JPH04163741A - スタンパの製造方法 - Google Patents
スタンパの製造方法Info
- Publication number
- JPH04163741A JPH04163741A JP2291243A JP29124390A JPH04163741A JP H04163741 A JPH04163741 A JP H04163741A JP 2291243 A JP2291243 A JP 2291243A JP 29124390 A JP29124390 A JP 29124390A JP H04163741 A JPH04163741 A JP H04163741A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stamper
- injection molding
- standber
- manufacturing
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 claims description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 12
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 abstract description 10
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
レーザー光を用いて情報の再生、又は、配録を行なう光
ディスクを製作する金型に関する。
ディスクを製作する金型に関する。
［従来の技術］
従来の光ディスクを製作するスタンバは、プリフォーマ
ットのビット巾がスタンバ内周から外周にかけて、−面
に均一なものが良いとされていた。フォトポリマーを用
いる２Ｐ成形基板に於いては、低粘度のフォトポリマー
を用いてスタンバからの忠実な転写性が得られていた。
ットのビット巾がスタンバ内周から外周にかけて、−面
に均一なものが良いとされていた。フォトポリマーを用
いる２Ｐ成形基板に於いては、低粘度のフォトポリマー
を用いてスタンバからの忠実な転写性が得られていた。
しかし線形高分子材料を用い、高圧を用いて基板を成形
する射出成形に於いては、基板内周と外周で転写性に違
いが出る事が判っている。特にＣＡＶモードでレーザー
カッティングする場合外周のビット長は内周に較べ、長
くなる。この状態で従来の単位長さ当りのレーザーエネ
ルギー一定のカッティングを施こし、スタンバを製作す
ると、内周から外周にかけて均一なビット巾が形成され
る。しかし、このスタンバを用いて、射出成形を行なう
と、成形基板の外周ビットは、ピックアップを用いた信
号特性に於いて、ｆｏｌｄ波形Ｃ図−３）を生し易くな
ってしまっていた。特に基板内周のＶＦＯ特性を大きく
得る為に、ビット巾を大きくする様にレーザーパワーを
高めてカッティングする場合にその傾向は顕著である。
する射出成形に於いては、基板内周と外周で転写性に違
いが出る事が判っている。特にＣＡＶモードでレーザー
カッティングする場合外周のビット長は内周に較べ、長
くなる。この状態で従来の単位長さ当りのレーザーエネ
ルギー一定のカッティングを施こし、スタンバを製作す
ると、内周から外周にかけて均一なビット巾が形成され
る。しかし、このスタンバを用いて、射出成形を行なう
と、成形基板の外周ビットは、ピックアップを用いた信
号特性に於いて、ｆｏｌｄ波形Ｃ図−３）を生し易くな
ってしまっていた。特に基板内周のＶＦＯ特性を大きく
得る為に、ビット巾を大きくする様にレーザーパワーを
高めてカッティングする場合にその傾向は顕著である。
［発明が解決しようとする課題］
本発明は、従来技術に述べた射出成型による成形基板の
信号特性、特に成形基板の外周ビットのｆｏｌｄ波形を
起こしずらいスタンバ及び、その製造方法を提供する事
を目的としている。
信号特性、特に成形基板の外周ビットのｆｏｌｄ波形を
起こしずらいスタンバ及び、その製造方法を提供する事
を目的としている。
［課題を解決するための手段］
本発明のスタンバは、■レーザー光を用いて情報の再生
、又は記録を行なう光ディスクを製作するスタンバに於
いて、プリフォーマットのビット巾がスタンバ内周より
も外周の方が小さい事を特徴としている。
、又は記録を行なう光ディスクを製作するスタンバに於
いて、プリフォーマットのビット巾がスタンバ内周より
も外周の方が小さい事を特徴としている。
■前記スタンバの製造方法は、プリフォーマットのビッ
トのレーザーカット時に、レジストコート原盤の内周カ
ットパワー（１１位長さ当りのエネルギー）を外周より
も大きくする事を特徴としている。
トのレーザーカット時に、レジストコート原盤の内周カ
ットパワー（１１位長さ当りのエネルギー）を外周より
も大きくする事を特徴としている。
本発明のスタンバの製造方法は、レジストコート原盤上
のレジストの熱履歴を内周と外周で変化させる事で、レ
ジスト感度を変化させ、その後単位長さ当り均一なレー
ザーカットエネルギーでビット部をカットする事を特徴
とする。
のレジストの熱履歴を内周と外周で変化させる事で、レ
ジスト感度を変化させ、その後単位長さ当り均一なレー
ザーカットエネルギーでビット部をカットする事を特徴
とする。
［実 施 例 ｌ］
外径２００ｍｍ、厚さ６ｍｍの洗浄された、青板ガラス
原板を用い、スピンコーターＡ２１３５０（ヘキスト社
製ポジ形レジスト）を塗布し、オーブンで１２０℃×３
０′ベーキングして１５００人の塗膜とした。その後２
ビームレーザーカッティングＭ／Ｃ（ソニー製）を用い
て、１８００ＰＰＭ、ＣＡＶモードでｌ５Ｏ１０２４ｂ
ｙ ｔ ｅ ／ Ｓ ｅ ｃ ｔ ｏ ｒのプリフォ
ーマット（工Ｓｏ ９１７１−２ＴＹＰＥＡ）を、レ
ーザーパワーを内周から外周に変化させて複数枚カッテ
ィングし、レジストに潜像を形成した。その後、ＡＺデ
ベロッパー（ヘキスト社製現像液）を用いて３０秒間ス
ピン現像を行ない、プリフォーマットのパターンを原板
上に形成した。
原板を用い、スピンコーターＡ２１３５０（ヘキスト社
製ポジ形レジスト）を塗布し、オーブンで１２０℃×３
０′ベーキングして１５００人の塗膜とした。その後２
ビームレーザーカッティングＭ／Ｃ（ソニー製）を用い
て、１８００ＰＰＭ、ＣＡＶモードでｌ５Ｏ１０２４ｂ
ｙ ｔ ｅ ／ Ｓ ｅ ｃ ｔ ｏ ｒのプリフォ
ーマット（工Ｓｏ ９１７１−２ＴＹＰＥＡ）を、レ
ーザーパワーを内周から外周に変化させて複数枚カッテ
ィングし、レジストに潜像を形成した。その後、ＡＺデ
ベロッパー（ヘキスト社製現像液）を用いて３０秒間ス
ピン現像を行ない、プリフォーマットのパターンを原板
上に形成した。
次にスパッタ装置を用いてパターン表面をニッケルで５
０ＯＡ導体化処理後、約３００ａｍの厚みにニッケル電
鋳てニッケルを堆積させた。その後ニッケル表面を研磨
して所定の厚みとして、スタンバをガラス原板より剥離
し、内外径加工後。
０ＯＡ導体化処理後、約３００ａｍの厚みにニッケル電
鋳てニッケルを堆積させた。その後ニッケル表面を研磨
して所定の厚みとして、スタンバをガラス原板より剥離
し、内外径加工後。
表面のレジストを洗浄除去して、射出成形可能なスタン
バとした１表−１に示す如く、製作したスタンバで、ポ
リカーボネート樹脂を用いて、型温１１０℃でテクノプ
ラス社製射出成形機で基板を製作し、反射率２０％の光
磁気記録層及び保護層をスパッタ装置により成膜し、プ
リフォーマットのビット信号を当社製信号評価機０ＤＡ
−１００で測定した。結果は表−１に示す如く、ビット
巾が、スタンバ内周よりも外周の方が小さいものサンプ
ルＥが内周ＶＦＯ特性が大きく、且つ、ｆ０１ｄ波形が
生じない結果となった。（内周ＶＦＯγ＝３０でのレー
ザーパワーに対する値を第２図に示す、） 表−１ 〔実 施 例 ２１ 外径２００ｍｍ、厚さ６ｍｍの洗浄された、青板ガラス
原板を用い、スピンコーターでＡＺ−１３５０を塗布し
、ホットプレートでベーキング時の原板上の温度分布を
変化させて１５００人の塗膜とした。単位長さ当りのレ
ーザーエネルギーが原板内で均一となる様にカッティン
グして、実施例１と同様のプロセスでスタンバを製作評
価した。結果は表−２に示す如く、ビット巾がスタンバ
内周よりも外周の方が小さいものサンプル■がＶＦＯ特
性が大きく、且つ、ｆｏｌｄ波形が生しない結果となっ
た。
バとした１表−１に示す如く、製作したスタンバで、ポ
リカーボネート樹脂を用いて、型温１１０℃でテクノプ
ラス社製射出成形機で基板を製作し、反射率２０％の光
磁気記録層及び保護層をスパッタ装置により成膜し、プ
リフォーマットのビット信号を当社製信号評価機０ＤＡ
−１００で測定した。結果は表−１に示す如く、ビット
巾が、スタンバ内周よりも外周の方が小さいものサンプ
ルＥが内周ＶＦＯ特性が大きく、且つ、ｆ０１ｄ波形が
生じない結果となった。（内周ＶＦＯγ＝３０でのレー
ザーパワーに対する値を第２図に示す、） 表−１ 〔実 施 例 ２１ 外径２００ｍｍ、厚さ６ｍｍの洗浄された、青板ガラス
原板を用い、スピンコーターでＡＺ−１３５０を塗布し
、ホットプレートでベーキング時の原板上の温度分布を
変化させて１５００人の塗膜とした。単位長さ当りのレ
ーザーエネルギーが原板内で均一となる様にカッティン
グして、実施例１と同様のプロセスでスタンバを製作評
価した。結果は表−２に示す如く、ビット巾がスタンバ
内周よりも外周の方が小さいものサンプル■がＶＦＯ特
性が大きく、且つ、ｆｏｌｄ波形が生しない結果となっ
た。
尚、本発明はコンティニュアスコンポジットフォーマッ
トのスタンバに限らず、ＣＤ、ＣＤＲＯＭ、ＣＤ・ライ
トワンス、サンプリングサーボフォーマット等、全ての
プリフォーマットスタンバに適用する事が可能である。
トのスタンバに限らず、ＣＤ、ＣＤＲＯＭ、ＣＤ・ライ
トワンス、サンプリングサーボフォーマット等、全ての
プリフォーマットスタンバに適用する事が可能である。
表−２
［発明の効果］
本発明を用いる事により、転写性の悪い線状ポリマーの
射出成形に於いて、成形基板のプリフォーマット部再生
信号の内周ＶＦＯ特性が大きく、且つ、ｆｏｌｄ波形が
生じないスタンバを提供する事で、信号特性の良い基板
を射出成形で容易に製作できる効果がある。
射出成形に於いて、成形基板のプリフォーマット部再生
信号の内周ＶＦＯ特性が大きく、且つ、ｆｏｌｄ波形が
生じないスタンバを提供する事で、信号特性の良い基板
を射出成形で容易に製作できる効果がある。
第１図は本発明のビット巾略図。
第２図はレーザーパワーに対するＶＦＯ特性図。
第３図はセクタ一部のｆｏｌｄ波形図。
以上
出願人 セイコーエプソン株式会社
代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）Ｗ ＋ ）
Ｗｚ 第１図 １、Ｚ １，３ １．今 １．Ｃ；
／、ｂレーザーハ０ワー （−丁／１１−） 第２図 第３図
Ｗｚ 第１図 １、Ｚ １，３ １．今 １．Ｃ；
／、ｂレーザーハ０ワー （−丁／１１−） 第２図 第３図
Claims (3)
- （１）レーザー光を用いて情報の再生、又は、記録を行
なう光ディスクを製作するスタンバに於いて、プリフォ
ーマットのビット巾がスタンバ内周よりも外周の方が小
さい事を特徴とするスタンバ。 - （２）前記スタンバの製造方法に於いて、プリフォーマ
ットのビット部のレーザーカット時に、レジストコート
原盤の内周カットパワーを外周カットパワー（単位長さ
当りのエネルギー）よりも大きくする事を特徴とする請
求項１記載のスタンバの製造方法。 - （３）請求項１記載スタンバの製造方法に於いて、レジ
ストコート原盤上のレジストの熱履歴を内周と外周で変
化させる事で、レジスト感度を変化させ、その後単位長
さ当り均一なレーザーカットエネルギーでビット部をカ
ットする事を特徴とする請求項１記載のスタンバの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2291243A JP3018470B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | スタンパの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2291243A JP3018470B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | スタンパの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04163741A true JPH04163741A (ja) | 1992-06-09 |
| JP3018470B2 JP3018470B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=17766334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2291243A Expired - Lifetime JP3018470B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | スタンパの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3018470B2 (ja) |
-
1990
- 1990-10-29 JP JP2291243A patent/JP3018470B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3018470B2 (ja) | 2000-03-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08306069A (ja) | 光ディスクおよび光ディスクの製造方法 | |
| US6354827B1 (en) | Stamper assembly for manufacturing optical data storage disks | |
| JP3556932B2 (ja) | 光記録基板および光記録媒体並びにその製造法 | |
| TW480475B (en) | Recording medium and process for manufacturing the medium | |
| JP2519985B2 (ja) | 射出成形用スタンパ | |
| JPH04163741A (ja) | スタンパの製造方法 | |
| JPH04370545A (ja) | スタンパ、及びスタンパの製造方法 | |
| JP3643717B2 (ja) | 光ディスク用基板の製造方法 | |
| JPH0254447A (ja) | 光学的記録媒体用基板の製造方法 | |
| JP2004046997A (ja) | 光ディスク及びスタンパー | |
| JPS59193560A (ja) | 回転記録体用スタンパ−及びその製造法 | |
| Palermo et al. | Video disc mastering and replication | |
| JPS6371957A (ja) | Ｖ型断面の案内溝付光学的情報記録媒体円盤製作用スタンパの製作法 | |
| JPH03280231A (ja) | 光ディスク用スタンパの製造方法 | |
| JP2507034B2 (ja) | 情報記憶ディスク用原板および情報記憶ディスク用基板の製造方法 | |
| JPS58110220A (ja) | 光デイスク記録媒体用基板の製造方法 | |
| JPH05234153A (ja) | 光ディスクの成形金型とその製造方法 | |
| JP4014341B2 (ja) | 光ディスク基板成形用スタンパ | |
| JP2765421B2 (ja) | 光ディスク用スタンパ及びその製造方法 | |
| JPH03248342A (ja) | 光ディスク基板の製造方法 | |
| JPS60167144A (ja) | 情報記録担体の製造方法 | |
| JPH01279437A (ja) | 光ディスク製造用原盤、その製造方法、および光ディスク用成形体 | |
| JPS615454A (ja) | 音盤，記録盤の複製方法 | |
| JPS62197936A (ja) | 光デイスク用金型の製造方法 | |
| JPH02251423A (ja) | 光記録媒体用基板の製造方法及びその方法に使用する成型ローラ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090107 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100107 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110107 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |