールアセテート、メチルカルピトールアセテート
、ブチルカルピトールアセテート、キシレン、トルエン
、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレ
ングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテ一ト等が挙げられる。
エチルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソ
ブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、
ブチルセロソルブ、シクロヘキサノン、セロソルブアセ
テート、メチルセロソルブアセテート、ブチルセロソル
ブアセテート、カルピトール、メチルカルピトール、カ
ルピトールアセテート、メチルカルピトールアセテート
、ブチルカルピトールアセテート、キシレン、トルエン
、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレ
ングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテ一ト等が挙げられる。
また、好適に添加できる無機微粒子としては、例えばタ
ルク、シリカ、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、クレー
、カオリン、ベントナイト、珪藻土、アルミナ、焼結タ
ル外二酸化チタン、酸化アンチモン、珪酸ジルコニウム
などが挙げられる。
ルク、シリカ、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、クレー
、カオリン、ベントナイト、珪藻土、アルミナ、焼結タ
ル外二酸化チタン、酸化アンチモン、珪酸ジルコニウム
などが挙げられる。
これらはシランカップリング剤などで表面処理して用い
ることもできる。
ることもできる。
エポキシ硬化剤はソルダーレジスト膜を更に強くしたり
、低温硬化性を賦与するのに有効である。
、低温硬化性を賦与するのに有効である。
これに通するものとしては、例えば特開平1−1419
04号公報等に記載の公知のエポキシ硬化剤が挙げられ
る。
04号公報等に記載の公知のエポキシ硬化剤が挙げられ
る。
本発明の感光性樹脂組成物は、特にフォトソルダーレジ
ストとして有用であり、スクリーン印刷法、カーテンコ
ート法、スプレーコート法、ロールコート法、スピンコ
ード法、デイツプコート法等により好適にプリント基板
上に塗布することができる。
ストとして有用であり、スクリーン印刷法、カーテンコ
ート法、スプレーコート法、ロールコート法、スピンコ
ード法、デイツプコート法等により好適にプリント基板
上に塗布することができる。
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、
本発明はその要旨を越えない限り以下の実施例に限定さ
れるものではない。
本発明はその要旨を越えない限り以下の実施例に限定さ
れるものではない。
合成例1
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(東部化成■製Y
DCN−702)1000部を3つロフラスコ中に入れ
、90−100’Cまで昇温し加熱熔融した。これにア
クリル酸363部、ヒドロキノン0. 6部、ベンジル
メチルアミン7、 0部を加え、温度を110〜115
°Cに昇温させ、15時間反応させた後、室温まで冷却
した。この反応物にエチルセロソルブアセテート300
部とテトラヒドロ無水フタル酸365部を混合し、90
〜100°Cまで昇温し加熱溶解させ、更に8時間攪拌
反応させ、ノボラックエポキシアクリレートの酸無水物
付加反応物(a)を得た。 ′ 実施例−1 下記配合成分を三角フラスコ中で攪拌し、フォトソルダ
ーレジスト感光液を得た。
DCN−702)1000部を3つロフラスコ中に入れ
、90−100’Cまで昇温し加熱熔融した。これにア
クリル酸363部、ヒドロキノン0. 6部、ベンジル
メチルアミン7、 0部を加え、温度を110〜115
°Cに昇温させ、15時間反応させた後、室温まで冷却
した。この反応物にエチルセロソルブアセテート300
部とテトラヒドロ無水フタル酸365部を混合し、90
〜100°Cまで昇温し加熱溶解させ、更に8時間攪拌
反応させ、ノボラックエポキシアクリレートの酸無水物
付加反応物(a)を得た。 ′ 実施例−1 下記配合成分を三角フラスコ中で攪拌し、フォトソルダ
ーレジスト感光液を得た。
合成例−1で得られた樹脂(a) 5 7
部ベンゾフェノン 4部ペンタ
エリスリトールトリアクリレート 10部タルク
3部部ジシアンジアミド
2部メチルセロソルブ
、 30部153部 この感光液をバーコーターを用いてパフ研摩した銅張板
に塗布し、オーブンで80″CI5分間乾燥した。レジ
スト膜厚は20μであった。レジスト膜上にIPC−B
25のパターンが描かれたフィルムをのせ2部wの高圧
水銀燈で50cmの距離がら40秒間露光した。1%N
azCO3水溶液で25°Cの温度で2 kg / c
tlのスプレー圧により1分間現像した。現像性は良好
でありIPC−825のレジストパターンが形成された
。これをさらに150°Cのオーブンで30分間硬化さ
せ、室温まで冷却した後プレス加工機を用いてレジスト
パターン上を切断した。実体顕微鏡を用いてレジスト切
断面を観察したところレジストのハガレ、クラック等は
発生していなかった。
部ベンゾフェノン 4部ペンタ
エリスリトールトリアクリレート 10部タルク
3部部ジシアンジアミド
2部メチルセロソルブ
、 30部153部 この感光液をバーコーターを用いてパフ研摩した銅張板
に塗布し、オーブンで80″CI5分間乾燥した。レジ
スト膜厚は20μであった。レジスト膜上にIPC−B
25のパターンが描かれたフィルムをのせ2部wの高圧
水銀燈で50cmの距離がら40秒間露光した。1%N
azCO3水溶液で25°Cの温度で2 kg / c
tlのスプレー圧により1分間現像した。現像性は良好
でありIPC−825のレジストパターンが形成された
。これをさらに150°Cのオーブンで30分間硬化さ
せ、室温まで冷却した後プレス加工機を用いてレジスト
パターン上を切断した。実体顕微鏡を用いてレジスト切
断面を観察したところレジストのハガレ、クラック等は
発生していなかった。
実施例−2
実施例−1に於て、ブナコールEX−521をブナコー
ルEX−622(長瀬化成■製;ソルビト−ルポリグリ
シジルエーテル)20部に代えた以外は同様にしてフォ
トソルダーレジスト感光液を調製し、レジストパターン
を形成し、レジスト切断面を観察したところ、レジスト
のハガレ、クラック等は発生していなかった。
ルEX−622(長瀬化成■製;ソルビト−ルポリグリ
シジルエーテル)20部に代えた以外は同様にしてフォ
トソルダーレジスト感光液を調製し、レジストパターン
を形成し、レジスト切断面を観察したところ、レジスト
のハガレ、クラック等は発生していなかった。
実施例−3
実施例−1に於て、ブナコールEX−521をブナコー
ルEX−301(長瀬産業Ole製;トリグリンジルト
リ (2−ヒドロキシエチJし)イソシアヌレ−1−)
20部に代えた以外は同様にしてフォ1−ソルダーレジ
スト感光液を調製し、レジストパターンを作成し、レジ
スト切断面を観察したところ、レジストのハガレ、クラ
ック等は発生していなかった。
ルEX−301(長瀬産業Ole製;トリグリンジルト
リ (2−ヒドロキシエチJし)イソシアヌレ−1−)
20部に代えた以外は同様にしてフォ1−ソルダーレジ
スト感光液を調製し、レジストパターンを作成し、レジ
スト切断面を観察したところ、レジストのハガレ、クラ
ック等は発生していなかった。
実施例−4
実施例−1に於て、ブナコールEX−521をブナコー
ルEX−612(長潮化成■製:ソルビト−ルポリグリ
シジルエーテル)20部に代えた以外は同様にしてフォ
トソルダーレジスト感光液を調製し、レジストパターン
を形成し、レジスト切断面を観察したところ、レジスト
のハガレ、クラック等は発生していなかった。
ルEX−612(長潮化成■製:ソルビト−ルポリグリ
シジルエーテル)20部に代えた以外は同様にしてフォ
トソルダーレジスト感光液を調製し、レジストパターン
を形成し、レジスト切断面を観察したところ、レジスト
のハガレ、クラック等は発生していなかった。
比較例1
実施例−1に於て、ブナコールEX−521をトリグリ
シジルイソシアヌレート(ヘテロサイクリックなエポキ
シ樹脂)20部に代えた以外は同様にしてフォトソルダ
ーレジスト感光液を調製し、レジストパターンを形成し
、レジスト切断面を観察した。レジストの銅面上からの
ハガレが一部で観察され、又、クラックはリンスI・切
断面全体に発生しているのが観察された。
シジルイソシアヌレート(ヘテロサイクリックなエポキ
シ樹脂)20部に代えた以外は同様にしてフォトソルダ
ーレジスト感光液を調製し、レジストパターンを形成し
、レジスト切断面を観察した。レジストの銅面上からの
ハガレが一部で観察され、又、クラックはリンスI・切
断面全体に発生しているのが観察された。
比較例2
実施例−1に於て、ブナコールEX−521をグリセリ
ンジグリシジルエーテル20部に代えた以外は同様にし
て、フォトソルダーレジスト感光液を調製し、レジスト
パターンを形成し、レジスト切断面を観察した。レジス
トの銅面上からのハガレが一部で観察され、又、クラッ
クはレジスト切断面全体に発生しているのが観察された
。
ンジグリシジルエーテル20部に代えた以外は同様にし
て、フォトソルダーレジスト感光液を調製し、レジスト
パターンを形成し、レジスト切断面を観察した。レジス
トの銅面上からのハガレが一部で観察され、又、クラッ
クはレジスト切断面全体に発生しているのが観察された
。
本発明の感光性樹脂組成物は、特にフォトソルダーレジ
ストとして使用した場合、耐クラツク性および密着性に
優れ、極めて有用である。
ストとして使用した場合、耐クラツク性および密着性に
優れ、極めて有用である。
Claims (1)
- (1)(a)ノボラック型エポキシ化合物、不飽和モノ
カルボン酸ならびに飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物
とを反応せしめて得られる光重合性不飽和化合物 (b)光重合開始剤、および (c)ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリ
セロールポリグリシジルエーテル及びトリグリシジルト
リ(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートよりなる
群から選ばれる少なくとも1種の化合物 を含有してなる感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2294842A JPH04166944A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2294842A JPH04166944A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04166944A true JPH04166944A (ja) | 1992-06-12 |
Family
ID=17812961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2294842A Pending JPH04166944A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04166944A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002048226A1 (fr) * | 2000-12-14 | 2002-06-20 | Goo Chemical Co., Ltd. | Composition de résine durcissant aux uv et photorésine liquide de photosoudage contenant cette composition |
WO2003059975A1 (fr) * | 2001-12-28 | 2003-07-24 | Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. | Composition de resine photosensible et cartes imprimees |
WO2011093188A1 (ja) * | 2010-01-26 | 2011-08-04 | 日産化学工業株式会社 | ポジ型レジスト組成物及びマイクロレンズの製造方法 |
JP2012212048A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-01 | Taiyo Ink Mfg Ltd | 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板 |
-
1990
- 1990-10-31 JP JP2294842A patent/JPH04166944A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002048226A1 (fr) * | 2000-12-14 | 2002-06-20 | Goo Chemical Co., Ltd. | Composition de résine durcissant aux uv et photorésine liquide de photosoudage contenant cette composition |
US6964813B2 (en) | 2000-12-14 | 2005-11-15 | Goo Chemical Co., Ltd. | Ultraviolet curable resin composition and photo solder resist including the same |
WO2003059975A1 (fr) * | 2001-12-28 | 2003-07-24 | Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. | Composition de resine photosensible et cartes imprimees |
WO2011093188A1 (ja) * | 2010-01-26 | 2011-08-04 | 日産化学工業株式会社 | ポジ型レジスト組成物及びマイクロレンズの製造方法 |
CN102725691A (zh) * | 2010-01-26 | 2012-10-10 | 日产化学工业株式会社 | 正型抗蚀剂组合物及微透镜的制造方法 |
US8722311B2 (en) | 2010-01-26 | 2014-05-13 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Positive resist composition and method for producing microlens |
JP2012212048A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-01 | Taiyo Ink Mfg Ltd | 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物並びにそれらを用いたプリント配線板 |
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